JP2019100601A - 希釈冷凍機 - Google Patents
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Abstract
Description
図2に示す希釈冷凍機101は、真空容器110と第1の輻射シールド120と第2の輻射シールド130と第3の輻射シールド140と第1の熱交換器126と第2の熱交換器127と混合室142と分留配管150とを有する。さらに第1の輻射シールド120の上端にはフランジ120Bが設けられ、第2の輻射シールド130の上端にはフランジ131が設けられている。希釈冷凍機101では、機械式冷凍機を用いてフランジ120B及びフランジ131を4〜40K程度に冷却することで、第1の輻射シールド120内と第2の輻射シールド130内と第3の輻射シールド140内とをこの順で段階的に冷却している。そして、希釈冷凍機101は混合室142の近傍のコールドヘッドで極低温を達成する。
ベローズ223が斜めに歪むことや、伸縮を繰りかえすことによって、第1の支持体211、配管部材221及び第2の支持体229に負荷が断続的に加わる可能性がある。
[1] 液体の3Heと液体の4Heとを含む混合液に液体の3Heを希釈する混合室を備える希釈冷凍機であって、前記混合室を収容する真空容器と、前記混合室と接続される分留配管と、前記真空容器の内側の空間内で前記分留配管と接続されるとともに、前記混合液から分離されたヘリウムガスが流れる分岐配管を有する配管部材と、前記配管部材から前記混合室に向かう方向と平行な方向に開口する第1の端部と前記第1の端部と同一方向に開口する第2の端部とを有する第1の配管と、前記真空容器の側面に形成される配管取出口を介して前記真空容器内と前記真空容器外とにわたって配置される第2の配管と、互いの伸縮により生じる伸縮力を打ち消し合うように配置される一対のベローズと、を備え、前記一対のベローズのうちいずれか一方が前記分岐配管と前記第1の配管の第1の端部とを接続し、前記一対のベローズのうち残る一方が前記第1の配管の第2の端部と前記第2の配管とを接続する、希釈冷凍機。
[2] 前記第1の配管が前記第1の端部及び前記第2の端部と結ぶ配管部分を有し、前記第1の端部と前記配管部分との接続部分の角度と、前記第2の端部と前記配管部分との接続部分の角度とがいずれも直角である、[1]の希釈冷凍機。
[3] 前記第2の配管が前記一対のベローズのうちいずれか一方と同軸方向に延在する配管部分を有する、[1]又は[2]の希釈冷凍機。
図1は、希釈冷凍機1の構成の一例を示す模式図である。希釈冷凍機1は真空容器10と、第1の輻射シールド20と、第2の輻射シールド30と、第3の輻射シールド40と、分留配管50とを備える。
以下に希釈冷凍機1のその他の各構成要素に関して詳しく説明を行う。
第1の支持体11は、トップフランジ10Bと後述するフランジ20Bとの間で固定されている。これにより第1の支持体11はフランジ20Bを介して第1の輻射シールド20を真空容器10内で固定できる。
真空容器10の本体上部10Aの下方側の側面には配管取出口12が形成されている。配管取出口12を介して真空容器10内から真空容器10外に第2の配管23が取り出される。真空容器10の外部では第2の配管23が図示略のヘリウム循環ユニットと接続されている。循環ユニットとしては、真空ポンプと、ヘリウムガスを再度希釈冷凍機1に供給するための循環ラインとを備える形態であれば特に限定されない。
フランジ20Bには貫通穴H2及び貫通穴H3が形成されている。貫通穴H2には第2の輻射シールド30が挿入され、貫通穴H3には第2の配管23が挿入される。フランジ20Bは、本体上部20Aと本体中部20Cとの間でフランジ接合等の手法により固定されている。
本体中部20Cは、トップフランジ10Bに形成された貫通穴H1を介して、真空容器10内に挿入されている。
フランジ20Dには貫通穴H4が形成されている。貫通穴H4には第2の輻射シールド30が挿入される。フランジ20Dは、本体中部20Cと本体下部20Eとの間でフランジ接合等の手法により固定されている。
本体下部20Eは下端が真空容器10の底面よりも上方に位置するように配置されている。
フランジ28は第2の支持体29によって支持されている。第2の支持体29はフランジ20Bの上側に固定されている。これによりフランジ28は第2の熱交換器27を第1の輻射シールド20内で固定できる。第2の支持体29は熱伝導率が低いFRPで構成することが好ましい。これによりフランジ20Bとフランジ28との間の温度差が保たれやすくなる。
本体上部30Aの上端はフランジ31を介して第2の熱交換器27の下端に固定されている。本体上部30Aはフランジ20B,20Dにそれぞれ形成された貫通穴H2及び貫通穴H4に挿入されている。
フランジ30Bには貫通穴H6が形成されている。貫通穴H6には第3の輻射シールド40が挿入される。フランジ30Bは、本体上部30Aと本体下部30Cとの間でフランジ接合等の手法により固定されている。
