JP2008247672A - セラミックス焼結体の製造方法 - Google Patents

セラミックス焼結体の製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2008247672A
JP2008247672A JP2007091100A JP2007091100A JP2008247672A JP 2008247672 A JP2008247672 A JP 2008247672A JP 2007091100 A JP2007091100 A JP 2007091100A JP 2007091100 A JP2007091100 A JP 2007091100A JP 2008247672 A JP2008247672 A JP 2008247672A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ceramic
solvent
sintered body
aluminum oxide
weight
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2007091100A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2008247672A5 (ja
JP4735586B2 (ja
Inventor
Yasuhiro Nakano
康博 中野
Masaki Yoshino
正樹 吉野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toray Industries Inc
Original Assignee
Toray Industries Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toray Industries Inc filed Critical Toray Industries Inc
Priority to JP2007091100A priority Critical patent/JP4735586B2/ja
Publication of JP2008247672A publication Critical patent/JP2008247672A/ja
Publication of JP2008247672A5 publication Critical patent/JP2008247672A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4735586B2 publication Critical patent/JP4735586B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Abstract

【課題】本発明は、乾燥時の割れがなく、容易に焼結体特性に優れたセラミックス焼結体がえられる製造方法を提供するものである。
【解決手段】酸化アルミニウム粉体、溶媒、硬化性樹脂および焼結助剤を含む混合物から含溶媒セラミックス成形体を作成し、次いで脱溶媒、脱脂、焼結してセラミックス焼結体を製造する方法において、酸化アルミニウム粉体のBET比表面積が1〜3m/gであり、焼結助剤としてCr、Feのうち少なくとも1種とCoOを含有することを特徴とするセラミックス焼結体の製造方法
【選択図】 なし

