JP2008215799A - 吸着冷凍システムの作動方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】吸着冷凍システムを作動させる方法が提供される。本システムは、冷却剤を収容する1次チャンバと連通して構成された1次吸着ポンプと、2次吸着ポンプと、2次吸着ポンプと1次チャンバとを連通状態に配置する高流体インピーダンス導管とを備える。本方法は、各ポンプがそれぞれの作動温度にある間に1次及び2次吸着ポンプを冷却剤で飽和させる段階を含む。次いで、ポンプは、これらの作動温度を超えて加熱されて冷却剤が脱着し、これによって、1次チャンバが冷却される間は1次チャンバ及び2次吸着ポンプ内の冷却剤圧力が導管を介して実質的に均一であるようになる。次に、2次吸着ポンプが冷却されて冷却剤ガスを吸着し、従って、1次チャンバ内の冷却剤の温度及び圧力の低下がもたらされる。
【選択図】図1
Description
i)1次及び2次吸着ポンプがそれぞれの作動温度にある間に1次及び2次吸着ポンプに冷却剤を装填する段階と、
ii)1次及び2次吸着ポンプの各々をこれらの作動温度を上回って加熱して冷却剤を脱着させ、少なくとも1次チャンバを冷却する間に1次チャンバ及び2次吸着ポンプの冷却剤圧力が導管を通って実質的に均一化されるようにする段階と、
iii)1次チャンバ内の脱着冷却剤を冷却する段階と、
iv)2次吸着ポンプをその作動温度にまで冷却して、この温度で2次吸着ポンプが冷却剤ガスを吸着し、これにより1次チャンバ内の冷却剤の温度及び圧力を低下させる段階と、
v)1次吸着ポンプを作動温度まで冷却してこの温度で1次吸着ポンプが冷却剤を吸着し、これにより1次チャンバ内の冷却剤の温度及び圧力を更に低下させる段階と、
を含む。
1次吸着ポンプ、及び使用時に冷却剤を収容するように適合され且つ1次吸着ポンプと連通した1次チャンバと、
2次吸着ポンプと;
2次吸着ポンプ及び1次チャンバを流体連通して配置するように構成された高流体インピーダンス導管と、
を備える。
本発明の第2の態様による第1の吸着冷凍システムと、
本発明の第2の態様による第2の吸着冷凍システムと、
第1及び第2の吸着冷凍システムの各々によって冷却されるように適合されたコールドプラットフォームと、
を備えた冷凍システムを提供する。
図1は、全体が1で示される第1の例示的なシステムの概略図である。1次吸着ポンプ2は、1次チャンバ3に接続され、該1次チャンバは、1次圧送ライン4と1次ポット5を備える。図で分かるように、1次圧送ラインは、実質的に大径の管体(典型的には、直径約8ミリメートル及び長さ約200ミリメートル以下の寸法)である。1次圧送ライン4の上端には1次吸着ポンプ2が位置付けられ、下端には1次ポット5が配置される。このことは、ポット5内のあらゆるガスが1次吸着ポンプ2の内部と流体連通していることを意味する。2次吸着ポンプ6が設けられ、これは、極細ステンレス鋼管の形態の高流体インピーダンス導管7によって、圧送ライン4の内部と流体連通して配置される。この極細ステンレス鋼管は、直径約1ミリメートル及び長さ約200ミリメートル以下を有する。図1に示されるように、この高流体インピーダンス導管は、2次吸着ポンプ6が導管7の一方の端部に位置付けられ、1次圧送ライン4が他端部に位置付けられるように配列される。
3 1次チャンバ
4 1次圧送ライン
5 1次ポット
6 2次吸着ポンプ
7 高流体インピーダンス導管
8 チャコール
9 管体
10 貯蔵容器
11 バルブ
12 熱スイッチ及び熱交換器組立体
13 熱スイッチ及び熱交換器組立体
14 熱交換器
16 クリオスタット
17 ヒーター
18 ヒーター
20 ターゲット装置
