JP2008232815A - レンズ系の偏心測定装置 - Google Patents

Abstract

【課題】被測定面による反射像を、他の面による反射像と分離して観察可能であり、かつ一定以上の精度で偏心量測定が可能となる測定条件を、短時間で測定前に求める事を可能にする。
【解決手段】被測定レンズ系１００の各被測定面の偏心量を測定する偏心測定装置１は、光源２と、投影像を被測定面に投影する対物レンズ３とを有する投影光学系４と、
被測定面による反射像の位置を検出する検出部５と、反射像を検出部５に結像する結像光学系６と、対物レンズ３と被測定レンズ系１００との間の相対的距離を変化させる距離調整部７と、被測定レンズ系１００の設計パラメータ等を含む光学的パラメータに基づいて決定される第１の被測定面の偏心感度と、第１の被測定面の反射像が集光する位置と、第２の被測定面の反射像が集光する位置との相対的距離とを含む測定支援情報を算出するパソコン８と、測定支援情報を表示する表示部９とを備える。
【選択図】図１

Description

本発明は、被測定レンズ系を構成するレンズの各被測定面の偏心量を測定、算出するレンズ系の偏心測定装置に関する。

デジタルカメラ、内視鏡、携帯機器等に用いられる光学系は、年々小型化される傾向にある。それに伴い前記光学系を構成するレンズの曲率半径も小径化が進んでいる。前記光学系を組み上げた後、各レンズの設置位置が設計値と異なり、傾きや偏りがある（即ち、偏心がある）場合、前記光学系全体の光学性能は劣化してしまう。特に、曲率半径の小さい面の偏心は、光学性能を大きく劣化させるため、曲率半径が小さい面を含む組上がり光学系の偏心量を高精度に測定する事は重要である。

従来のレンズ系の偏心測定装置ではオートコリメーション法が多く用いられているが、特許文献１には、オートコリメーション法において、被測定面の見かけの曲率半径が小さくなると倍率誤差が増加し測定精度が低下してくる現象が記載されている。

被測定面の曲率半径が小さい場合の測定精度向上を目的として、特許文献１には図１０に示すような構成の偏心測定装置５１が開示されている。この偏心測定装置５１は、光源５２からの光束を、投影光学系５３を介して被測定光学系５４の被測定面に投影像として投影させる。そして投影像が被測定面で反射された反射像を、結像光学系５５を介して光検出器５６で取得し、被測定面の偏心量をコンピュータ５７で算出する。

偏心量測定においては、図１０に示す光源５２から発せられた投影像の集光位置Ｏと被測定面による反射像の集光位置Ｉとの間の距離（以下、「像物距離」と称する。）Ｌによって、偏心量の測定感度が変化する。偏心測定装置５１は当該被測定面の測定に最も適した像物距離Ｌを所定の数式を用いて算出してユーザに表示する。ユーザは表示を見ながら偏心測定装置５１を移動させて、対物レンズ５８の面頂から最も対物レンズ５８に近い被測定面の面頂までの距離であるワーキングディスタンス（以下、「ＷＤ」と称する。）を調整する。このようにして像物距離Ｌが所望の値になるように測定環境の調整を行う。
特開２００５−１１４４０４号

しかしながら、上記数式に必要なパラメータは、実際に測定を行わないと得ることができず、測定開始前に像物距離Ｌの最適な値を算出することは困難である。
さらに、像物距離Ｌが最適な値になるようにＷＤを調整した場合でも、偏心量を測定する被測定面による反射像と他の面の反射像とが光検出器５６上で同時に観察されることがある。特に曲率半径が小さい被測定面が多いとこのような現象は多発する。

この場合、他の面の反射像を誤って被測定面による反射像と特定して測定してしまうと、測定結果に大きな誤差を生じ測定精度の低下を招く。従って、実際には、各被測定面の反射像が分離でき、かつ一定以上の精度で偏心量を測定できる像物距離Ｌが理想となる。
しかし、ある値の像物距離Ｌにおいて、各被測定面の反射像が分離できるか否かの情報は、偏心測定装置５１からユーザには提供されないので、測定開始前に最適な像物距離を特定し、その像物距離になるようにＷＤを調整することは困難である。
結果として、測定前に反射像の分離ができ、かつ精度良く測定出来る測定条件を求めるには、多くの時間と経験が必要とされるのが現状であるという問題がある。