Description

本発明は、セラミックス製品を容易に製造するためのセラミック焼結体の製造方法に関するものである。
近年、機械構造用部品、装飾用部品、電子部品などに複雑形状のセラミックス部品が要求されるようになってきた。特に大型の複雑形状物については鋳込み成形やゲルキャスト法といわれる湿式成形方法がいくつか提案されている。例えば、アルミナ、ジルコニア、またはこれらの複合セラミックスの鋳込み成形をするに際し、水溶性のエポキシ系樹脂からなる架橋性成分とアミン系化合物を含む架橋結合体からなる架橋剤の混合物を主成分とする架橋性水溶性バインダーと、アルミナ、ジルコニア、またはこれらの複合セラミックス粉末との混合物を成形型中に充填し、反応硬化させて成形体を形成するセラミックス成形体の製造方法であって、前記架橋性水溶性バインダーに対する硬化剤の配合量を、前記架橋性水溶性バインダー10重量部に対して硬化剤が1〜4重量部となるように添加し、反応硬化した成形体を脱型後に加湿または調湿した雰囲気でセラミックス成形体を乾燥することを特徴とするセラミックス成形体の製造方法が提案されている。(特許文献1)しかしながらこの方法では肉厚形状であったり厚みが極単に違う等の複雑形状であると割れや変形が発生してしまうという問題があった。
また、セラミックス粉体、硬化性樹脂、溶媒、および溶媒により凝集する化合物を含む混合物を、成形、焼結するセラミックス成形体の製造方法が提案されている。(特許文献2)しかしながら、保形性は向上したが、乾燥時に割れが発生したり、焼結後の物性が低下することがあった。
また、酸化アルミニウム質焼結体の製造方法について、耐摩耗性等の焼結体特性を向上させる方法としては焼結助剤として酸化珪素、酸化マグネシウム、酸化カルシウムを添加する方法が提案させている。(特許文献3)しかしながらこのようにガラス相を形成させて焼結を促進させる方法で作成した焼結体は、耐薬品性、特に耐アルカリ性に弱いという欠点があった。また、この方法にはセラミックス粒子のBET比表面積値が5m/g以上のものである必要があり、鋳込み成形やゲルキャスト成形を行うと乾燥割れが発生する場合があるという問題があった。
特許第3692682号公報 特開2005−53716号公報 特開2003−321270号公報
本発明の目的は、大型複雑形状のセラミックス製品を割れがなく容易に製造できるセラミックス焼結体の製造方法を提供することにある。
本発明は、かかる課題を解決するために以下のような手段を採用するものである。すなわち、酸化アルミニウム粉体、溶媒、硬化性樹脂を含む混合物から含溶媒セラミックス成形体を作成し、脱溶媒、脱脂、焼結する酸化アルミニウム焼結体の製造方法において、酸化アルミニウム粉体のBET比表面積が1〜4m/gであり、焼結助剤としてCr、Feのうち少なくとも1種とCoOを添加するセラミックス焼結体の製造方法である。
本発明により、乾燥時の割れがなく容易に焼結体を製造することが出来る。特に大型の複雑形状セラミックスの製造に好適である。
本発明は酸化アルミニウム粉体、溶媒、硬化性樹脂および焼結助剤を含む混合物から含溶媒セラミックス成形体を作成し、次いで脱溶媒、脱脂、焼結すしてセラミックス焼結体を製造する方法において、酸化アルミニウム粉体のBET比表面積が1〜4m/gであり、焼結助剤としてCr、Feのうち少なくとも1種とCoOを含有することが重要である。酸化アルミニウム粉体のBET比表面積はJISR1626(1996)ファインセラミックス粉体の気体吸着BET法による比表面積の測定法により求めることができる。
一般に石膏型等の吸溶媒性の成形型を用いない鋳込み方法はセラミックス粉体、溶媒、硬化性樹脂等を含む混合物を作成し、非吸溶媒性の成形型等に流し込んだ状態で硬化させ含溶媒成形体とする。次に成形型等を取り除き、含溶媒セラミックス成形体から脱溶媒後、脱脂、焼結する工程で成り立っている。しかし、肉厚形状であったり、極端な厚みの違いのあるような複雑形状では含溶媒セラミックスから脱溶媒、つまり乾燥の制御が非常に難しく割れが起こってしまう。この割れを無くすためには酸化アルミニウム粉末のBET比表面積値が1〜4m/gの範囲であることが重要である。4m/gより大きくなると乾燥における割れが発生してしまう。1m/gより小さくなると割れは発生しないが焼結性が悪く、焼結助剤を添加しても効果がない。好ましくは1〜3m/gの範囲であることが望ましい。BET比表面積値が1〜4m/gの範囲の酸化アルミニウムは単体では焼結性が劣るため焼結助剤を添加する必要があり、焼結助剤はCr、Feのうち少なくとも1種とCoOである必要がある。これら焼結助剤は粉体形状で細かな粉体ほど好ましい。粒子径は平均粒子径で10μm以下、好ましくは5μm以下が望ましい。
ここでいう平均粒子径とは粒度分布測定装置等を用いた測定で求められる値をいう。
CoOは結晶粒子の成長を促進させ焼結体密度を高くすることができる。しかし、CoOの添加だけでは結晶粒子の成長を制御するのが難しく巨大粒子ができて曲げ強度等の機械的特性を低下させてしまう。そのため粒子の成長を抑制するCrまたはFeのうち少なくとも1種を添加し、焼結性と機械的特性の両方を満足させる必要がある。Crを添加すると曲げ強度が高くなる傾向が強く、Feを添加すると焼結密度が高くなる傾向が強く両者の添加がより好ましい。
焼結助剤の添加量は酸化アルミニウムおよび焼結助剤の合計量に対してCoO0.05〜1.0重量%、Cr0.1〜1.3重量%、Fe0.01〜1.0重量%であり、添加量の合計が0.5〜1.5重量%であることが好ましい。
CoOの添加量が0.05重量%未満では粒成長促進効果が少なく、1.0重量%を超えると曲げ強度や硬度等の焼結体の機械的特性が低下する可能性がある。好ましくは0.07〜0.3重量%がより望ましい。Crが0.1重量%未満では粒成長抑制効果が少なく、1.3重量%を超えると焼結体の機械的特性が低下する可能性がある。好ましくは0.3〜1.0重量%がより望ましい。Feが0.01重量%未満では粒成長抑制効果が少なく、1.0重量を超えると焼結体の機械的特性が低下する可能性がある。好ましくは0.1〜0.5重量%がより望ましい。
