JP2008216249A - ウエハの幾何学的変数の測定方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】ウエハ端部形状にかかわらず、測定対象ウエハの中心点を確実に測定する方法を提供すること。
【解決手段】ウエハ16を挿入するウエハホルダ30は3つ以上の物理的接触要素22を備える。ウエハは接触要素22に物理的に接触する。接触要素は、ウエハ16の中心点40がその内側に入るような幾何学的形状を規定するように、ウエハホルダ30に分散配置される。各接触要素22の位置が測定され、所望のウエハ16の幾何学的変数が接触要素22の位置から計算される。
【選択図】図3
【解決手段】ウエハ16を挿入するウエハホルダ30は3つ以上の物理的接触要素22を備える。ウエハは接触要素22に物理的に接触する。接触要素は、ウエハ16の中心点40がその内側に入るような幾何学的形状を規定するように、ウエハホルダ30に分散配置される。各接触要素22の位置が測定され、所望のウエハ16の幾何学的変数が接触要素22の位置から計算される。
【選択図】図3
Description
本発明は、ウエハの幾何学的変数の測定方法に関する。
ドイツ特許出願文献DE102005014595A1には、ディスク状の物体のエッジビーズ除去線の目視検査方法が開示されている。ここでは、ディスク状の物体の端部領域の画像が最初に記録される。記録された端部領域のディスプレイの中で、ユーザはマーキング要素に対応する位置を選択することができる。ステージに載置されたディスク状の物体は対応する適切な方法でステージとともに移動され、ユーザにより選択された位置が顕微鏡の光線路に入ってディスプレイ手段の表示窓に拡大されて表示される。こうしてユーザは、ディスク状の物体の端部領域にあるエッジビーズ除去線を拡大した状態で選択又は測定することができる。
ドイツ出願公開文献DE19601708A1には、物体(測定対象)表面上の位置測定方法及びシステムが開示されている。物体は例えば半導体ウエハであり、表面に実質的に直交する格子状の線が均一に配置されており、複数の方向的な特徴がある。これらの格子状の線の、参照座標システムの方向に対する方向がこの方法により測定できる。複数の方向的な特徴の方向的な変化に関連する格子の変化もまた測定可能である。方向変化の位置は、参照座標システムによって与えられる。この装置により、方向的特長を参照し、表面の幾何学的中心からの特徴の距離を測定することも可能である。
ドイツ特許文献DE102004032933B3には、回転対称性を持つ調整標識の中心点を測定する方法が開示されている。中心点の測定のために、画像検出ソフトウェアを備えている。調整標識の回転対称角度で調整標識を回転させ、画像検出ソフトウェアでさまざまな方向で調整標識を検出し、それぞれで参照点を測定する。測定された参照点の回転する点は調整標識の中心点と対応している。さらに、それぞれが回転対称性を持つ調整標識を持ち、実質的に平行に配置された2つの平板状基板の配列方法が提供される。このため、2つの基板の調整標識の中心点が中心点測定法を用いて測定され、調整標識の中心点位置が一致するように、2つの基板が少なくとも1つの基板に対して平行移動するように配列される。
DE102005014595A1
DE19601708A1
DE102004032933B3
本発明の課題は、ウエハの端部形状にかかわらず、測定対象ウエハの中心点を確実に測定する方法(ないし装置の使用)を提供することである。
本発明の第一の視点において、この課題は請求項1に記載の特徴を持つ方法で達成される。
即ち、本発明の一視点により、ウエハの幾何学的変数を求める方法が提供される。該方法は、該ウエハをウエハホルダに挿入するステップを含み、さらに、3つ以上の物理的接触要素が、該3つ以上の接触要素で規定される幾何学的形状の中に該ウエハの中心点が入るように分散配置されており、該ウエハの端部を該3つ以上の接触要素に向けて押圧するステップを含む。該方法は、さらに、各該接触要素の位置を測定するステップを含む。そして該方法は、該接触要素の位置から該ウエハの該幾何学的変数を計算するステップを含む。
さらに本発明の各従属請求項により、本発明の好ましい展開形態が与えられる。
本発明の他の視点において、上述の方法は光学的検査装置ないしシステムを使用して実現できる。かかる光学的検査装置は、複数のモジュール(ないしユニット)から構成でき、そのうちの少なくとも1つのモジュールによりウエハの裏面の検査を行うことができる。
本発明のさらなる視点において、ウエハに限らずウエハ状形態(ディスク状態)を有する物体(ウエハ状物体)を検査対象とすることができる。
即ち、本発明の一視点により、ウエハの幾何学的変数を求める方法が提供される。該方法は、該ウエハをウエハホルダに挿入するステップを含み、さらに、3つ以上の物理的接触要素が、該3つ以上の接触要素で規定される幾何学的形状の中に該ウエハの中心点が入るように分散配置されており、該ウエハの端部を該3つ以上の接触要素に向けて押圧するステップを含む。該方法は、さらに、各該接触要素の位置を測定するステップを含む。そして該方法は、該接触要素の位置から該ウエハの該幾何学的変数を計算するステップを含む。
さらに本発明の各従属請求項により、本発明の好ましい展開形態が与えられる。
本発明の他の視点において、上述の方法は光学的検査装置ないしシステムを使用して実現できる。かかる光学的検査装置は、複数のモジュール(ないしユニット)から構成でき、そのうちの少なくとも1つのモジュールによりウエハの裏面の検査を行うことができる。
本発明のさらなる視点において、ウエハに限らずウエハ状形態(ディスク状態)を有する物体(ウエハ状物体)を検査対象とすることができる。
本発明は、ウエハ端部形状にかかわらず、測定対象ウエハの中心点を確実に測定することができるという利点を持つ。
そのため、最初にウエハはウエハホルダに挿入される。ここでウエハ端部が3つ以上の物理的(機械的)接触要素に向かって押圧される。この接触要素によって規定される幾何学的形状内にウエハの中心点が入るように、3つ以上の接触要素が分散配置されている。そしてそれぞれの接触要素の各位置が測定され、その接触要素の位置からウエハの幾何学的変数(数値)が計算される。
ウエハの幾何学的変数は、例えばその中心点、又は半径、又は直径又はウエハの丸さでありうる。
各接触要素は、標識又は貫通孔のあるピンとして形成される。各接触要素の位置は、明視野画像又は暗視野画像から標識又は貫通孔を用いて測定できる。
ここで、1以上の接触要素が、各接触要素の位置を測定できる位置検出器を備えていると特に有利である。
3つ以上の接触要素に加え、ウエハの丸さを測定する1以上の機械的センサを備えることができる。
別の実施形態では、ウエハ端部は4つの接触要素が物理的(機械的)に接触する。ここで、4つの接触要素のうち少なくとも1つは移動可能(可動)であり、これがウエハ端部を押圧して、ウエハ端部が残りの接触要素と接触するようにできる。
4つの接触要素は、ウエハの中心点が4つの接触要素で規定される四角形(四辺形)の内側に入るように、ウエハの端部付近に分散配置される。ウエハの中心点は、接触要素で規定される四角形(四辺形)の各辺の中点に直交する線(直角に立てた線)の交点で決定される。
本発明の他の有利な実施形態として、ウエハの端部は3つの接触要素が物理的に接触する。ここで、3つの接触要素のうち少なくとも1つは可動であり、これがウエハ端部を押圧して残りの接触要素とウエハ端部が接触するようにできる。3つの接触要素は、三角形を規定し、ウエハの中心点がその三角形の内側に入るように、ウエハの円周端部付近に分散配置される。ウエハの中心点は、3つの接触要素位置で規定される三角形の各辺の中点に直交する線の交点で決定される。
接触要素は、接触要素上の標識がウエハ端部からある所定の距離にあるように、ウエハ端部の物理的な停止用具を形成している。これはすなわち、接触要素の標識はウエハの中心点からもある所定の距離だけ離れているということである。距離ベクトルは、装置に特有の変数としてセットされる、ウエハ端部までの規定された距離により決定される。
この方法は、構造を形成していない(未加工の)ウエハの中心点、半径又は円周を測定することができる。この方法は、未加工のウエハの表(おもて)面の中心点、半径又は円周も測定することができる。この方法は、構造を形成した(加工後の)又は未加工のウエハの、未加工の裏面の中心点、半径又は円周もまた測定することができる。本発明に係る方法は、ウエハの光学検査装置の中で用いられると特に有利である。(検査)装置は複数のモジュールからなり、1以上のモジュールはウエハの裏面の光学検査(装置)を含む。
本発明の実施例を図面を参照して典型例として以下に説明する。添付図面により、本発明の更なる特徴、目的及び利点が明らかになるであろう。
図面において、同一の符号は同一又は本質的に同等の要素又は機能グループを示す。