本発明は上記事情に鑑みて成されたものであり、被測定面による反射像を、他の面による反射像と分離して観察可能であり、かつ一定以上の精度で偏心量測定が可能となる測定条件を、短時間で測定前に求める事が可能なレンズ系の偏心測定装置を提供する事を目的とする。

本発明は、被測定レンズ系を構成する１枚又は複数の被測定レンズの各被測定面の偏心量を測定するレンズ系の偏心測定装置であって、光源と、前記光源からの光束を投影像として前記被測定面に投影する対物レンズと、を有する投影光学系と、前記投影像が前記被測定面で反射して得られる反射像の位置を検出する検出部と、前記反射像を前記検出部に結像する結像光学系と、前記対物レンズと前記被測定レンズ系との間の相対的距離であるワーキングディスタンスを変化させる距離調整部と、前記被測定レンズ系の設計パラメータ及び前記ワーキングディスタンスに基づいて決定される第１の被測定面の偏心感度と、前記第１の被測定面の前記反射像が集光する第１反射像集光位置と、第２の被測定面の前記反射像が集光する第２反射像集光位置との相対的距離とを含む測定支援情報を算出する演算部と、前記測定支援情報を表示する表示部とを備えたことを特徴とする。

なお、「第１の被測定面」とは、偏心量測定の対象となっている被測定面を指し、「第２の被測定面」とは、被測定レンズ系のそれ以外の被測定面を指す。

本発明のレンズ系の偏心測定装置によれば、測定対象となる第１の被測定面の偏心感度と、第１反射像集光位置と第２反射像集光位置との相対的距離が測定支援情報として表示部に表示される。

前記投影光学系は、前記光源と前記対物レンズとの間に配置されて前記光源によって照明される指標を有し、前記指標の像を前記投影像として投影してもよい。

また、前記投影光学系は、前記第１反射像集光位置と前記第２反射像集光位置との前記相対的距離に基づいて切り換え可能な、複数の前記対物レンズを備えてもよい。

前記演算部は、前記測定支援情報に基づいて、各前記被測定面の反射像集光位置が分離可能であり、かつ前記偏心感度が所定値以上となる前記ワーキングディスタンスの値を含む好適測定条件を算出し、前記表示部に表示してもよい。

本発明のレンズ系の偏心測定装置によれば、被測定レンズ系の各被測定面の反射像が分離可能か否かを、ユーザが測定支援情報に基づいて偏心量測定前に検討することができるので、偏心量測定前に最適な測定環境に偏心測定装置を調整した上で、偏心量測定を行うことができる。

本発明に係る第１の実施形態について、図１から図５を参照して説明する。図１は本実施形態のレンズ系の偏心測定装置（以下、単に「偏心測定装置」と称する。）１を概略的に示した図である。
偏心測定装置１は、被測定レンズ系を構成する１枚又は複数の被測定レンズの各被測定面の偏心量を測定する偏心測定装置である。偏心測定装置１は、光源２と、光源２から発せられた光束を調節レンズ１１を介して投影像として被測定面に投影する対物レンズ３とを有する投影光学系４と、投影像が被測定面で反射して得られる反射像の位置を検出する検出部５と、反射像を検出部５に結像させる結像光学系６と、対物レンズ３と被測定レンズ系との間の相対的距離であるＷＤを変化させる距離調整部７と、後述する測定支援情報を算出するパソコン（演算部）８と、パソコン８に接続されたモニタ等からなる表示部９とを備えて構成されている。

投影光学系４の光源２は、ハロゲンランプ、水銀ランプ、レーザダイオード、発光ダイオード等の公知の光源で構成されている。光源２と対物レンズ３との間にはビームスプリッタ１０が配置され、光源２から射出される投影像が、対物レンズ３まで導かれている。
対物レンズ３は、図１に示す対物レンズの他に、異なる光学的パラメータを有する図示しない複数の対物レンズが、測定条件に応じて切り換え可能に複数設けられている。
光源２とビームスプリッタ１０との間には投影像の集光位置を調節するための調節レンズ１１が、光源２の光軸である第１光軸Ｘ１上を移動可能に配置されている。

結像光学系６は、対物レンズ３及び結像レンズ群１２を有して構成されている。すなわち、対物レンズ３は投影光学系４及び結像光学系６によって共用されている。図１に示すように、結像レンズ群１２は３枚のレンズからなり、対物レンズ３の光軸である第２光軸Ｘ２と同一軸線上に配置されている。

