JP2008232455A - 希釈冷凍機 - Google Patents
希釈冷凍機 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008232455A JP2008232455A JP2007068454A JP2007068454A JP2008232455A JP 2008232455 A JP2008232455 A JP 2008232455A JP 2007068454 A JP2007068454 A JP 2007068454A JP 2007068454 A JP2007068454 A JP 2007068454A JP 2008232455 A JP2008232455 A JP 2008232455A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cryostat
- refrigerator
- gas
- heat exchanger
- tube
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
【解決手段】 クライオスタット外に配置した3Heガスの循環ポンプと、寒冷発生部をクライオスタット内に位置させた予冷冷凍機と、クライオスタット内に3Heガスの流入側から流入する3Heを液化する1Kステージ、JT熱交換器、分留室、低温出力部となる3Heの4Heとの混合室とを順に位置させてなる希釈冷凍機である。クライオスタット外に配置した循環ポンプとクライオスタット内に配置した混合室とを3Heのメイン送給路で連通接続するとともに、このメイン送給路に配置したJT熱交換器をバイパスする状態でメイン送給路と並列にバイパス路を形成し、このバイパス路に流路開閉弁を配置し、この流路開閉弁の開閉作動でバイパス路への3He流通を制御する。
【選択図】 図1
Description
そこで、機械式冷凍機が出力する寒冷を利用して予冷するようにした希釈冷凍機として、例えば特許文献1や特許文献2に開示されたものが提案されている。
特許文献1に開示されている希釈冷凍機は、真空ポンプによってクライオスタットに送り込まれた3Heを1K溜室に貯留されている液体ヘリウムを用いて数K程度に初期冷却する代わりに1Kステージに機械式冷凍機の寒冷出力部を熱的に接続し、クライオスタットに返送された3Heをこの機械式冷凍機で発生した寒冷を利用して冷却し、この冷却された3HeをJT膨張前予冷用熱交換器、JT膨張器、分留器、往復熱交換器を介して混合室に供給するようにした構成になっている。
さらに、これらの各プロセスで各部の温度が時間と共に変化していき、それに伴って各部の流路抵抗および各部の圧力が時間と共に変化するため、各プロセスごとに開閉の順序や時間差など複雑で細かいバルブの開閉操作を行わなければならないことから、従来の希釈冷凍機では、一定の経験を有する熟練者が張り付いて操作を行わなければならないという問題がある。
また、上述の事情から自動運転化が困難で、希釈冷凍機の普及を妨げている。
しかし、より低温を必要としない用途では、第2JT路を設けずに、構造を簡単にすることも可能である。
タンクを真空ポンプの吐出側に接続することにより、予冷プロセス(A)と液化プロセス(B)と循環プロセス(C)で、従来必要となっていた複雑なバルブ開閉操作が不要となる。
タンクの圧力が、充填圧力から定常運転時に必要なガス量に相当する圧力を差し引いた設定圧力になったことをタンク圧力計で検出し、タンクの入り口弁を閉じるようにプログラムすることにより、従来必要としていた予冷プロセス(A)での3Heと4Heとの混合ガスの供給量の制御を、予冷バイパス路に配置した流路開閉弁だけの開閉操作で行うことができるようになり、液化プロセス(B)での3Heと4Heとの混合ガスの供給量の制御はタンクの入り口弁を閉じるだけの操作で行うことができるようになるので、操作性のよい希釈冷凍機を提供することができるうえ、自動運転を行うことが可能となる。
この希釈冷凍機は、クライオスタット(1)とこのクライオスタット(1)を制御する制御部(2)とで構成してある。
クライスタット(1)には、3Heの4Heとの混合室(3)、分溜室(4)、1Kステージ(5)が収容配置されるとともに、二段式パルス管冷凍機(6)がその低温出力部をクライオスタット(1)内に位置させた状態でクライオスタット(1)の構造体に防振手段(29)を介して配置してある。
この実施形態では、クライオスタット(1)において、二段式パルス管冷凍機(6)の2つの低温出力部(20)・(21)と、1Kステージ(5)との間に形成した第2JT膨張器(31)を配置した第2JT路(32)を省略したものであり、他の構成し、前記第1の実施形態と同様に構成してある。
クライオスタット(1)内の混合室(3)の部分に測定試料等をセットして、クライオスタット(1)を密閉するとともに、クライオスタット(1)内を図示を省略した真空装置を作動させて減圧状態にする。ついで、制御部(2)の真空ポンプ(10)及びダイヤフラムポンプ(15)を作動させるとともに、二段式パルス管冷凍機(6)を作動する。
Claims (6)
- クライオスタット外に配置した3Heガスの循環ポンプと、クライオスタット内に寒冷発生部を位置させた予冷冷凍機と、流入する3Heガスを冷却する1Kステージ、JT膨張器、分溜室、チューブインチューブ熱交換器、平型熱交換器、低温出力部となる混合室とを3Heガスの流入側から順にクライオスタット内に配置させてなる希釈冷凍機において、
クライオスタット外に配置した循環ポンプとクライオスタット内に配置した混合室とを3Heのメイン送給路で連通接続するとともに、このメイン送給路に配置した1Kステージ、JT膨張器、分溜室、チューブインチューブ熱交換器をバイパスする状態でメイン送給路と並列にバイパス路を形成し、このバイパス路に流路開閉弁を配置し、この流路開閉弁の開閉作動でバイパス路への3He流通を制御するように構成したことを特徴とする希釈冷凍機。 - クライオスタット外に配置した3Heガスの循環ポンプと、クライオスタット内に寒冷発生部を位置させた予冷冷凍機と、流入する3Heガスを冷却する1Kステージ、JT膨張器、分溜室、チューブインチューブ熱交換器、平型熱交換器、低温出力部となる混合室とを3Heガスの流入側から順にクライオスタット内に配置させてなる希釈冷凍機において、
