JP2008215877A - 超音波探傷装置および検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】被検査構造物の表面の凸凹の影響を受けずに超音波探傷試験を実施し、精度の良い測定結果を得ることができる超音波探傷装置、および複数の溶接線を検査するときの検査時間を大幅に短縮することができる検査装置を提供すること。
【解決手段】本発明の超音波探傷装置は、水中に配置された被検査構造物５に発生した欠陥を検査する。超音波探傷装置は、被検査構造物５の表面５ａ上に配置された保持機構と、保持機構により被検査構造物５の表面５ａに対して非接触状態で保持されるとともに、一次元状または二次元状に配置された複数の超音波探傷試験用探触子１を有するフェーズドアレイ探触子３と、を備えている。超音波探傷試験用探触子１の各々は、超音波を被検査構造物５内に発信するとともに、被検査構造物５の欠陥によって反射された超音波を受信する。
【選択図】図１

Description

本発明は、配管などの溶接構造物（被検査構造物）に発生したひびなどの欠陥の大きさや長さを測定する超音波探傷装置、および複数の溶接線を検査する検査装置に関する。

現状、溶接構造物（被検査構造物）に発生したひびなどの欠陥の大きさや長さを検査するときには、超音波探傷試験用探触子と溶接構造物の表面とを接触させて検査する接触法などが用いられている。そして、溶接構造物（被検査構造物）は、このような接触法により得られた超音波探傷試験結果を解析、評価することにより、検査されている。

また、現状のシュラウドやシュラウドサポートなどの沸騰水型および加圧水型原子力発電所の炉内構造物などの複数の溶接線を含んだ溶接構造物の超音波探傷試験においては、遠隔駆動装置に超音波探傷試験用探触子を１台搭載し、１溶接線毎に超音波探傷試験を行っている。

溶接構造物（被検査構造物）に発生したひびなどの欠陥の大きさや長さを検査する場合において、特に、凸凹が大きいなど複雑な表面からなる溶接構造物を検査する場合には、接触法では超音波探傷試験用探触子を位置決め精度良く設置することは困難である。また、溶接構造物の表面の形状による影響により、探傷を測定する精度が低くなる可能性がある。

また、複数の溶接線を含んだ溶接構造物の超音波探傷試験を実施する場合には、その都度、遠隔駆動装置の段取り換えを行う必要があり、工期延長の一要因となっている。

本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、被検査構造物の表面の凸凹の影響を受けずに超音波探傷試験を実施し、精度の良い測定結果を得ることができる超音波探傷装置、および複数の溶接線を検査するときの検査時間を大幅に短縮することができる検査装置を提供することを目的とする。

本発明は、水中に配置された被検査構造物に発生した欠陥を検査する超音波探傷装置において、
被検査構造物の表面上に配置された保持機構と、
保持機構により被検査構造物の表面に対して非接触状態で保持されるとともに、一次元状または二次元状に配置された複数の超音波探傷試験用探触子を有するフェーズドアレイ探触子と、を備え、
超音波探傷試験用探触子の各々が、超音波を被検査構造物内に発信するとともに、被検査構造物の欠陥から反射された超音波を受信することを特徴とする超音波探傷装置である。

本発明は、保持機構が、フェーズドアレイ探触子と被検査構造物の表面との距離を遠隔操作により調整する調整機構を有することを特徴とする超音波探傷装置である。

本発明は、超音波探傷試験用探触子からの信号に基づいて検出された被検査構造物の表面形状と、超音波探傷試験用探触子から発信された超音波の発信方向とに基づいて、被検査構造物の表面に対する超音波の入射角を検出する探傷器をさらに備えたことを特徴とする超音波探傷装置である。

