JP2008232736A - ガスレートセンサの検出部構造 - Google Patents
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Abstract
【課題】本発明は、ホットワイヤをヒータで加熱した予熱状態で用いることにより、出力のアップ、ノイズの低減を達成することを目的とする。
【解決手段】本発明によるガスレートセンサの検出部構造は、シリコン枠形基板(1)の各突出アーム(5)間のセンサ部(200)を、絶縁層(31)上のホットワイヤ(6,7)とヒータ(6A,7A)で形成し、ヒータ(6A,7A)によりホットワイヤ(6,7)を加熱して予熱状態として角速度入力の検出を行う構成である。
【選択図】図1
【解決手段】本発明によるガスレートセンサの検出部構造は、シリコン枠形基板(1)の各突出アーム(5)間のセンサ部(200)を、絶縁層(31)上のホットワイヤ(6,7)とヒータ(6A,7A)で形成し、ヒータ(6A,7A)によりホットワイヤ(6,7)を加熱して予熱状態として角速度入力の検出を行う構成である。
【選択図】図1
Description
本発明は、ガスレートセンサの検出部構造に関し、特に、ホットワイヤの近傍にヒータを設け、このヒータでホットワイヤを予熱することにより、出力のアップ、ノイズの低減等を達成するための新規な改良に関する。
従来、用いられていたこの種のガスレートセンサの検出部構造としては、例えば、特許文献1及び非特許文献1等に開示された構造を挙げることができる。
すなわち、図6で示される構成は、従来の1軸型の検出部構造であり、基板1上に4個のピン状の電極2〜4が各々独立して植設され、一対の電極2,3間、及び、一対の電極4,5間には、当業者間ではホットワイヤと呼称されるワイヤ6,7が張設され、溶接等での一体接続された検出部10である。
すなわち、図6で示される構成は、従来の1軸型の検出部構造であり、基板1上に4個のピン状の電極2〜4が各々独立して植設され、一対の電極2,3間、及び、一対の電極4,5間には、当業者間ではホットワイヤと呼称されるワイヤ6,7が張設され、溶接等での一体接続された検出部10である。
前述の検出部10の構成において、各ワイヤ6,7に電流が流された状態下で、図示しないガス供給孔から供給されたガスがガス流8として供給され、外部から角速度が付加された場合には、コリオリの力によりこのガス流8が偏向すると、何れかのワイヤ6,7に温度差ができる。
この温度差の状態を、各ワイヤ6,7が二辺に組込まれた図示しないブリッジ回路によって検出され、抵抗差として角速度の検出が行われる。
図7は、図6の1軸型を2軸型に変更した従来構成である。
図8は、前述の検出部10を用いたガスレートセンサ20を示している。
この温度差の状態を、各ワイヤ6,7が二辺に組込まれた図示しないブリッジ回路によって検出され、抵抗差として角速度の検出が行われる。
図7は、図6の1軸型を2軸型に変更した従来構成である。
図8は、前述の検出部10を用いたガスレートセンサ20を示している。
また、2004年札幌で開催された「プロシーディング・オブ・アジアパシフィック・コンフォレンス・オブ・トランスデューサーズ・アンド・マイクロナノ・テクノロジー」の「デザイン・アンド・ファブリケーション・オブ・セミコンダクター・ガス・ジャイロスコープ」のvoL.3−1,pp.257−262で発表されたSOIウェハ(シリコン・オン・インシュレータウェハ)を用い各種エッチング処理(マイクロマシニング加工)によって形成したガスレートセンサの検出部構造を以下に示す。
図9において符号21で示されるものは、周知のSOIウェハ(シリコン・オン・インシュレータウェハ)であり、このSOIウェハ21には、多数の区画が形成され、各区画毎に図10で示される検出部10が形成されている。
図9において符号21で示されるものは、周知のSOIウェハ(シリコン・オン・インシュレータウェハ)であり、このSOIウェハ21には、多数の区画が形成され、各区画毎に図10で示される検出部10が形成されている。
