JP2008192720A - 多層プリント配線板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 プリント配線板の高位置精度スルーホール穴明け加工において、外層に形成されるスルーホールのランド位置に対して、内層回路に形成されているランド位置とのずれが生じることを防止する。
【解決手段】 内層回路形成から寸法補正値を把握し露光マスク作成、また積層する際に内層のずれを補正し、また外層スルーホール穴明け時に、内層の伸縮及びずれを補正し、その座標値を把握し穴明け作業を行うことにより、多層プリント配線板の伸縮及びずれに対して品質向上を得る。
【選択図】 図1
【解決手段】 内層回路形成から寸法補正値を把握し露光マスク作成、また積層する際に内層のずれを補正し、また外層スルーホール穴明け時に、内層の伸縮及びずれを補正し、その座標値を把握し穴明け作業を行うことにより、多層プリント配線板の伸縮及びずれに対して品質向上を得る。
【選択図】 図1
Description
この発明は、複数の配線パターン層が形成し積層する、マスラミ法を用いた多層プリント配線板の製造方法に関するものである。
多層プリント配線板の製造方法においては、複数の配線パターン層を順番に重ねて形成していくマスラミ法が良く知られている。この方法は銅張積層板に内層パターン層となる回路を形成し、この上に絶縁層となるプリプレグを重ねる作業を繰り返し、ハトメピン圧着作業若しくは熱電対を用い、一括にて仮止めを行う熱溶着作業を用いて積層するものである。
特開2002−329968
特開2003−198124
このようなマスラミ法による多層プリント配線板の製造過程では、一般に各層の寸法変化(伸縮及びずれ)が不安定であるという問題がある。特に積層前の内層板に形成されたパターンの引き回し及び残銅率等によって、樹脂層の伸縮、またハトメピン若しくは熱溶着機を用いて行う、一括にて仮止めを行う作業においては層間同士のずれ、また内層回路形成する際に用いる露光マスクの伸縮及び露光ずれが生じる。
したがって、外層に形成されるスルーホールのランド位置に対して、内層回路に形成されているランド位置とのずれが、高多層プリント配線板になるにつれ大きく生じ、製品の品質低下を招いていた。
本発明は、上記課題に着目してなされたものであって、内層回路形成時から寸法補正値を把握し、露光マスク作成若しくは内層を積層する際に、内層の伸縮及びずれを補正し、更に、外層スルーホール穴空け時に、外層のランド径中心の座標値を把握し穴明け作業を行うことにより、多層プリント板の伸縮及びずれを抑えて品質向上を図るようにした多層プリント配線板の製造方法を提供することを目的とする。
上記の目的を達成するために、本発明は、複数の配線パターン層を有する多層プリント配線板の製造方法において、内層板の多層化接着を行なうためのガイド穴及び複数のアライメント用の穴を加工する第1工程と、予め積層後の材料収縮を考慮し、補正値が施された露光マスクを使用してアライメント用の穴を元に内層板の第1面にパターンを形成する第2工程と、この第1面に形成されたターゲットマークをカメラにて読み取る第3工程と、前記内層板の第2面のマスクとの比較を行うことでマスク補正を行う第4工程と、この寸法補正値を用いパターンを形成する第5工程と、内層板が多層板の場合、この寸法補正値を基準にし、他内層板もパターンを形成する第6工程と、両面ともパターン形成された内層板を層構成し積層を行う第7工程と、積層後、積層板内部の内層板に施された複数のターゲットマークをX線照射にて読み取り、マークを認識させ穴明けを行う第8工程と、その複数の位置認識用に穴明けされた穴位置をカメラにて測定し、寸法補正値を求める第9工程と、この第9ステップで出力した寸法補正値を元にとNCデータを比較させ、寸法補正が施されたNCデータを出力する第10工程と、この第10ステップで出力したNCデータを用い穴明け作業を行う第11工程と、を含むことを特徴とする。
本発明によれば、多層プリント配線板のスルーホールを形成するために、多層プリント配線板の外層に形成されるスルーホールのランド位置に対して、内層回路に形成されているランド位置とのずれを抑え、多層プリント配線板製品の品質向上を図ることができる。
