JP3410711B2 - 耐腐食性のダイヤフラム圧力センサ - Google Patents

耐腐食性のダイヤフラム圧力センサ

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JP3410711B2
JP3410711B2 JP2000208016A JP2000208016A JP3410711B2 JP 3410711 B2 JP3410711 B2 JP 3410711B2 JP 2000208016 A JP2000208016 A JP 2000208016A JP 2000208016 A JP2000208016 A JP 2000208016A JP 3410711 B2 JP3410711 B2 JP 3410711B2
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diaphragm
pressure
pressure sensor
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満芳 相澤
喜則 川村
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株式会社テムテック研究所
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/06—Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
    • G01L19/0627—Protection against aggressive medium in general

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、圧力センサに関
し、特に、例えば薬液容器、薬液用配管に使用するため
の耐薬液のダイヤフラム圧力センサに関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】一般に、ダイヤフラム圧力センサは、加
えられた圧力によるダイヤフラムの変位を電気信号に変
換して圧力を検出するように構成されている。特に、強
酸、強アルカリ性薬液等の圧力を検出するダイヤフラム
圧力センサは、これらの薬液による腐食を避けるため
に、ダイヤフラムが金属ダイヤフラムの場合にはその表
面をフッ素樹脂でコーティングしたり、耐腐食性の高い
素材、例えばアルミナセラミックス製のダイヤフラムを
使用していた。
【０００３】しかしながら、従来のダイヤフラム圧力セ
ンサにおいて、フッ素樹脂でコーティングした金属ダイ
ヤフラムは、コーティングの厚さむらやピンホール等に
よりその耐久寿命には限界があり、また、アルミナセラ
ミックス製のダイヤフラムは、耐腐食性は高いが強酸や
強アルカリ性の薬液により僅かながら溶解するという欠
点がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、強
酸、強アルカリ性薬液等に対する耐腐食性の高い、流体
圧力を検出する改善されたダイヤフラム圧力センサを提
供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明のダイヤフラム圧
力センサは、圧力測定される薬液を受け入れるフッ素樹
脂製の圧力導入部材と、この圧力導入部材と一体加工さ
れ且つそれと共に薬液の収容部を形成する、ＰＦＡ製の
受圧架台と、この受圧架台の受圧側と反対側において受
圧架台に接着され、圧力センサ部を収納するセラミック
製のダイヤフラムと、圧力導入部材と受圧架台とダイヤ
フラムとを収納する本体と、から構成される。
【０００６】
【発明の実施の形態】図１は、本発明のダイヤフラム圧
力センサ１の全体構造を示す。
【０００７】ダイヤフラム圧力センサ１の本体２の開口
側には、ＰＦＡ製の圧力導入部材３が嵌合される。圧力
導入部材３には、同様にＰＦＡ製の受圧架台４が熔着さ
れて一体的に加工され、圧力導入部材３および受圧架台
４は、矢印５で示されたように、圧力測定される薬液を
収容する接液部６を形成する。
【０００８】圧力センサ部７は、セラミック製のダイヤ
フラム８の内側で、しかも接液部６の側に、例えば、歪
み抵抗ゲージを蒸着し、ホイーストン・ブリッジ回路を
使用して構成され、薬液の接液部６からの加圧によるダ
イヤフラム８の変位を抵抗変化に変換して電気信号とし
て取り出すことによって、液圧を検出する。
【０００９】ダイヤフラム８と受圧架台４は、受圧架台
４の薄膜加工部９で且つ受圧側と反対側において接着剤
で接着され、更にダイヤフラム８の表面は、ＰＦＡ樹脂
により防護加工されている（斜線により図示）。
【００１０】 従来、ＰＦＡやＰＴＦＥ等のフッ素樹脂
は、接着剤では接着不可能とされていたが、本発明者
は、シアノアクリレート系接着剤に若干の有機アミン化
合物を添加すると共に、セラミック製のダイヤフラム８
の表面を粗加工することによって、これらのフッ素樹脂
製の受圧架台４が、極めて強固にダイヤフラム８に結合
されることを見出した。
【００１１】ダイヤフラム８は、ダイヤフラム圧力セン
サ１の本体２の内部に安定して収納されるように、本体
２の頂部のセンサ押え部１０と、押さえＯリング１１と
によって固定されている。
【００１２】
【発明の効果】本発明によれば、圧力センサ部を収容す
るセラミック製のダイヤフラムと薬液の接液部との間
に、薬液シール用のＯリング等を一切使用していないの
で、Ｏリング等の劣化による薬液漏洩を全く生じない構
造になっており、従って、腐食性の高い薬液よりダイヤ
フラムを完全に防護することが可能になる。
【００１３】また、本発明によれば、ＰＦＡ製の圧力導
入部材およびＰＦＡ製の受圧架台を一体加工としている
ために、全体としてＰＦＡ製の部材として構成され、強
酸、強アルカリ性薬液等に対する極めて高い耐腐食性を
実現することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明のダイヤフラム圧力センサの全
体構造を示す。
【符号の説明】
１ ダイヤフラム圧力センサ ２ 本体 ３ 圧力導入部 ４ 受圧架台 ６ 接液部 ７ 圧力センサ部 ８ ダイヤフラム ９ 薄膜加工部 １０ センサ押え部 １１ 押さえＯリング
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01L 9/00 H01L 29/84 C09J 4/04

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 圧力測定される薬液を受け入れるフッ素
    樹脂製の圧力導入部材と、前記圧力導入部材と一体加工
    され且つそれと共に前記薬液の接液部を形成する、ＰＦ
    Ａ製の受圧架台と、前記受圧架台の受圧側と反対側にお
    いて受圧架台に接着され、圧力センサ部を収納するセラ
    ミック製のダイヤフラムと、前記圧力導入部材と前記受
    圧架台と前記ダイヤフラムとを収納する本体と、から構
    成され、前記受圧架台の薄膜加工部と前記ダイヤフラム
    とが、該ダイヤフラムの表面を粗加工し、更にシアノア
    クリレート系接着剤に若干の有機アミン化合物を添加す
    ることによって接着されることを特徴とする耐腐食性の
    ダイヤフラム圧力センサ。
  2. 【請求項２】 前記ダイヤフラムの表面が、ＰＦＡ薄膜
    で防護されていることを特徴とする請求項１のダイヤフ
    ラム圧力センサ。
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