JP2008232883A - 半導体検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 プローブカード上に形成されたマイクロストリップラインの一端が同軸針を介して被検査対象半導体の電極に接触し、他端が検査機器に接続される半導体検査装置において、
前記マイクロストリップラインの途中に設けた非レジスト領域にマッチング調整用のスタブの一端を取り付ける。
【選択図】 図1
Description
(1)針先では芯線3aが剥き出しになるためマッチングが狂い、結果としてVSWRの悪化や周波数特性の悪化を生じる要因となっている。
(1)プローブカード上に形成されたマイクロストリップラインの一端が同軸針を介して被検査対象半導体の電極に接触し、他端が検査機器に接続される半導体検査装置において、
前記マイクロストリップラインの途中に設けた非レジスト領域にマッチング調整用のスタブの一端を取り付けたことを特徴とする半導体検査装置。
(1)同軸針の針先にて芯線が剥き出しとなっているために生ずるマッチングの悪化に対するマッチングの調整と最適化が容易にできる。
3 同軸針
100 マイクロストリップライン
100a 非レジスト領域
200 スタブ
300 グランドプレーン
300a 非レジスト領域
400 ビア
Claims (5)
- プローブカード上に形成されたマイクロストリップラインの一端が同軸針を介して被検査対象半導体の電極に接触し、他端が検査機器に接続される半導体検査装置において、
前記マイクロストリップラインの途中に設けた非レジスト領域にマッチング調整用のスタブの一端を取り付けたことを特徴とする半導体検査装置。 - 前記スタブは、前記非レジスト領域の範囲でその取り付け位置の変更によりマッチング調整を実行することを特徴とする請求項1に記載の半導体検査装置。
- 前記スタブは、曲げまたは傾斜取り付けの少なくともいずれかにより、その実効長を変更することを特徴とする請求項1または2に記載の半導体検査装置。
- 前記マイクロストリップラインと所定距離を隔て平行にグランドプレーンを設け、このグランドプレーンに設けた非レジスト領域に前記スタブの他端を接続したことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の半導体検査装置。
- 前記マイクロストリップライン及びこれに接続される環境をモデル化したシミュレーション手段により計算された前記スタブの取り付け指定位置近傍の前記プローブカード上に、シルクマークを表示したことを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の半導体検査装置。
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JP2007074029A JP2008232883A (ja) | 2007-03-22 | 2007-03-22 | 半導体検査装置 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013250145A (ja) * | 2012-05-31 | 2013-12-12 | Tokyo Cathode Laboratory Co Ltd | プローブカード |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS55115101A (en) * | 1979-02-26 | 1980-09-04 | Nissan Motor Co Ltd | Data processor |
JPS5939501A (ja) * | 1982-08-30 | 1984-03-03 | 松下電工株式会社 | 集成化粧材の製造方法 |
JPH06112706A (ja) * | 1992-09-30 | 1994-04-22 | N T T Idou Tsuushinmou Kk | インピーダンス変換回路 |
JPH07326909A (ja) * | 1994-05-31 | 1995-12-12 | Shimada Phys & Chem Ind Co Ltd | マイクロ波整合回路 |
JPH11326367A (ja) * | 1998-05-12 | 1999-11-26 | Mitsubishi Electric Corp | プローブヘッド及びそれを用いた電気特性測定方法 |
JP2000269383A (ja) * | 1999-03-16 | 2000-09-29 | Denso Corp | 高周波回路素子の実装構造および実装方法 |
JP2006069682A (ja) * | 2004-08-31 | 2006-03-16 | Canon Electronics Inc | シート給送装置及び画像読取装置 |
-
2007
- 2007-03-22 JP JP2007074029A patent/JP2008232883A/ja not_active Withdrawn
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS55115101A (en) * | 1979-02-26 | 1980-09-04 | Nissan Motor Co Ltd | Data processor |
JPS5939501A (ja) * | 1982-08-30 | 1984-03-03 | 松下電工株式会社 | 集成化粧材の製造方法 |
JPH06112706A (ja) * | 1992-09-30 | 1994-04-22 | N T T Idou Tsuushinmou Kk | インピーダンス変換回路 |
JPH07326909A (ja) * | 1994-05-31 | 1995-12-12 | Shimada Phys & Chem Ind Co Ltd | マイクロ波整合回路 |
JPH11326367A (ja) * | 1998-05-12 | 1999-11-26 | Mitsubishi Electric Corp | プローブヘッド及びそれを用いた電気特性測定方法 |
JP2000269383A (ja) * | 1999-03-16 | 2000-09-29 | Denso Corp | 高周波回路素子の実装構造および実装方法 |
JP2006069682A (ja) * | 2004-08-31 | 2006-03-16 | Canon Electronics Inc | シート給送装置及び画像読取装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013250145A (ja) * | 2012-05-31 | 2013-12-12 | Tokyo Cathode Laboratory Co Ltd | プローブカード |
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