JPH06191931A - アルミナ焼結体用組成物及びアルミナ焼結体 - Google Patents
アルミナ焼結体用組成物及びアルミナ焼結体Info
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- JPH06191931A JPH06191931A JP43A JP35712192A JPH06191931A JP H06191931 A JPH06191931 A JP H06191931A JP 43 A JP43 A JP 43A JP 35712192 A JP35712192 A JP 35712192A JP H06191931 A JPH06191931 A JP H06191931A
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- JP
- Japan
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- alumina
- composition
- sintered body
- particles
- alumina sintered
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 低温焼結の可能なアルミナ焼結体用組成物、
及びこれによって得られるアルミナ焼結体を提供する。 【構成】 アルミナ粒子の粒径、粗粒子を構成するα-
アルミナ結晶子の粒径、粗粒子と微粒子との配合比を変
化させて、アルミナ焼結体用組成物を調製し、これにフ
ラックスとしての炭酸マグネシウム、バインダとしての
ＰＶＡを添加し、更に、固形分濃度が７８重量％となる
ように純水を加えて泥漿を作成した。そしてこの泥漿を
鋳型に注入し、生乾燥させた後に脱型し、これを１６０
０℃で焼成した。
及びこれによって得られるアルミナ焼結体を提供する。 【構成】 アルミナ粒子の粒径、粗粒子を構成するα-
アルミナ結晶子の粒径、粗粒子と微粒子との配合比を変
化させて、アルミナ焼結体用組成物を調製し、これにフ
ラックスとしての炭酸マグネシウム、バインダとしての
ＰＶＡを添加し、更に、固形分濃度が７８重量％となる
ように純水を加えて泥漿を作成した。そしてこの泥漿を
鋳型に注入し、生乾燥させた後に脱型し、これを１６０
０℃で焼成した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、比較的低温度で焼成が
可能であり、特にシリコンウェハの鏡面研磨用固定治具
（ラップ・ポリッシュ盤）を形成するに好適なアルミナ
焼結体用組成物、及びこの組成物から形成されるアルミ
ナ焼結体に関する。
可能であり、特にシリコンウェハの鏡面研磨用固定治具
（ラップ・ポリッシュ盤）を形成するに好適なアルミナ
焼結体用組成物、及びこの組成物から形成されるアルミ
ナ焼結体に関する。
【０００２】
【従来の技術】通常、比較的大型のアルミナ焼結体は鋳
込成形によって製造するのが有利である。この製造方法
を説明すると、アルミナ原料に例えば炭酸マグネシウ
ム、炭酸カルシウム等のフラックス及びポリビニルアル
コール等のバインダを添加し、更に水を加えて固形分濃
度を８０重量％程度に調整した泥漿とする。この泥漿を
型に流し込んで成形する（これを固形鋳込成形と称す
る）。次に型内で生乾きになった成形体（wet cake）を
脱型し、形状を整えて焼成する。そして焼成後に研削、
鏡面研磨して前記ラップ・ポリッシュ盤等の焼結体を得
る。
込成形によって製造するのが有利である。この製造方法
を説明すると、アルミナ原料に例えば炭酸マグネシウ
ム、炭酸カルシウム等のフラックス及びポリビニルアル
コール等のバインダを添加し、更に水を加えて固形分濃
度を８０重量％程度に調整した泥漿とする。この泥漿を
型に流し込んで成形する（これを固形鋳込成形と称す
る）。次に型内で生乾きになった成形体（wet cake）を