図1は、ウエハの光学検査システム1の概略図である。システム1はモジュール構造である。ウエハの種々の光学的及び/又は非光学的検査を行うためのモジュール4、6、8及び10は、セントラルユニット2の周囲に配置されている。セントラルユニット自身はウエハ検査を行うことができる。セントラルユニット2は基本的に各ウエハを種々のモジュール4、6、8及び10に搬送する役割を負う。2つの搬送ポート12もセントラルユニット2に関連している。検査対象ウエハは搬送ポート12を経由してシステム1に導入することができる。セントラルユニット2に関連したモジュール4、6、8及び10には、ウエハの種々の光学的及び/又は非光学的検査装置を備えうる。例えばモジュール4にはウエハのマクロ(巨視的)検査装置を備えうる。その場合、モジュール10にミクロ(微視的)検査装置を用いることができる。ここで例えばマクロ検査装置用のモジュール4で発見されたウエハの位置をより詳細に調査、検査することができる。セントラルユニット2はまたウエハをモジュール4、6、8及び10のいずれの間でも往復して搬送する役割を持つ。セントラルユニット2に関連するモジュール6及び/又は8はウエハの端部検査及び/又は裏面検査を行うことができる。ウエハの中心点又は幾何学的変数を測定する方法の統合は、図1のモジュール4、6、8及び10のいずれかに統合して行うこともできる。
図2は、ウエハ16の端部14の概略図である。ウエハ16の端部14は丸くなっている。ウエハ端部の角ばった、又は鋭い端部形状は表現していない。ウエハ16の中心点を測定するためには、ウエハ16の端部14の位置を正確にかつ確実な方法で測定する必要がある。ウエハ16の端部14の位置から、ウエハ16の中心点又は他の幾何学的変数が測定できる。図2(a)に示すように、もしウエハの端部の位置を単に明視野又は暗視野において光学的に検出したのでは、ウエハ端部の不正確な位置しか得られない。もしウエハ16の端部14がランプ18で照明された場合、ウエハ端部に当たる光がいろいろな方向に反射する。いろいろな方向に反射光が発生するのは、ウエハ端部14が湾曲(Kruemmung)しているためである。正確に最適な反射条件が満たされた場合に、ウエハ端部14をカメラ20で撮像すると明るい領域が見えるのはこのためである。しかしこの明るい領域はウエハ16の端部14とは一致するとは限らない。このため、実際のウエハ端部とカメラ20により検出されたウエハ端部との間に偏差(ないし、ずれ:Abweichung)が生じる。これが実際のウエハ16の端部14の位置が、光学検査のみで得られたウエハ16の端部14から正確に決定できない理由である。
図2(b)は、ウエハ16に物理的(ないし機械的)に接触して保持する接触要素22を示す。接触要素22は支持(載置)部24と当接(ストッパ)面26を有する。ウエハ16はその端部14で接触要素22の当接面26と物理的に接触する。ウエハ16の平坦部28と接触する支持要素(支持部)24が、ウエハ16を支持するために接触要素22に配置されている。
図3は、ウエハ16の中心点又は他の幾何学的変数を測定する、本発明に係る方法の1実施形態を示す概略図である。ウエハ16の中心点又は他の幾何学的変数を測定するため、ウエハはウエハホルダ30に挿入される。ウエハホルダ30は、ウエハ16自身よりもわずかに大きい円形の開口32を有する。ここに示す実施形態においては、ウエハホルダ30は3つの接触要素22を有する。当業者にとっては、ここに示す接触要素22の数は本発明の範囲を限定するものではないことは言うまでもない。図4に示すように、4つ以上の接触要素を用いることが可能である。ウエハはシステム1内のウエハホルダ30の開口32に挿入され、接触要素22の支持要素24上に支持される。ウエハの端部14を接触要素22又はそれらの当接面26に物理的に接触させるため、少なくとも1つの接触要素が移動可能に構成される。一つの接触要素22は移動手段34に沿って移動できる。移動方向は図3の双方向矢印34aで示されている。この可動の接触要素22は、ウエハ16の端部14が他の接触要素(複数)22に接触するようにすることができる。こうして、接触要素22からウエハ16の端部14までの距離、及びかくて接触要素からウエハ16の中心点40までの距離が接触要素22の位置から得られる。図3に示す、ウエハ16の端部14に接触する接触要素22は、三角形35を規定する。4つ以上の接触要素22をウエハ16の中心点40を測定するために用いた場合は、それらの接触要素22が同様に多角形(四角形等)を規定する。接触要素22は、接触要素22によって規定される多角形がウエハ16の中心点40をその中に含むように、ウエハ16の端部14の周囲に分散配置される。従って図3に示す実施形態において、中心点40は接触要素22によって規定される三角形35の内側にある。ウエハ16の中心点40は、このように規定される三角形35の各辺37の中点に直交する線(中点に直角に立てた線)36の交点として得られる。
図4は、ウエハ16の中心点又は他の幾何学的変数を決定する他の実施形態の概略図である。図3とは異なり、図4では4つの接触要素22がウエハ16の端部14に接触している。ここでは2つの接触要素22が可動に構成されている。各接触要素22は、移動手段34に沿って双方向矢印34aの方向にウエハ16に向かって移動し、ウエハ16の端部14を他の固定された接触要素(複数)22の方へ押圧する。ウエハ16の端部14の物理的接触のため、全ての接触要素22を可動とすることも考えられる。接触要素22の位置を正確に測定するため、これらに位置検出器(エンコーダないしストロークセンサ)(図示せず)を備えることもできる。全ての接触要素22が可動に構成される必要はないことは当業者にとって明らかである。位置測定即ち(可動)接触要素22の位置測定のため、当該接触要素22に位置検出器を備えることができる。図4に示す実施形態においては、ウエハ16の端部14に接触する4つの接触要素(コンタクトエレメント)22を備える。接触要素22は、ウエハ16の端部14での接触点が四角形(四辺形)41を規定するようにウエハ16の端部の周囲に配置される。図3に規定された三角形35と同様、ウエハ16の中心点40は、このように規定される四角形41の各辺43の中点に直交する線42の交点として得られる。
図5は、接触要素22又は接触要素22の標識の位置を測定するための明視野画像及び暗視野画像の撮像のための構成の概略図である。ウエハ16はウエハホルダ30の中にあり、接触要素22によって物理的に接触されている。光学検査装置60は、ウエハホルダ30の表面31そして即ちウエハホルダ上にある全ての物体の表面を撮像するためにウエハホルダ30の上部に配置される。光学装置60は、ウエハホルダ30の表面31全体に亘ってジグザグ状(メアンダ状)の経路55に沿って横断走査する。ウエハホルダ30の表面31の撮像のために他の構成でも可能であることは当業者にとって言うまでもない。ウエハホルダ30すなわちウエハの表面31を1回の通過で撮像することも考えられる。このため、光学的撮像構成装置はウエハ及びウエハホルダ画像を得るためにウエハ又はウエハホルダ30を少なくとも1回横断する。ウエハホルダ30の表面31の光学的撮像構成装置は光線51を放射する光源50を含む。ウエハホルダ30の表面31をメアンダ状の経路55に沿って横断する撮像装置60と、ウエハホルダ30との相対運動に基づく移動に伴い、照明領域(照明スポット)53がウエハホルダ30の表面に形成される。ウエハホルダ30の表面31から放射(反射)される(反射)光54はカメラ52に到達し、カメラ52は各照明スポット53の画像を記録する。各照明スポット53の画像はつなぎ合わされてウエハホルダ30全体の画像となる。その結果、ウエハホルダ30の全体画像の中に、接触要素22又は対応する標識62を持つ接触要素22もまた存在する。従って接触要素22又は標識62の位置が、記録された画像から計算される。接触要素22又はその標識62のウエハ16の端部14からの距離はわかっているので、これから標識62のウエハ16の中心点までの距離が計算できる。
図6は、標識(位置マーキング)62を持つ接触要素22の平面図である。接触要素22は、接触面26によりウエハ16の端部14と物理的に接触している。接触要素22の標識要素からウエハ16の端部14までの距離61は、標識62の位置を測定することにより正確に決定できる。これがウエハ16の端部14の、規定された端部測定ができる理由である。
図7は、接触要素22に貫通孔64を持つ他の実施形態における接触要素22の平面図である。貫通孔64は、図5で説明した光学的に配置された手段により光学的に検知される。その結果、接触要素22の接触面26がウエハ16の端部14に接触しているので、貫通孔64からウエハ16の端部14までの距離もまた正確に決定できる。これによって貫通孔64(特にその中心又は端部)からウエハ16の端部14までの正確な距離66が決定できる。
本発明は典型的にウエハの光学検査システムとして説明した「ウエハ」と同様な(ディスク状)形状を有するその他の部材(ウエハ状物体)ないし製品にも同様に適用されることは言うまでもない。
1 光学検査システム
2 セントラルユニット
4、6、8、10 モジュール
14 (ウエハ)端部
16 ウエハ
22 接触要素
24 支持部(支持要素、載置部)
26 当接面(接触面)
30 ウエハホルダ
31 表面(おもて)
32 円形の開口
34 移動手段
34a 移動方向
35 三角形
36、42 垂線
37、43 辺
40 中心点
41 四角形(四辺形)
50 光源
51 光線
52 カメラ
53 照明領域(照明スポット)
54 反射光
55 メアンダ状の経路
60 光学検査装置
61、66 距離
62 標識
64 貫通孔
2 セントラルユニット
4、6、8、10 モジュール
14 (ウエハ)端部
16 ウエハ
22 接触要素
24 支持部(支持要素、載置部)
26 当接面(接触面)
30 ウエハホルダ
31 表面(おもて)
32 円形の開口
34 移動手段
34a 移動方向
35 三角形
36、42 垂線
37、43 辺
40 中心点
41 四角形(四辺形)
50 光源
51 光線
52 カメラ
53 照明領域(照明スポット)
54 反射光
55 メアンダ状の経路
60 光学検査装置
61、66 距離
62 標識
64 貫通孔
Claims (19)
- ウエハの幾何学的変数を求める方法であって、
該ウエハをウエハホルダに挿入するステップと、
3つ以上の物理的接触要素が、該3つ以上の接触要素で規定される幾何学的形状の中に該ウエハの中心点が入るように分散配置されており、該ウエハの端部を該3つ以上の接触要素に向けて押圧するステップと、
各該接触要素の位置を測定するステップと、
該接触要素の位置から該ウエハの該幾何学的変数を計算するステップと、
を含む方法。 - 前記幾何学的変数は、前記ウエハの中心点、半径もしくは直径、又は丸さであることを特徴とする、請求項1に記載の方法。
- 各前記接触要素は、標識ないし貫通孔を持つピンとして形成され、該各接触要素の位置は明視野画像又は暗視野画像の標識から測定されることを特徴とする、請求項1に記載の方法。
- 前記接触要素の少なくとも1つは、該接触要素の位置を測定するための位置検出器を備えることを特徴とする、請求項1に記載の方法。
- 前記3つ以上の接触要素に加えて、1以上の機械的センサを前記ウエハの丸さを測定するために備えることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一に記載の方法。
- 前記ウエハの端部は、4つの接触要素で物理的に接触されていることを特徴とする、請求項1〜5のいずれか一に記載の方法。
- 前記ウエハの端部が、該ウエハが他の接触要素に接触するように押圧されることができるように、前記4つの接触要素のうちの2つ以上が移動可能に構成される、ことを特徴とする、請求項6に記載の方法。
- 前記4つの接触要素は、該4つの接触要素で規定される四角形(四辺形)の内側に前記ウエハの中心点が入るように、該ウエハの端部の周りに分散配置されていることを特徴とする、請求項6に記載の方法。
- 前記ウエハの前記中心点は、前記接触要素で規定される前記四角形(四辺形)の辺の中点に直交する線の交点で決定されることを特徴とする、請求項8に記載の方法。
- 前記ウエハの端部は、3つの接触要素で物理的に接触されていることを特徴とする、請求項1〜5のいずれか一に記載の方法。
- 前記ウエハの端部が、該ウエハが他の接触要素に接触するように押圧されることができるように、前記3つの接触要素のうちの少なくとも1つが移動可能に構成される、ことを特徴とする、請求項10に記載の方法。
- 前記3つの接触要素は、該3つの接触要素で規定される三角形の内側に前記ウエハの中心点が入るように、該ウエハの端部の周りに分散配置されていることを特徴とする、請求項10に記載の方法。
- 前記ウエハの前記中心点は、前記接触要素で規定される前記三角形の辺の中点に直交する線の交点で決定されることを特徴とする、請求項12に記載の方法。
- 前記接触要素は、かくて該接触要素に設けられた標識は、前記ウエハの端部への物理的接触に基づいて前記ウエハの端部までの規定される距離を有し、かくて前記ウエハの中心点までの規定される距離をも有することを特徴とする、請求項1〜13のいずれか一に記載の方法。
- 前記ウエハの端部までの規定された距離によって距離ベクトルが規定され、かつ装置に特有な変数としてセットされることを特徴とする、請求項14に記載の方法。
- 未加工のウエハの中心点、半径又は円周が測定されることを特徴とする、請求項10〜15のいずれか一に記載の方法。
- 未加工のウエハの表(おもて)面の中心点、半径又は円周が測定されることを特徴とする、請求項16に記載の方法。
- 加工後又は未加工のウエハの未加工の裏面の中心点、半径又は円周が測定されることを特徴とする、請求項16に記載の方法。
- ウエハに代わり、ウエハ状物体を検査対象とすることを特徴とする請求項1〜18のいずれか一に記載の方法。
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