予冷冷凍機と熱交換した後のメイン送給路から第2JT路を分岐し、この第2JT路を第2のJT膨張器、1Kステージを経て、排出路へ連通接続するように構成したことを特徴とする希釈冷凍機。 - クライオスタット外に配置した3Heガスの循環ポンプと、クライオスタット内に寒冷発生部を位置させた予冷冷凍機と、流入する3Heガスを冷却する1Kステージ、JT膨張器、分溜室、チューブインチューブ熱交換器、平型熱交換器、低温出力部となる混合室とを3Heガスの流入側から順にクライオスタット内に配置させてなる希釈冷凍機において、
3Heガスの循環回路のバルブに制御弁を用い、圧力計・真空計・温度計の信号を受け、コントロールユニットにより自動運転を可能としたことを特徴とする請求項1または2に記載の希釈冷凍機。 - 予冷冷凍機が機械式冷凍機である請求項1〜3のいずれか1項に記載の希釈冷凍機。
- 予冷冷凍機がパルス管冷凍機である請求項1〜3のいずれか1項に記載の希釈冷凍機。
- 予冷冷凍機をクライオスタットの構造体に防振支持させている請求項4または5に記載の希釈冷凍機。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007068454A JP5028117B2 (ja) | 2007-03-16 | 2007-03-16 | 希釈冷凍機 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007068454A JP5028117B2 (ja) | 2007-03-16 | 2007-03-16 | 希釈冷凍機 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008232455A true JP2008232455A (ja) | 2008-10-02 |
JP5028117B2 JP5028117B2 (ja) | 2012-09-19 |
Family
ID=39905470
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007068454A Active JP5028117B2 (ja) | 2007-03-16 | 2007-03-16 | 希釈冷凍機 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5028117B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019095087A (ja) * | 2017-11-20 | 2019-06-20 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | 熱交換器、その製造方法、および冷却装置 |
JP2019100601A (ja) * | 2017-11-30 | 2019-06-24 | 大陽日酸株式会社 | 希釈冷凍機 |
CN114484928A (zh) * | 2020-10-27 | 2022-05-13 | 中国科学院理化技术研究所 | 一种小型稀释制冷机 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01139981A (ja) * | 1987-11-26 | 1989-06-01 | Mitsubishi Electric Corp | 極低温容器 |
JPH0289963A (ja) * | 1988-09-27 | 1990-03-29 | Toshiba Corp | 極低温冷凍機 |
JPH0420754A (ja) * | 1990-05-15 | 1992-01-24 | Nippon Sanso Kk | 冷凍機及びその冷凍能力の調整方法 |
JPH09113052A (ja) * | 1995-10-16 | 1997-05-02 | Hitachi Ltd | 冷凍装置 |
JP3580531B2 (ja) * | 2000-04-20 | 2004-10-27 | 大陽東洋酸素株式会社 | 希釈冷凍機 |
JP2004301367A (ja) * | 2003-03-28 | 2004-10-28 | Aisin Seiki Co Ltd | 極低温発生装置 |
JP2005003308A (ja) * | 2003-06-13 | 2005-01-06 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 極低温冷却装置 |
JP2005090928A (ja) * | 2003-09-22 | 2005-04-07 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 希釈冷凍機 |
-
2007
- 2007-03-16 JP JP2007068454A patent/JP5028117B2/ja active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01139981A (ja) * | 1987-11-26 | 1989-06-01 | Mitsubishi Electric Corp | 極低温容器 |
JPH0289963A (ja) * | 1988-09-27 | 1990-03-29 | Toshiba Corp | 極低温冷凍機 |
JPH0420754A (ja) * | 1990-05-15 | 1992-01-24 | Nippon Sanso Kk | 冷凍機及びその冷凍能力の調整方法 |
JPH09113052A (ja) * | 1995-10-16 | 1997-05-02 | Hitachi Ltd | 冷凍装置 |
JP3580531B2 (ja) * | 2000-04-20 | 2004-10-27 | 大陽東洋酸素株式会社 | 希釈冷凍機 |
JP2004301367A (ja) * | 2003-03-28 | 2004-10-28 | Aisin Seiki Co Ltd | 極低温発生装置 |
JP2005003308A (ja) * | 2003-06-13 | 2005-01-06 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 極低温冷却装置 |
