JP2008191105A - 表面形状測定装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 被検面の中心軸を傾けたときに撮像素子からの見方が変化することによる誤差をキャンセルして精度良く測定しうる表面形状測定装置を提供する。
【解決手段】 本発明の表面形状測定装置は、撮像素子と、参照面を有し、干渉縞パターンを撮像素子の撮像面に形成するように配置された光学系と、干渉縞パターンに基づいて前記測定対象物の表面形状を算出する算出部と、を備える。干渉縞パターンは、測定対象物の被検面からの反射波面と参照面からの反射波面との干渉によって形成される。算出部は、第1データと第2データとを使用して測定対象物の表面形状を演算する。第1データは、光学系の光軸と被検面の中心軸とが第1角度をなす状態で撮像素子により撮像されたデータを第1座標系で表現したデータである。第2データは、光学系の光軸と被検面の中心軸とが第2角度をなす状態で撮像素子により撮像されたデータを、第1座標系をシフトさせた第2座標系で表現したデータである。
【選択図】図1
【解決手段】 本発明の表面形状測定装置は、撮像素子と、参照面を有し、干渉縞パターンを撮像素子の撮像面に形成するように配置された光学系と、干渉縞パターンに基づいて前記測定対象物の表面形状を算出する算出部と、を備える。干渉縞パターンは、測定対象物の被検面からの反射波面と参照面からの反射波面との干渉によって形成される。算出部は、第1データと第2データとを使用して測定対象物の表面形状を演算する。第1データは、光学系の光軸と被検面の中心軸とが第1角度をなす状態で撮像素子により撮像されたデータを第1座標系で表現したデータである。第2データは、光学系の光軸と被検面の中心軸とが第2角度をなす状態で撮像素子により撮像されたデータを、第1座標系をシフトさせた第2座標系で表現したデータである。
【選択図】図1
Description
本発明は、表面形状測定装置に関する。
測定対象物の被検面を移動させながら形状データを取得し、得られた形状データを用いて被検面とシステムエラー形状を分離する従来の技術が特許文献1に開示されている。
図2に第1の測定位置を示す。第1の測定位置は光学系の光軸11と、被検面2の中心位置と曲率中心を通る被検面中心軸10とが一致する位置とする。図3に第2の測定位置を示す。第2の測定位置は、被検面2を円弧に沿って傾けた状態、即ち光学系の光軸11から被検面中心軸10がγだけ傾いている状態を示す。
まず、第1の測定位置において、被検面を回転させて取得した複数の形状データを平均した第1の回転平均形状を求める。これは、システムエラー形状と被検面の回転対称成分の和となる。
次に第2の測定位置において、被検面を回転させて取得した複数の形状データを平均した第2の回転平均形状を求める。これは、システムエラー形状と被検面の回転対称成分の和となる。
第1の回転平均形状と第2の回転平均形状の差をとると、システムエラー形状がなくなり、被検面の回転対称成分の差分となる。回転対称成分が有する同心円状の等高線の性質を用いて形状の回転対称成分を算出する。
同心円状の等高線の性質を用いた回転対称成分の算出方法を、図4を用いて説明する。図4の実線が第1の回転平均形状RI1、点線が第2の回転平均形状RI2を示す。それぞれの同半径の位置は同心円状の等高線となる。AとB、CとDはそれぞれ第1の回転平均形状の同等高線上でRI1A、RI1Bと表す。また、BとD、AとCはそれぞれ第2の回転平均形状の同等高線上でRI2A、RI2Bと表す。図4では第1の回転平均形状と第2の回転平均形状の差分なので、A、B、C、DはそれぞれRI1A−RI2B、RI1A−RI2A、RI1B−RI2B、RI1B−RI2Aとなる。未知数がRI1A、RI1B、RI2A、RI2Bの4つで、方程式が実質3つできるので、RI1Aを基準としたRI1B、RI2A、RI2Bを求めることができる。これを全面について行うと、被検面の回転対称成分が求められる。
特許第3146590号公報