また、焼結助剤の添加量の合計が0.5重量未満では粒成長促進効果及び焼結体の機械的特性が劣る可能性があり、1.5重量%を超えると焼結体の機械的特性が低下する可能性がある。好ましくは0.5〜1.0重量%がより望ましい。
さらに焼結性、焼結体の機械的特性の向上効果から、焼結助剤中の組成比がCoO1重量部に対してCrおよびFeの合計重量部に対し3〜10重量部であることが望ましい。より好ましくは4〜7倍が望ましい。
酸化アルミニウム粉体、焼結助剤、溶媒、硬化性樹脂を混合して混合物を作成する際、鋳込みに適した流動性の高い混合物を作成するために分散剤を添加しても良い。酸化アルミニウムのような酸化物系にはポリカルボン酸系の分散が効果的であるがその限りではない。また混合方法はボールミルのような媒体攪拌ミル、粉砕媒体のない遊星式の攪拌機、攪拌翼のある攪拌機等湿式混合が可能なものであればどのような方法でも良いが、酸化アルミニウム粉体のBET比表面積が大幅に大きくなるような粉砕効果のある方法や条件は好ましくない。
硬化性樹脂は水溶性エポキシ樹脂であることが好ましい。かかる硬化性樹脂としては、例えば、メラミン樹脂、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、アクリル酸樹脂、ウレタン樹脂等を挙げることができる。中でもエポキシ樹脂は成形体の保形性を高めるために、好適に用いられる。環境への影響から溶媒は水系が好ましく、そのため硬化性樹脂も水溶性が好ましく、グリシジルエーテル型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、メチルグリシジルエーテル型エポキシ樹脂、シクロヘキセンオキサイド型エポキシ樹脂が好ましく、中でもグリシジルエーテル型エポキシ樹脂が室温でも円滑に硬化が起こるのでより好ましい。
また、硬化性樹脂の添加量は、酸化アルミニウム及び焼結助剤の合計に対し2〜6重量部が望ましい。添加量が2重量部未満では含溶媒成形体及び乾燥成形体の強度が不十分で割れる場合があり、6重量部を超えると乾燥成形体を焼結体とするための脱脂工程や焼結工程など、硬化樹脂を除去する工程において、割れが発生するという場合があり好ましくない。
また、混合物中の溶媒は乾燥を容易にするために20重量部以下であることが望ましい。
硬化剤は室温において硬化可能なことからアミン系が好ましい。硬化剤を添加する場合、その添加量は硬化性樹脂との組合せにより適宜決めることができる。すなわち硬化性樹脂の官能基当量と硬化剤の活性基当量により、好ましい配合比は異なるが、例えば、硬化性樹脂としてエポキシ樹脂を、硬化剤としてポリアミン系硬化剤を用いる場合には、エポキシ当量に対するアミン系硬化剤の活性水素当量の比が0.8〜1.5程度とすることが硬化性の点から好ましい。
作成した含溶媒成形体を加湿乾燥することにより、割れや反りなどのない良好な成形体を得ることができる。乾燥条件は使用した粉体や成形体の形状によって変わってくるが、室温、相対湿度60〜90%の条件から徐々に相対湿度を下げながら乾燥するのが望ましい。
得られたセラミックス成形体を焼結体にするために脱脂、焼結を行う。脱脂条件はバインダーの種類、量、成形体の形状等により、焼結温度は使用するセラミックス素材及びセラミックス成形体の形状等により適宜決定すると良い。特に大型成形体や肉厚成形体は脱脂による割れが発生しないように600℃程度まで30℃/時間以下の速度で昇温してバインダーを取り除くと良い。焼結条件は1600〜1700℃で2時間〜3時間保持すると良い。
以下実施例について述べる。
実施例の物性の測定、評価は以下のように行った。
(1)BET比表面積値
BET比表面積値の測定はJIS−R1626(1996)「ファインセラミックス粉体の気体吸着BET法による比表面積の測定方法」に則り、BET1点法で行った。
(2)乾燥時の割れ
作製した100mm×70mm、厚さ30mmの含溶媒成形体サンプルを温度30℃、相対湿度60%で24時間加湿乾燥し、割れの有無を確認した。乾燥には恒温恒湿乾燥機を用いた。
(3)焼結体の相対密度
焼結体の焼結密度をアルキメデス法により測定した。焼結密度を理論密度で除した値を百分率で表した値を相対密度とした。ここで、それぞれの理論密度は以下のようにした。
酸化アルミニウム:3.98g/cm
(4)焼結体の曲げ強度
焼結体の曲げ強度はJIS−R1601(1995)「ファインセラミックスの曲げ強さ試験方法」に則り求めた。
実施例1
表1の実施例1に示す粉末処方と、酸化アルミニウム及び焼結助剤の合計量100重量部に対して14重量部の蒸留水、0.35重量部の分散剤、4重量部の硬化性樹脂をボールミルに入れ12時間混合した。
酸化アルミニウム粉末のBET比表面積は3m/gであった。分散剤にはポリカルボン酸塩を、硬化性樹脂には水溶性エポキシ樹脂(グリシジルエーテル型)を用いた。次に、ボールミルから混合物を取り出し、ロータリーエバポレーターで硬化剤を混合し、成形型に流し込み、20℃で24時間放置して硬化させ含水成形体を得た。硬化剤は1−(2−アミノエチル)ピペラジンを使用した。成形型はPP製100mm×70mm、厚さ30mmと、PP製50mm×40mm、厚さ10mmを用いた。
100mm×70mm、厚さ30mmの含水成形体サンプルは温度30℃相対湿度60%で24時間加湿乾燥し、割れの有無を確認した。また、50mm×40mm、厚さ10mmの含水成形体サンプルを温度30℃相対湿度90%から0.6%/時間で相対湿度を下げ、相対湿度50%となった段階で加湿乾燥を終え、その後100℃で24時間熱風乾燥し成形体を得た。さらに電気炉で600℃まで25℃/時間の 昇温速度で昇温後、さらに昇温し1600℃で2時間焼結し焼結体サンプルを得た。得られた焼結体サンプルで密度を測定後、抗折片に加工し曲げ強度を測定した。結果は表1に示すとおり、乾燥割れが無く、また1600℃焼結体の相対密度は99%以上、曲げ強度は400MPa以上であった。
