JPS5950331A - 伝送器のダイアフラム構造 - Google Patents
伝送器のダイアフラム構造Info
- Publication number
- JPS5950331A JPS5950331A JP16123182A JP16123182A JPS5950331A JP S5950331 A JPS5950331 A JP S5950331A JP 16123182 A JP16123182 A JP 16123182A JP 16123182 A JP16123182 A JP 16123182A JP S5950331 A JPS5950331 A JP S5950331A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- diaphragm
- amorphous metal
- flange
- transmitting device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0051—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance
- G01L9/0052—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance of piezoresistive elements
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野ゴ
本発明は隔膜式の圧力伝送器あるいは差圧伝送器におけ
るダイアフラム構造の改良に関するものである。
るダイアフラム構造の改良に関するものである。
この種の伝送器は、ダイアフラムの変位で、圧力伝達媒
体タ介して半導体感圧素子に圧力を伝達し、これを電気
信号として取出し、測定するようになっているが、ここ
で使用される隔液ダイアフラムは一般には、薄い弾力性
のある金属が使用されている。しかし、この金属は、圧
延処理によって成形されるので、強度上の問題から50
μtよりは薄くできない上、圧延時に生ずる背向性によ
る欠点7除去するため、真空中で熱処理乞する必要があ
る。また、上記金属は、圧力伝達媒体、被測定液などの
接触媒体の物性によっては腐蝕されるので、使用できな
いという事情がある。
体タ介して半導体感圧素子に圧力を伝達し、これを電気
信号として取出し、測定するようになっているが、ここ
で使用される隔液ダイアフラムは一般には、薄い弾力性
のある金属が使用されている。しかし、この金属は、圧
延処理によって成形されるので、強度上の問題から50
μtよりは薄くできない上、圧延時に生ずる背向性によ
る欠点7除去するため、真空中で熱処理乞する必要があ
る。また、上記金属は、圧力伝達媒体、被測定液などの
接触媒体の物性によっては腐蝕されるので、使用できな
いという事情がある。
本発明は上記事情にもとづいてなされたもので、背向性
に丁ぐれ、かつ薄膜状に作り得る伝送器のダイアフラム
構造ン提供することにある。
に丁ぐれ、かつ薄膜状に作り得る伝送器のダイアフラム
構造ン提供することにある。
本発明は隔膜式のダイアフラムを有する圧力・差圧伝送
器(二おいて、前記ダイアフラムに物性的に弾性力が大
きく、耐蝕性に丁ぐれたアモノ;/ファス金属を用いた
伝送器のダイアフラム構造である。
器(二おいて、前記ダイアフラムに物性的に弾性力が大
きく、耐蝕性に丁ぐれたアモノ;/ファス金属を用いた
伝送器のダイアフラム構造である。
以下、本発明の一実施例Z圧力伝送器に適用して図面を
参照し、具体的に説明する。図において、符号1は圧力
に耐えるに足る堅牢なボディであり、これZつつむよう
にしてフランジ2があり、フランジ2に′設けられてし
)る圧力導入口3より圧力Poの被測定液が入ってくる
と、隔液ダイアフラム4に伝達される。上記ダイアフラ
ム4はその変位によって、L記グイアフラム4とデfイ
1との間に封入した非圧絹性流体よりなる圧力伝達媒体
5C二圧力P。Z伝え、これによってボディ1内に設け
た半辱体よりなる感圧素子6(二圧力P。を加える。上
記感圧素子6は上記圧力P。を電気信号としぞ取出し、
外部に取出して、計測信号とする。そして、この発明で
は、上記ダイアフラム4は、材料として、アモルファス
金属を使用する。アモルファス金属は結晶性金属よりも
物性的に弾性力が大きく、耐蝕性にも非常に49・れて
いる。これは、まさにアモルファスなのであって、背向
性がなく、薄膜状にすることが容易である。
参照し、具体的に説明する。図において、符号1は圧力
に耐えるに足る堅牢なボディであり、これZつつむよう
にしてフランジ2があり、フランジ2に′設けられてし
)る圧力導入口3より圧力Poの被測定液が入ってくる
と、隔液ダイアフラム4に伝達される。上記ダイアフラ
ム4はその変位によって、L記グイアフラム4とデfイ
1との間に封入した非圧絹性流体よりなる圧力伝達媒体
5C二圧力P。Z伝え、これによってボディ1内に設け
た半辱体よりなる感圧素子6(二圧力P。を加える。上
記感圧素子6は上記圧力P。を電気信号としぞ取出し、
外部に取出して、計測信号とする。そして、この発明で
は、上記ダイアフラム4は、材料として、アモルファス
金属を使用する。アモルファス金属は結晶性金属よりも
物性的に弾性力が大きく、耐蝕性にも非常に49・れて
いる。これは、まさにアモルファスなのであって、背向
性がなく、薄膜状にすることが容易である。
その結果、本発明によれば、以下のような効果が得られ
るのである。
るのである。
(1)従来の金属と同じ強さで設計すれば、膜Is ’
!”Ao &j度にできるから、ダイアフラムのステイ
フネスは小さくでき、熱によるオイルの膨張などで圧力
伝達媒体の体積変化があっても、ダイアフラムがふくら
んで、これを吸収することができ、温度変化の影響ン感
圧素子側に与える率が低く、温度特性の改善がある。
!”Ao &j度にできるから、ダイアフラムのステイ
フネスは小さくでき、熱によるオイルの膨張などで圧力
伝達媒体の体積変化があっても、ダイアフラムがふくら
んで、これを吸収することができ、温度変化の影響ン感
圧素子側に与える率が低く、温度特性の改善がある。
(2)薄膜にすることが製作上容易である上、結晶性金
属では薄膜にする際に圧延によって背向性ビ生ずるが、
それがなく、そのため、熱処理が不要となり、安定した
物性が得られ、熱による物性変化もない。
属では薄膜にする際に圧延によって背向性ビ生ずるが、