被検面の形状を取得する撮像素子は平面状の撮像面を有し、撮像面上で複数画素が共通の画素ピッチで配列されている。このような撮像素子では、被検面に照射される球面波のNA(開口数)が均等に分割された座標系で被検面の形状が撮像される。そこで、撮像素子の撮像面をNAが均等になるように分割した座標系を、本明細書では、「NA均等分割座標系」と呼ぶこととする。
被検面が球面であり、NA均等分割座標系で画像を取得する場合、回転対称成分が有する同心円状の性質を用いることができない。
撮像素子により取得されたNA均等分割座標系での画像データをそのまま使用する場合、回転対称成分が有する同心円状の性質を用いることができない理由を、図8を用いて説明する。図8は撮像素子3、参照面1、被検面2を簡易的に示したものであり、結像系は省略してある。例えば被検面上のAの位置とBの位置に注目する。Aは第2の測定位置における被検面中心軸10より参照面の光学系光軸側の点であり、Bは被検面中心軸10より周縁光線側の点である。A、Bは被検面中心軸10より同距離の位置にある。Aの位置、Bの位置の情報を取得する撮像素子の画素をそれぞれC画素、D画素とする。C、Dの画素ピッチは等しい。しかしながら、A、Bの円弧の距離は異なり、参照面1の曲率半径をR1とすると、AはR1×θ1、BはR1×θ2となる。したがって光学系の光軸11からの距離に応じて、1画素が取得する被検面の円弧の長さが画素によって変わる。
回転対称成分が有する同心円状の性質を用いることができない理由を、図5〜7を用いて説明する。図5〜7は簡単の為に被検面の回転対称成分のみを表し、円形の線は被検面上で被検面中心軸10から同半径で、かつ半径を均等に分割した位置を示す。第1の角度状態及び第2の角度状態における、被検面からの反射波面と参照面からの反射波面との干渉縞のパターンは、それぞれ図5、図6にようになる。第1の角度状態では、図2に示すように、被検面中心軸10が光学系光軸11と一致している。一方、第2の角度状態では、図3に示すように、被検面中心軸10が光学系光軸11に対し角度γだけ傾斜している。これらの干渉縞のパターンを撮像素子から取得し、形状データを得る。第1の角度状態の場合、被検面上で同半径等ピッチの位置は、撮像素子3上では等ピッチにならないが、同半径の位置、つまり同心円状の等高線で表すことができる。この等高線を示したのが図5である。
しかし、第2の角度状態の場合、被検面中心軸10の光学系光軸側よりも周縁光線側の方の距離が短くなる。そのため、図6に示すように、被検面の同半径等ピッチの位置は撮像素子上で等ピッチにはならず、かつ等高線は、同心円状にはならない。
したがって、回転軸が光学系光軸と一致しない場合、被検面上で同半径等ピッチの位置は、撮像素子3では図6のようにゆがんだ円状になるが、図7のように同心円状等ピッチとして回転対称成分の算出を行うと撮像素子に由来する誤差が生じる。背景技術に示す手法は、第1の角度状態と第2の角度状態の最低2箇所での測定が必要であり、しかも、NA均等分割座標系で取得した画像データをそのまま使用するので、必ずこの問題が生じる。
本発明は、被検面の中心軸を傾けたときに撮像素子からの見方が変化することによる誤差をキャンセルして精度良く測定しうる表面形状測定装置を提供することを目的とする。
本発明の表面形状測定装置は、撮像素子と、参照面を有し、測定対象物の被検面からの反射波面と参照面からの反射波面との干渉縞パターンを撮像素子の撮像面に形成するように配置された光学系と、干渉縞パターンに基づいて前記測定対象物の表面形状を算出する算出部と、を備え、算出部は、光学系の光軸と被検面の中心軸とが第1角度をなす状態で撮像素子により撮像されたデータを第1座標系で表現した第1データと、光学系の光軸と被検面の中心軸とが第2角度をなす状態で撮像素子により撮像されたデータを、第1座標系をシフトさせた第2座標系で表現した第2データとを使用して測定対象物の表面形状を演算する、ことを特徴とする。
本発明によれば、被検面の中心軸を傾けたときに撮像素子からの見方が変化することによる誤差をキャンセルして精度良く測定しうる表面形状測定装置を提供することができる。