前記検出部10は、SOIウェハ21をICを製造する工程と同様に、各種エッチング処理(周知のマイクロマシニング加工(MEMS))によって形成され、図10及び図11で示されるように構成されている。
すなわち、図11の断面図において、前記検出部10は、シリコンからなり、開口1Aを有するシリコン枠形基板1と、この支持基板1上の絶縁酸化膜(BOX)からなる絶縁層31と、この絶縁層31上の導電性の活性層32と、この活性層32上に形成されアルミニウムからなる導電性パターン33とからなり、この活性層32には、図10の平面図にも示されるように4個のホットワイヤとしてのワイヤ6,7が形成されている。
前記絶縁層31及び支持基板1は、平面的にみると、図10で示されるように、エッチング処理によって開口1Aが形成(図10の白抜きの部分に相当)されると共に、4本の突出アーム2,3,4,5が内方へ突出した状態で形成され、この各突出アーム2,3,4,5は、支持基板1、絶縁層31、活性層32及び導電性パターン33の多層構造から構成されている。
従って、各突出アーム2,3,4,5間には前記活性層32からなるワイヤ6,7が形成されており、各ワイヤ6,7が四角形に配設されることにより、2軸方向の角速度入力を検出することができるように構成されている。
また、前記各ワイヤ6,7に一体に接続した状態で形成された導電性パターン33は、前記活性層32と共に2層状に形成されている。
また、前記各ワイヤ6,7に一体に接続した状態で形成された導電性パターン33は、前記活性層32と共に2層状に形成されている。
前述の検出部10は、図8で示される周知のガスレートセンサ20の内部に装着され、ガス噴出孔26からのガス流8が各ワイヤ6,7に供給されるように構成されている。
尚、図7の2軸検出型に対して2本のワイヤ6又は7のみとすることにより、1軸検出型とすることもできる。
尚、図7の2軸検出型に対して2本のワイヤ6又は7のみとすることにより、1軸検出型とすることもできる。
従来のガスレートセンサの検出部構造は、以上のように構成されていたため、次のような課題が存在していた。
すなわち、図6から図8の従来構成の場合、電極間にワイヤを張設する場合、電気抵抗溶接で固定しているが、この固定時に、ワイヤが極細であるため、ワイヤにダメージが加わりやすく、これは、溶接固定する際に発生する力(応力)、熱によるものである。
このワイヤへのダメージの程度が大きくなると、断線等が発生し、歩留まりの低下、信頼性の低下になっていた。
また、図9から図11の従来構成の場合、前述の図6から図8の従来構成の場合のようにワイヤを張設する必要はないが、各ワイヤの両端が前記各突出アームに固定されているため、温度変化等でガスレートセンサのケース等からシリコンウェハ又はSOIウェハに圧力が印加された場合、各突出アームを介してワイヤに引張応力、圧縮が発生し、検出誤差等の原因となっていた。
すなわち、図6から図8の従来構成の場合、電極間にワイヤを張設する場合、電気抵抗溶接で固定しているが、この固定時に、ワイヤが極細であるため、ワイヤにダメージが加わりやすく、これは、溶接固定する際に発生する力(応力)、熱によるものである。
このワイヤへのダメージの程度が大きくなると、断線等が発生し、歩留まりの低下、信頼性の低下になっていた。
また、図9から図11の従来構成の場合、前述の図6から図8の従来構成の場合のようにワイヤを張設する必要はないが、各ワイヤの両端が前記各突出アームに固定されているため、温度変化等でガスレートセンサのケース等からシリコンウェハ又はSOIウェハに圧力が印加された場合、各突出アームを介してワイヤに引張応力、圧縮が発生し、検出誤差等の原因となっていた。