脱型し、形状を整えて焼成する。そして焼成後に研削、
鏡面研磨して前記ラップ・ポリッシュ盤等の焼結体を得
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述の鋳込成形を効率
良く行うためには、下記数１に示すアドック（Adock）
の式より比表面積を減少するか生充填率を低下する必要
がある。生充填率を低下すると焼成収縮が大きくなり、
大型品ではクラックが発生する確率が高まる。他の手段
として比表面積の小さい比較的粗いアルミナ粒子を、ア
ルミナ微粒子と混合して使用することが考えられる。し
かし、このようなアルミナ粗粒子を焼結させるには１７
１０℃以上の加熱が必要であった。
良く行うためには、下記数１に示すアドック（Adock）
の式より比表面積を減少するか生充填率を低下する必要
がある。生充填率を低下すると焼成収縮が大きくなり、
大型品ではクラックが発生する確率が高まる。他の手段
として比表面積の小さい比較的粗いアルミナ粒子を、ア
ルミナ微粒子と混合して使用することが考えられる。し
かし、このようなアルミナ粗粒子を焼結させるには１７
１０℃以上の加熱が必要であった。
【０００４】
【数１】
【０００５】上記１７１０℃以上の加熱は、焼成コスト
の問題ばかりでなく、焼結しようとする成形品を載置す
る焼成用棚の変形の原因ともなる。即ち、この焼成用棚
も９０％アルミナから構成されるセラミックス製であ
り、上記温度になると大きなクリープ変形を生じやすく
なる。このため、特に重量のある大型の焼結体を製造す
る際に、棚の変形を生じ、その変形に伴って焼結体も大
きく変形し、変形に抗しきれずに割れてしまう現象が多
発した。
の問題ばかりでなく、焼結しようとする成形品を載置す
る焼成用棚の変形の原因ともなる。即ち、この焼成用棚
も９０％アルミナから構成されるセラミックス製であ
り、上記温度になると大きなクリープ変形を生じやすく
なる。このため、特に重量のある大型の焼結体を製造す
る際に、棚の変形を生じ、その変形に伴って焼結体も大
きく変形し、変形に抗しきれずに割れてしまう現象が多
発した。
【０００６】前記焼成温度を低下させる方法として、微
粒子のアルミナのみで焼結体を作製する方法が知られて
いる。具体的には１μm以下のアルミナ微粒子のみを用
いる。アルミナの粒径は小さければ小さいほど焼成温度
を低くすることができる。しかし、このような組成物を
用いて調製した泥漿は、流動性が低いため成形体の充填
性が悪くまた可塑性に乏しいため脱型あるいは乾燥時に
亀裂が入りやすい。更に、焼成時の収縮も大きいため、
亀裂が入りやすくまた寸法精度が悪くなり、このため歩
留りも低下する等の問題点があった。
粒子のアルミナのみで焼結体を作製する方法が知られて
いる。具体的には１μm以下のアルミナ微粒子のみを用
いる。アルミナの粒径は小さければ小さいほど焼成温度
を低くすることができる。しかし、このような組成物を
用いて調製した泥漿は、流動性が低いため成形体の充填
性が悪くまた可塑性に乏しいため脱型あるいは乾燥時に
亀裂が入りやすい。更に、焼成時の収縮も大きいため、
亀裂が入りやすくまた寸法精度が悪くなり、このため歩
留りも低下する等の問題点があった。
【０００７】焼成温度を低下させる別の方法として、Ｆ
e3+、Ｃr3+等の金属イオンを含む酸化物、水酸化物、複
合酸化物、炭酸塩等の添加助剤を多量に加える方法も知
られている。しかし、例えば前記焼結体をラップ・ポリ
ッシュ盤に用いる場合には、製品であるシリコンウェハ
が上記金属イオンによって汚染される心配があった。ま
た、Ｍg2+、Ｃa2+をより多く添加する方法もあるが、鋳
込成形時の流動性が悪化し、成形が困難であった。
e3+、Ｃr3+等の金属イオンを含む酸化物、水酸化物、複
合酸化物、炭酸塩等の添加助剤を多量に加える方法も知
られている。しかし、例えば前記焼結体をラップ・ポリ
ッシュ盤に用いる場合には、製品であるシリコンウェハ
が上記金属イオンによって汚染される心配があった。ま
