JP2008177540A - 多孔性誘電材料の誘電特性をレストアする方法および組成物 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】この方法は基材を提供することを含み、該基材は多孔性誘電材料の少なくとも一の層を含み、該誘電材料は混入物質を含み、該混入物質は表面張力を有する少なくとも一の取り込まれた液体を含み、ここでその少なくとも一の混入物質を含む多孔性誘電材料は第一の誘電率を有する。該基材は表面張力を有する少なくとも一の化合物と水を含むレストア流体と接触させられ、該表面張力は多孔性誘電材料の少なくとも一の層において少なくとも一の取り込まれた液体の表面張力よりも低い。乾燥の間に、該多孔性誘電材料は第二の誘電率を有し、該誘電率は第一の誘電率より低く、そして該レストア流体の全ての構成要素が乾燥の間に除去される。
【選択図】図1
Description
表面張力を有する少なくとも一の液体を取り込んだ混入物質、を含む多孔性誘電材料の少なくとも一の層、を含む基材を提供すること;
該基材をレストア流体に接触させること;ならびに
該基材を乾燥させること、
を含んでなる、多孔性誘電材料の誘電特性をレストアする方法であって、
ここで該少なくとも一の混入物質を含む多孔性誘電材料は第一の誘電率を有し、
該レストア流体は、多孔性誘電材料の少なくとも一の層において少なくとも一の取り込まれた液体の表面張力よりも低い表面張力を有する少なくとも一の成分と、水とを含み、且つ、
該乾燥した基材にある該多孔性誘電材料は、該第一の誘電率より低い第二の誘電率を有し、そして該レストア流体の全ての構成要素が乾燥の間に除去される
ことを特徴とする方法、を提供する。
表面張力を有する少なくとも一の液体を取り込んだ混入物質、を含む多孔性誘電材料の少なくとも一の層、を含む基材を提供すること;
該基材をレストア流体に接触させること;ならびに
該基材を乾燥させること、
を含んでなる多孔性誘電材料の誘電特性をレストアする方法であって、
ここで該少なくとも一の混入物質を含む多孔性誘電材料は第一の誘電率を有し、
該レストア流体は、30質量%以下のイソプロピルアルコールを含み、残りは水であり、且つ、
該乾燥した基材にある該多孔性誘電材料は、該第一の誘電率より低い第二の誘電率を有し、そして該レストア流体の全ての構成要素が乾燥の間に除去される
ことを特徴とする方法、を提供する。
少なくとも一の液体を取り込んだ混入物質、を含む多孔性誘電材料の少なくとも一の層、を含む基材を提供すること;
該基材をレストア流体に接触させること;ならびに
該基材を乾燥させること、
を含んでなる、多孔性誘電材料の誘電特性をレストアする方法であって、
ここで該多孔性誘電材料は第一の誘電率を有し、
該レストア流体は、少なくとも一の水溶性の有機流体と水とを含み、および該レストア流体の沸点が約30℃〜約100℃であり、表面張力が約20〜約70ダイン/cm(約20x10−5〜約70x10−5ニュートン/cm)であり、それにより取り込まれた液体を追い出し、且つ
該乾燥した基材は、該第一の誘電率より低い第二の誘電率を有し、および該第二の誘電率が実質的には任意のプロセス処理をする前の該多孔性材料の本来の誘電率である
ことを特徴とする方法、を提供する。
表面張力を有する少なくとも一の液体を取り込んだ混入物質、を含む多孔性誘電材料の少なくとも一の層、を含む基材を提供すること;
該基材をレストア流体に接触させること;ならびに
該基材を乾燥させること、
を含んでなる多孔性誘電材料の誘電特性をレストアする方法であって、
ここで該少なくとも一の混入物質を含む多孔性誘電材料は第一の誘電率を有し、
該レストア流体は、30質量%以下のイソプロピルアルコールを含み、残りは水であり、且つ、
該乾燥した基材にある該多孔性誘電材料は、該第一の誘電率より低い第二の誘電率を有し、そして該レストア流体の全ての構成要素が乾燥の間に除去される
ことを特徴とする方法、を提供する。
ここで:
r=クラック開口の半径(2Πrはこの液体とこの固体環状表面の間のラインである)
σLG=液体−気体表面張力
θ=接触角
毛管力=(2σLGcosθ)/r
ここで:
σSG=固体−気体接触面での表面エネルギー
σLG=固体−液体接触面での表面エネルギー
r=開口の半径
Σ=付着張力(σSG−σLG)。
少なくとも一の液体を取り込んだ混入物質、を含む多孔性誘電材料の少なくとも一の層、を含む基材を提供すること;
該基材をレストア流体に接触させること;ならびに
該基材を乾燥させること、
を含んでなる、多孔性誘電材料の誘電特性をレストアする方法であって、
ここで該多孔性誘電材料は第一の誘電率を有し、
該レストア流体は、少なくとも一の水溶性の有機流体と水とを含み、および該レストア流体の沸点が約30℃〜約100℃であり、表面張力が約20〜約70ダイン/cm(約20x10−5〜約70x10−5ニュートン/cm)であり、それにより取り込まれた液体を追い出し、且つ
該乾燥した基材は、該第一の誘電率より低い第二の誘電率を有し、および該第二の誘電率が実質的には任意のプロセス処理をする前の該多孔性材料の本来の誘電率である
ことを特徴とする方法、を提供する。
Coppeready(商標)CP72B(ペンシルバニア州、アレンタウン、エアプロダクツアンドケミカルズ社)のクリーニング溶液を、Coppeready(商標)CP72Bを1体積部に対して水20体積部の割合でDI水で希釈した。数ピースのウェハーを5分間このクリーニング溶液にイマージョンした(浸した)。これらのピースをその後DI水ですすぎそしてそれから窒素ガスを吹き付けて乾燥させ、そして屈折率を測定した。これらのピースをその後1分間3.92質量%のIPA−水溶液にイマージョンした。表2で見られるとおり、この多孔性材料の誘電特性は、最終的にイソプロピルアルコールの溶液と接触させた後では、ほとんど元の値まで回復した。
Coppeready(商標)CP4121(ペンシルバニア州、アレンタウン、エアプロダクツアンドケミカルズ社)を使用する、IPEC472研磨機で、PDEMSフィルムを有するウェハーを研磨した。この研磨は、30秒間、1.5ポンド毎平方インチ(psi)のダウンフォース、90回転毎分(RPM)のテーブル速度、および150ミリリットル毎分(ml/分)のスラリー流速で行った。研磨のためにポリテックスパッドを使用した。この研磨後、そのウェハーをSemitoolスピンリンスドライヤーでスピンリンス乾燥した。このフィルムを続いてSK international(ペンシルバニア州、アッパーダービー、19082)の作成したIPA蒸気ドライヤーでIPA蒸気に晒した。このIPA浴の温度は190℃に維持した。IPA蒸気の総暴露時間は9分であった。図1は研磨の前後およびIPA蒸気乾燥後の、ウェハーの直径に沿った種々の点で測定した屈折率のグラフである。誘電率がIPA蒸気乾燥でレストア可能であることが図1から明らかである。
約2.5の誘電率のPDEMS(商標)フィルムの数ピースについて、その初期屈折率を測定した。いくつかのフィルムをCoppeready(商標)CP72Bクリーニング溶液(DI水で20:1に希釈した)に1分間イマージョンし、そしていくつかのフィルムは5分間イマージョンした。DI水ですすいだ後および窒素で吹き付け乾燥した後に、その屈折率を測定した。このフィルムをその後種々の脳小渡のIPAを含むIPA水溶液でイマージョンした。表3および4は、これらのプロセスステップの結果としての、PDEMS(商標)フィルムでの屈折率の変化を表にしたものである。回復%は、屈折率の回復%=(CP72Bイマージョン後の屈折率−IPAイマージョン後の屈折率)x100/(CP72Bイマージョン後の屈折率−未処理のフィルムの初期屈折率)として計算した。
Coppeready(商標)CP72B(ペンシルバニア州、アレンタウン、エアプロダクツアンドケミカルズ社)のクリーニング溶液を、Coppeready(商標)CP72Bを1体積部に対して水20体積部の割合でDI水で希釈した。PDEMS(登録商標)低誘電率材料(ペンシルバニア州、アレンタウン、エアプロダクツアンドケミカルズ社)の層を有する数ピースのウェハーを5分間このクリーニング溶液にイマージョンした。これらのピースをその後DI水ですすぎそしてそれから窒素ガスを吹き付けて乾燥させ、そして屈折率を測定した。これらのピースをその後別々にアセトンを含むレストア流体、THFを含むレストア流体、および酢酸エチルを含むレストア流体に1分間イマージョンして、この誘電率に関するレストア効果を比較した。表5および表6は、屈折率および誘電率の実質的なレストアがこの試験した溶媒で得られたことを説明している。
Coppeready(商標)CP72B(ペンシルバニア州、アレンタウン、エアプロダクツアンドケミカルズ社)のクリーニング溶液を、Coppeready(商標)CP72Bを1体積部に対して水20体積部の割合でDI水で希釈した。MesoElk(登録商標)多孔性オルガノシランガラス(ペンシルバニア州、アレンタウン、エアプロダクツアンドケミカルズ社)の層を有する数ピースのウェハーを5分間このクリーニング溶液にイマージョンした。これらのピースをその後DI水ですすぎそしてそれから窒素ガスを吹き付けて乾燥させ、そして屈折率を測定した。これらのピースをその後別々に種々の量のIPAを含むレストア流体に1分間イマージョンした。表7は、屈折率の実質的なレストア、従って誘電率の実質的なレストアが得られたことを説明している。
Claims (31)
- 表面張力を有する少なくとも一の液体を取り込んだ混入物質、を含む多孔性誘電材料の少なくとも一の層、を含む基材を提供すること;
該基材をレストア流体に接触させること;ならびに
該基材を乾燥させること、
を含んでなる、多孔性誘電材料の誘電特性をレストアする方法であって、
ここで該少なくとも一の混入物質を含む多孔性誘電材料は第一の誘電率を有し、
該レストア流体は、多孔性誘電材料の少なくとも一の層において少なくとも一の取り込まれた液体の表面張力よりも低い表面張力を有する少なくとも一の成分と、水とを含み、且つ、
該乾燥した基材にある該多孔性誘電材料は、該第一の誘電率より低い第二の誘電率を有し、そして該レストア流体の全ての構成要素が乾燥の間に除去される
ことを特徴とする方法。 - 多孔性誘電材料が約4.0またはそれより低い誘電率である、請求項1に記載の方法。
- 少なくとも一の取り込まれた液体の表面張力が約25〜約50ダイン/cm(約25x10−5〜約50x10−5ニュートン/cm)である、請求項1に記載の方法。
- レストア流体の表面張力が約20〜約70ダイン/cm(約20x10−5〜約70x10−5ニュートン/cm)である、請求項1に記載の方法。
- レストア流体の沸点が約30℃〜約100℃である、請求項4に記載の方法。
- 前記少なくとも一の成分が、イソプロピルアルコール、アセトン、アセトニトリル、酢酸エチル、テトラヒドロフラン、メタノール、ジエチル−エーテル、およびこれらの混合物からなる群から選択される、請求項1に記載の方法。
- レストア流体が30質量%未満のイソプロピルアルコールを含む、請求項1に記載の方法。
- レストア流体が25質量%以下のイソプロピルアルコールを含む、請求項7に記載の方法。
- レストア流体が20質量%以下のイソプロピルアルコールを含む、請求項8に記載の方法。
- レストア流体が15質量%以下のイソプロピルアルコールを含む、請求項9に記載の方法。
- レストア流体が10質量%以下のイソプロピルアルコールを含む、請求項10に記載の方法。
- レストア流体が5質量%以下のイソプロピルアルコールを含む、請求項11に記載の方法。
- レストア流体が、水50%とアセトン50%の混合物、水50%とTHF50%の混合物、および水50%と酢酸エチル50%の混合物からなる群から選択される、請求項1に記載の方法。
- イマージョンタンクで前記多孔性誘電材料をレストア流体に接触させる、請求項1に記載の方法。
- ブラシスクラバーを使用して前記多孔性誘電材料をレストア流体に接触させる、請求項1に記載の方法。
- スプレープロセッサーを使用して前記多孔性誘電材料をレストア流体に接触させる、請求項1に記載の方法。
- 乾燥ステップが蒸発、スピン−リンス−乾燥、イソプロピルアルコール蒸気乾燥、またはマラゴニ乾燥を通じて実施される、請求項1に記載の方法。
- 表面張力を有する少なくとも一の液体を取り込んだ混入物質、を含む多孔性誘電材料の少なくとも一の層、を含む基材を提供すること;
該基材をレストア流体に接触させること;ならびに
該基材を乾燥させること、
を含んでなる多孔性誘電材料の誘電特性をレストアする方法であって、
ここで該少なくとも一の混入物質を含む多孔性誘電材料は第一の誘電率を有し、
該レストア流体は、30質量%以下のイソプロピルアルコールを含み、残りは水であり、且つ、
該乾燥した基材にある該多孔性誘電材料は、該第一の誘電率より低い第二の誘電率を有し、そして該レストア流体の全ての構成要素が乾燥の間に除去される
ことを特徴とする方法。 - レストア流体が25質量%以下のイソプロピルアルコールを含む、請求項18に記載の方法。
- レストア流体が20質量%以下のイソプロピルアルコールを含む、請求項19に記載の方法。
- レストア流体が15質量%以下のイソプロピルアルコールを含む、請求項20に記載の方法。
- レストア流体が10質量%以下のイソプロピルアルコールを含む、請求項21に記載の方法。
- レストア流体が5質量%以下のイソプロピルアルコールを含む、請求項22に記載の方法。
- 少なくとも一の液体を取り込んだ混入物質、を含む多孔性誘電材料の少なくとも一の層、を含む基材を提供すること;
該基材をレストア流体に接触させること;ならびに
該基材を乾燥させること、
を含んでなる、多孔性誘電材料の誘電特性をレストアする方法であって、
ここで該多孔性誘電材料は第一の誘電率を有し、
該レストア流体は、少なくとも一の水溶性の有機流体と水とを含み、および該レストア流体の沸点が約30℃〜約100℃であり、表面張力が約20〜約70ダイン/cm(約20x10−5〜約70x10−5ニュートン/cm)であり、それにより取り込まれた液体を追い出し、且つ
該乾燥した基材は、該第一の誘電率より低い第二の誘電率を有し、および該第二の誘電率が実質的には任意のプロセス処理をする前の該多孔性材料の本来の誘電率である
ことを特徴とする方法。 - 前記少なくとも一の水溶性の有機流体が、イソプロピルアルコール、アセトン、アセトニトリル、酢酸エチル、テトラヒドロフラン、メタノール、ジエチル−エーテル、およびこれらの混合物からなる群から選択される、請求項24に記載の方法。
- レストア流体が30質量%未満のイソプロピルアルコールを含む、請求項24に記載の方法。
- レストア流体が25質量%以下のイソプロピルアルコールを含む、請求項26に記載の方法。
- レストア流体が20質量%以下のイソプロピルアルコールを含む、請求項27に記載の方法。
- レストア流体が15質量%以下のイソプロピルアルコールを含む、請求項28に記載の方法。
- レストア流体が10質量%以下のイソプロピルアルコールを含む、請求項29に記載の方法。
- レストア流体が5質量%以下のイソプロピルアルコールを含む、請求項30に記載の方法。
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