検出部５は、公知の撮像装置等からなり、結像レンズ群１２に隣接して、第２光軸Ｘ２上に設けられている。
パソコン８は検出部５に接続されており、検出部５の検出データに基づいて、後述する各種演算を行う。表示部９にはパソコン８の演算結果や後述する測定支援情報等の各種情報が表示される。

距離調整部７は、モータ等の公知の駆動機構を有しており、偏心測定装置１全体を移動させてＷＤを調整可能に構成されている。なお、本実施形態においては、最も対物レンズ３に近い被測定面と対物レンズ３の面頂間の距離をＷＤと定義する。
図２にブロック図で示すように、調節レンズ１１、結像レンズ群１２、及び距離調整部７は、パソコン８に接続されており、ユーザがパソコン８を介して操作可能に構成されている。

図１に示すように、測定対象である被測定レンズ系１００は、複数のレンズ及び被測定面を有し、対物レンズ３から投影像を投影可能に、第２光軸Ｘ２上に配置される。被測定レンズ系１００は、第２光軸Ｘ２に対して垂直に設けられた回転部１０１に、第２光軸Ｘ２を中心として回転可能に固定されている。
回転部１０１も図２に示すようにパソコン８に接続されており、パソコン８を介してユーザが操作可能に構成されている。

上記の構成を備えた偏心測定装置１の偏心量測定前の動作について、以下に説明する。
まずユーザが、被測定レンズ系１００の各被測定面の曲率半径、各被測定面間の距離、各被測定面の屈折率等の設計パラメータをパソコン８に入力する。屈折率は光源２の波長に対応した値を入力することに注意する。パソコン８はこれらの設計パラメータを元に、各被測定面の見かけの曲率Ｒ等の測定条件を計算する。

次に、パソコン８は使用可能な各対物レンズについて、ユーザがあらかじめ入力した各対物レンズの設計パラメータに基づいて、各対物レンズの面頂から焦点位置までの距離Ｓ０及び開口数の計算を行い、開口数の大きい順に対物レンズを選択して当該偏心量測定における使用の可否を検討する。これは、開口数が大きいほど対物レンズの被写界深度が狭くなり、反射像の分離に有利だからである。

次に、測定対象となる被測定面（第１の被測定面。以下、「対象被測定面」と称する。）の球心位置と選択した対物レンズのＳ０とからパソコン８がＷＤを計算する。ＷＤが０ミリメートル以上となる場合、パソコン８は当該対物レンズを使用可能と判断し、当該対物レンズを初期設定対物レンズとして決定する。対物レンズ側から数えてｉ番目の被測定面（以下、「被測定面ｉ」と称する。）と対物レンズの面頂間の距離であるＷＤ（ＷＤｉ）を算出する式の１例（１）を以下に示す。
ＷＤｉ＝Ｓｉ’＋Ｌ−Ｓ０−ＲＰｉ・・・・・・・・・・・・・・・・・・ （１）

上記の式（１）において、Ｓｉ’は、図３に示すように、被測定面ｉの見かけの面頂から反射像集光位置Ｉまでの距離、Ｓ０は対物レンズ３の面頂位置から投影像集光位置Ｏまでの距離、ＲＰｉは被測定レンズ系の第１被測定面Ｓ１の面頂位置から見かけの被測定面ｉの面頂位置までの距離である。Ｓｉ’は像物距離Ｌ及び被測定面ｉの見かけの面頂位置より算出される。図４は、対物レンズ３側から数えて３番目の被測定面Ｓ３を対象被測定面とする場合のＷＤ３を算出する場合の各パラメータを例として示す図である。

次に、各被測定面毎に曲率半径Ｒの大きさに基づいてＷＤの計算方法を決定し計算を行う。対象被測定面のＲが大きい（例えば２ミリメートル以上）場合、大きな問題がないため、パソコン８は従来のオートコリメーション法におけるＷＤを計算する。この場合、像物距離Ｌは０ミリメートル、Ｓｉ’は図３に示される被測定面ｉの曲率半径ｒｉ、すなわち、被測定面ｉの面頂と曲率中心ｃｉとの間の長さとなる。

対象被測定面のＲが小さい（例えばＲが２ミリメートル未満）場合、パソコン８は対象被測定面についてＷＤを変化させた際の像物距離Ｌ及び偏心感度を計算し、図５に示すようなグラフを作成して、測定支援情報として表示部９に表示する。偏心感度とは、検出部５における単位偏心量あたりの反射像の振れ幅を指す。