た、Ｍg2+、Ｃa2+をより多く添加する方法もあるが、鋳
込成形時の流動性が悪化し、成形が困難であった。
【０００８】本発明は、従来の技術が有するこのような
問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とすると
ころは、比較的低い温度で焼成の可能なアルミナ焼結体
用組成物及びこの組成物から形成されたアルミナ焼結体
を提供することにある。
問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とすると
ころは、比較的低い温度で焼成の可能なアルミナ焼結体
用組成物及びこの組成物から形成されたアルミナ焼結体
を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
本発明のアルミナ焼結体用組成物は、平均粒径１．０〜
５．０μmのアルミナ粗粒子２０乃至８０重量％と、粒
径１．２μm以下のアルミナ微粒子８０〜２０重量％と
の混合物であって、前記粗粒子が粒径１．２μm以下の
α-アルミナ結晶子から構成した。また本発明のアルミ
ナ焼結体は、前記本発明の組成物を焼結したものであ
る。
本発明のアルミナ焼結体用組成物は、平均粒径１．０〜
５．０μmのアルミナ粗粒子２０乃至８０重量％と、粒
径１．２μm以下のアルミナ微粒子８０〜２０重量％と
の混合物であって、前記粗粒子が粒径１．２μm以下の
α-アルミナ結晶子から構成した。また本発明のアルミ
ナ焼結体は、前記本発明の組成物を焼結したものであ
る。
【００１０】前記アルミナ粒子は単数又は複数の結晶子
によって構成されているが、粗粒子中には当然大きな結
晶子も存在している。そしてこのような粗粒子は、微粒
子に比較して比表面積が小さく化学的活性が小さいため
高い温度でなければ焼結し難い。本発明者等は、アルミ
ナ粗粒子を使用した場合に１７１０℃以上の焼結温度が
必要となる理由は、この粗粒子が粒径２μm以上の大き
なα-アルミナ結晶子を含有しているためであることを
見出し、粗粒子中のα-アルミナ結晶子の粒径を微細化
することによって本発明を完成させたものである。
によって構成されているが、粗粒子中には当然大きな結
晶子も存在している。そしてこのような粗粒子は、微粒
子に比較して比表面積が小さく化学的活性が小さいため
高い温度でなければ焼結し難い。本発明者等は、アルミ
ナ粗粒子を使用した場合に１７１０℃以上の焼結温度が
必要となる理由は、この粗粒子が粒径２μm以上の大き
なα-アルミナ結晶子を含有しているためであることを
見出し、粗粒子中のα-アルミナ結晶子の粒径を微細化
することによって本発明を完成させたものである。
【００１１】本発明に用いるアルミナ粒子のうち粗粒の
ものは、平均粒径が１．０〜５．０μm、好ましくは２
〜３μmであり、且つこの粗粒子を構成するα-アルミナ
の結晶子径が１．２μm以下、好ましくは０．６〜０．
８μmである。上記平均粒子径が１．０μm未満の場合に
は前記泥漿とした場合比表面積が大きいため成形（着
肉）速度が低下し、成形体の充填性も悪くなり、また
５．０μmを超えた場合は粒子が粗すぎて緻密な焼成体
が得られなくなる。またα-アルミナの結晶子径が１．
２μmを超える場合は、焼成温度を低下することができ
ない。
ものは、平均粒径が１．０〜５．０μm、好ましくは２
〜３μmであり、且つこの粗粒子を構成するα-アルミナ
の結晶子径が１．２μm以下、好ましくは０．６〜０．
８μmである。上記平均粒子径が１．０μm未満の場合に
は前記泥漿とした場合比表面積が大きいため成形（着
肉）速度が低下し、成形体の充填性も悪くなり、また
５．０μmを超えた場合は粒子が粗すぎて緻密な焼成体
が得られなくなる。またα-アルミナの結晶子径が１．
２μmを超える場合は、焼成温度を低下することができ
ない。
【００１２】一方、本発明に用いるアルミナ粒子のうち
微粒のものは、粒径が１．２μm以下、好ましくは１．