本発明は、気体中に配置された被検査構造物に発生した欠陥を検査する超音波探傷装置において、
被検査構造物の表面上に配置された保持機構と、
保持機構により被検査構造物の表面に対して非接触状態で保持されるとともに、一次元状または二次元状に配置された複数の超音波探傷試験用探触子を有するフェーズドアレイ探触子と、
フェーズドアレイ探触子を覆って配置され、内部に水が充填されたチャンバー機構と、を備え、
超音波探傷試験用探触子の各々が、超音波を被検査構造物内に発信するとともに、被検査構造物の欠陥から反射された超音波を受信することを特徴とする超音波探傷装置である。

本発明は、複数の溶接線を含む被検査構造物を検査する検査装置において、
各溶接線近傍に配置され、対応する溶接線を検査する目視点検用カメラ、超音波探傷試験用探触子、渦電流試験用探触子または放射線透過試験用探触子のうち、少なくともいずれか一つを備えたことを特徴とする検査装置である。

本発明は、目視点検用カメラ、超音波探傷試験用探触子、渦電流試験用探触子または放射線透過試験用探触子にリンク機構を介して接続された遠隔駆動装置と、
目視点検用カメラ、超音波探傷試験用探触子、渦電流試験用探触子または放射線透過試験用探触子からの信号に基づいて、被検査構造物の表面形状を出力する探傷器と、
をさらに備えたことを特徴とする検査装置である。

本発明は、遠隔駆動装置にケーブルを介して接続され、遠隔駆動装置を制御する制御部をさらに備え、
遠隔駆動装置が、駆動車輪、駆動車輪用モーター、位置計測車輪、位置計測センサー、水平方向に装置を遊泳させるプロペラ、水平方向に装置を遊泳させるプロペラを回転させるモーター、上下方向に装置を遊泳させるプロペラ、上下方向に装置を遊泳させるプロペラを回転させるモーターおよび傾斜測定センサーの一部または全てからなることを特徴とする検査装置である。

本発明によれば、超音波探傷試験用探触子の各々が、超音波を被検査構造物内に発信するとともに、被検査構造物の欠陥によって反射された超音波を受信するので、被検査構造物の表面の凸凹の影響を受けずに超音波探傷試験を実施し、精度の良い測定結果を得ることができる。また、各溶接線近傍に配置され、対応する溶接線を検査する目視点検用カメラ、超音波探傷試験用探触子、渦電流試験用探触子または放射線透過試験用探触子により、複数の溶接線を検査するときの検査時間を大幅に短縮することができる。

発明を実施するための形態

第１の実施の形態
以下、本発明に係る超音波探傷装置の第１の実施の形態について、図面を参照して説明する。ここで、図１乃至図６は本発明の第１の実施の形態を示す図である。

本実施の形態の超音波探傷装置は、図１に示すように、水Ｗの中に配置されたシュラウド、シュラウドサポート、ジェットポンプ、炉心スプレイ配管、給水スパージャ、制御棒駆動機構スタブチューブ、インコア検出案内管などの炉内構造物および再循環系（以下、ＰＬＲと言う）配管などの被検査構造物５に発生したひびなどの欠陥を検出するためのものである。

ここで、ひびの種類としては、図１に示すように、超音波探傷試験用探触子１が存在する面（図１において上面）５ａに開口面を有するひび（欠陥）Ｄ_１、超音波探傷試験用探触子１が存在する面と逆の面（図１において下面）に開口面を有するひび（欠陥）Ｄ_２、被検査構造物５に内在するひび（欠陥）Ｄ_３がある。

この超音波探傷装置は、図１に示すように、被検査構造物５の表面５ａ上に配置された水距離一定保持治具（保持機構）４と、水距離一定保持治具４により被検査構造物５の表面５ａに対して非接触状態で一定の距離（水距離）を保って保持されるとともに、直線状（一次元状）またはマトリックス状（二次元状）に配置された複数の超音波探傷試験用探触子１を有するフェーズドアレイ探触子３（図２（ａ）（ｂ）参照）と、フェーズドアレイ探触子３からの信号に基づいて、被検査構造物５の表面５ａ形状を表示（出力）する探傷器１７とを備えている。なお、探傷器１７は、ケーブル２３を介して、フェーズドアレイ探触子３に接続されている。