図５（ａ）は測定支援情報を示す第１グラフＧ１である。第１グラフＧ１には、０ミリメートルから対物レンズ３の移動可能最大値までの各ＷＤ（横軸）に対応する偏心感度（縦軸）が表示されている。さらに、偏心感度の測定精度確保閾値が破線で示されている。偏心感度の値が測定精度確保閾値以上でないと、被測定面の偏心に伴って観察される反射像の振れ幅が小さくなって測定誤差が大きくなる。この場合、高精度な測定が行えないので、ユーザは第１グラフＧ１を参照しながら、偏心感度が測定精度確保閾値以上であり、かつ対物レンズ３と被測定レンズ系１００とが接触しないＷＤを選択してパソコン８に設定する。

パソコン８は設定されたＷＤに基づいて、被測定レンズ系１００のすべての被測定面の反射像集光位置を計算する。その後、図５（ｂ）に示すような第２グラフＧ２を測定支援情報として表示部９に表示する。
図５（ｂ）の第２グラフＧ２は、第３面を対象被測定面（３Ｐ）としたときの例である。第２グラフＧ２の横軸は、対象被測定面である第３面以外の各被測定面（第２の被測定面）を示し、縦軸は当該各第２の被測定面の反射像（実像）の集光位置（第２反射像集光位置）と対象被測定面の反射像集光位置（第１反射像集光位置）との相対的距離である反射像集光位置差を示している。
破線は、選択されている対物レンズの反射像分離可能間隔であり、当該対物レンズの被写界深度に基づいて決定される。

第１反射像集光位置とすべての第２反射像集光位置とが反射像分離可能間隔以上離れている場合、すなわち、すべての点が破線より上に位置している場合は、各反射像が分離できるので偏心量測定が可能である。

一方、いずれかの第２反射像集光位置と第１反射像集光位置との相対距離が、反射像分離可能間隔未満である場合は、集光位置が近くなり、反射像は互いに分離不能となる。この場合、対象被測定面の反射像を検出部５で観察すると、同時に他の被測定面の反射像が観察される。
従って、どの像が対象被測定面による反射像かの判別が困難となり、測定精度が大幅に低下する危険性がある。この場合は、異なるＷＤを選択して、再度各被測定面の反射像集光位置をパソコンに計算させる。その後、第２グラフＧ２を再度表示させて、各被測定面の反射像が分離可能であるかどうか検討する。

図６（ａ）及び図６（ｂ）はＷＤを変更することによって反射像が分離可能になる例を示す図である。図６（ａ）に示すＷＤａの条件下では、第３面Ｓ３の反射像集光位置Ｉ３と第２面Ｓ２の反射像集光位置Ｉ２との間の距離が反射像分離間隔未満である。この場合、Ｉ２及びＩ３が分離可能間隔内に存在するので、両者の反射像が分離できない。

図６（ｂ）に示すように、ＷＤをＷＤｂに調整すると、投影像の集光位置Ｏが移動することによって反射像集光位置もＩ２ａ及びＩ３ａに変化する。これに伴ってＩ２ａとＩ３ａとの間の距離が反射像分離可能間隔以上となり、反射像の分離が可能となる。

ユーザは、上記操作を繰り返して、測定精度確保閾値以上の偏心感度が確保され、かつすべての被測定面の反射像が分離可能なＷＤを、当該偏心量測定に好適なＷＤ（以下、好適ＷＤと称する。）としてパソコン８に設定する。

好適ＷＤが確定できない場合は、対物レンズ３を開口数が異なる他の対物レンズに変更する。対物レンズ３の開口数が変化すると被写界深度が変化し、さらに前記分離可能間隔も変化するので、再度上記操作を行って好適ＷＤを決定する。

ユーザが好適ＷＤを決定してパソコン８に入力すると、パソコン８は距離調整部７を駆動させて偏心測定装置１を移動させ、入力されたＷＤとなるように調節を行なう。その後、公知の方法で偏心量の測定を行う。

具体的には、光源２をオンにして、投影光学系を介して投影像を被測定レンズ系１００の対象被測定面に投影し、結像光学系６を介して反射像を検出部５に結像させる。回転部１０１を介して被測定レンズ系１００を回転させると、反射像も共に回転する。反射像の各回転角度に対応する位置を測定して回転軌跡を特定し、パソコン８で、回転軌跡測定データを解析する。これによって回転軌跡円の半径及び回転角度０度時の方位を計算して反射像の振れ量を測定する。