０乃至１．２μmである。この粒径が１．２μm以上の場
合には、焼成温度を低下することができずまた微粒子が
少ないため成形体の充填性も悪くなる。なおこのアルミ
ナ微粒子は１．２μm以下であるため、この微粒を構成
するアルミナの結晶子径も必然的に１．２μm以下とな
る。なお、本発明で用いるアルミナは、粗粒子及び微粒
子のどちらもα-アルミナが９９．９重量％以上を占め
るものである。
微粒のものは、粒径が１．２μm以下、好ましくは１．
０乃至１．２μmである。この粒径が１．２μm以上の場
合には、焼成温度を低下することができずまた微粒子が
少ないため成形体の充填性も悪くなる。なおこのアルミ
ナ微粒子は１．２μm以下であるため、この微粒を構成
するアルミナの結晶子径も必然的に１．２μm以下とな
る。なお、本発明で用いるアルミナは、粗粒子及び微粒
子のどちらもα-アルミナが９９．９重量％以上を占め
るものである。
【００１３】上述の、結晶子径１．２μm以下のα-アル
ミナは、ギブサイト（Ａl(ＯＨ)3）、ベーマイト（Ａl
ＯＯＨ）等のアルミナ水和物を８００〜９００℃で加熱
することによって生成することができる。即ち、アルミ
ナ水和物を加熱すると、先ず数１０ｎｍ程度の結晶径の
アルミナ前駆体（γ-アルミナとの説あり）が生成し、
これが７００〜８００℃付近で相転移してα-アルミナ
となる。通常は更に１２００℃程度まで加熱を継続して
結晶を成長させ、粒径数μmの単一結晶からなるα-アル
ミナとするが、本発明に係るα-アルミナはここ迄加熱
せずに途中で止める。このため結晶の成長も途中で停止
し、適度な微小結晶が集合した多結晶アルミナを得るこ
とができる。
ミナは、ギブサイト（Ａl(ＯＨ)3）、ベーマイト（Ａl
ＯＯＨ）等のアルミナ水和物を８００〜９００℃で加熱
することによって生成することができる。即ち、アルミ
ナ水和物を加熱すると、先ず数１０ｎｍ程度の結晶径の
アルミナ前駆体（γ-アルミナとの説あり）が生成し、
これが７００〜８００℃付近で相転移してα-アルミナ
となる。通常は更に１２００℃程度まで加熱を継続して
結晶を成長させ、粒径数μmの単一結晶からなるα-アル
ミナとするが、本発明に係るα-アルミナはここ迄加熱
せずに途中で止める。このため結晶の成長も途中で停止
し、適度な微小結晶が集合した多結晶アルミナを得るこ
とができる。
【００１４】なお、α-アルミナ結晶子径の測定は、粉
末Ｘ線回折により、コランダムの最強ピーク(hkl)＝(11
3)について、deconvolution補正後の積分幅を求め、下
記シェラー（Scherrer）式により算出した（但し、λ：
Ｋα線の波長、β：積分幅、θ：回折角）。 Ｄhkl＝λ／βcosθ
末Ｘ線回折により、コランダムの最強ピーク(hkl)＝(11
3)について、deconvolution補正後の積分幅を求め、下
記シェラー（Scherrer）式により算出した（但し、λ：
Ｋα線の波長、β：積分幅、θ：回折角）。 Ｄhkl＝λ／βcosθ
【００１５】本発明のアルミナ焼結体用組成物は、前記
アルミナ粗粒子を２０〜８０重量％、好ましくは４０〜
７０重量％、前記アルミナ微粒子を８０〜２０重量％、
好ましくは６０〜３０重量％混合して調製する。上記粗
粒子が２０重量％未満の場合若しくは微粒子が８０重量
％を超える場合、または粗粒子が８０重量％を超えるか
若しくは微粒子が２０重量％未満の場合には、粒子の幾
何学的充填が悪くなるというファーネスらの報告（C.C.
Furnas Bur Miner Bull 307,74,1929）があり、成形体
の充填性が悪くなる。
アルミナ粗粒子を２０〜８０重量％、好ましくは４０〜
７０重量％、前記アルミナ微粒子を８０〜２０重量％、
好ましくは６０〜３０重量％混合して調製する。上記粗
粒子が２０重量％未満の場合若しくは微粒子が８０重量
％を超える場合、または粗粒子が８０重量％を超えるか
若しくは微粒子が２０重量％未満の場合には、粒子の幾
何学的充填が悪くなるというファーネスらの報告（C.C.