本体下部30Cは、下端が第1の輻射シールド20の本体下部20Eの底面よりも上方に位置するように配置されている。
貫通穴H7に分留配管50が挿入された状態において、4K程度に予冷された冷媒が流れる図示略の第2の冷媒供給ラインとフランジ31との間で熱交換が行われる。その結果、第2の輻射シールド30内の温度は、4.2K程度の低温に保たれる。
第3の輻射シールド40は本体上部40Aと、フランジ40Bと、本体下部40Cとを有する。
本体上部40Aは、フランジ30Bに形成された貫通穴H6に挿入されている。
フランジ40Bには貫通穴H8が形成されている。貫通穴H8には分留配管50が挿入される。フランジ40Bは本体上部40Aと本体下部40Cとの間でフランジ接合等の手法により固定されている。
本体下部40Cは、下端が第2の輻射シールド30の本体下部30Cの底面よりも上方に位置するように配置されている。
混合室42内には図示略のヘリウム供給ラインを介して、第2の熱交換器27、図示略の分留室、分留配管50内であって分留室の下部に配置された図示略の第3の熱交換器を経由することでさらに冷却された液体の3Heが供給される。これにより混合室42内では液体の3Heを含む3He濃厚相と、液体の3Heと液体の4Heとを含む混合液である3He希薄相とが形成されている。3He濃厚相は3He希薄相の上側に形成される。
第1の分岐配管21Aは混合室42内の混合液から分離されたヘリウムガスが流れる配管である。第1の分岐配管21Aは、配管部材21の側方から分岐したのち、分留配管50と軸方向と平行な方向に折り曲げられている。第1の分岐配管21Aは混合室42から配管部材21に向かう方向に開口する端部21aを有する。第1の分岐配管21Aは端部21aで第1のベローズ24と接続される。第2の分岐配管21Bは、分留配管50と同軸方向に延在する配管である。
第1のベローズ24は、第1の分岐配管21Aと後述する第1の配管22の第1の端部22Aとを接続する。これにより、第1の分岐配管21Aと第1の配管22とが連通する。
第2のベローズ25は、後述する第1の配管22の第2の端部22Bと後述する第2の配管23の主配管23Aとを接続する。これにより、第1の配管22と第2の配管23とが連通する。
第2の配管23は主配管23Aと、湾曲部23Bと、取出配管23Cとを有する。
主配管23Aは上端で第2のベローズ25と接続されているとともに、下端で湾曲部23Bと接続されている。これにより、第2の配管23の熱収縮を第2のベローズ25が吸収できる。
湾曲部23Bは主配管23Aと取出配管23Cとの間に配置されている。取出配管23Cは配管取出口12に挿入されるとともに、分留配管50の延在方向と直交する方向に延在する配管である。これにより、主配管23A内を流れるヘリウムガスが湾曲部23Bを経由し、取出配管23Cから真空容器10の外部に排気される。
本明細書で既に述べたように、図3に示すような従来の希釈冷凍機201にあっては、ヘリウムガスを排気するために、ベローズ223内を真空引きすると、配管部材221を介して第1の支持体211及び第2の支持体229に負荷がかかってしまうという問題があった。
さらに、希釈冷凍機の混合室に数ミリ角程度の検出器を配置して使用する場合、検出器の位置を1ミリ以下の単位で調整することが必要である。従来の希釈冷凍機にあってはベローズ223等の配管の減圧及び熱収縮に伴い、装置内部の配管等が縮み、その結果生じる応力によって支持体がゆがむことがあった。この場合、検出器の位置がずれて分析ができなくなり、検出器の位置を再調整する必要があった。
Claims (3)
- 液体の3Heと液体の4Heとを含む混合液に液体の3Heを希釈する混合室を備える希釈冷凍機であって、
前記混合室を収容する真空容器と、
前記混合室と接続される分留配管と、
前記真空容器の内側の空間内で前記分留配管と接続されるとともに、前記混合液から分離されたヘリウムガスが流れる分岐配管を有する配管部材と、
前記配管部材から前記混合室に向かう方向と平行な方向に開口する第1の端部と前記第1の端部と同一方向に開口する第2の端部とを有する第1の配管と、
前記真空容器の側面に形成される配管取出口を介して前記真空容器内と前記真空容器外とにわたって配置される第2の配管と、
互いの伸縮により生じる伸縮力を打ち消し合うように配置される一対のベローズと、
を備え、
前記一対のベローズのうちいずれか一方が前記分岐配管と前記第1の配管の第1の端部とを接続し、
前記一対のベローズのうち残る一方が前記第1の配管の第2の端部と前記第2の配管とを接続する、希釈冷凍機。 - 前記第1の配管が前記第1の端部及び前記第2の端部と結ぶ配管部分を有し、
前記第1の端部と前記配管部分との接続部分の角度と、前記第2の端部と前記配管部分との接続部分の角度とがいずれも直角である、請求項1に記載の希釈冷凍機。 - 前記第2の配管が前記一対のベローズのうちいずれか一方と同軸方向に延在する配管部分を有する、請求項1又は2に記載の希釈冷凍機。
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