以下、図面を用いて本発明の表面形状測定装置の一実施形態を説明する。図9に示すこの実施形態の表面形状測定装置はフィゾー型干渉計システムを使用している。この実施形態では、測定対象物の被検面である表面は球面形状である。
本フィゾー型干渉計システムは、光源4、半透鏡5、参照面1を含むフィゾーレンズ6、結像レンズ21、撮像素子3、制御部7、処理部8、及び、測定対象物を動かす為のステージ9を備える。光源4、半透鏡5、フィゾーレンズ6は、光学系を構成する。この光学系は、測定対象物の被検面2に球面波を照射し、被検面2からの反射波面と参照面1からの反射波面との干渉縞パターンを撮像素子3の撮像面に形成するように配置されている。撮像素子3は、平面状の撮像面を有し、その撮像面上に共通の画素ピッチで複数画素が配列されている。
ステージ9は、xステージ、yステージ、zステージ、z軸を回転軸として測定対象物を回転するθzステージ、及び、測定対象物の曲率中心を軸として測定対象物を傾けるθxステージを含む。制御部7は光源4と撮像素子3とステージ9との制御、処理部8とデータのやり取りを行う。処理部8は撮像素子3で取得された干渉縞のパターン記憶する機能、干渉縞のパターンに基づいて被検面の形状を算出する機能を有する。したがって、処理部8は被検面の形状を算出する算出部でもある。フィゾーレンズ6は可干渉光を球面波にする。
まず、測定対象物を、図2に示す、光学系の光軸11と被検面中心軸10とが一致する状態である第1角度をなす状態に動かす。第1角度をなす状態にある測定対象物に対して可干渉光を照射し、撮像素子3により、参照面と被検面の両面からの反射波面の干渉縞のパターンを得る。ステージ9のθz軸を用いて、測定対象物を1回転させながら形状データを複数枚取得する。得られたデータを平均して、第1角度状態における第1のデータを求める。第1のデータはシステムエラー形状と被検面の第1の回転平均形状との和である。
次に、ステージ9のθx軸を動かし、図3に示す被検面を円弧に沿って傾けた状態、即ち光学系光軸11から被検面中心軸10がγだけ傾いた第2角度をなす状態に測定対象物を動かす。第2角度をなす状態にある被検面2に対して可干渉光を照射し、参照面1及び被検面2の両面からの反射波面の干渉縞のパターンを得る。ステージ9のθz軸を用いて、測定対象物を1回転させながら形状データを複数枚取得する。得られたデータを平均して、第2角度をなす状態における第2のデータを求める。第2のデータはシステムエラー形状と被検面の第2の回転平均形状との和である。
第1のデータと第2のデータとの差分としての第3のデータを求めると、第3のデータでは、システムエラー形状がキャンセルされるので、被検面の形状情報とシステムエラー形状とが分離される。第3のデータは被検面の第1の回転平均形状と第2の回転平均形状との差分となり、被検面の回転対称成分のみで表すことができる。被検面の回転対称成分のみで表した第3のデータを図10に示す。実線が第1の回転平均形状、点線が第2の回転平均形状であり、第2の回転平均形状の等高線はゆがんだ形状である。
第1、2のデータの座標系は画素の配列がNA均等分割座標系に基づく撮像素子によって取得しているので、それらの差分である第3のデータもNA均等分割座標系に基づくデータである。NA均等分割座標系について、図12を用いてさらに説明する。図12は、参照面1と被検面2の断面図で、光学系の光軸11から片側の周縁光線12まで模式的に表したものである。R1は参照面1の曲率半径、R2は参照面1で測定可能領域の半径、Lは光学系の光軸11とR2が交わる点から曲率中心13までの長さである。a〜gはR2を均等に7分割した時の長さであり、laはaに対応する参照面1の円弧の長さである。θa、θgはR2をa〜gに均等に分割するように光学系の光軸11と周縁光線12がなす角αを分割した時のa、gに対応する角度を示す。NA(開口数)は参照面によって決まり、図12の場合はNA=sinα=R2/R1と表される。図12ではR2を7分割(7画素)しているので、このときの画素における角度(αをa〜gで分割した時の角度)は、以下のようになる。