市場動向から高アスペクト比多層プリント配線板の需要が迫られており、多層プリント配線板製造工程の内層回路形成工程から外層スルーホール穴明け工程での品質向上が必須である。そのため、本発明では内層回路形成から寸法補正値を把握し、露光マスク作成、また内層を積層する際に、内層の伸縮及びずれを補正し、また外層スルーホール穴明け時に、外層のランド径中心の座標値を把握し穴明け作業を行うことにより、多層プリント配線板の伸縮及びずれを抑えて、高アスペクト比多層プリント配線板の品質向上を図るようにした。
以下、本発明の第1の実施の形態について図面を参照しつつ詳細に説明する。
図1は、本発明の複数の配線パターン層を有する多層プリント配線板の製造方法を説明する多層プリント配線板製造工程フローチャート図であり、(a)内層板の多層化接着を行なうためのガイド穴及び複数のアライメント用の穴を加工する。(b)予め積層後の材料収縮を考慮し、従来の補正値が施された露光マスクを使用し、アライメント用の穴を元に内層板の片面(第1面)にパターンを形成する。(c)この片面(第1面)に形成されたターゲットマークをCCDカメラにて読み取る。(d)もう片面(第2面)のマスクとの比較を行いマスク補正を行う。(e)この寸法補正値を用い、パターンを形成する。内層板が6層以上の多層板の場合、この寸法補正値を基準にし、他内層板も製作する。(f)両面ともパターン形成された内層板を層構成し積層を行う。(g)積層後、積層板内部の内層板に施された複数のターゲットマークをX線照射にて読み取り、マークを認識させ穴明けを行う。(h)その複数の位置認識用に穴明けされた穴位置をCCDカメラにて測定し、寸法補正値を求める。(i)(h)で出力した寸法補正値を元にとNCデータを比較させ、寸法補正が施されたNCデータを出力する。(j)(i)で出力したNCデータを用い穴明け作業を行うことを説明している。
本発明における多層プリント配線板の製造方法を図1に示す多層プリント配線板製造工程フローチャート図より説明する。
まず、内層板の多層化接着を行うためのガイド穴及び複数のアライメント用の穴を加工する工程100を行い、内層板の回路を形成する前処理工程102を行い、予め積層後の材料収縮を考慮し、従来の補正値が施された露光マスクを使用し、アライメント用の穴を元に内層板の片面(第1面)を露光しパターンを形成する工程104を行う。
次に、片面だけパターン及びターゲットマークを形成された内層板のターゲットマーク位置を認識するCCDカメラ認識/補正値測定工程106を行い、この工程106で認識/補正された補正済の露光マスクを作成する工程108を行い、工程108で作成した露光マスクを元に内層板の片面(第2面)を露光しパターンを形成する工程110を行う。
次に、内層板のエッチングレジスト現像/エッチング/剥離する工程112を行い、この工程112でパターンが形成された内層板の外観を検査する工程114を行い、工程114で検査済の内層板を積層する前処理(黒化、粗化処理)工程116を行う。
次に、積層前処理後の各層毎に、CCDカメラ認識による位置合せ工程118を行い、この工程118で位置合せされた各内層板の仮接着(ハトメ、熱溶着)を行う工程120を行い、この工程120で仮接着された内層板の表層にプリプレグ及び銅箔を層構成し、積層プレスにて多層板にする工程122を行う。
次に、積層後の多層板端面を切断する工程124を行い、内層板に施されたターゲットマーク及びNC穴明け基準をX線認識により穴明けする工程126を行い、多層板のターゲットマーク穴位置を認識するCCDカメラ認識、補正値測定工程128を行い、その補正値を元に穴明け工程のNCデータを補正した穴明けNC補正データ作成する工程130を行い、最後に、この工程130のNCデータを用いて、多層板にスルーホール穴明けを行う工程132を行う
図2は、本発明に係る内層用パターン及びターゲットマーク形成用露光マスクの平面図であり、図3は、本発明に係る第1面内層パターン及びターゲットマークが形成されたプリント配線板の平面図であり、図4は、本発明に係る第2面内層パターン及びターゲットマークが形成されたプリント配線板の平面図である。
