JP2008205314A - Iii族窒化物半導体のエッチング方法および半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】ダメージ層が生じないIII 族窒化物半導体のエッチング方法。
【解決手段】p−GaN層1、n−GaN層2、マスク3からなる試料を作製する(図1a)。p−GaN層1の主面はc面である。次にその試料を、サファイアで作製した台座の上に置いた状態で、Cl2 ガスによってICPエッチングを行い、針状構造4を形成する(図1b)。次に、針状構造4をTMAH水溶液によるウェットエッチングで除去する(図1c)。これにより露出したp−GaN層1の表面1aには、ダメージ層が形成されていない。以上の工程により、ダメージ層を底面に形成することなくコンタクトホールを形成することができる。
【選択図】図1
【解決手段】p−GaN層1、n−GaN層2、マスク3からなる試料を作製する(図1a)。p−GaN層1の主面はc面である。次にその試料を、サファイアで作製した台座の上に置いた状態で、Cl2 ガスによってICPエッチングを行い、針状構造4を形成する(図1b)。次に、針状構造4をTMAH水溶液によるウェットエッチングで除去する(図1c)。これにより露出したp−GaN層1の表面1aには、ダメージ層が形成されていない。以上の工程により、ダメージ層を底面に形成することなくコンタクトホールを形成することができる。
【選択図】図1
Description
本発明は、Gaを必須とするIII 族窒化物半導体のエッチング方法に関するものであり、特にc面をエッチングする方法に関する。また、そのエッチング方法を用いたコンタクトホールの形成方法に関する。
近年、III 族窒化物半導体はLEDなどの光学素子のみならず、高耐圧性などの特性が期待されることからパワーエレクトロニクス用半導体デバイスの材料として適用することが検討され、盛んに研究開発が行われている。
III 族窒化物半導体は物理的、化学的にきわめて安定しているため、従来主にドライエッチングにより加工がなされている。特に、Gaを必須とするIII 族窒化物半導体は、c面のウェットエッチングができないため、ドライエッチングを用いざるを得ない。しかし、ドライエッチングを用いると半導体層にダメージが発生してしまい、特にp型のIII 族窒化物半導体においてはダメージによりn型化したり、高抵抗化する問題がある。
このダメージを抑える手段として、半導体層のダメージを回復する方法と半導体層のダメージを除去する方法が知られている。特許文献1には、窒素雰囲気中で熱処理することでダメージを回復する方法が記されていて、特許文献2には、窒素プラズマを照射することでダメージを回復する方法が記されている。また、特許文献3には、導電性膜を形成することでIII 族窒化物半導体のウェットエッチングを可能にし、ウェットエッチングによりダメージ層を除去する方法が記されている。
2005−260172
2004−186679
2005−210089
しかし、半導体層のダメージを回復する方法では、実際にはあまりダメージは回復しない。それは、III 族窒化物半導体そのものが安定な性質を有するために形成されたダメージが容易には回復できないためである。また、ウェットエッチングによりダメージ層を除去する方法では、やはり安定性からIII 族窒化物半導体をウェットエッチングすることは困難で、ウェットエッチングするには特許文献3のように何らかの工夫をする必要がある。そのため、多工程化や高コスト化などの問題が生じてしまう。
そこで本発明は、c面を主面とするGaを必須とするIII 族窒化物半導体をエッチングする方法を提供することが目的であり、特に、ダメージ領域のないエッチング方法を実現すること、を目的とする。
第1の発明は、Gaを必須とするIII 族窒化物半導体(以下、本明細書において単にIII 族窒化物半導体とする)のc面を、針状構造が形成されるようにドライエッチングする工程と、針状構造を、アルカリ溶液によるウェットエッチングによって除去する工程と、からなることを特徴とするエッチング方法である。