図７は、対象被測定面Ｓ３の偏心量を測定しているときの反射像の挙動を示す図である。被測定面Ｓ３にεの偏心（傾き）があった場合、被測定面Ｓ３からの反射像は、第２光軸Ｘ２と垂直な方向にΔだけ離れたＩの位置へ形成される。当該反射像は検出部５の受光面上に結像する際、結像光学系６の倍率により大きさが変化し、ΔＭの振れ量となって測定される。
測定された対象被測定面の振れ量をパソコン８に演算させることによって、各面の偏心量が測定される。上記の操作を繰り返してすべての被測定面を順次対象被測定面として測定し、各被測定面の偏心量測定を行う。

本実施形態の偏心測定装置１によれば、偏心量測定前に、対象被測定面のＷＤごとの偏心感度と、対象被測定面と被測定レンズ系の他の各被測定面の反射像集光位置との相対的距離とを含む測定支援情報がパソコン８によって算出される。測定支援情報は、第１グラフＧ１及び第２グラフＧ２として表示部９に表示されて、ユーザに提供される。
従って、ユーザは、曲率半径が小さい面を含む被測定レンズ系であっても、最も少ない対物レンズの交換回数ですべての被測定面の反射像が分離可能であり、かつ所定の偏心感度が確保される好適ＷＤをあらかじめ設定してから、偏心量測定を開始することができる。

また、測定支援情報を表示する画面に、測定精度確保閾値及び反射像分離可能間隔が表示される。従って、ユーザは測定経験が少なくても、短時間で直感的に好適ＷＤの候補となるＷＤを選択して容易に測定条件を検討することができる。

本実施形態においては、ユーザが適宜ＷＤを選択して好適ＷＤを確定する例を説明したが、これに代えて、パソコン８に演算をさせることによって、好適ＷＤを含む好適測定条件を自動的に決定するように偏心測定装置を構成してもよい。この場合、開口数の大きい対物レンズから検討するように、また、最も対物レンズの交換回数が少ないＷＤを好適ＷＤとして選択して好適測定条件を決定するようにパソコン８の設定を行うのが好ましい。
さらに、投影光学系４の調節レンズ１１の位置を調節して、像物距離Ｌを調節することも並行して行うことによって、好適ＷＤを決定するようにパソコン８を設定しても良い。

次に、本発明の第２実施形態の偏心測定装置２１について図８及び図９を参照しながら説明する。本実施形態の偏心測定装置２１と第１実施形態の偏心測定装置１との異なるところは、光源に指標が設けられている点、及び投影光学系の構成である。
なお、以下の説明においては、上述した第１実施形態と同様の構成要素には同一符号を付すとともに重複する説明を省略する。

図８に示すように、本実施形態の偏心測定装置２１は、投影光学系２２に光源部２３を有している。光源部２３は、第１実施形態と同様の光源２と、光源２と調節レンズ１１との間に配置される指標２４と、光源２から射出される光束を指標２４に集光させる位置に配置される結像レンズ２５とを有して構成されている。

図９は指標２４を示す図である。指標２４は、円形の遮光板上に図９に示すような線状の溝２６が設けられて構成されている。溝２６の部分は光が透過するようになっている。溝２６の設けられた部分の幅及び高さは、例えば１ミリメートルに設定されている。
投影光学系２２の調節レンズ１１は、光源部２３側の焦点位置が指標２４の位置となるように固定配置されている。

上記のように構成された偏心測定装置２１の動作について、以下に説明する。
光源２から射出された光束は、結像レンズ２５によって指標２４の位置に集光する。集光した光束は、二次光源として指標２４の溝２６を透過し、溝２６の形の投影像として投影される。

投影像は調節レンズ１１によって平行光となって対物レンズ３に入射され、上述の第１実施形態と同様の流れで、検出部５に反射像が結像される。
このとき、検出部５で検出される反射像の大きさ及び溝の向きは、各被測定面である程度異なる。反射像の大きさ及び溝の向きは、被測定レンズ系１００の設計データに基づき、あらかじめ計算することができるので、計算値と実際の反射像のパラメータを比較することにより、各被測定面の反射像をある程度まで特定することができる。