Furnas Bur Miner Bull 307,74,1929）があり、成形体
の充填性が悪くなる。
【００１６】本発明のアルミナ焼結体用組成物には、前
記アルミナ粒子の他に炭酸マグネシウム、炭酸カルシウ
ム等のフラックス及びポリビニルアルコール等のバイン
ダを適宜添加し、これに水を加えることによって前記泥
漿とすることができる。この泥漿を用いて鋳込成形を行
い、脱型、生乾燥、加工、焼成、焼成後の研削、鏡面研
磨を行うが、これらの工程は焼成温度を低下させる以外
は従来技術と変るところはない。
記アルミナ粒子の他に炭酸マグネシウム、炭酸カルシウ
ム等のフラックス及びポリビニルアルコール等のバイン
ダを適宜添加し、これに水を加えることによって前記泥
漿とすることができる。この泥漿を用いて鋳込成形を行
い、脱型、生乾燥、加工、焼成、焼成後の研削、鏡面研
磨を行うが、これらの工程は焼成温度を低下させる以外
は従来技術と変るところはない。
【００１７】本発明の組成物から形成したラップ・ポリ
ッシュ盤によるウェハの研磨例を図１に示す。ラップ・
ポリッシュ盤１は治具２に取り付けられ、研磨用台板３
上に載置されたウェハ４の上面を回転しながら鏡面研磨
する。ウェハ４の直径は４〜８インチであり、この径に
合わせてラップ・ポリッシュ盤１の直径も変える必要が
ある。なお、研磨用台板３も本発明の焼結体によって形
成することが可能である。
ッシュ盤によるウェハの研磨例を図１に示す。ラップ・
ポリッシュ盤１は治具２に取り付けられ、研磨用台板３
上に載置されたウェハ４の上面を回転しながら鏡面研磨
する。ウェハ４の直径は４〜８インチであり、この径に
合わせてラップ・ポリッシュ盤１の直径も変える必要が
ある。なお、研磨用台板３も本発明の焼結体によって形
成することが可能である。
【００１８】
【作用】微細なα-アルミナ結晶子から構成されるアル
ミナ粗粒子をアルミナ微粒子と混合して用いることによ
り、低温で焼結可能となり、また泥漿とした場合生充填
率を向上させつつ、成形（着肉）速度を生産レベルに保
てる。
ミナ粗粒子をアルミナ微粒子と混合して用いることによ
り、低温で焼結可能となり、また泥漿とした場合生充填
率を向上させつつ、成形（着肉）速度を生産レベルに保
てる。
【００１９】
【実施例】以下に本発明に基づく実施例及び比較例を説
明する。実施例１〜９、比較例１〜５ 下記（表１）に示すように、アルミナ粒子の粒径、粗粒
子を構成するα-アルミナ結晶子の粒径、粗粒子と微粒
子との配合比を変化させて、本発明に基づくアルミナ焼
結体用組成物を調製した。ここにおいて、粗粒子の粒径
は平均粒径であり、α-アルミナ結晶子及び微粒子の粒
径は下記数２に示す粒径の平均値と標準偏差との合計の
Ｄ８６（Ｄは、粒子直径分布を表し、８６は、小さいほ
うから８６％の位置を示す。）である。
明する。実施例１〜９、比較例１〜５ 下記（表１）に示すように、アルミナ粒子の粒径、粗粒
子を構成するα-アルミナ結晶子の粒径、粗粒子と微粒
子との配合比を変化させて、本発明に基づくアルミナ焼
結体用組成物を調製した。ここにおいて、粗粒子の粒径
は平均粒径であり、α-アルミナ結晶子及び微粒子の粒
径は下記数２に示す粒径の平均値と標準偏差との合計の
Ｄ８６（Ｄは、粒子直径分布を表し、８６は、小さいほ
うから８６％の位置を示す。）である。
【００２０】
【表１】
【００２１】
【数２】
【００２２】上記組成物に対して、フラックスとしての
炭酸マグネシウムを０．２５重量％、バインダとしての
ＰＶＡを０．６重量％添加し、更に、固形分濃度が７８
重量％となるように純水を加えて泥漿を作成した。そし
てこの泥漿をφ２００×２０ｍｍの鋳型に注入し、生乾
燥させた後に脱型し、これを１６００℃で焼成した。こ
うして得られたアルミナ焼結体の相対密度及び収縮率を
同じく（表１）に示した。
炭酸マグネシウムを０．２５重量％、バインダとしての
ＰＶＡを０．６重量％添加し、更に、固形分濃度が７８
重量％となるように純水を加えて泥漿を作成した。そし
てこの泥漿をφ２００×２０ｍｍの鋳型に注入し、生乾
燥させた後に脱型し、これを１６００℃で焼成した。こ
うして得られたアルミナ焼結体の相対密度及び収縮率を
同じく（表１）に示した。
【００２３】（表１）から明らかなように、本発明に基
づくアルミナ焼結体用組成物を用いて作製した焼結体は
相対密度（加熱前の成形体密度で加熱後の焼結体密度を
除した値）が高い。このことは泥漿の流動性がよいため
生充填が良好に行われたことを意味している。また、従
来の焼成温度に比較して１１０℃も低い１６００℃の温
度で焼成したにも拘らず、収縮率（加熱前の成形体容積
と加熱後の焼結体容積との差を、加熱前の成形体容積で
除した値）が低い。即ち、本発明に基づくアルミナ焼結
体用組成物を用いて作製した焼結体はラップ・ポリッシ