θa=atan(1×R2/(7×L))
θb=atan(2×R2/(7×L))-atan(1×R2/(7×L))
・・・
θg=atan(7×R2/(7×L))-atan(6×R2/(7×L))
1画素当りの参照面上の距離はそれぞれ{la,lb,・・・lg}={R1×θa,R1×θb,・・・R1×θg}となる。θa〜θgの角度は異なり、θa>θgである。したがって参照面上の距離la〜lgも異なるので、撮像素子3の1画素が取得する被検面の円弧の長さは光学系の光軸11からの距離で決まり、画素毎に異なる。
θa=atan(1×R2/(7×L))
θb=atan(2×R2/(7×L))-atan(1×R2/(7×L))
・・・
θg=atan(7×R2/(7×L))-atan(6×R2/(7×L))
1画素当りの参照面上の距離はそれぞれ{la,lb,・・・lg}={R1×θa,R1×θb,・・・R1×θg}となる。θa〜θgの角度は異なり、θa>θgである。したがって参照面上の距離la〜lgも異なるので、撮像素子3の1画素が取得する被検面の円弧の長さは光学系の光軸11からの距離で決まり、画素毎に異なる。
NA均等分割座標系から、単位目盛りが、光学系の光軸11と周縁光線12のなす角を均等に分割する座標系に変換する工程を図1に示す。本明細書では、光学系の光軸11と周縁光線12のなす角度を均等に分割した座標系を「角度均等分割座標系」と呼ぶこととする。
第1の工程で、処理部(算出部)8は光学系の光軸11と周縁光線12とのなす角度αを求める。この角度αは参照面の曲率、径によって決まり、図12の参照面の場合には、α=asin(R2/R1)となる。
第2の工程で、処理部(算出部)8はαを均等に分割する角度ピッチβを決める。この時、分割数をnβとすると、β=asin(R2/R1)/nβ=α/nβとなる。NA均等分割座標系で得られた形状データの情報を失わない為には、全画素の中で一番小さい角度(図12だとβ=θg)を分割する角度ピッチとすればよい。また、演算処理能力や目的に応じて、任意の画素数になるようにβを決めてもよい。
第3の工程で、処理部(算出部)8は、第2の工程で決めた角度ピッチβで光学系の光軸と周縁光線12のなす角を均等に分割する角度均等分割座標系に対応する形状データを算出する。NA均等分割座標系に対応するもとの画素は、参照面上で{la,lb,・・・,lg}={R1×θa,R1×θb,・・・,R1×θg}であった。第2の工程で決めた角度ピッチβとすると、角度均等分割座標系に対応する画素は、参照面上で{la’,lb’,・・・,lg’}={R1×β,R1×β,・・・,R1×β}となる。このようにして、1画素辺りの参照面の距離がすべてR1×βと等しくなるように補間を行い、角度均等分割座標系のもとでの形状データを取得する。
このようにして、第1角度及び第2角度をなす状態における、NA均等分割座標系によって表現された第1のデータ及び第2のデータから、角度均等分割座標系で表現された、第1データ及び第2データをそれぞれ取得し得る。この場合、角度均等分割座標系で表現された第1データが第1座標系で表現された第1データであり、角度均等分割座標系で表現された第2データが第2座標系で表現された第2データである。そして、第1データ及び第2データを表現する2つの角度均等分割座標系は、たがいに他の座標系をシフトさせた関係にある。
本実施形態では、第1座標系及び第2座標系として角度均等分割座標系を使用したが、NA均等分割座標系を使用することも可能である。上述したように、撮像素子3によって撮像された第1角度、第2角度をなす状態におけるデータはともにNA均等分割座標系で表現されている。しかしながら、図2と図3とを対比すれば明らかなように、第1角度、第2角度をなす2つの状態間では、被検面の中心軸が光学系の光軸に対する傾斜の度合いが異なるため、撮像素子の見え方が異なっている。そこで、撮像素子の見え方が異なることを考慮した演算を行えば、角度均等分割座標系に変換することなくNA均等分割座標系で表現されるデータのままで、表面形状を算出しうる。