以下、図2、図3及び図4を参照しつつ、本発明のプリント配線板の製造方法を説明する。番号付与を省略した多層プリント配線板材料である内層板に、図1の工程100においてガイド穴明けを行う。次に、この工程100によってガイド穴明けを施された番号を省略した内層板に、図1の工程102によって内層パターンを形成するために前処理及びエッチングレジストを施す。次に、この工程102によってエッチングレジストを施された番号を省略した内層板は、図1の工程104によって予め積層後の材料収縮を考慮し、従来の補正値が施され、また、図2に示すターゲットマークエリア320が付与された片面(第1面)露光マスク300を使用し、内層片面(第1面)の製品パターン310及びターゲットマークエリア320、ターゲットマーク330の形成露光を行う。
次に、図1の工程104によって、図3に示す片面(第1面)の製品パターン410及びターゲットマークエリア420、ターゲットマーク430がエッチングレジストで形成された状態の内層板400を、図1の工程106で図7に示すCCDカメラ搭載座標認識装置のCCDカメラ500を用いて画像認識させ、その画像の座標値を読み取り補正値を算出する。
次に、図1の工程106によって算出された補正値を考慮し、図1の工程108によって補正値を入力した露光マスクを作成する。次に、図1の工程110では工程108によって作成した露光マスク300’を使用し、内層板400のもう片面(第2面)に、図4に示す第2面用の製品パターン310’及びターゲットマークエリア320’ターゲットマーク330’の形成露光を行う。
内層板400’(第2面)は予め内層板400(第1面)に対しての補正値を考慮して作成してあるため、露光時の焼付けズレが極力抑えることが出来る。図1の工程104及び110で両面共、製品パターン310(310’)及びターゲットマークエリア320(320’)、ターゲットマーク330(330’)がエッチングレジストで形成された状態の内層板400(400’)を、図1の工程112でエッチングレジスト現像/エッチング/剥離を行い、製品パターン310(310’)及びターゲットマークエリア320(320’)、ターゲットマーク330(330’)が銅パターン状に形成された内層板400(400’)が作成される。この内層板400は、多層プリント配線板の内層板のため、レイヤー2−3、4−5・・・のように、多層板にするため複数枚存在する。
次に、図1の工程112によって銅パターン状に形成された内層板400を、図1の工程114で外観検査装置(AOI)を使用し検査を行う。この工程114でチェック完了となった内層板400(400’)は、図1の工程116で積層前処理(黒化、粗化処理)が行われる。
次に、図1の工程118では、レイヤー2−3、4−5・・・と複数の内層材、例えば、6層板を作成する場合、内層板400(第1面)のレイヤー2及び4とし、内層板400’(第2面)をレイヤー3及び5とする。この内層板400(第1面)レイヤー2に形成されているターゲットマーク330(330’)と、別の内層板400’(第1面)レイヤー5に形成されているターゲットマーク330(330’)とをCCDカメラ画像認識により位置合せを行う。その際、複数の内層材400同士の間に番号付与を省略したプリプレグを挟め、これを複数回繰り返す。また、プリプレグにはターゲットマーク画像認識のため、予めターゲットマークより大きい逃げ穴を明けておく。これにより、位置合せ時の積層ズレが極力抑えることができる。
次に、図1の工程118で位置決めされた複数の内層材400及び番号付与を省略したプリプレグを、図1の工程120によりハトメによるカシメ圧着若しくは熱による熱溶着機によって仮接着を行い、図示を省略した仮多層板になる。図1の工程122にて、仮多層板は、従来のマスラミ法によって層構成、積層プレスによって積層され、番号付与を省略した多層板が作成される。
次に、図1の工程124ではプリプレグ樹脂流れのダレを除去するため、シャーリング等により端面を切断し、図1の工程126では内層材400に予め形成されているターゲットマーク及びNC穴明け基準マークを、従来のX線認識搭載の穴明け装置により穴明けを行う。次に、図1の工程128では、穴明けが施されたターゲットマーク穴の中心をCCDカメラ搭載座標認識装置により各内層板の伸縮及びズレを認識させ、補正値を算出し、図1の工程130では、工程128にて算出した補正値を元に、NC穴明け工程のデータを作成する。そして、図1の工程132では、工程130にて作成したNCデータを使用しスルーホール穴明け加工を行う。
以上のとおり一連の作業工程を行うことにより、複数のパターン層を有した多層プリント配線板に内層板の伸縮、露光マスクの伸縮、内層ずれ等を考慮し位置決めされ、高位置精度のスルーホール穴明け加工を行うことが出来る。
以下、内層にターゲットマークが形成されたマーク位置等を認識するためのCCDカメラを搭載したCCDカメラ搭載座標認識装置について説明する。
図5は、本発明に係る内層にターゲットマークが形成されたマーク位置等を認識するためのCCDカメラを搭載したCCDカメラ搭載座標認識装置の概略図である。
図5において、CCDカメラ搭載座標認識装置は、多層プリント配線板の内層板400(400’)及び番号付与を省略した外層板のパターン画像を取り込むために、ある光源を照射する光源部500と、その多層プリント配線板の内層板400(400’)及び番号付与を省略した外層板に形成された銅箔の反射を元に、画像を取り込むためのCCDカメラを搭載したCCDカメラ部510と、多層プリント配線板の内層板400(400’)及び番号付与を省略した外層板をセットするテーブル部520を備えている。
以上の構成において、多層プリント配線板の内層板400(400’)及び番号付与を省略した外層板のパターン画像を取り込むために、テーブル部520に多層プリント配線板の内層板400(400’)及び番号付与を省略した外層板をセットし、ある光源を照射する光源部500にて、多層プリント配線板の内層板400(400’)及び番号付与を省略した外層板に光源をある駆動源を元に全体を照射させる。
それと同時にCCDカメラ部510にて多層プリント配線板の内層板400(400’)番号付与を省略した多層板のパターンが形成された部分、及び、ターゲットマークの認識を行い、図を省略した演算機能部にて座標値を算出する。これで一連の動作が完了する。
この装置を用いることにより、図1に示す多層プリント配線板製造工程フローチャート図における、CCDカメラ認識による座標値算出を行う各工程での作業を行うことが出来る。
100 ガイド穴明け工程
102 回路形成/ラミネート工程
104 内層片面(第1面)露光工程
106 内層ターゲットマーク:CCDカメラ認識/補正値測定工程
108 内層ターゲットマーク位置補正済:露光マスク作成工程
110 内層片面(第2面)露光工程
112 ラミネート現像/エッチング/剥離工程
114 パターン外観検査工程
116 積層前処理(黒化、粗化処理)工程
118 各層毎、CCDカメラ/X線認識による位置合せ工程
120 仮接着(ハトメ、熱溶着)工程
122 層構成/積層工程
124 配線板端面切断工程
126 NC基準/ターゲットマーク:X線穴明け工程
128 ターゲットマーク穴:CCDカメラ認識/補正値測定工程
130 ターゲットマーク穴位置補正済:穴明けNC補正データ作成工程
132 スルーホール穴明け工程
300 ターゲットマーク付与内層板片面露光マスク
310 ターゲットマーク付与内層板片面露光マスク製品エリア
320 ターゲットマーク付与内層板片面露光マスクターゲットマークエリア
330 ターゲットマーク付与内層板片面露光マスクターゲットマーク
400(400’) ターゲットマーク付与片面(第1、2面)内層板
410(410’) ターゲットマーク付与片面(第1、2面)内層板製品エリア
420(420’) ターゲットマーク付与片面(第1,2面)内層板ターゲットマークエリア
430(430’) ターゲットマーク付与片面(第1、2面)内層板ターゲットマーク
500 CCDカメラ搭載座標認識装置:光源部
510 CCDカメラ搭載座標認識装置:CCDカメラ部