ュ盤等の用途に好適なものである。
づくアルミナ焼結体用組成物を用いて作製した焼結体は
相対密度（加熱前の成形体密度で加熱後の焼結体密度を
除した値）が高い。このことは泥漿の流動性がよいため
生充填が良好に行われたことを意味している。また、従
来の焼成温度に比較して１１０℃も低い１６００℃の温
度で焼成したにも拘らず、収縮率（加熱前の成形体容積
と加熱後の焼結体容積との差を、加熱前の成形体容積で
除した値）が低い。即ち、本発明に基づくアルミナ焼結
体用組成物を用いて作製した焼結体はラップ・ポリッシ
ュ盤等の用途に好適なものである。
【００２４】
【発明の効果】以上に説明した如く本発明のアルミナ焼
結体用組成物を用いれば、従来の鋳込成形性等を低下さ
せることなく、焼成温度のみを１００℃以上低下させて
本発明のアルミナ焼結体を得ることができる。従って、
焼成温度の低下による焼成用棚板の変形が殆どなくなる
ため、成形されるラップ・ポリッシュ盤等を大型化する
ことが可能となる。また、上記焼成用棚板盤の寿命が長
くなり、同時に、エネルギーの節約にもなる。
結体用組成物を用いれば、従来の鋳込成形性等を低下さ
せることなく、焼成温度のみを１００℃以上低下させて
本発明のアルミナ焼結体を得ることができる。従って、
焼成温度の低下による焼成用棚板の変形が殆どなくなる
ため、成形されるラップ・ポリッシュ盤等を大型化する
ことが可能となる。また、上記焼成用棚板盤の寿命が長
くなり、同時に、エネルギーの節約にもなる。
【図１】本発明に基づくラップ・ポリッシュ盤の使用例
を示す断面図
を示す断面図
１…ラップ・ポリッシュ盤、２…治具、３…研磨用台
板、４…ウェハ。
板、４…ウェハ。
Claims (2)
- 【請求項１】 平均粒径１．０乃至５．０μmのアルミ
ナ粗粒子２０乃至８０重量％と、粒径１．２μm以下の
アルミナ微粒子８０乃至２０重量％との混合物であっ
て、前記粗粒子は粒径１．２μm以下のα-アルミナ結晶
子から構成されていることを特徴とするアルミナ焼結体
用組成物。 - 【請求項２】 請求項１に記載の組成物が焼結されてな
ることを特徴とするアルミナ焼結体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP43A JPH06191931A (ja) | 1992-12-22 | 1992-12-22 | アルミナ焼結体用組成物及びアルミナ焼結体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP43A JPH06191931A (ja) | 1992-12-22 | 1992-12-22 | アルミナ焼結体用組成物及びアルミナ焼結体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06191931A true JPH06191931A (ja) | 1994-07-12 |
Family
ID=18452492
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP43A Withdrawn JPH06191931A (ja) | 1992-12-22 | 1992-12-22 | アルミナ焼結体用組成物及びアルミナ焼結体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06191931A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004188958A (ja) * | 2002-11-26 | 2004-07-08 | Mitsui Mining & Smelting Co Ltd | 緻密質セラミックスシート及びその製造方法 |
| JP2006273634A (ja) * | 2005-03-28 | 2006-10-12 | Matsushita Electric Works Ltd | アルミナ基板及びその回路形成方法 |
| JP2007119334A (ja) * | 2005-09-28 | 2007-05-17 | Kyocera Corp | アルミナ質焼結体及びこれを用いた処理装置用部材と処理装置ならびに試料処理方法 |
| JP2008247672A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Toray Ind Inc | セラミックス焼結体の製造方法 |
-
1992
- 1992-12-22 JP JP43A patent/JPH06191931A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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