実施例2
表1の実施例2に示す粉末処方と、酸化アルミニウム及び焼結助剤の合計量に対して14重量部の蒸留水、0.35重量部の分散剤、4重量部の硬化性樹脂をボールミルに入れ12時間時間混合した。
酸化アルミニウム粉末のBET比表面積は1.7m/gであった。分散剤にはポリカルボン酸塩を、硬化性樹脂には水溶性エポキシ樹脂(グリシジルエーテル型)を用いた。次に、ボールミルから混合物を取り出し、ロータリーエバポレーターで硬化剤を混合し、成形型に流し込み、20℃で24時間放置して硬化させ含水成形体を得た。硬化剤は1−(2−アミノエチル)ピペラジンを使用した。成形型はPP製100mm×70mm、厚さ30mmと、PP製50mm×40mm、厚さ10mmを用いた。
100mm×70mm、厚さ30mmの含水成形体サンプルは温度30℃相対湿度60%で24時間加湿乾燥し、割れの有無を確認した。また、50mm×40mm、厚さ10mmの含水成形体サンプルを温度30℃相対湿度90%から0.6%/時間で相対湿度を下げ、相対湿度50%となった段階で加湿乾燥を終え、その後100℃で24時間熱風乾燥し成形体を得た。さらに電気炉で600℃まで25℃/時間の 昇温速度で昇温後、さらに昇温し1600℃で2時間焼結し焼結体サンプルを得た。1650℃で2時間焼結したサンプルも作成した。得られた焼結体サンプルで密度を測定後、抗折片に加工し曲げ強度を測定した。結果は表1に示すとおり乾燥割れが無く、1600℃焼結体の曲げ強度は300MPa以下であったが、1650℃焼結体の相対密度は96%以上、曲げ強度は320MPa以上であった。
実施例3
表1の実施例3に示す処方以外は実施例2と同様にして作成、評価した。酸化アルミニウム粉末のBET比表面は1.7m/gであった。結果は表1に示すとおり、乾燥割れがなく、また1650℃焼結体において相対密度97%以上、曲げ強度370MPa以上であった。
実施例4
表1の実施例4に示す処方以外は実施例2と同様にして作成、評価した。酸化アルミニウム粉末のBET比表面は1.7m/gであった。結果は表1に示すとおり、乾燥割れがなく、1600℃焼結体の相対密度は96%以下、曲げ強度は300MPa以下であったが、1650℃焼結体において相対密度96%以上、曲げ強度310MPa以上であった。
実施例5
表1の実施例5に示す処方以外は実施例2と同様にして作成、評価した。酸化アルミニウム粉末のBET比表面は1.7m/gであった。結果は表1に示すとおり乾燥割れがなかった。1650℃焼結体の相対密度97%以上、曲げ強度は若干低く284MPaであった。
実施例6
表1の実施例6に示す処方以外は実施例2と同様にして作成、評価した。酸化アルミニウム粉末のBET比表面は2.2m/gであった。結果は表1に示すとおり乾燥割れがなかった。1650℃焼結体の相対密度96%以上、曲げ強度は若干低く276MPaであった。
実施例7
表1の実施例7に示す処方以外は実施例2と同様にして作成、評価した。酸化アルミニウム粉末のBET比表面は2.2m/gであった。結果は表1に示すとおり乾燥割れがなかった。1650℃焼結体の相対密度97%以上、曲げ強度は若干低く263MPaであった。
実施例8
表1の実施例8に示す処方以外は実施例2と同様にして作成、評価した。酸化アルミニウム粉末のBET比表面は2.2m/gであった。結果は表1に示すとおり乾燥割れがなかった。1650℃焼結体の相対密度97%以上、曲げ強度は340MPa以上であった。
比較例1
表2の比較例1に示す処方以外は実施例1と同様にして作成、評価した。酸化アルミニウム粉末のBET比表面は4.5m/gであった。結果は表2に示すとおり、1600℃の相対密度は98%以上、曲げ強度は330MPa以上と高い値を示したが、乾燥割れが発生した。
比較例2
表2の比較例2に示す処方以外は実施例2と同様にして作成、評価した。酸化アルミニウム粉末のBET比表面は1.7m/gであった。結果は表2に示すとおり、乾燥割れはなかったが、1650℃焼結体において相対密度95%以下、曲げ強度230MPa以下と低い値であった。
比較例3
表2の比較例3に示す処方以外は実施例2と同様にして作成、評価した。酸化アルミニウム粉末のBET比表面は1.7m/gであった。結果は表2に示すとおり、乾燥割れはなかったが、1650℃焼結体の曲げ強度が230MPa以下と低い値であった。
比較例4
表2の比較例4に示す処方以外は実施例2と同様にして作成、評価した。酸化アルミニウム粉末のBET比表面は1.7m/gであった。結果は表2に示すとおり、乾燥割れはなかった、1650℃焼結体の相対密度95%以下、曲げ強度230MPa以下と低い値であった。
比較例5
表2の比較例5に示す処方以外は実施例2と同様にして作成、評価した。酸化アルミニウム粉末のBET比表面は1.7m/gであった。結果は表4に示すとおり、乾燥割れはなかったが焼結体の相対密度は96%以下、曲げ強度が230MPa以下と低い値であった。
比較例6
表2の比較6に示す処方以外は実施例2と同様にして作成、評価した。酸化アルミニウム粉末のBET比表面は0.6m/gであった。結果は表4に示すとおり、乾燥割れはなかったが焼結体の相対密度は95%以下、曲げ強度が230MPa以下と低い値であった。
Figure 2008247672
Figure 2008247672
表1の実施例1〜8に示す通り、本発明の製造方法によると乾燥割れがなく、焼結体の相対密度、曲げ強度の高い焼結体を得ることができる。
本発明による焼結体の製造方法は、複雑形状物、大型複雑形状物等を好適に提供できるため、大型構造用部品などに応用することができるが、その応用範囲がこれらに限られるものではない。