また、図１において、超音波探傷試験用探触子１の各々は、超音波を被検査構造物５内に発信するとともに、被検査構造物５に発生したひびなどの欠陥によって反射された超音波を受信する。

また、図１において、水距離一定保持治具４は、フェーズドアレイ探触子３を駆動してフェーズドアレイ探触子３と被検査構造物５の表面５ａとの距離を遠隔操作により調整する調整機構４ａを有している。また、図１に示すように、水距離一定保持治具４は被検査構造物５の表面５ａの凸凹に追従するために、走行車輪１２および伸縮機構１３を有している。

また、図１に示す探傷器１７は、超音波探傷試験用探触子１からの信号に基づいて検出された被検査構造物５の表面５ａの形状と、超音波探傷試験用探触子１から発信された超音波の発信方向とに基づいて、被検査構造物５内で伝達される超音波の屈折角を算出する。

なお、図１に示す超音波探傷装置の調整機構４ａは、探傷器１７から得られた被検査構造物５の表面５ａ形状に関する情報に基づいて、フェーズドアレイ探触子３を回動させることにより、超音波探傷試験用探触子１から被検査構造物５内に発信される超音波の入射角を調整することができる。

次に、このような構成からなる本実施の形態の作用について述べる。

最初に、ひびＤ_１，Ｄ_２，Ｄ_３の深さを算出する一般的な方法について、図３乃至図５を用いて説明する。

まず、図３を用いて、超音波探傷試験用探触子１が存在する面に開口面を有するひびＤ_１の深さを算出する方法について説明する。

図３において、水Ｗの中の超音波ＵＳ_ｉａの音速をＶ_ｉａ、被検査構造物５内の超音波ＵＳ_ｒａの音速をＶ_ｒａ、被検査構造物５への超音波ＵＳ_ｉａの入射角をΘ_ｉａ、被検査構造物５の中での超音波ＵＳ_ｒａの屈折角をΘ_ｒａとすると、次の式（１）が成立する。
Ｖ_ｉａ／sinΘ_ｉａ＝Ｖ_ｒａ／sinΘ_ｒａ 式（１）
そして、このような式（１）に基づき、入射角Θ_ｉａから、超音波ＵＳ_ｒａの被検査構造物５内における屈折角Θ_ｒａを算出することができ、後述する式（４）によって、ひびの深さｄを算出することができる。

次に、図４を用いて、超音波探傷試験用探触子１が存在する面と逆の面に開口面を有するひびＤ_２の深さを算出する方法について説明する。

図４において、水Ｗの中の超音波ＵＳ_ｉｂの音速をＶ_ｉｂ、被検査構造物５内の超音波ＵＳ_ｒｂの音速をＶ_ｒｂ、被検査構造物５への超音波ＵＳ_ｉｂの入射角をΘ_ｉｂ、被検査構造物５の中での屈折角をΘ_ｒｂとすると、次の式（２）が成立する。
Ｖ_ｉｂ／sinΘ_ｉｂ＝Ｖ_ｒｂ／sinΘ_ｒｂ 式（２）
そして、このような式（２）に基づき、入射角Θ_ｉｂから、超音波ＵＳ_ｒｂの被検査構造物５内における屈折角Θ_ｒｂを算出することができ、後述する式（４）によって、ひびの深さｄを算出することができる。

次に、図５を用いて、被検査構造物５に内在するひびＤ_３の深さを算出する方法について説明する。

図５において、水Ｗの中の超音波ＵＳ_ｉｃの音速をＶ_ｉｃ、被検査構造物５内の超音波ＵＳ_ｒｃの音速をＶ_ｒｃ、被検査構造物５への超音波ＵＳ_ｉｃの入射角をΘ_ｉｃ、被検査構造物５の中での屈折角をΘ_ｒｃとすると、次の式（３）が成立する。
Ｖ_ｉｃ／sinΘ_ｉｃ＝Ｖ_ｒｃ／sinΘ_ｒｃ 式（３）
そして、このような式（３）に基づき、入射角Θ_ｉｃから、超音波ＵＳ_ｒｃの被検査構造物５内における屈折角Θ_ｒｃを算出することができ、後述する式（４）によって、ひびの深さｄを算出することができる。

続いて、本実施の形態による超音波探傷装置を用いて、被検査構造物５に発生したひびの深さを検出する方法について、超音波探傷試験用探触子１が存在する面に開口面を有するひびＤ_１を例にとって説明する。

まず、超音波探傷装置が被検査構造物５の表面５ａ上に設置される（図６参照）。

次に、フェーズドアレイ探触子３の直線状またはマトリックス状に配置された複数の超音波探傷試験用探触子１（図２参照）から、水Ｗの中に超音波ＵＳ_ｉａが発信され、当該超音波ＵＳ_ｉａが被検査構造物５内に入射する（図６参照）。

次に、フェーズドアレイ探触子３の各超音波探傷試験用探触子１によって、被検査構造物５に発生したひびＤ_１により反射された超音波ＵＳ_ｒａが水Ｗを通過した後、受信される（図６参照）。このように、水浸法を用いることにより、被検査構造物５の表面５ａの凸凹の影響を受けずに超音波探傷試験を実施することができる。このため、精度の良い測定結果を得ることができる。

次に、図６において、超音波探傷試験用探触子１により受信された超音波ＵＳ_ｒａに関する信号が探傷器１７に送信され、当該探傷器１７によって表示される。具体的には、図６に示すように、複数の超音波探傷試験用探触子１のうち、ｎ番目の超音波探傷試験用探触子１が検知したＡスコープ信号Ｓ_ａ，ｎおよび（ｎ＋１）番目の超音波探傷試験用探触子１が検知したＡスコープ信号Ｓ_{ａ，ｎ＋１}など全ての超音波探傷試験用探触子１が検知したＡスコープ信号Ｓ_ａと、当該Ａスコープ信号Ｓ_ａから探傷器１７内で変換されたＢスコープ信号Ｓ_ｂとが、探傷器１７に表示される。

また、図６において、探傷器１７により、超音波探傷試験用探触子１からの信号に基づいて検出された被検査構造物５の表面５ａの形状と、超音波探傷試験用探触子１から発信された超音波ＵＳ_ｉａの発信方向とに基づいて、ひびＤ_１の深さｄを精度良く検出することができる。

具体的には、図６において、探傷器１７により、Ｂスコープ信号Ｓ_ｂにおける表面エコー３０のずれ量Ｑ_Ｌおよびずれ量Ｑ_Ｗを計測される。そして、探傷器１７により、このずれ量Ｑ_Ｌおよびずれ量Ｑ_Ｗから被検査構造物５の表面５ａの傾斜角Θ_ｓが算出され、被検査構造物５の表面５ａの実際の凸凹が検出される。そして、検出された被検査構造物５の表面５ａの実際の凸凹と、超音波探傷試験用探触子１から発信された超音波ＵＳ_ｉａの発信方向とに基づいて、探傷器１７により、被検査構造物５の表面５ａに対する超音波ＵＳ_ｉａの入射角Θ_ｉａが正確に検出される。このため、上述した式（１）に基づいて、被検査構造物５内で伝達される超音波ＵＳ_ｒａの屈折角Θ_ｒａを正確に算出することができる。この結果、以下の式（４）によりひびＤ_１の深さｄを精度良く検出することができる。
ｄ＝Ｌ×cosΘ_ｒａ 式（４）

ここで、Ｌは被検査構造物５内における超音波ＵＳ_ｒａの路程を示しており、超音波ＵＳ_ｒａの被検査構造物５の中における速度と、超音波ＵＳ_ｒａが超音波探傷試験用探触子１により被検査構造物５内に入射された時間から、ひびＤ_１で反射された後に超音波探傷試験用探触子１により受信されるまでの時間と、によって算出される。

第２の実施の形態
次に図７により本発明の第２の実施の形態について説明する。図７に示す第２の実施の形態は、気体中に配置された被検査構造物５に発生した欠陥を検査するための超音波探傷装置であり、フェーズドアレイ探触子３を覆って配置され、内部に水（図示せず）が充填されたチャンバー機構４３をさらに備えたものであり、その他の構成は図１乃至図６に示す第１の実施の形態と略同一である。

図７に示す第２の実施の形態において、図１乃至図６に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。

図７に示すように、チャンバー機構４３は、プローブフォルダー４０により保持されている。このプローブフォルダー４０は、水距離一定保持治具４も保持している。チャンバー機構４３には、チャンバー機構４３内に水を供給するポンプ３９がホース３８を介して連結されている。

また、図７に示すように、プローブフォルダー４０には、駆動用ベルト４１が連結され、当該駆動用ベルト４１には駆動用ベルト４１を駆動する駆動機構４４が連結されている。

例えば、被検査構造物５としてＰＬＲ配管などの配管を検査する場合には、配管５の周方向にプローブフォルダー４０を駆動させることにより、気中に存在する配管に対して水浸法を用いて超音波探傷することができる。

なお、駆動機構４４には、駆動用モーター（図示せず）やプローブフォルダー４０の位置検出用のエンコーダー（図示せず）が搭載されている。なお、このエンコーダーで検出されたプローブフォルダー４０の位置に関する情報は、探傷器１７によって表示されることが好ましい。

第３の実施の形態
次に図８および図９により本発明の第３の実施の形態について説明する。図８および図９に示す第３の実施の形態は、複数の溶接線４６を含む被検査構造物５を検査するための検査装置であり、各溶接線４６近傍に、対応する溶接線４６を検査する超音波探傷試験用探触子１を有するフェーズドアレイ探触子３が設置されている。また、フェーズドアレイ探触子３には、リンク機構４８を介して遠隔駆動装置５０が接続されている。また、フェーズドアレイ探触子３には、フェーズドアレイ探触子３の超音波探傷試験用探触子１からの信号に基づいて被検査構造物５の表面５ａの形状を表示（出力）する探傷器１７が接続されている。

図８および図９に示す第３の実施の形態において、図１乃至図６に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。

図８に示すように、各溶接線４６に対して、伝播する超音波ＵＳの軌跡を勘案した上で、一次元状または二次元状に配置された複数の超音波探傷試験用探触子１を有するフェーズドアレイ探触子３（図２（ａ）（ｂ）参照）が設置されている。

また、各フェーズドアレイ探触子３はリンク機構４８を介して遠隔駆動装置５０に接続されている。このため、遠隔駆動装置５０の駆動に追従させて各フェーズドアレイ探触子３の超音波探傷試験用探触子１を駆動させることができる。

このように、各溶接線４６近傍に、対応する溶接線４６を検査する超音波探傷試験用探触子１が配置されているので、従来のように遠隔駆動装置５０の段取り換えを行う必要がなく、かつ同時に複数の溶接線４６を検査することができる。このため、検査時間を大幅に短縮することができる。

なお、図８には、１体のリング状溶接構造物に対する複数の溶接線４６に対して超音波探傷試験を実施する態様を用いているが、これに限ることなく、複数のリング状溶接構造物および胴状溶接構造物に対して超音波探傷試験を実施することもできる。

次に、図９を用いて、図８に示す超音波探傷装置で用いられる遠隔駆動装置５０の概要を説明する。

図９に示すように、遠隔駆動装置５０には、ケーブル５４を介して遠隔駆動装置５０を制御する制御盤（制御部）６０が接続されている。このような遠隔駆動装置５０は、駆動車輪５１と、駆動車輪用モーター５５と、位置計測車輪５３と、位置計測センサー５６と、水平方向に装置を遊泳させるプロペラ４５と、当該プロペラ４５を回転させるモーター５８と、上下方向に装置を遊泳させるプロペラ５７と、当該プロペラ５７を回転させるモーター５９と、傾斜測定センサー５２と、を有している。なお、遠隔駆動装置５０は、これらの部材の全てを有する必要はなく、これらの部材の一部だけを有していてもよい。

図９において、上述した水平方向に装置を遊泳させるプロペラ４５により、遠隔駆動装置５０を被検査構造物５の壁面に吸着させ、駆動車輪５１により水平方向または上下方向に駆動することができる。

また、図９において、傾斜測定センサー５２が検出するデータを、制御盤６０による駆動車輪５１の制御にフィードバックすることにより、遠隔駆動装置５０を常時水平に保つことができる。また、遠隔駆動装置５０には、上下左右にリンク機構４８を取り付けることができ、当該リンク機構４８を介して超音波探傷試験用探触子１を設置することができる。

なお、上記では、水平方向に延在する複数の溶接線４６に対して同時に超音波探傷試験を実施する態様について説明したが、これに限ることなく、垂直方向に延在する複数の溶接線４６に対して同時に超音波探傷試験を実施することもできる。

また、上記では、超音波探傷試験用探触子１を用いて説明したが、これに限ることなく、超音波探傷試験用探触子１の代わりに、目視点検用カメラ、渦電流試験用探触子または放射線透過試験用探触子などを用いてもよい。

本発明の第１の実施の形態による超音波探傷装置の概要を示す構成図。 本発明の第１の実施の形態による超音波探傷装置の超音波探傷試験用探触子およびフェーズドアレイ探触子を示す概略図。 本発明の第１の実施の形態による超音波探傷装置において、被検査構造物の超音波探傷試験用探触子が存在する面に開口面を有するひびの深さを算出する一般的な方法を説明するための概略図。 本発明の第１の実施の形態による超音波探傷装置において、被検査構造物の超超音波探傷試験用探触子が存在する面と逆の面に開口面を有するひびの深さを算出する一般的な方法を説明するための概略図。 本発明の第１の実施の形態による超音波探傷装置において、被検査構造物に内在するひびの深さを算出する一般的な方法を説明するための概略図。 本発明の第１の実施の形態による超音波探傷装置において、水浸法により、被検査構造物に発生したひびの深さを検出する方法を説明するための概略図。 本発明の第２の実施の形態による超音波探傷装置の概要を示す構成図。 本発明の第３の実施の形態による検査装置の概要を示す構成図。 本発明の第３の実施の形態による検査装置における遠隔駆動装置の概要を示す構成図。

符号の説明

１ 超音波探傷試験用探触子
３ フェーズドアレイ探触子
４ 水距離一定保持治具
５ 被検査構造物
５ａ 被検査構造物の表面
１２ 車輪
１３ 伸縮機構
１７ 探傷器
２３ ケーブル
３８ ホース
３９ 水供給ポンプ
４０ プローブフォルダー
４１ 駆動用ベルト
４３ チャンバー機構
４４ 駆動機構
４５ プロペラ
４６ 溶接線
４８ リンク機構
４９ 位置計測センサー
５０ 遠隔駆動装置
５１ 駆動車輪
５２ 傾斜測定センサー
５３ 位置計測用車輪
５４ ケーブル
５５ 駆動車輪用モーター
５６ 位置計測センサー
５７ プロペラ
５８，５９ モーター
６０ 制御盤（制御部）
ｄ ひびの深さ
Ｄ_１ 被検査構造物の超音波探傷試験用探触子が存在する面に開口面を有するひび
Ｄ_２ 被検査構造物の超音波探傷試験用探触子が存在する面と逆の面に開口面を有するひび
Ｄ_３ 被検査構造物に内在するひび
Ｌ 路程
Ｑ_Ｌ ずれ量
Ｑ_ｗ ずれ量
Ｓ_ａ Ａスコープ信号
Ｓ_ｂ Ｂスコープ信号
ＵＳ 超音波
ＵＳ_ｉａ，ＵＳ_ｉｂ，ＵＳ_ｉｃ 被検査構造物に入射する超音波
ＵＳ_ｒａ，ＵＳ_ｒｂ，ＵＳ_ｒｃ 被検査構造物内で屈折した超音波
Ｗ 水
Θ_ｓ 被検査構造物の表面の傾斜角
Θ_ｉａ，Θ_ｉｂ，Θ_ｉｃ 入射角
Θ_ｒａ，Θ_ｒｂ，Θ_ｒｃ 屈折角

Claims (7)

1. 水中に配置された被検査構造物に発生した欠陥を検査する超音波探傷装置において、
   被検査構造物の表面上に配置された保持機構と、
   保持機構により被検査構造物の表面に対して非接触状態で保持されるとともに、一次元状または二次元状に配置された複数の超音波探傷試験用探触子を有するフェーズドアレイ探触子と、を備え、
   超音波探傷試験用探触子の各々は、超音波を被検査構造物内に発信するとともに、被検査構造物の欠陥から反射された超音波を受信することを特徴とする超音波探傷装置。
2. 保持機構は、フェーズドアレイ探触子と被検査構造物の表面との距離を遠隔操作により調整する調整機構を有することを特徴とする請求項１記載の超音波探傷装置。
3. 超音波探傷試験用探触子からの信号に基づいて検出された被検査構造物の表面形状と、超音波探傷試験用探触子から発信された超音波の発信方向とに基づいて、被検査構造物の表面に対する超音波の入射角を検出する探傷器をさらに備えたことを特徴とする請求項１記載の超音波探傷装置。
4. 気体中に配置された被検査構造物に発生した欠陥を検査する超音波探傷装置において、
   被検査構造物の表面上に配置された保持機構と、
   保持機構により被検査構造物の表面に対して非接触状態で保持されるとともに、一次元状または二次元状に配置された複数の超音波探傷試験用探触子を有するフェーズドアレイ探触子と、
   フェーズドアレイ探触子を覆って配置され、内部に水が充填されたチャンバー機構と、を備え、
   超音波探傷試験用探触子の各々は、超音波を被検査構造物内に発信するとともに、被検査構造物の欠陥から反射された超音波を受信することを特徴とする超音波探傷装置。
5. 複数の溶接線を含む被検査構造物を検査する検査装置において、
   各溶接線近傍に配置され、対応する溶接線を検査する目視点検用カメラ、超音波探傷試験用探触子、渦電流試験用探触子または放射線透過試験用探触子のうち、少なくともいずれか一つを備えたことを特徴とする検査装置。
6. 目視点検用カメラ、超音波探傷試験用探触子、渦電流試験用探触子または放射線透過試験用探触子にリンク機構を介して接続された遠隔駆動装置と、
   目視点検用カメラ、超音波探傷試験用探触子、渦電流試験用探触子または放射線透過試験用探触子からの信号に基づいて、被検査構造物の表面形状を出力する探傷器と、
   をさらに備えたことを特徴とする請求項５記載の検査装置。
7. 遠隔駆動装置にケーブルを介して接続され、遠隔駆動装置を制御する制御部をさらに備え、
   遠隔駆動装置は、駆動車輪、駆動車輪用モーター、位置計測車輪、位置計測センサー、水平方向に装置を遊泳させるプロペラ、水平方向に装置を遊泳させるプロペラを回転させるモーター、上下方向に装置を遊泳させるプロペラ、上下方向に装置を遊泳させるプロペラを回転させるモーターおよび傾斜測定センサーの一部または全てからなることを特徴とする請求項６記載の検査装置。

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