Claims (28)
- 吸着冷凍システムの作動方法であって、
前記システムが、
使用時に冷却剤を収容する1次チャンバと連通状態で構成された1次吸着ポンプと、
2次吸着ポンプと、
前記2次吸着ポンプと前記1次チャンバとを連通状態で配置するように構成された高流体インピーダンス導管と、
を備え、前記方法が、
i)前記1次及び2次吸着ポンプがそれぞれの作動温度にある間に前記1次及び2次吸着ポンプに冷却剤を装填する段階と、
ii)前記1次及び2次吸着ポンプの各々をこれらの作動温度を上回って加熱して前記冷却剤を脱着させ、少なくとも前記1次チャンバを冷却する間に前記1次チャンバ及び前記2次吸着ポンプの冷却剤圧力が前記導管を通って実質的に均一化されるようにする段階と、
iii)前記1次チャンバ内の脱着冷却剤を冷却する段階と、
iv)前記2次吸着ポンプをその作動温度にまで冷却してこの温度で前記2次吸着ポンプが冷却剤ガスを吸着し、これにより前記1次チャンバ内の冷却剤の温度及び圧力を低下させる段階と、
v)前記1次吸着ポンプを作動温度まで冷却してこの温度で前記1次吸着ポンプが冷却剤を吸着し、これにより前記1次チャンバ内の冷却剤の温度及び圧力を更に低下させる段階と、
を含む方法。 - 前記1次及び2次吸着ポンプのそれぞれの作動温度は、気体状冷却剤が実質的に吸着される温度である、
ことを特徴とする請求項1に記載の方法。 - 前記段階(iv)の間に前記冷却剤が液体冷却剤として凝結する、
ことを特徴とする請求項1及び請求項2に記載の方法。 - 前記システムが、前記1次チャンバ内部と選択的に連通して構成された補助リザーバを更に備え、前記段階(i)で冷却剤が前記補助リザーバから供給される、
ことを特徴とする前記請求項のうちの何れかに記載の方法。 - 前記システムが、前記1次チャンバ内部と選択的に連通して構成された補助リザーバを更に備え、前記1次チャンバ内の冷却剤が前記段階(iii)の後又はその間に前記リザーバ内に膨張されて前記1次チャンバ内の冷却剤を更に冷却するようにする、
ことを特徴とする前記請求項のうちの何れかに記載の方法。 - 前記補助リザーバの温度を制御して前記補助リザーバ内の所定の冷却剤圧力を与えるようにする段階を更に含む、
ことを特徴とする請求項4又は請求項5に記載の方法。 - 前記補助リザーバと前記1次チャンバとの間の選択的な連通が、バルブ作動によって得られる、
ことを特徴とする請求項4から請求項6のうちの何れかに記載の方法。 - 前記冷却剤がヘリウム3である、
ことを特徴とする前記請求項のうちの何れかに記載の方法。 - 前記段階(iv)の終わりでの前記冷却剤の温度が約2ケルビンである、
ことを特徴とする請求項8に記載の方法。 - 前記段階(v)の間で前記冷却剤が300ミリケルビン以下まで冷却される、
ことを特徴とする請求項9に記載の方法。 - 前記段階(v)が、前記1次吸着ポンプを前記作動温度を超える温度から前記作動温度まで冷却する段階と、冷却剤の実質的な吸着が起こる前記作動温度以下まで冷却する次の段階とを含む、
ことを特徴とする前記請求項のうちの何れかに記載の方法。 - 吸着冷凍システムであって、
1次吸着ポンプ、及び使用時に冷却剤を収容するように適合され且つ前記1次吸着ポンプと連通した1次チャンバと、
2次吸着ポンプと、
前記2次吸着ポンプ及び前記1次チャンバを流体連通して配置するように構成された高流体インピーダンス導管と、
を備えるシステム。 - 前記1次チャンバと選択的に流体連通した補助リザーバを更に備える、
ことを特徴とする請求項12に記載のシステム。 - 前記補助リザーバが、複数の前記リザーバを備える、
ことを特徴とする請求項13に記載のシステム。 - 前記選択的な連通を与える1つ又はそれ以上のバルブを更に備える、
ことを特徴とする請求項13又は請求項14に記載のシステム。 - 前記又は各補助リザーバが追加の吸着ポンプである、
ことを特徴とする請求項14又は請求項15に記載のシステム。 - 前記1次チャンバが、使用時に液体冷却剤を収容するための1次ポットを備える、
ことを特徴とする請求項12から請求項16のうちの何れかに記載のシステム。 - 前記高流体インピーダンス導管は、前記ポットと前記2次吸着ポンプとの間の流体の流れが前記ポットと前記1次吸着ポンプとの間の流体の流れよりも好ましくは1/5未満であるように構成される、
ことを特徴とする請求項17に記載のシステム。 - 前記高流体インピーダンス導管は、前記ポットと前記2次吸着ポンプとの間の流体の流れが前記ポットと前記1次吸着ポンプとの間の流体の流れよりも好ましくは1/10未満であるように構成される、
ことを特徴とする請求項17に記載のシステム。 - 前記2次吸着ポンプが、複数の吸着ポンプを備える、
ことを特徴とする請求項12から請求項19の何れかに記載のシステム。 - 前記各2次吸着ポンプが、それぞれの高流体インピーダンス導管を用いて前記1次チャンバと流体連通して構成される、
ことを特徴とする請求項12から請求項20のうちの何れかに記載のシステム。 - 前記吸着ポンプが、高流体インピーダンス導管によって分離されて直列に設けられる、
ことを特徴とする請求項21に記載のシステム。 - 前記又は各高流体インピーダンス導管が、一定の流体インピーダンスを有する、
ことを特徴とする請求項12から請求項22のうちの何れかに記載のシステム。 - 前記1次チャンバがヒートパイプに熱的に結合され、前記ヒートパイプが、冷却剤を収容し且つ互いに流体連通した上方領域と下方領域とを有する密封ヒートパイプチャンバを備え、その結果、前記システムの使用時には、前記1次チャンバが前記ヒートパイプの前記上方領域を前記下方領域に対して冷却することで、前記冷却剤が凝縮されて冷却剤液体となり、重力により前記下方領域に移動するようになる、
ことを特徴とする請求項12から請求項23のうちの何れかに記載のシステム。 - 前記下方領域が、冷却されることになるターゲット装置に熱的に結合される、
ことを特徴とする請求項24に記載のシステム。 - 請求項12から請求項25のうちの何れかによる第1の吸着冷凍システムと、
請求項12から請求項25のうちの何れかによる第2の吸着冷凍システムと、
前記第1及び第2の吸着冷凍システムの各々によって冷却されるように適合されたコールドプラットフォームと、
を備える、
ことを特徴とする冷凍システム。 - 冷却剤ガスを収容するためのエンクロージャを更に備え、前記第1及び第2の吸着冷凍システムの1次チャンバがそれぞれの凝縮表面を有し、前記凝縮表面が前記エンクロージャ内に備えられ、前記表面が使用時に前記それぞれの1次吸着ポンプによって選択的に冷却されて、冷却剤ガスが前記凝縮表面上に液体冷却剤として凝縮するようにされ、前記コールドプラットフォームが、使用時に前記凝縮表面から前記液体冷却剤を受け取り、前記エンクロージャが、前記凝縮表面間の気体状冷却剤用の経路を提供するように適合され、前記経路が、前記凝縮表面の各々と前記コールドプラットフォームとの間の流体インピーダンスよりも低い流体インピーダンスを有する、
ことを特徴とする請求項26に記載の冷凍システム。 - スチルを有する希釈冷凍機を更に備え、前記スチルが前記コールドプラットフォームと熱的に連通される、
ことを特徴とする請求項26又は請求項27に記載の冷凍システム。
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