Claims (4)

  1. 酸化アルミニウム粉体、溶媒、硬化性樹脂および焼結助剤を含む混合物から含溶媒セラミックス成形体を作成し、次いで脱溶媒、脱脂、焼結してセラミックス焼結体を製造する方法において、酸化アルミニウム粉体のBET比表面積が1〜4m/gであり、焼結助剤としてCr、Feのうちの少なくともいずれか1種と、CoOを含有することを特徴とするセラミックス焼結体の製造方法。
  2. 酸化アルミニウム粉体および焼結助剤の合計量に対してCoOを0.05〜1.0重量%、Crを0.1〜1.3重量%およびFeを0.01〜1.0重量%添加し、添加量の合計が0.5〜1.5重量%であることを特徴とする請求項1記載のセラミックス焼結体の製造方法。
  3. 焼結助剤中の組成比が、CoO1重量部に対してCrおよびFeの合計重量部が3〜10重量部であることを特徴とする請求項2記載のセラミックス焼結体の製造方法。
  4. 硬化性樹脂が水溶性エポキシ樹脂である請求項1〜3のいずれかに記載のセラミックス焼結体の製造方法。
JP2007091100A 2007-03-30 2007-03-30 セラミックス焼結体の製造方法 Expired - Fee Related JP4735586B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007091100A JP4735586B2 (ja) 2007-03-30 2007-03-30 セラミックス焼結体の製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007091100A JP4735586B2 (ja) 2007-03-30 2007-03-30 セラミックス焼結体の製造方法