本発明によるガスレートセンサの検出部構造は、全体形状が枠状をなしシリコンウェハ又はシリコン・オン・インシュレータ(SOI)ウェハを加工してなるシリコン枠形基板と、前記シリコン枠形基板の内面に内方へ向けて突出する複数の突出アームと、前記シリコン枠形基板の上面に形成された絶縁層と、前記各突出アーム上の前記絶縁層上に互いに並設された細長状のホットワイヤ 及びヒータと、前記各突出アームのアーム先端部間に形成され前記ホットワイヤとヒータと絶縁層のみからなるセンサ部と、前記絶縁層上に形成され前記ホットワイヤに接続されたホットワイヤ用パッド電極と、前記絶縁層上に形成され前記ヒータに接続されたヒータ用パッド電極とを備え、前記センサ部における前記ホットワイヤ及びヒータは、中央又は側部に前記ホットワイヤが位置し、前記ホットワイヤと各ヒータとの間には細長状の隙間が形成されている構成であり、また、前記センサ部の両端は前記突出アーム側に支持されている構成であり、また、前記センサ部の中央部のみは前記突出アームに支持され、その両端は自由端である構成であり、また、前記ホットワイヤ とヒータは、合計で3本よりなり、前記ホットワイヤが中央に位置し、前記ホットワイヤの両側に前記各ヒータが配設されている構成であり、また、前記ホットワイヤ とヒータは、合計で3本よりなり、前記ヒータが中央に位置し、前記ヒータの両側に前記ヒータとホットワイヤが配設されている構成であり、また、前記ホットワイヤ とヒータは、前記シリコンウェハの場合には半導体又はシリコン層からなる構成であり、また、前記ホットワイヤ とヒータは、前記SOIウェハの場合には、前記SOIウェハの活性層からなる構成である。
本発明によるガスレートセンサの検出部構造は、以上のように構成されているため、次のような効果を得ることができる。
すなわち、各突出アーム間に設けられるホットワイヤには、その近傍にヒータが設けられ、このヒータの加熱によってホットワイヤが予熱状態であるため、ホットワイヤの温度が安定し、ホットワイヤへの印加電圧の低下によるホットワイヤ中の熱応力の低下時の特性の向上を得ることができる。
また、ノイズの減少(S/N比の向上)、検出信号の出力向上を得ることができる。
すなわち、各突出アーム間に設けられるホットワイヤには、その近傍にヒータが設けられ、このヒータの加熱によってホットワイヤが予熱状態であるため、ホットワイヤの温度が安定し、ホットワイヤへの印加電圧の低下によるホットワイヤ中の熱応力の低下時の特性の向上を得ることができる。
また、ノイズの減少(S/N比の向上)、検出信号の出力向上を得ることができる。
本発明は、ホットワイヤの近傍にヒータを設け、このヒータでホットワイヤを予熱することにより、出力のアップ、ノイズの低減等を達成するようにしたガスレートセンサの検出部構造を提供することを目的とする。
以下、図面と共に本発明によるガスレートセンサの検出部構造の好適な実施の形態について説明する。
尚、従来例と同一又は同等部分には同一符号を付して説明する。
図1において符号1で示されるものは、全体形状が枠状をなし周知のシリコンウェハ又はシリコン・オン・インシュレータ(SOI)ウェハ21を周知のマイクロマシニング加工(MEMS)によって形成されたシリコン枠形基板であり、このシリコン枠形基板1の中央位置にはほぼ円形の開口1Aが形成されている。
尚、従来例と同一又は同等部分には同一符号を付して説明する。
図1において符号1で示されるものは、全体形状が枠状をなし周知のシリコンウェハ又はシリコン・オン・インシュレータ(SOI)ウェハ21を周知のマイクロマシニング加工(MEMS)によって形成されたシリコン枠形基板であり、このシリコン枠形基板1の中央位置にはほぼ円形の開口1Aが形成されている。
前記シリコン枠形基板1は、ここでは、図2に示すように、前述のSOIウェハ21を用いて形成した場合について述べる。
前記シリコン枠形基板1の前記開口1A内には、このシリコン枠形基板1から一体に内方へ突出して4本の突出アーム2,3,4,5が90度間隔で形成されている。
前記シリコン枠形基板1の前記開口1A内には、このシリコン枠形基板1から一体に内方へ突出して4本の突出アーム2,3,4,5が90度間隔で形成されている。
前記各突出アーム2,3,4,5の表面には、図2で示されるように絶縁層31を介して細長状のパターンで活性層32からなるホットワイヤ6,7及びヒータ6A,7Aが形成されている。
前記シリコン枠形基板1上には、ホットワイヤ用パッド電極100及びヒータ用パッド電極101が形成されており、前記各ホットワイヤ6,7はホットワイヤ用パッド電極100に接続され、前記各ヒータ6A,7Aはヒータ用パッド電極101に接続されている。
前記シリコン枠形基板1上には、ホットワイヤ用パッド電極100及びヒータ用パッド電極101が形成されており、前記各ホットワイヤ6,7はホットワイヤ用パッド電極100に接続され、前記各ヒータ6A,7Aはヒータ用パッド電極101に接続されている。
前記各ホットワイヤ6,7は4個で周知のようにブリッジ回路(図示せず)を構成し、各ホットワイヤ用パッド電極100を介して電源が供給されて加熱されると共に、各ホットワイヤ6,7の抵抗が検出できるように構成され、図1では2軸方向の角速度入力が検出できる構成である。
また、前記各ヒータ6A,7Aは、前記各ヒータ用パッド電極101を介して電源が供給され、各ヒータ6A,7Aの加熱が行われるように構成されている。
前記突出アーム5の各アーム先端部5a間に延長して形成された絶縁層31、ホットワイヤ6,7、ヒータ6A,7Aのみからなるセンサ部200は、拡大して示すと図3で示されるように構成されている。
すなわち、前記センサ部200は、中央に1本のホットワイヤ6又は7が形成され、このホットワイヤ6又は7の両側に一対のヒータ6A,7Aが並設して形成され、ホットワイヤ6又は7とヒータ6A,7Aとの間には、約数ミクロンの隙間201が形成され、互いに電気的に独立した状態で配設されている。
すなわち、前記センサ部200は、中央に1本のホットワイヤ6又は7が形成され、このホットワイヤ6又は7の両側に一対のヒータ6A,7Aが並設して形成され、ホットワイヤ6又は7とヒータ6A,7Aとの間には、約数ミクロンの隙間201が形成され、互いに電気的に独立した状態で配設されている。
尚、前述の構成では、1本のホットワイヤ6又は7の両側に一対のヒータ6A,7Aを形成した場合について説明したが、中央にヒータ6Aが位置し、その両側にヒータ7Aとホットワイヤ6又は7が位置するように配設することもできる。尚、前述のホットワイヤ6,7とヒータ6A,7Aは、シリコン枠形基板1がシリコンウェハの場合は、半導体またはシリコン層で形成される。
前述の構成において、図1の検出部10を図8で示されるガスレートセンサ20の所定位置に配設し、各ヒータ6A,7Aを加熱することにより、ホットワイヤ6,7の加熱による予熱が行われ、この状態で、ガス噴出孔26からのガス流8が各ホットワイヤ6,7に供給される。
前述の状態で、外部から角速度の入力が発生すると、各ホットワイヤ6,7のうち、何れか一方側にガス流8が多く当たることになり、各ホットワイヤ6,7の何れかの抵抗が大きく変化し、前述の図示しないブリッジ回路によって入力した角速度の方向と大きさが検出される。
従って、前述のようにヒータ6A,7Aの加熱によってホットワイヤ6,7が予熱状態であるため、ホットワイヤ6,7の温度が安定し、ホットワイヤ6,7への印加電圧の低下によりホットワイヤ6,7中の熱応力が低下し、特性の向上を得ることができる。
また、各ホットワイヤ6,7の温度が安定しているため、検出信号のノズルの減少(S/N比の向上)及び検出信号の出力向上を得ることができる。
また、各ホットワイヤ6,7の温度が安定しているため、検出信号のノズルの減少(S/N比の向上)及び検出信号の出力向上を得ることができる。
また、図4は図1〜図3の他の形態を示すもので、図1と同一部分には同一符号を付し、その説明は省略し、図1と異なる部分についてのみ説明する。すなわち、全体が弧状に曲折した前記センサ部200の中央部のみが前記各突出アーム5に設けられ、その両端200a、200bは支持されることなく自由端で構成されている。従って、各センサ部200は両端が支持されている構成と比べると、外部からの機械的影響による検出特性の悪影響を受けにくく、安定した検出特性を得ることができる。また、図5は図4のセンサ部200を拡大して示すもので、ホットワイヤ6(7)の内側にヒータ6A(7A)が形成され、突出アーム5と一体に形成されている。尚、前記ホットワイヤ6(7)とヒータ6A(7A)とは、図5において逆となるように、ホットワイヤ6(7)をヒータとし、ヒータ6A(7A)をホットワイヤとすることができる。
1 シリコン枠形基板
1A 開口
21 SOIウェア
5 突出アーム
6,7 ホットワイヤ
6A,7A ヒータ
10 検出部
31 絶縁層
32 活性層
100 ホットワイヤ用パッド電極
101 ヒータ用パッド電極
200 センサ部
201 隙間
1A 開口
21 SOIウェア
5 突出アーム
6,7 ホットワイヤ
6A,7A ヒータ
10 検出部
31 絶縁層
32 活性層
100 ホットワイヤ用パッド電極
101 ヒータ用パッド電極
200 センサ部
201 隙間
Claims (7)
- 全体形状が枠状をなしシリコンウェハ又はシリコン・オン・インシュレータ(SOI)ウェハ(21)を加工してなるシリコン枠形基板(1)と、前記シリコン枠形基板(1)の内面に内方へ向けて突出する複数の突出アーム(5)と、前記シリコン枠形基板(1)の上面に形成された絶縁層(31)と、前記各突出アーム(5)上の前記絶縁層(31)上に互いに並設された細長状のホットワイヤ (6,7)及びヒータ(6A,7A)と、前記各突出アーム(5)のアーム先端部(5a)間に形成され前記ホットワイヤ(6,7)とヒータ(6A,7A)と絶縁層(31)のみからなるセンサ部(200)と、前記絶縁層(31)上に形成され前記ホットワイヤ(6,7)に接続されたホットワイヤ用パッド電極(100)と、前記絶縁層(31)上に形成され前記ヒータ(6A,7A)に接続されたヒータ用パッド電極(101)とを備え、
前記センサ部(200)における前記ホットワイヤ(6,7)及びヒータ(6A,7A)は、中央又は側部に前記ホットワイヤ(6,7)が位置し、前記ホットワイヤ(6,7)と各ヒータ(6A,7A)との間には細長状の隙間(201)が形成されていることを特徴とするガスレートセンサの検出部構造。 - 前記センサ部(200)の両端は前記突出アーム(5)側に支持されていることを特徴とする請求項1記載のガスレートセンサの検出部構造。
- 前記センサ部(200)の中央部のみは前記突出アーム(5)に支持され、その両端は自由端であることを特徴とする請求項1記載のガスレートセンサの検出部構造。
- 前記ホットワイヤ (6,7)とヒータ(6A,7A)は、合計で3本よりなり、前記ホットワイヤ(6,7)が中央に位置し、前記ホットワイヤ(6,7)の両側に前記各ヒータ(6A,7A)が配設されていることを特徴とする請求項1ないし3の何れかに記載のガスレートセンサの検出部構造。
- 前記ホットワイヤ (6,7)とヒータ(6A,7A)は、合計で3本よりなり、前記ヒータ(6A,7A)が中央に位置し、前記ヒータ(6A,7A)の両側に前記ヒータ(6A,7A)とホットワイヤ(6,7)が配設されていることを特徴とする請求項1ないし3の何れかに記載のガスレートセンサの検出部構造。
- 前記ホットワイヤ (6,7)とヒータ(6A,7A)は、前記シリコンウェハの場合には半導体又はシリコン層からなることを特徴とする請求項1ないし5の何れかに記載のガスレートセンサの検出部構造。
- 前記ホットワイヤ (6,7)とヒータ(6A,7A)は、前記SOIウェハ(21)の場合には、前記SOIウェハ(21)の活性層(32)からなることを特徴とする請求項1ないし5の何れかに記載のガスレートセンサの検出部構造。
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