JP2008224574A - 非接触型角度センサ - Google Patents

Abstract

【課題】ステータコアの積層を不要とし、簡易かつ安価に構成できる非接触型角度センサを提供する。
【解決手段】回転軸に取り付けられるリング状アウタロータコア４１と、その内周面の周方向一半部と他半部に固定され、互いに対向する内周面が逆極性になるように着磁されている円弧状磁石４２，４３及び４４，４５と、その内周面に固定された円弧状インナロータコア４６，４７と、回転軸に対する固定側に配置され、インナロータコア４６，４７の内側において軸心方向２箇所にそれぞれ配置された各一対のステータコア５１〜５４と、磁気センサ５５とよりなる。対をなすステータコア５１，５２及び５３，５４は円板が所定の幅で切除されて２分された形状とされ、磁気センサ５５はステータコア５１，５２の互いに対向する直線部５１ａ，５２ａの間であって前記２箇所の中央位置における直線部５１ａ，５２ａの対向方向の磁束の変化を検出するように配置される。
【選択図】図１

Description

この発明は回転軸の回転角度を非接触で検出する非接触型角度センサに関する。

図１３はこの種の非接触型角度センサの従来構成例として特許文献１に記載されている回転角度検出装置の構成を示したものであり、図１３Ａは装置の全体構造を示し、図１３Ｂはその要部（センサ部）の配置関係を示す。
本体ハウジング１１には回転軸１２が図１３Ａに示したように軸受１３を介して回転自在に挿通支持されており、この回転軸１２の先端に円筒カップ状のロータコア１４が取り付けられ、このロータコア１４の内周側に円柱状のステータコア１５が同軸上に位置して配置されている。

ロータコア１４には図１３Ｂに示したように互いに１８０度をなす位置に切欠部１６がそれぞれ形成され、これら切欠部１６に磁石１７がそれぞれ嵌め込まれている。２つの磁石１７は図１３Ｂ中に示したように着磁され、同じ極同士が周方向に向かい合うように配置されている。
ロータコア１４の内周面は各磁石１７の近傍部分１８を除いてステータコア１５の外周面と微小な間隙を介して対向され、これにより図１３Ｂ中に矢印で示したように各磁石１７のＮ極からロータコア１４の内部を経由してステータコア１５を通過し、ロータコア１４の内部を経由して各磁石１７のＳ極に戻る磁束の流れが形成される。

一方、ステータコア１５は２分割されて径方向に貫通する空隙１９が形成されており、空隙１９にはこの例ではホールＩＣよりなる磁気センサ２１が２つ横に並んで配置されている。これら磁気センサ２１はスペーサ２２によって保持され、各磁気センサ２１の端子はスペーサ２２内を通ってコネクタピン２３に接続されている。図１３Ａ中、２４はコネクタハウジングを示し、コネクタハウジング２４と本体ハウジング１１とは互いに固定一体化されている。

図１３Ｃはステータコア１５の構造を示したものであり、略半円板状の薄板（磁性薄板）１５ａ，１５ｂがそれぞれ積層されて第１ステータコア部１５−１及び第２ステータコア部１５−２が形成されている。第１、第２ステータコア部１５−１，１５−２は非磁性板１５−３上に搭載固定されており、これにより第１、第２ステータコア部１５−１，１５−２間に所定の幅の空隙１９が構成されている。

上記のような構成において、回転軸１２の回転に伴って磁石１７が組み込まれたロータコア１４が回転すると、磁界が回転し、この磁界の回転によって磁気センサ２１を通過する磁束が変化する。従って、磁気センサ２１の出力電圧の変化によって回転軸１２の回転角度を検出することができるものとなっている。

一方、図１４はこの種の回転軸の回転角度を検出するセンサとして特許文献２に記載されているセンサの構成を示したものであり、この例では回転軸３１に管状部３２ａと側板部３２ｂとを備えるロータコア３２が取り付けられ、このロータコア３２の管状部３２ａの内側にリング状をなす磁石３３が取り付けられている。磁石３３は周方向一半部と他半部とが互いに逆向きにラジアル方向（径方向）に着磁されている。
磁石３３の内側にはステータコア３４，３５が配置されている。これらステータコア３４，３５は半円柱状をなし、互いの間に径方向に延びる空隙３６が形成されている。空隙３６内にはホール素子よりなる磁気センサ３７が配置されている。ステータコア３４，３５はそれぞれ薄板（磁性薄板）が積層されて構成されている。