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2008247672A true JP2008247672A (ja) 2008-10-16
JP2008247672A5 JP2008247672A5 (ja) 2010-04-02
JP4735586B2 JP4735586B2 (ja) 2011-07-27

Family

ID=39973076

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007091100A Expired - Fee Related JP4735586B2 (ja) 2007-03-30 2007-03-30 セラミックス焼結体の製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4735586B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114560685A (zh) * 2022-03-23 2022-05-31 合肥商德应用材料有限公司 氧化铝陶瓷及其制备方法与应用

Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05238810A (ja) * 1992-02-27 1993-09-17 Onoda Cement Co Ltd 黒色アルミナ焼結体
JPH05254922A (ja) * 1992-03-05 1993-10-05 Nippon Seratetsuku:Kk 着色アルミナ系セラミックス及びその製造方法
JPH06191931A (ja) * 1992-12-22 1994-07-12 Toto Ltd アルミナ焼結体用組成物及びアルミナ焼結体
JPH0812416A (ja) * 1994-06-30 1996-01-16 Kyocera Corp 着色アルミナ質焼結体
JPH08276410A (ja) * 1995-04-07 1996-10-22 Nippon Cement Co Ltd セラミックスの鋳込成形方法
JPH10330167A (ja) * 1997-03-31 1998-12-15 Toray Ind Inc セラミックス・グリーンシート
JPH10330168A (ja) * 1997-03-31 1998-12-15 Toray Ind Inc セラミックス・グリーンシート
JP2001278673A (ja) * 2000-03-30 2001-10-10 Toray Ind Inc 水溶媒系湿式成形用硬化性樹脂
JP2003112964A (ja) * 2001-10-03 2003-04-18 Kyocera Corp 半導体製造装置用部材
JP2004006448A (ja) * 2002-03-27 2004-01-08 Kyocera Corp エキシマレーザ装置
JP2007136912A (ja) * 2005-11-21 2007-06-07 Toray Ind Inc セラミックス成形体の製造方法およびこれを用いたセラミックス焼結体の製造方法