520 CCDカメラ搭載座標認識装置:テーブル部
102 回路形成/ラミネート工程
104 内層片面(第1面)露光工程
106 内層ターゲットマーク:CCDカメラ認識/補正値測定工程
108 内層ターゲットマーク位置補正済:露光マスク作成工程
110 内層片面(第2面)露光工程
112 ラミネート現像/エッチング/剥離工程
114 パターン外観検査工程
116 積層前処理(黒化、粗化処理)工程
118 各層毎、CCDカメラ/X線認識による位置合せ工程
120 仮接着(ハトメ、熱溶着)工程
122 層構成/積層工程
124 配線板端面切断工程
126 NC基準/ターゲットマーク:X線穴明け工程
128 ターゲットマーク穴:CCDカメラ認識/補正値測定工程
130 ターゲットマーク穴位置補正済:穴明けNC補正データ作成工程
132 スルーホール穴明け工程
300 ターゲットマーク付与内層板片面露光マスク
310 ターゲットマーク付与内層板片面露光マスク製品エリア
320 ターゲットマーク付与内層板片面露光マスクターゲットマークエリア
330 ターゲットマーク付与内層板片面露光マスクターゲットマーク
400(400’) ターゲットマーク付与片面(第1、2面)内層板
410(410’) ターゲットマーク付与片面(第1、2面)内層板製品エリア
420(420’) ターゲットマーク付与片面(第1,2面)内層板ターゲットマークエリア
430(430’) ターゲットマーク付与片面(第1、2面)内層板ターゲットマーク
500 CCDカメラ搭載座標認識装置:光源部
510 CCDカメラ搭載座標認識装置:CCDカメラ部
520 CCDカメラ搭載座標認識装置:テーブル部
Claims (2)
- 複数の配線パターン層を有する多層プリント配線板の製造方法において、
内層板の多層化接着を行なうためのガイド穴及び複数のアライメント用の穴を加工する第1工程と、
予め積層後の材料収縮を考慮し、補正値が施された露光マスクを使用してアライメント用の穴を元に内層板の第1面にパターンを形成する第2工程と、
この第1面に形成されたターゲットマークをカメラにて読み取る第3工程と、
前記内層板の第2面のマスクとの比較を行うことでマスク補正を行う第4工程と、
この寸法補正値を用いパターンを形成する第5工程と、
内層板が多層板の場合、この寸法補正値を基準にし、他内層板もパターンを形成する第6工程と、
両面ともパターン形成された内層板を層構成し積層を行う第7工程と、
積層後、積層板内部の内層板に施された複数のターゲットマークをX線照射にて読み取り、マークを認識させ穴明けを行う第8工程と、
その複数の位置認識用に穴明けされた穴位置をカメラにて測定し、寸法補正値を求める第9工程と、
この第9ステップで出力した寸法補正値を元にとNCデータを比較させ、寸法補正が施されたNCデータを出力する第10工程と、
この第10ステップで出力したNCデータを用い穴明け作業を行う第11工程と、
を含むことを特徴とする多層プリント配線板の製造方法。 - 前記第3工程及び第9工程で行うカメラによる座標認識において自動演算し、座標値として寸法補正値が出力され、その寸法補正値を用いて露光マスク及び穴明け作業に用いるNCデータが出力されるカメラ搭載座標認識装置を用いることを特徴とする請求項1の多層プリント配線板の製造方法。
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KR101071028B1 (ko) | 2010-09-10 | 2011-10-06 | (주)인터플렉스 | 인쇄회로기판 제조방법 |
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Date | Code | Title | Description |
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A711 | Notification of change in applicant |
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