この図１４に示したセンサも、図１３に示したセンサと同様、回転軸３１の回転に伴って磁石３３が取り付けられているロータコア３２が回転すると、磁界が回転し、この磁界の回転によって磁気センサ３７を通過する磁束が変化することから、磁気センサ３７の出力電圧の変化によって回転軸３１の回転角度を検出することができる。
特許第３８４３９６９号公報 特開平８−３５８０９号公報

上述したように、従来のこの種の磁気を利用する非接触型角度センサにおいてはステータコア（固定側のコア）は所要の大きさ（厚み）とすべく、例えば珪素鋼板などの薄板を所要数積層して構成とするといったことが一般に行われている。
しかるに、ステータコアは図１３や図１４に示したように対をなし、それらの間に磁気センサが配置される空隙を構成するものであって、所要の空隙を精度良く形成するためには薄板を精度良く積層する必要があり、つまり高精度な積層構造を実現する必要がある。
このため、例えば特許文献１においては各薄板に位置決め用の凹凸を設け、凹凸を順次重ね合わせて積層した後、最後にパンチ等で加圧して凸部を凹部に圧入することにより積層構造を得るといったことが行われており、また特許文献２では薄板に位置決めピン（止めピン）用の穴を設け、位置決めピンによって位置決めするといったことが行われている。

しかしながら、このように薄板に凹凸や穴を設けると、薄板の磁気特性の劣化を招くことになり、また例えば薄板を形成するためのプレス金型が複雑となり、高価になるといった問題がある。加えて、薄板の高精度な積層固定作業は面倒で手間がかかるといった問題もある。
この発明の目的はこのような問題に鑑み、ステータコアの積層を不要とし、簡易かつ安価に構成することができる非接触型角度センサを提供することにある。

請求項１の発明によれば、回転軸の回転角度を検出する非接触型角度センサは、回転軸の軸心を中心とするリング状とされて回転軸に取り付けられる軟磁性材料よりなるアウタロータコアと、そのアウタロータコアの内周面の周方向一半部と他半部にそれぞれ固定配置され、互いに対向する内周面が逆極性になるように着磁されている一対の円弧状磁石と、それら磁石の内周面にそれぞれ固定配置された軟磁性材料よりなる一対の円弧状インナロータコアと、回転軸に対する固定側に配置され、一対のインナロータコアの内側において前記軸心方向の２箇所にそれぞれ配置された各一対の軟磁性材料よりなるステータコアと、固定側に配置された磁気センサとよりなり、対をなすステータコアは円板が所定の幅で切除されて２分されてなる形状とされて、その直線部が互いに対向され、かつ円弧部がインナロータコアの内周面と間隙を介して対向され、２箇所のステータコアは前記軸心方向から見て互いに重なる形状・配置とされており、磁気センサは前記互いに対向する直線部の間であって前記２箇所の中央位置における前記直線部の対向方向の磁束の変化を検出するように配置される。

請求項２の発明では請求項１の発明において、対をなすステータコアはその互いに対向する直線部がその直線部の直線方向にずらされているものとされる。
請求項３の発明では請求項１又は２の発明において、磁石がラジアル方向に着磁されているものとされる。
請求項４の発明では請求項１又は２の発明において、一対の磁石がそれぞれ前記周方向に配列された複数の磁石よりなるものとされる。
請求項５の発明では請求項１乃至４のいずれかの発明において、磁石に対してアウタロータコアの軸心方向の大きさが大とされている。
請求項６の発明では請求項５の発明において、アウタロータコアは回転軸側端部を閉塞する閉塞板部を具備するものとされる。

この発明によれば、ステータコアは従来のような積層構造ではなく、１枚の単なる板（薄板）で構成され、よって積層用に従来設けていた凹凸や穴は不要であって簡単な抜き金型でプレス加工することによってステータコアを形成することができるため、その分簡易かつ安価に非接触型角度センサを構成することができる。

この発明の実施形態を図面を参照して実施例により説明する。
図１はこの発明による非接触型角度センサの一実施例の要部構成（磁気部品の構成）を示したものであり、図２はそのうちの固定側部分の構成を示したものである。また、図３は図１の構成を上から見た状態を示したものである。

リング状をなすアウタロータコア４１は回転角度を検出すべき回転軸に取り付けられるもので、このアウタロータコア４１の内周面にこの例では４つの磁石４２〜４５が固定配置されている。これら磁石４２〜４５は円弧状とされてアウタロータコア４１の内周面に周方向に配列されて配置されており、磁石４２，４３は周方向一半部に位置し、磁石４４，４５は周方向他半部に位置されている。

図４はこれら磁石４２〜４５の着磁方向を示したものであり、この例では磁石４２，４３は外周面がＳ極、内周面がＮ極となるように着磁され、これに対して磁石４４，４５は外周面がＮ極、内周面がＳ極となるように着磁されており、磁石４２，４３と磁石４４，４５は互いに対向する内周面が逆極性になるように着磁されている。なお、各磁石４２〜４５はこの例ではそれぞれ矢印で示したように平行着磁されている。

磁石４２，４３の内周面にはそれら磁石４２，４３に渡って円弧状をなすインナロータコア４６が固定配置され、同様に磁石４４，４５の内周面にはそれら磁石４４，４５に渡って円弧状をなすインナロータコア４７が固定配置されている。これらインナロータコア４６，４７はそれぞれ磁石４２，４３及び磁石４４，４５の内周面の全面を覆う大きさとされ、周方向においてインナロータコア４６とインナロータコア４７の互いに対向する２箇所の端面間は同一距離、離間されている。なお、磁石４２と４４の端面間及び磁石４３と４５の端面間も同様に離間されている。また、この例ではアウタロータコア４１、磁石４２〜４５及びインナロータコア４６，４７の高さ（アウタロータコア４１のなすリングの軸心方向（Ｚ方向）の大きさ）は同一高さとされている。

インナロータコア４６，４７の内側には図２に示したような配置構成を有するステータコア５１〜５４と磁気センサ５５とが収容される。これらステータコア５１〜５４及び磁気センサ５５は回転軸に対する固定側に配置固定される。ステータコア５１，５２はインナロータコア４６，４７のＺ方向一端側に位置され、またステータコア５３，５４はインナロータコア４６，４７のＺ方向他端側に位置される。つまり、インナロータコア４６，４７の内側においてＺ方向２箇所にそれぞれ対をなすステータコア５１，５２と５３，５４とが配置されている。

対をなすステータコア５１，５２は円板がその径方向に所定の幅で切除されて２分されてなる形状とされており、略半円形をなすステータコア５１，５２はそれらの直線部５１ａ，５２ａが所定の間隙を介して互いに対向され、円弧部５１ｂ，５２ｂがインナロータコア４６，４７の内周面と所定の間隙を介して対向されている。対をなすステータコア５３，５４もステータコア５１，５２と同様の構成とされて略半円形をなすものとされ、それらの直線部５３ａ，５４ａが所定の間隙を介して互いに対向され、円弧部５３ｂ，５４ｂがインナロータコア４６，４７の内周面と所定の間隙を介して対向されている。なお、ステータコア５１と５３及び５２と５４はそれぞれＺ方向から見て互いに重なる形状・配置とされている。

磁気センサ５５はＺ方向においてステータコア５１，５２とステータコア５３，５４の間であって、かつステータコア５１，５２の互いに対向する直線部５１ａ，５２ａ間に位置され、ステータコア５１，５２とステータコア５３，５４が位置しているＺ方向２箇所の中央位置における直線部５１ａ，５２ａ（５３ａ，５４ａ）の対向方向の磁束の変化を検出するものとされる。

上記のような構成において、アウタロータコア４１、インナロータコア４６，４７及びステータコア５１〜５４はそれぞれ軟磁性材料よりなるものとされる。磁石４２〜４５には例えばボンド磁石が用いられる。磁気センサ５５は例えばホールＩＣとされる。図１，２中、５５ａは磁気センサ５５の端子を示す。なお、ステータコア５１〜５４はこの例ではそれぞれ１枚の板とされ、つまり従来と異なり、例えば珪素鋼板などの１枚の板を単にプレス加工するだけで形成されている。

図５は回転軸と共に非接触型角度センサの全体構成を回転側と固定側とに分けて示したものであり、図６及び７はその回転側及び固定側をそれぞれ各部に分解して示したものである。図５において６１は回転軸を示し、６２は磁石ホルダを示す。また、４０は前述したアウタロータコア４１と磁石４２〜４５とインナロータコア４６，４７とよりなる磁石ユニットを示し、５０はステータコア５１〜５４と磁気センサ５５とを収容保持した固定側ユニットを示す。

磁石ホルダ６２は図６に示したように回転軸６１が挿入固定される穴６２ａを中心に有する円筒状とされ、一方の端面（下面）には一対の脚部６２ｂが互いに１８０°をなす位置に突設され、さらにこれら脚部６２ｂが位置する位置と９０°ずれた位置に一対の脚部６２ｃが突設されている。一対の脚部６２ｂは磁石４２，４４間及び磁石４３，４５間の間隙に挿入位置され、一対の脚部６２ｃは磁石４２，４３間及び磁石４４，４５間の間隙に挿入位置される。

磁石ユニット４０及び回転軸６１は磁石ホルダ６２に接着固定されて取り付けられる。この際、磁石４２〜４５は脚部６２ｂ，６２ｃによって位置決めされると共に、それら脚部６２ｂ，６２ｃに接着固定される。なお、磁石ホルダ６２は例えば樹脂製とされ、非磁性とされる。

一方、固定側ユニット５０は図７に示したようにセンサホルダ５６とステータコア５１〜５４と磁気センサ５５とによって構成される。センサホルダ５６は円柱体の中央に磁気センサ５５を収容保持する角穴５６ａが貫通形成され、さらに両端面にそれぞれステータコア５１，５２及び５３，５４を位置決め収容する凹部５６ｂが形成された形状とされている。なお、センサホルダ５６の一方の端面（下面）に突設されている一対の脚部５６ｃはセンサホルダ５６を例えば相手方実装基板やケース等に位置決め固定するために使用される。

ステータコア５１〜５４はセンサホルダ５６の凹部５６ｂにそれぞれ収容位置決めされて固定され、また磁気センサ５５は角穴５６ａに収容位置決めされて固定される。ステータコア５１〜５４及び磁気センサ５５のセンサホルダ５６への固定は接着固定とされる。センサホルダ５６は例えば樹脂製とされ、非磁性とされる。

上記のようにして形成された固定側ユニット５０に対し、磁石ホルダ６２を介して回転軸６１に取り付けられた磁石ユニット４０を被せることによって非接触型角度センサが構成される。

次に、上記のような構成を有する非接触型角度センサの動作について説明する。
今、図３に示したように磁気センサ５５が位置するステータコア５１，５２間の間隙と、磁石４２，４４間、磁石４３，４５間の間隙とがちょうど９０°ずれた位置に位置しているとする。この状態では磁石４２，４３によって磁化されているインナロータコア４６から磁石４４，４５によって磁化されているインナロータコア４７に至るほとんど全ての磁束はステータコア５１，５２及びこれらステータコア５１，５２の下側にあるステータコア５３，５４を通過し、これら磁束の通過方向（磁界の方向）は磁気センサ５５の磁束検出方向と直交方向となるため、磁気センサ５５を通過する磁束は０となる。

これに対し、回転軸６１の回転に伴い、磁石ユニット４０が回転すると、ステータコア５１，５３の円弧部５１ｂ，５３ｂに対向するインナロータコア４６，４７の内周面の割合が変化し、一方この変化とは逆にステータコア５２，５４の円弧部５２ｂ，５４ｂに対向するインナロータコア４６，４７の内周面の割合が変化するため、ステータコア５１，５３と５２，５４とは逆の極性で磁化されていき、磁束が磁気センサ５５を通過するようになる。

このように、回転軸６１の回転に伴い、磁気センサ５５を通過する磁束が変化し、磁気センサ５５はこの磁束の変化に応じた電圧を出力する。なお、回転軸６１の回転角度変位をより直線的に磁気センサ５５が検出できるようにする構成の具体的数値例を示せば下記となる。

即ち、例えば磁気センサ５５の厚み（≒ステータコア５１，５２間、５３，５４間の間隙）を１．５ｍｍとした場合、ステータコア５１〜５４の外周直径を６ｍｍ以上、ステータコア５１，５３間及び５２，５４間の間隔を３ｍｍ程度とするのが好ましい。なお、例えばステータコア５１，５３間及び５２，５４間の間隔が狭すぎると磁気センサ５５のＺ方向の検出位置を正しく合わせるのが面倒になる。

図８は磁気センサ５５を通過する磁束密度（検出磁束密度）と回転軸６１の変位（角度変位）の関係をシミュレーションにより求めた結果を示したものであり、グラフ中、実線が上述した非接触型角度センサの特性を示す。ほぼ１８０°の角度範囲で単調変化する特性が得られており、これにより回転軸６１の回転角度を検出することができるものとなる。

なお、この例では磁気センサ５５の中央検出部を挟む両側にはステータコアは存在せず、検出部と少し離れた位置にステータコア５１〜５４が位置しているが、これら単なる薄板よりなるステータコア５１〜５４を通過する磁束密度は極めて大となるため、ステータコア５１，５２間及び５３，５４間を流れる磁束は大となり、よって磁気センサ５５の検出部においても十分磁束が通過し、その磁束を検出できるものとなっている。

上述した実施例では磁気センサ５５を１つ配置しているが、１つに限らず、複数配置してもよい。また４つの磁石４２〜４５を用い、磁石４２，４３と磁石４４，４５とを互いに対向する内周面が逆極性となるように着磁して、それらの内周面にそれぞれインナロータコア４６及び４７を配置しているが、用いる磁石は図９に示したようにほぼ半円弧状の２つの磁石４２’，４４’としてもよい。この場合、これら磁石４２’，４４’の内周面にインナロータコア４６，４７がそれぞれ固定配置される。なお、磁石４２〜４５の着磁は平行着磁としていたが、これら磁石４２’，４４’の場合は十分な磁力を得る上で図９中に矢印で示したようにラジアル方向に着磁するのが望ましい。従って、着磁のし易さの点から言えば、４つの磁石４２〜４５を用いる方が好ましく、さらに磁石を細分化して数を増やすことも可能である。

次に、図１０に示した構成について説明する。
この例では対をなすステータコア５１，５２の円弧部５１ｂ，５２ｂの円弧の中心及び対をなすステータコア５３，５４の円弧部５３ｂ，５４ｂの円弧の中心がそれぞれ上述した例のように一致されておらず、ずれた構成となっている。つまり、対をなすステータコア５１，５２及び５３，５４はその互いに対向する直線部５１ａ，５２ａ及び５３ａ，５４ａがその直線部の直線方向に少しずらされた構成となっており、これによりインナロータコア４６及び４７との間隙が前述の図３に示した構成と異なり、均等ではないものとなっている。

図１０に示した状態ではステータコア５１，５３はインナロータコア４７に少し近接し、一方ステータコア５２，５４はインナロータコア４６に少し近接しており、よって図３の構成の場合と異なり、この構成では図１０に示した状態でステータコア５１，５３とステータコア５２，５４とは逆極性で若干磁化される。従って、磁気センサ５５には磁束が少し通過することになり、出力電圧が出力される。

図８中の破線はこの図１０に示した構成において、磁気センサ５５を通過する磁束密度と回転軸６１の変位の関係をシミュレーションにより求めた結果を示したものである。なお、ステータコア５１と５２及び５３と５４のずれ量は０．４ｍｍであり、他の条件は図３の構成の場合の条件と同じである。
図８に示したように、ステータコア５１，５２及び５３，５４の円弧の中心をずらすことにより、磁気センサ５５が検出する磁束密度が０となる角度が検出角度範囲の中心よりずれ、約−１０度付近になっている。

ところで、この種の非接触型角度センサは例えば内燃機関のスロットル弁の開度検出などに用いられる。一般に磁気センサの温度によるドリフトは検出磁界が小さいほど変動幅が小さく、このようなスロットル弁の開度検出においてはアイドルポジションの検出精度が高い方が望ましく、つまり磁気センサ５５を通過する磁束が０の位置にアイドルポジションを設定するのが望ましい。

この場合、スロットル弁の必要な可動範囲の９０度を角度検出範囲とすると、図８中の実線で示した特性（図３に示したステータコア配置の特性）ではグラフ上の＋９０度付近のＣ領域を含む範囲Ａとなり、つまり勾配が小さくなるＣ領域も使用することになるため、検出精度が低下する。

これに対し、図８中の破線で示した特性（図１０に示したステータコア配置の特性）では−１０度から＋８０度の範囲Ｂを使用することになり、よって勾配が小さくなるＣ領域の使用を避けることができ、精度良く角度検出を行うことができる。

なお、上述した実施例ではアウタロータコア４１と磁石４２〜４５の高さ（Ｚ方向の大きさ）を同一としているが、図１１に示したようにアウタロータコア４１’の高さを大きくすれば、中心に収まる固定側ユニット５０に対する外部からの磁気をより効果的に遮蔽することができ、磁気シールド効果を高めることができる。この場合、磁石ホルダ６２’には図１１に示したように外周に段が形成されてアウタロータコア４１’内に入り込む小径部６２ｄが設けられる。

図１２はさらに磁気シールド効果を高められるようにアウタロータコア４１’’の回転軸６１側端部を閉塞した例を示したものであり、このように閉塞板部４１ａをアウタロータコア４１’’に設けることにより、より高いシールド効果を得ることができる。なお、この図１２に示した構成では磁石ホルダ６２’’はアウタロータコア４１’’内に収容され、アウタロータコア４１’’の閉塞板部４１ａに回転軸６１が接着固定されて取り付けられる。

この発明による非接触型角度センサの一実施例の要部構成を示す斜視図。 図１における固定側部分のみの構成を示す斜視図。 図１に示した構成において磁気センサを通過する磁束が０となる状態を示す平面図。 図１における磁石の着磁方向を説明するための図。 この発明による非接触型角度センサの一実施例の全体構成を一部分解して示した斜視図。 図５における回転側部分の分解斜視図。 図５における固定側部分の分解斜視図。 回転軸の角度変位と磁気センサの検出磁束密度の関係を示すグラフ。 使用する磁石を２つとした場合の着磁方向を説明するための図。 ステータコアの配置を変えた（ずらした）構成を示す平面図。 磁気シールド効果を高めるための構成を示す分解斜視図。 磁気シールド効果をさらに高めるための構成を示す分解斜視図。 非接触型角度センサの従来構成例を説明するための図。 非接触型角度センサの従来構成の他の例を説明するための図。

Claims (6)

1. 回転軸の回転角度を検出する非接触型角度センサであって、
   前記回転軸の軸心を中心とするリング状とされて前記回転軸に取り付けられる軟磁性材料よりなるアウタロータコアと、
   そのアウタロータコアの内周面の周方向一半部と他半部にそれぞれ固定配置され、互いに対向する内周面が逆極性になるように着磁されている一対の円弧状磁石と、
   それら磁石の内周面にそれぞれ固定配置された軟磁性材料よりなる一対の円弧状インナロータコアと、
   前記回転軸に対する固定側に配置され、前記一対のインナロータコアの内側において前記軸心方向の２箇所にそれぞれ配置された各一対の軟磁性材料よりなるステータコアと、
   前記固定側に配置された磁気センサとよりなり、
   前記対をなすステータコアは円板が所定の幅で切除されて２分されてなる形状とされて、その直線部が互いに対向され、かつ円弧部が前記インナロータコアの内周面と間隙を介して対向され、
   前記２箇所のステータコアは前記軸心方向から見て互いに重なる形状・配置とされており、
   前記磁気センサは前記互いに対向する直線部の間であって前記２箇所の中央位置における前記直線部の対向方向の磁束の変化を検出するように配置されていることを特徴とする非接触型角度センサ。
2. 請求項１記載の非接触型角度センサにおいて、
   前記対をなすステータコアはその互いに対向する直線部がその直線部の直線方向にずらされていることを特徴とする非接触型角度センサ。
3. 請求項１又は２記載の非接触型角度センサにおいて、
   前記磁石がラジアル方向に着磁されていることを特徴とする非接触型角度センサ。
4. 請求項１又は２記載の非接触型角度センサにおいて、
   前記一対の磁石がそれぞれ前記周方向に配列された複数の磁石よりなることを特徴とする非接触型角度センサ。
5. 請求項１乃至４記載のいずれかの非接触型角度センサにおいて、
   前記磁石に対して前記アウタロータコアの前記軸心方向の大きさが大とされていることを特徴とする非接触型角度センサ。
6. 請求項５記載の非接触型角度センサにおいて、
   前記アウタロータコアは前記回転軸側端部を閉塞する閉塞板部を具備していることを特徴とする非接触型角度センサ。

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