Patent Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05238810A (ja) * 1992-02-27 1993-09-17 Onoda Cement Co Ltd 黒色アルミナ焼結体
JPH05254922A (ja) * 1992-03-05 1993-10-05 Nippon Seratetsuku:Kk 着色アルミナ系セラミックス及びその製造方法
JPH06191931A (ja) * 1992-12-22 1994-07-12 Toto Ltd アルミナ焼結体用組成物及びアルミナ焼結体
JPH0812416A (ja) * 1994-06-30 1996-01-16 Kyocera Corp 着色アルミナ質焼結体
JPH08276410A (ja) * 1995-04-07 1996-10-22 Nippon Cement Co Ltd セラミックスの鋳込成形方法
JPH10330167A (ja) * 1997-03-31 1998-12-15 Toray Ind Inc セラミックス・グリーンシート
JPH10330168A (ja) * 1997-03-31 1998-12-15 Toray Ind Inc セラミックス・グリーンシート
JP2001278673A (ja) * 2000-03-30 2001-10-10 Toray Ind Inc 水溶媒系湿式成形用硬化性樹脂
JP2003112964A (ja) * 2001-10-03 2003-04-18 Kyocera Corp 半導体製造装置用部材
JP2004006448A (ja) * 2002-03-27 2004-01-08 Kyocera Corp エキシマレーザ装置
JP2007136912A (ja) * 2005-11-21 2007-06-07 Toray Ind Inc セラミックス成形体の製造方法およびこれを用いたセラミックス焼結体の製造方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114560685A (zh) * 2022-03-23 2022-05-31 合肥商德应用材料有限公司 氧化铝陶瓷及其制备方法与应用
CN114560685B (zh) * 2022-03-23 2023-03-14 合肥商德应用材料有限公司 氧化铝陶瓷及其制备方法与应用

Also Published As

Publication number Publication date
JP4735586B2 (ja) 2011-07-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5658294B2 (ja) 耐火セラミック複合材およびその製造方法
CN107954704B (zh) 一种瓷绝缘子及其制备方法
JP5566301B2 (ja) 配合物及びそれより製造された高耐水和性を有する耐火物
WO2007086427A1 (ja) 炭素含有炭化ケイ素セラミックスの製造方法
CN114014667A (zh) 复合碳化硅陶瓷粉料及陶瓷分离阀的制备方法
JP4735586B2 (ja) セラミックス焼結体の製造方法
JP2008019144A (ja) ジルコニア含有セラミックス複合材料の製造方法
CN101734920A (zh) 一种氮化钛多孔陶瓷及其制备方法
JP2007261925A (ja) セラミックス成形体の製造方法およびこれを用いたセラミックス焼結体の製造方法
KR102286850B1 (ko) 기계적 물성과 단열성이 우수한 다공성 세라믹 및 이의 제조방법
CN107793138B (zh) 一种氧化铝陶瓷
JP3692682B2 (ja) セラミックス成形体の製造方法
JP5030268B2 (ja) セラミックスの製造方法
KR101325509B1 (ko) 고가소성과 고강도를 나타내는 도자기의 제조방법
CN112341164B (zh) 一种用于玻璃热弯成型的陶瓷模具及其制备方法
JP4946014B2 (ja) セラミックス成形体の製造方法およびこれを用いたセラミックス焼結体の製造方法
JP2011157222A (ja) セラミックス成形体の製造方法
CN104446493B (zh) 两步法无压固相烧结碳化硅陶瓷的方法
CN108358628B (zh) 一种莫来石-氧化锆复合陶瓷及其制备方法
JP2010202472A (ja) セラミックス焼成体及びその製造方法
JP2022063147A (ja) セラミックス成形体の製造方法
JP2010052963A (ja) 窒化珪素結合SiC耐火物の製造方法
JP2008156169A (ja) 炭化ケイ素顆粒、これを用いた炭化ケイ素焼結体の製造方法および炭化ケイ素焼結体
JP6088255B2 (ja) 炭化ケイ素焼結体及びその製造方法
CN110590349B (zh) 低导热高温炉衬材料及其制备方法

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100210

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20100210

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20110311

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20110329

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20110411

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 4735586

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140513

Year of fee payment: 3

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees