JP2008209411A - 圧力センサー - Google Patents
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Abstract
鉛を含まない材料の使用の下で高い圧力や圧力差でも、信頼性に関する要件を満たす圧力センサーを提供すること。
【解決手段】
ケーシング、ケーシングプラグとケーシング内に突き出して鉛を含まない材料製圧力支柱から成る圧力センサーとそれを製作する方法を提供する。圧力センサーには圧力吸収体が配置されていて、圧力支柱上に貼り付けられるので、圧力支柱に存在する通路が片側で閉じられている。圧力支柱がある領域では表面粗さを有し、この領域にて付着仲介層を備えていて、圧力吸収体がこの領域にて圧力支柱と接着剤により結合されている。
【選択図】図1
Description
2.....通路
3.....柔軟な接続体
4.....集積制御回路(IC)
5.....第一領域
6.....SMD構成要素
7.....別の、即ち第二領域
8.....開口
9.....ケーシング
10....電気接点
11....密封リング
12....キャップ
13....シリコン圧力吸収体
14....配線支持体
15....半田接続部
16....圧力支柱
17....中空空間
18....前面
19....裏面
Claims (17)
- ケーシング(9)、ケーシングプラグ(1)とケーシング(9)内に突き出して鉛を含まない材料製の圧力支柱(16)から成り、圧力センサーには圧力支柱(16)上に貼り付けられている圧力吸収体(13)が配置されていて、圧力支柱(16)内に存在する通路(2)が片側で閉じられている圧力センサーにおいて、圧力支柱(16)が領域(5)では表面粗さを有して付着仲介層を備えていて、圧力吸収体(13)がこの領域(5)において圧力支柱(16)と接着剤により結合されていることを特徴とする圧力センサー。
- 圧力支柱(16)の領域(5)は表面形状が丸くされた縁や峰を有するようにざらざらにされることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサー。
- 圧力吸収体(13)は圧力支柱(16)と接着剤により結合されているガラス或いはシリコン裏面を備えていることを特徴とする請求項1或いは2に記載の圧力センサー。
- 圧力支柱(16)は別の領域(7)では接着剤によりケーシング(9)と結合されていて、別の次に第二と名づけた領域(7)が表面粗さと付着仲介層を有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の圧力センサー。
- ケーシング(9)は鉛を含まないアルミニュウム合金、真鍮、合成樹脂或いは貴金属から成ることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の圧力センサー。
- ケーシング(9)は圧力支柱(16)と接着結合する領域では表面粗さと付着仲介層を有することを特徴とする請求項5に記載の圧力センサー。
- 付着仲介層は不動態層を有することを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の圧力センサー。
- ケーシング(9)は不動態層により被覆されていることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか一項に記載の圧力センサー。
- 不動態層はクロム保有構成部材を有しない材料から成ることを特徴とする請求項7或いは8に記載の圧力センサー。
- ケーシング(9)、ケーシング(9)と結合されたケーシングプラグ(1)、ケーシング(9)内に突き出す圧力支柱(16)、圧力支柱(16)と結合された圧力吸収体(13)から成り、圧力吸収体が圧力支柱(16)内に存在する通路(2)を片側に閉鎖させる圧力センサーを製造する方法において、
・鉛を含まない材料製の圧力支柱(16)を準備し、
・後から圧力吸収体(13)が組み立てられる通路(2)を包囲する第一領域(5)において放射方法によって圧力支柱(16)の表面粗さを製作し、
・少なくとも第一放射された領域(5)をカバーする一致付着仲介層を圧力支柱(16)の表面上に製作し、
・圧力吸収体(13)を圧力支柱(16)の第一領域(5)に貼り付ける工程から成ることを特徴とする方法。 - 別の領域(7)における圧力支柱(16)には、そのような表面粗さが放射方法とこの別の領域(7)をカバーする付着仲介層によって発生されていて、圧力支柱(16)がこの別の次に第二として名づけられた領域(7)においてケーシング(9)と接着剤により結合されていることを特徴とする請求項10に記載の方法。
- 放射方法のために、球状放射物が使用されることを特徴とする請求項10或いは11に記載の方法。
- 圧力吸収体(13)がガラス或いはシリコン裏面を備えていて、ガラス或いはシリコン裏面と圧力支柱(16)との間の結合が接着剤によって行われることを特徴とする請求項10乃至12のいずれか一項に記載の方法。
- ケーシング(9)が鉛を含まないアルミニュウム合金、真鍮、合成樹脂或いは貴金属から作用されることを特徴とする請求項10乃至13のいずれか一項に記載の方法。
- 付着仲介層が表面の不動態層によって製作されることを特徴とする請求項10乃至14のいずれか一項に記載の方法。
- ケーシング(9)の表面には不動態層が製造されることを特徴とする請求項10乃至15のいずれか一項に記載の方法。
- 不動態層がクロムのない材料から製造されることを特徴とする請求項10乃至16のいずれか一項に記載の方法。
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