III 族窒化物半導体は、伝導型を問わない。n型、p型、真性のいずれであってもよい。また、単層であっても、複数の層であってもよい。複数の層である場合は、互いに組成の異なる複数の層であってもよい。なお、Gaを必須とするのは、AlNは酸などによってウェットエッチング可能であり、本発明を用いる優位性がないからである。
ウェットエッチングに用いるエッチング液は、III 族窒化物半導体に対して異方性エッチングするアルカリ溶液(たとえば、TMAH(水酸化テトラメチルアンモニウム:(CH3 )4 NOH)、KOH、NaOHのいずれかを含む溶液)を用いる。これらの溶液は、III 族窒化物半導体のc面はエッチングできないが、a面、m面、r面などのc面以外の面はエッチングできる。特に、TMAH水溶液を用いるとよい。KOHやNaOHのようにアルカリ金属を含まないため洗浄が容易であること、50℃〜100℃という比較的低温で用いることができることからKOHやNaOHに比べて取り扱いが容易である。TMAH水溶液の濃度は5〜50%であると望ましい。
針状構造は、たとえば、III 族窒化物半導体の近く(エッチングの範囲内)にSiO2 やAl2 O3 などの酸化物がある状態や、エッチングガス中に酸素などの酸化性ガスを含む状態でドライエッチングを行うことで発生させることができる。針状構造が発生する原因は、酸化物のエッチングにより生じた酸素イオンや、エッチングガス中の酸素イオンが、III 族窒化物半導体の表面に付着して微小なメッシュ状の酸化物を形成し、その酸化物がマスクとして働くためと考えられる。
このような理由から、針状構造を発生させるためには、還元性ガス(SiCl4 、BCl3 など)を含まない雰囲気中でドライエッチングを行うことが望ましい。
針状構造における針の側面は、c面以外の面であり、ドライエッチングによるダメージはその針の側面に生じる。したがって、針状構造はアルカリ溶液によるウェットエッチングによって除去することができ、ダメージがなく、平坦なIII 族窒化物半導体のc面が露出することになる。
第2の発明は、第1の発明において、アルカリ溶液は、TMAH、KOH、NaOHのいずれかを含む溶液であることを特徴とするエッチング方法である。
第3の発明は、第2の発明において、前記アルカリ溶液は、TMAH水溶液であることを特徴とするエッチング方法である。
第4の発明は、第1の発明から第3の発明において、ドライエッチングは、酸素の存在する環境において行われることを特徴とするエッチング方法である。
酸素の存在する環境とは、III 族窒化物半導体の近く(エッチングの範囲内)にSiO2 やAl2 O3 などの酸素を含む化合物がある状態や、雰囲気中に酸素ガスを含む状態などをいう。
第5の発明は、第4の発明において、ドライエッチングは、III 族窒化物半導体を酸素を含む化合物で構成された台座に載せて行われることを特徴とするエッチング方法である。第5の発明によると、容易に酸素の存在する環境を実現できる。
第6の発明は、第5の発明において、台座は、サファイアまたは石英であることを特徴とするエッチング方法である。
第7の発明は、第1の発明から第6の発明において、ドライエッチングは、還元性ガスを含まない雰囲気中で行われることを特徴とするエッチング方法である。
第8の発明は、第1の発明から第7の発明において、III 族窒化物半導体は、p型であることを特徴とするエッチング方法である。
第9の発明は、Gaを必須とするIII 族窒化物半導体からなり、c面を主面とする半導体層を形成する工程と、半導体層表面の所定の位置にマスクを形成し、第1〜8の発明のエッチング方法によりコンタクトホールを形成する工程と、コンタクトホール底面にコンタクトをとる電極膜を形成する工程と、を有することを特徴とする半導体装置の製造方法である。
第9の発明の半導体層は、n型、p型、真性のいずれの伝導型でもよい。また、単層でも複数の層でもよく、互いに異なる組成、伝導型の複数の層であってもよい。電極膜は、p型の半導体層にコンタクトをとる場合はNiなど、n型の半導体層にコンタクトをとる場合はTi/Alなどを用いる。
第1の発明のエッチング方法によると、故意に針状構造を発生させてIII 族窒化物半導体のc面以外の面を露出させ、その針状構造をKOH、NaOH、TMAH、などのアルカリ溶液によってエッチングすることで、ダメージ層を形成することなく、c面を主面とするIII 族窒化物半導体を平坦にエッチングすることができる。