それがなく、そのため、熱処理が不要となり、安定した
物性が得られ、熱による物性変化もない。
(3)隔液ダイアフラムは接触する流埜によっては、通
常、腐蝕のおそれがあるが、アモルファス金属の使用に
よって、王水にも容易に溶けない程、胴蝕力があるので
、使用範囲か大幅に拡大される。
常、腐蝕のおそれがあるが、アモルファス金属の使用に
よって、王水にも容易に溶けない程、胴蝕力があるので
、使用範囲か大幅に拡大される。
(4)膜厚が非常に小さくなるので、感度も上げられる
。
。
(5)差圧伝送器に用いる場合には、低圧側、高圧側の
2枚のダイアフラムのステイフネスのマツチングは非常
に簡単である。
2枚のダイアフラムのステイフネスのマツチングは非常
に簡単である。
(6)゛差圧伝送器に用いる場合、微小の圧力測定に対
しても、強度Z保ちながら非常に薄くでき、柔軟性が得
られるので、ダイアフラム径を小さくでき、小形化に有
利となる。
しても、強度Z保ちながら非常に薄くでき、柔軟性が得
られるので、ダイアフラム径を小さくでき、小形化に有
利となる。
図面は本発明の一実路側乞圧力伝送器にjFa用した縦
断側面図である。 1・・・ボディ、2・・・フランジ、3・・・圧力導入
口、4・・・ダイアフラム、5・・・圧力伝達媒体、6
゛・・感圧素子。 164− z b
断側面図である。 1・・・ボディ、2・・・フランジ、3・・・圧力導入
口、4・・・ダイアフラム、5・・・圧力伝達媒体、6
゛・・感圧素子。 164− z b
Claims (3)
- (1) 隔膜式のダイアフラム構造する圧力・差圧伝
送器において、上記ダイアフラムにアモルファス金属を
使用したことt特徴とする伝送器のダイアフラム構造。 - (2) アモルファス金属が鉄のアモルファス状( のものであることン特徴とする特許請求の範囲第1項記
載の伝送器のダイアフラム構造。 - (3) アモルファス金属が板厚が10μ程度もしくは
それ以下であることン特徴とする特許請求の範囲第1項
記載の伝送器のダイアフラム構造。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16123182A JPS5950331A (ja) | 1982-09-16 | 1982-09-16 | 伝送器のダイアフラム構造 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16123182A JPS5950331A (ja) | 1982-09-16 | 1982-09-16 | 伝送器のダイアフラム構造 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5950331A true JPS5950331A (ja) | 1984-03-23 |
Family
ID=15731121
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16123182A Pending JPS5950331A (ja) | 1982-09-16 | 1982-09-16 | 伝送器のダイアフラム構造 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5950331A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6117926A (ja) * | 1984-07-05 | 1986-01-25 | Toshiba Corp | 差圧伝送器 |
JPS61194326A (ja) * | 1985-02-25 | 1986-08-28 | Toshiba Corp | 圧力.差圧伝送器 |
US4776218A (en) * | 1984-09-29 | 1988-10-11 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Pressure sensing device |
JPH03103257A (ja) * | 1989-09-18 | 1991-04-30 | G B S:Kk | ベッドマット又はふとんの失禁用或は脱臭用のマットシーツ方式と、その脱臭ベッドマット又はふとん |
JP2018087730A (ja) * | 2016-11-29 | 2018-06-07 | セイコーインスツル株式会社 | ダイヤフラム、ダイヤフラムを用いた圧力センサ、ダイヤフラムの製造方法 |
CN110849540A (zh) * | 2019-11-27 | 2020-02-28 | 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所 | 薄膜式液体介质隔离装置 |
-
1982
- 1982-09-16 JP JP16123182A patent/JPS5950331A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6117926A (ja) * | 1984-07-05 | 1986-01-25 | Toshiba Corp | 差圧伝送器 |
US4776218A (en) * | 1984-09-29 | 1988-10-11 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Pressure sensing device |
JPS61194326A (ja) * | 1985-02-25 | 1986-08-28 | Toshiba Corp | 圧力.差圧伝送器 |
JPH03103257A (ja) * | 1989-09-18 | 1991-04-30 | G B S:Kk | ベッドマット又はふとんの失禁用或は脱臭用のマットシーツ方式と、その脱臭ベッドマット又はふとん |
JP2018087730A (ja) * | 2016-11-29 | 2018-06-07 | セイコーインスツル株式会社 | ダイヤフラム、ダイヤフラムを用いた圧力センサ、ダイヤフラムの製造方法 |
CN110849540A (zh) * | 2019-11-27 | 2020-02-28 | 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所 | 薄膜式液体介质隔离装置 |
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