被検面のNAが参照面のNAよりも小さい場合、被検面のNAの範囲内のみ角度均等分割座標系への座標変換を行っても良い。以上の座標変換を行うと、被検面上の同半径等ピッチの等高線を撮像素子で取得した為にゆがんでいたデータの等高線(図10)が同心円状で等ピッチの等高線(図11)となる。この同心円状の等高線の性質を用いて被検面の回転対称成分を算出する。
また、回転対称成分が算出された後に角度均等分割座標系のグリッドからNA均等分割座標系のグリッドに補間を行い、撮像素子で取得した状態に戻してもよい。
本実施形態は、第1角度をなす状態が光学系の光軸11と被検面中心軸10とが一致する状態であるとして説明した。しかし、第1角度をなす状態が光学系の光軸11と被検面中心軸10とが一致する位置でない場合でも、同様の座標変換を行って演算を行えばよい。
本実施形態はフィゾー型干渉計において説明したが、これに限られることなく、振幅分割型と呼ばれる他の干渉計について同様に適用できる。
本実施形態は被検面の回転対称成分を求める演算で説明したが、これに限られることなく、第1角度をなす状態と第2角度をなす状態とで得られた形状データを用いる全ての測定において適用できる。
本実施形態は第1角度をなす状態、第2角度をなす状態で得られた形状データを用いて演算をする場合について説明したが、これに限られることなく、3つ以上の角度をなす状態で得られた形状データを用いる場合においても適用できる。
本実施形態は被検面を1回転させながら形状データを得て、被検面の回転非対称成分の情報をなくした(参照面と被検面の回転対称成分のみの情報にした)。しかし、あらかじめ被検面の回転非対称が分かっている場合にはそれぞれの角度状態より被検面の回転非対称成分を引いてもよい。回転非対称成分を引く演算を行う際は、本発明の座標変換処理を行うことに注意する。
本発明の表面形状測定装置を用いて測定した光学部品を露光装置の投影光学系又は照明光学系に用いれば、従来よりも性能の良い露光装置を提供することができる。
1:参照面、2:被検面、3:撮像素子、4:光源、5:半透鏡、6:フィゾーレンズ、7:制御部、8:処理部(算出部)、9:ステージ、10: 被検面中心軸、11:光学系の光軸、12:周縁光線、13:曲率中心、21:結像レンズ
Claims (5)
- 撮像素子と、
参照面を有し、測定対象物の被検面からの反射波面と前記参照面からの反射波面との干渉縞パターンを前記撮像素子の撮像面に形成するように配置された光学系と、
前記干渉縞パターンに基づいて前記測定対象物の表面形状を算出する算出部と、を備え、
前記算出部は、
前記光学系の光軸と前記被検面の中心軸とが第1角度をなす状態で前記撮像素子により撮像されたデータを第1座標系で表現した第1データと、前記光学系の光軸と前記被検面の中心軸とが第2角度をなす状態で前記撮像素子により撮像されたデータを、前記第1座標系をシフトさせた第2座標系で表現した第2データとを使用して前記測定対象物の表面形状を演算する、ことを特徴とする表面形状測定装置。 - 前記第1座標系及び前記第2座標系は、単位目盛りが前記光学系の光軸と周縁光線とのなす角度を均等に分割した角度に等しい角度均等分割座標系であることを特徴とする請求項1に記載の表面形状測定装置。
- 前記第1座標系及び前記第2座標系は、前記撮像素子の撮像面をNA(開口数)が均等となるように分割したNA均等分割座標系であることを特徴とする請求項1に記載の表面形状測定装置。
- 前記第1角度をなす状態は、前記光学系の光軸と被検面の中心軸とが一致する状態であることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の表面形状測定装置。
- 前記測定対象物の表面が球面形状であることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の表面形状測定装置。
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