特に第3の発明のように、アルカリ溶液としてTMAH水溶液を用いると、洗浄が容易であること、50℃〜100℃という比較的低温で用いることができることから取り扱いが容易である。
また、第4〜7の発明によると、容易に再現性よく針状構造を形成することができる。
また本発明は、第8の発明のようにp型のIII 族窒化物半導体のエッチングに特に有効である。p型のIII 族窒化物半導体はダメージにより高抵抗化、n型化するが、本発明のエッチング方法ではダメージ層が形成されないからである。
また、第9の発明のように、第1〜8の発明を用いてコンタクトホールを形成すると、電極膜はダメージのないコンタクトホール底面である半導体層にコンタクトをとることができるため、低抵抗なコンタクトホールを有した半導体装置を製造することができる。
以下、本発明の具体的な実施例を図を参照にしながら説明するが、本発明はそれらの実施例に限定されるものではない。
実施例1は、本発明のエッチング方法を用いてコンタクトホールを形成する方法であり、図1は、その工程を示す図である。以下、図1を参照しながら実施例1のコンタクトホール形成方法について説明する。
まず、c面を主面とするp−GaN層1上にn−GaN層2をMOCVD法によって形成する。次に、n−GaN層2上の、コンタクトホールを形成しない位置に、SiO2 からなるマスク3をCVD法により形成する(図1a)。なお、p−GaN層1、n−GaN層2は、MBE法などのMOCVD法以外の方法により結晶成長させてもよい。
次に、上記工程により作製したp−GaN層1、n−GaN層2、マスク3からなる試料を、サファイアで作成した台座の上に置いた状態で、Cl2 ガスによってICPエッチングを行い、p−GaN層1に達するコンタクトホールを形成する。これにより、コンタクトホールの底面には、針状構造4が形成される(図1b)。p−GaN層1はc面を主面としているため、針状構造4によってp−GaN層1のc面以外の面が露出する。また、このICPエッチングによりダメージが発生するのは、針状構造4の針の縁の部分であり、それはp−GaN層1のc面以外の面である。p−GaN層1のc面にはダメージが発生しない。
針状構造4が形成されるのは、次のような理由であると考えられる。まず、ICPエッチングによって台座やマスク3もエッチングされ、これにより生成された酸素イオンがコンタクトホールを形成している部位の底面であるp−GaN層1またはn−GaN層2の表面に細かなメッシュ状に付着して酸化物を形成する。その酸化物はマスクとして機能し、酸化物とGaNのエッチングレートの違いから、コンタクトホール形成部位のp−GaN層1表面が針状にエッチングされる。このような理由から、何らかの形で酸素を含む状態でトライエッチングを行えば、針状構造4を形成できることが理解できる。何らかの形で酸素を含む状態とは、試料を酸化物からなる台座に載せた状態、酸素ガスを含む雰囲気、などの状態である。
したがって、針状構造を形成するために、サファイアに替えて石英などの酸素を含む化合物を台座に用いてもよい。また、そのような台座に載せずとも、エッチング範囲に酸素を含む化合物が存在する状態であってもよい。また、ICPエッチング以外に、ガスエッチングなど種々のドライエッチングを用いることができる。また、エッチングは、SiCl4 やBCl3 などの還元性ガスを含まない雰囲気で行うことが望ましい。還元性ガスを含むと、p−GaN層1表面に酸化物が形成されることが抑制されてしまうためである。
次に、濃度25%、温度90℃のTMAH水溶液によりウェットエッチングをする。TMAH水溶液は、GaNのc面はエッチングできないが、c面以外であればエッチングができる。したがってこのウェットエッチングによって針状構造4は除去され、コンタクトホールの底面には、ダメージのないp−GaN層1の表面1a(c面)が露出する(図1c)。なお、マスク3を残したままエッチングをしたのは、n−GaN層2の表面の欠陥をエッチングしてエッチピットが形成されるのを防ぐためである。
ウェットエッチングに用いるTMAH水溶液の濃度は、1%〜50%、温度は50℃〜100℃の範囲であればよい。濃度が1%未満では、エッチング速度が遅いため望ましくなく、50%を超えると、過飽和状態になる可能性があり、沈殿物を生じることがあるため望ましくない。また、温度が50℃未満では、エッチング速度が遅いため望ましくなく、温度が100℃を超えると、溶液中に気泡が発生し、結晶に付着するため望ましくなく、溶媒の蒸発により濃度が変化してしまう恐れがある点でも望ましくない。より望ましいのは、濃度が6%〜25%、温度が80℃〜100℃の範囲である。
その後、マスク3をバッファードフッ酸を用いたウェットエッチングによって除去し、Niからなる電極膜5を形成する(図1d)。電極膜5は、ダメージのないp−GaN層1の表面1aにコンタクトするため、良好なオーミックコンタクトを得ることができる。
実施例1では、コンタクトホール部のp−GaN層1に針状構造4を形成し、ウェットエッチングで針状構造4を除去しているが、本発明のエッチング方法は、p型のGaNのみに適用されるものではない。n型や真性の、AlGaN、InGaN、AlGaInNなどのIII 族窒化物半導体であれば、本発明のエッチング方法が適用できる。
また、実施例1では、針状構造4を除去するのにTMAH水溶液によりウェットエッチングを行っているが、TMAH水溶液に替えてKOHやNaOHなどのアルカリ溶液を用いてもよい。ただし、TMAH水溶液は洗浄が容易であり、低温でエッチングが可能であるため、KOHやNaOHなどよりも取り扱いが容易である。
また本発明は、実施例1のようなコンタクトホールの形成のみならず、エッチング工程を含むあらゆる半導体装置の製造方法に適用することができる。
本発明は、III 族窒化物半導体からなる半導体装置(たとえば、HEMT、MOSFETなど)の製造方法に適用することができる。
1:p−GaN層
2:n−GaN層
3:マスク
4:針状構造
5:金属膜
2:n−GaN層
3:マスク
4:針状構造
5:金属膜
Claims (9)
- Gaを必須とするIII 族窒化物半導体のc面を、針状構造が形成されるようにドライエッチングする工程と、
前記針状構造を、アルカリ溶液によるウェットエッチングによって除去する工程と、
からなることを特徴とするエッチング方法。 - 前記アルカリ溶液は、TMAH、KOH、NaOHのいずれかを含む溶液であることを特徴とする請求項1に記載のエッチング方法。
- 前記アルカリ溶液は、TMAH水溶液であることを特徴とする請求項2に記載のエッチング方法。
- 前記ドライエッチングは、酸素の存在する環境において行われることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載のエッチング方法。
- 前記ドライエッチングは、前記III 族窒化物半導体を酸素を含む化合物で構成された台座に載せて行われることを特徴とする請求項4に記載のエッチング方法。
- 前記台座は、サファイアまたは石英であることを特徴とする請求項5に記載のエッチング方法。
- 前記ドライエッチングは、還元性ガスを含まない雰囲気中で行われることを特徴とする請求項1ないし請求項6のいずれか1項に記載のエッチング方法。
- 前記III 族窒化物半導体は、p型であることを特徴とする請求項1ないし請求項7のいずれか1項に記載のエッチング方法。
- Gaを必須とするIII 族窒化物半導体からなり、c面を主面とする半導体層を形成する工程と、
前記半導体層表面の所定の位置にマスクを形成し、請求項1ないし請求項8のいずれか1項に記載のエッチング方法によりコンタクトホールを形成する工程と、
前記コンタクトホール底面にコンタクトをとる電極膜を形成する工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
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2007
- 2007-02-21 JP JP2007041370A patent/JP2008205314A/ja active Pending
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