本実施形態の偏心測定装置２１によれば、反射像の大きさ及び溝の向きによって、被測定面の反射像が特定しやすくなるので、好適ＷＤをより決定しやすくすることができる。
また、投影光学系２２の調節レンズ１１が固定されるので、移動による倍率誤差の発生を抑制することができる。従って、高精度な測定が可能となる。

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明の技術範囲は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、上記実施形態では、投影光学系が１枚の対物レンズを備えている例を説明したが、これに代えて、複数の対物レンズでズーム光学系を構成し、投影光学系に配置してもよい。このようにすると、対物レンズを交換せずに、開口数を調整することができる。

また、上記実施形態では、被測定レンズ系の各被測定面の反射像の実像について、測定支援情報を算出、表示する例を説明したが、各反射像の虚像に関する情報も含めて測定支援情報を算出、表示するように偏心測定装置を構成してもよい。

さらに上記実施形態では、距離調整部が偏心測定装置を移動させてＷＤを調整する構成を説明したが、これに代えて、距離調整部が回転部及び被測定レンズ系を移動させることによってＷＤを調整するように装置を構成してもよい。

さらに上記実施形態では、複数のレンズで構成される被測定レンズ系の偏心量測定を行う例を説明したが、測定対象はこれに限定されず、例えば１枚の被測定レンズであってもよい。

さらに上記実施形態では、結像光学系２２の結像レンズ群１２を構成する各レンズの相対位置は固定とした例を説明したが、前記各レンズの位置を独立に制御することによって、各レンズの相対位置を制御可能に結像光学系を構成してもよい。

本発明の第１実施形態の偏心測定装置の構成を示す図である。 同実施形態におけるパソコンの各部とのつながりを示すブロック図である。 ワーキングディスタンスを算出する際のパラメータを示す説明図である。 被測定レンズ系の第３面を測定対象とした際のワーキングディスタンスを示す図である。 （ａ）は測定支援情報を含む第１グラフを、（ｂ）は測定支援情報を含む第２グラフをそれぞれ示す図である。 （ａ）は反射像集光位置が分離不能な状態の例を示す図であり、（ｂ）は反射像集光位置が分離可能となった状態の例を示す図である。 被測定レンズ系に偏心がある場合の反射像を示す図である。 本発明の第１実施形態の偏心測定装置の構成を示す図である。 同実施形態の指標を示す図である。 従来の偏心測定装置を示す図である。

符号の説明

１、２１ 偏心測定装置
２ 光源
３ 対物レンズ
４ 投影光学系
５ 検出部
６、２２ 結像光学系
７ 距離調整部
８ パソコン（演算部）
９ 表示部
２４ 指標
１００ 被測定レンズ系

Claims (4)

1. 被測定レンズ系を構成する１枚又は複数の被測定レンズの各被測定面の偏心量を測定する偏心測定装置であって、
   光源と、前記光源からの光束を投影像として前記被測定面に投影する対物レンズと、を有する投影光学系と、
   前記投影像が前記被測定面で反射して得られる反射像の位置を検出する検出部と、
   前記反射像を前記検出部に結像する結像光学系と、
   前記対物レンズと前記被測定レンズ系との間の相対的距離であるワーキングディスタンスを変化させる距離調整部と、
   前記被測定レンズ系の設計パラメータ及び前記ワーキングディスタンスを含む光学的パラメータに基づいて決定される第１の被測定面の偏心感度と、前記第１の被測定面の前記反射像が集光する第１反射像集光位置と、第２の被測定面の前記反射像が集光する第２反射像集光位置との相対的距離とを含む測定支援情報を算出する演算部と、
   前記測定支援情報を表示する表示部と、
   を備えたことを特徴とするレンズ系の偏心測定装置。
2. 前記投影光学系は、前記光源と前記対物レンズとの間に配置され、前記光源によって照明される指標を有し、前記指標の像を前記投影像として投影することを特徴とする請求項１に記載のレンズ系の偏心測定装置。
3. 前記投影光学系は、前記第１反射像集光位置と前記第２反射像集光位置との前記相対的距離に基づいて切り換え可能な、複数の前記対物レンズを備えることを特徴とする請求項１又は２に記載のレンズ系の偏心測定装置。
4. 前記演算部は、前記測定支援情報に基づいて、各前記被測定面の反射像集光位置が分離可能であり、かつ前記偏心感度が所定値以上となる前記ワーキングディスタンスの値を含む好適測定条件を算出し、前記表示部に表示することを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載のレンズ系の偏心測定装置。

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