JP2005090928A (ja) * | 2003-09-22 | 2005-04-07 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 希釈冷凍機 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019095087A (ja) * | 2017-11-20 | 2019-06-20 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | 熱交換器、その製造方法、および冷却装置 |
JP2019100601A (ja) * | 2017-11-30 | 2019-06-24 | 大陽日酸株式会社 | 希釈冷凍機 |
CN114484928A (zh) * | 2020-10-27 | 2022-05-13 | 中国科学院理化技术研究所 | 一种小型稀释制冷机 |
CN114484928B (zh) * | 2020-10-27 | 2023-06-16 | 中国科学院理化技术研究所 | 一种小型稀释制冷机 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5028117B2 (ja) | 2012-09-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11215384B2 (en) | System and method for cryogenic cooling | |
RU2648312C2 (ru) | Устройство для охлаждения потребителя холода переохлажденной жидкостью в контуре охлаждения | |
JP2013522574A (ja) | 静止状態及び流動状態のガスを用いて超低温冷却クライオスタットにおける温度を制御するための方法およびその装置 | |
EP2229567A1 (en) | Method and system for regulation of cooling capacity of a cooling system based on a gas expansion process. | |
CN105378370A (zh) | 带冷热回收功能的气化装置以及冷热回收装置 | |
JP2007183252A (ja) | 分析装置用冷却装置、ガスクロマトグラフ装置およびガスクロマトグラフィー方法 | |
JP5028117B2 (ja) | 希釈冷凍機 | |
JP2008215799A (ja) | 吸着冷凍システムの作動方法 | |
JP4563269B2 (ja) | タービン型冷凍機の冷凍能力制御装置 | |
JP4791894B2 (ja) | 希釈冷凍機 | |
JP5400435B2 (ja) | 希釈冷凍機の運転方法、及び希釈冷凍機 | |
US3307370A (en) | Cooling device for helium | |
JP5840938B2 (ja) | 熱媒冷却装置及び熱媒冷却装置の運転方法 | |
JPH10246524A (ja) | 冷凍装置 | |
JP7139303B2 (ja) | クライオスタット用ヘリウム再凝縮装置 | |
JPH09113052A (ja) | 冷凍装置 | |
JP6951598B1 (ja) | ターボブレイトン冷凍機 | |
Dhard et al. | Final acceptance tests of helium refrigerator for Wendelstein 7-X | |
RU2792290C1 (ru) | Способ производства холода при Т>4,4 К гелиевым рефрижератором с избыточным обратным потоком | |
JPH0420754A (ja) | 冷凍機及びその冷凍能力の調整方法 | |
Jia et al. | A five-watt GM/JT refrigerator for LHe target at BNL | |
JPH05322343A (ja) | リザーバタンク付き冷凍装置 | |
JP2600506B2 (ja) | 冷凍装置 | |
JPH01142367A (ja) | 極低温冷却装置 | |
JP2020020413A (ja) | 容器に加圧ガスを補給するための装置および方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100304 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20111024 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111108 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111226 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120605 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120625 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150629 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5028117 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313115 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313115 |
|
R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313115 |
|
R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
R370 | Written measure of declining of transfer procedure |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R370 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |