JP2008210831A - 半導体チップの検査方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】プローブカードを用いた半導体チップの検査方法において、最初の測定を複数個対応プローブカードを用いて行う方法でありながら、良品のチップに再測定で傷が付かないようにする。
【解決手段】半導体基板上の複数のチップの電気的特性を同時に測定する複数個対応プローブカード11と、1個のチップの電気的特性を測定する1個対応プローブカード12と、半導体基板を載せるステージ13,14と、を備えたプローブ検査装置を用意し、この装置を用いて、ウエーハ(半導体基板)W上の全てのチップの電気的特性を複数個対応プローブカード11で測定した後に、この測定で不良品と判断されたチップの電気的特性を1個対応プローブカード12で測定する。
【選択図】図1
【解決手段】半導体基板上の複数のチップの電気的特性を同時に測定する複数個対応プローブカード11と、1個のチップの電気的特性を測定する1個対応プローブカード12と、半導体基板を載せるステージ13,14と、を備えたプローブ検査装置を用意し、この装置を用いて、ウエーハ(半導体基板)W上の全てのチップの電気的特性を複数個対応プローブカード11で測定した後に、この測定で不良品と判断されたチップの電気的特性を1個対応プローブカード12で測定する。
【選択図】図1
Description
本発明は、プローブカードを用いた半導体チップの検査方法に関する。
従来より、プローブカードを用いた半導体チップの検査方法としては、半導体基板上の複数のチップの電気的特性を同時に測定する複数個対応プローブカードを用いる方法と、1個のチップの電気的特性を測定する1個対応プローブカードを用いる方法がある。
そして、1個対応プローブカードを用いる方法では、測定により不良品と判断されたチップを再度測定することが行われている。しかし、複数個対応プローブカードを用いる方法では、最初の測定で良品と判断されたチップに再測定の際にプローブが接触することで、チップに傷が付いて不良品となることを避ける等の理由で、再測定を行わないことが多い。
そして、1個対応プローブカードを用いる方法では、測定により不良品と判断されたチップを再度測定することが行われている。しかし、複数個対応プローブカードを用いる方法では、最初の測定で良品と判断されたチップに再測定の際にプローブが接触することで、チップに傷が付いて不良品となることを避ける等の理由で、再測定を行わないことが多い。
プローブカードを用いた半導体チップの検査方法に関する従来文献としては、下記の特許文献1が挙げられる。この文献には、不良項目によっては不良と判定しないで、プローブカートのプローブ先端と半導体ウエーハの電極との接触状態を改善するように構成された装置が記載されている。
特開平11−2335723号公報
本発明の課題は、プローブカードを用いた半導体チップの検査方法として、最初の測定を複数個対応プローブカードを用いて行う方法でありながら、良品のチップに再測定で傷が付かないようにできる方法を提供することである。
上記課題を解決するために、本発明の半導体チップの検査方法は、半導体基板上の複数のチップの電気的特性を同時に測定する複数個対応プローブカードと、1個のチップの電気的特性を測定する1個対応プローブカードと、半導体基板を載せるステージと、を備えたプローブ検査装置を用意し、この装置を用いて、半導体基板上の全てのチップの電気的特性を複数個対応プローブカードで測定した後に、この測定で不良品と判断されたチップの電気的特性を1個対応プローブカードで測定することを特徴とする。
本発明の半導体チップの検査方法によれば、半導体基板上の全てのチップの電気的特性を複数個対応プローブカードで測定した後に、この測定で不良品と判断されたチップの電気的特性を1個対応プローブカードで測定するため、最初の測定を複数個対応プローブカードを用いて行う方法でありながら、良品のチップに再測定で傷が付かないようにすることができる。
以下、本発明の実施形態について説明する。
図1は、この実施形態の方法で使用するプローブ検査装置を示す概略構成図である。
この装置は測定部1と記憶部2とからなる。測定部1は、複数個対応プローブカード11と、1個対応プローブカード12と、ウエーハ(半導体基板)Wを載せるステージ13,14を備えている。第1のステージ13は、複数個対応プローブカード11を用いた検査を行う位置に、第2のステージ14は、1個対応プローブカード12を用いた検査を行う位置に、それぞれ配置されている。また、図示されていないが、第1のステージ13から第2のステージ14へウエーハWを移動する機構も備えている。さらに、コントローラ、ステージ移動機構、アライメント機構等の、従来のプローブ検査装置に標準装備されている装置および機構も備えている。
図1は、この実施形態の方法で使用するプローブ検査装置を示す概略構成図である。
この装置は測定部1と記憶部2とからなる。測定部1は、複数個対応プローブカード11と、1個対応プローブカード12と、ウエーハ(半導体基板)Wを載せるステージ13,14を備えている。第1のステージ13は、複数個対応プローブカード11を用いた検査を行う位置に、第2のステージ14は、1個対応プローブカード12を用いた検査を行う位置に、それぞれ配置されている。また、図示されていないが、第1のステージ13から第2のステージ14へウエーハWを移動する機構も備えている。さらに、コントローラ、ステージ移動機構、アライメント機構等の、従来のプローブ検査装置に標準装備されている装置および機構も備えている。
複数個対応プローブカード11は、図2(a)に示すように、5行4列20個のプローブ11aを備えている。1個対応プローブカード12は、図2(b)に示すように、1個のプローブ12aを備えている。
そして、この実施形態では、図3に示すフローチャートに沿って、半導体チップの検査を行う。先ず、ステップS1で、通常測定、すなわち、第1のステージ13上に載せたウエーハWに対して複数個対応プローブカード11を用いた検査を行う。
そして、この実施形態では、図3に示すフローチャートに沿って、半導体チップの検査を行う。先ず、ステップS1で、通常測定、すなわち、第1のステージ13上に載せたウエーハWに対して複数個対応プローブカード11を用いた検査を行う。
次に、複数個対応プローブカード11を用いた20個のチップに対する検査で、不良と判断されたチップがあるかどうかを判定し、「不良チップ有り」の場合にはステップS3に移行する。ステップS2で「不良チップ無し」と判定された場合にはステップS4に移行する。
ステップS3では、カウンタ・レジスタに不良チップの座標と「FAIL TEST
No. 」を記録した後に、ステップS4に移行する。ステップS4では、ウエーハ全範囲でプローブカードによる検査が終了したかどうか判定し、終了していればステップS5に移行し、していなければステップS1に戻って次の範囲の「通常測定」を行う。
ステップS3では、カウンタ・レジスタに不良チップの座標と「FAIL TEST
No. 」を記録した後に、ステップS4に移行する。ステップS4では、ウエーハ全範囲でプローブカードによる検査が終了したかどうか判定し、終了していればステップS5に移行し、していなければステップS1に戻って次の範囲の「通常測定」を行う。
ステップS5では、ウエーハ全範囲でプローブカードによる検査が終了した結果、不良チップの数が予め決めた規定数(例えば全チップの5%に相当する数)以上であるかどうかを判定し、規定数以上であればステップS6に移行し、規定数未満であれば検査を終了する。ステップS6では、第1のステージ13上で通常測定を行った後のウエーハWを第2のステージ14の上に移動して、ステップS3で記録した、不良チップの座標と「FAIL TEST No. 」に基づいて、各不良チップの再測定を1個対応プローブカード12を用いて行う。
この実施形態の方法によれば、ウエーハW上の全てのチップの電気的特性を複数個対応プローブカード11で測定した後に、この測定で不良品と判断されたチップの電気的特性を1個対応プローブカード12で測定するため、最初の測定を複数個対応プローブカード11を用いて行う方法でありながら、良品のチップに再測定で傷が付かないようにすることができる。
なお、図1では、複数個対応プローブカード11を用いた検査を行う第1のステージ13と、1個対応プローブカード12を用いた検査を行う第2のステージ14を、それぞれ対応する位置に配置しているが、ステージは1個で共通とし、複数個対応プローブカード11と1個対応プローブカード12をステージの位置に移動する機構を設けてもよい。
また、この実施形態の方法では、ウエーハ全範囲で不良チップの数が予め決めた規定数以上であれば再測定を行い、規定数未満であれば検査を終了している。そして、ウエーハWを各チップに切断した後に、不良チップを次の製品工程に送らずに廃棄する。この方法によれば、廃棄するチップの数が少ないため、不良数が少ない場合でも再測定を行う場合と比較して、再測定を行う手間とコストが削減できる。
また、この実施形態の方法では、ウエーハ全範囲で不良チップの数が予め決めた規定数以上であれば再測定を行い、規定数未満であれば検査を終了している。そして、ウエーハWを各チップに切断した後に、不良チップを次の製品工程に送らずに廃棄する。この方法によれば、廃棄するチップの数が少ないため、不良数が少ない場合でも再測定を行う場合と比較して、再測定を行う手間とコストが削減できる。
1…測定部、2…記憶部、11…複数個対応プローブカード、12…1個対応プローブカード、13…第1のステージ、14…第2のステージ、W…ウエーハ(半導体基板)。
Claims (1)
- 半導体基板上の複数のチップの電気的特性を同時に測定する複数個対応プローブカードと、1個のチップの電気的特性を測定する1個対応プローブカードと、半導体基板を載せるステージと、を備えたプローブ検査装置を用意し、この装置を用いて、半導体基板上の全てのチップの電気的特性を複数個対応プローブカードで測定した後に、この測定で不良品と判断されたチップの電気的特性を1個対応プローブカードで測定することを特徴とする半導体チップの検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007043386A JP2008210831A (ja) | 2007-02-23 | 2007-02-23 | 半導体チップの検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007043386A JP2008210831A (ja) | 2007-02-23 | 2007-02-23 | 半導体チップの検査方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2008210831A true JP2008210831A (ja) | 2008-09-11 |
Family
ID=39786916
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007043386A Pending JP2008210831A (ja) | 2007-02-23 | 2007-02-23 | 半導体チップの検査方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2008210831A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010141247A (ja) * | 2008-12-15 | 2010-06-24 | Toshiba Corp | プローブ装置、処理装置及びウェハプローブテストの処理方法 |
-
2007
- 2007-02-23 JP JP2007043386A patent/JP2008210831A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2010141247A (ja) * | 2008-12-15 | 2010-06-24 | Toshiba Corp | プローブ装置、処理装置及びウェハプローブテストの処理方法 |
US8283940B2 (en) | 2008-12-15 | 2012-10-09 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Probe device, processing device, and probe testing method |
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