JP2008177369A - ショットキバリアダイオード - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ショットキバリアダイオード11では、n型窒化ガリウム系半導体層13の主面13aは、第1のエリア13bと第2のエリア13cとを含む。第1の電極15は金属体19を有しており、第1の電極15の金属体19は、n型窒化ガリウム系半導体層13の第1のエリア13b上に設けられ、またn型窒化ガリウム系半導体層13にショットキ接触21を成す。p型III族窒化物半導体のガードリング領域17はn型窒化ガリウム系半導体層13の第2のエリア13c上に設けられる。凸状のガードリング領域17は第1導電型窒化ガリウム系半導体層13の第2のエリア13cにpn接合23を成す。
【選択図】図1
Description
「パワーエレクトロニクスハンドブック」 R&Dプランニング 2002 第46頁〜49頁、今井孝二 監修
図2は、実施の形態に係るショットキバリアダイオードを作製する方法の一例を示す図面である。図2(a)に示されるように、GaN基板31を準備する。例えば、GaN基板31はn導電性を示し、この基板は、厚み400μmおよびキャリア濃度5×1018cm−3の自立基板である。GaN基板31の表面31a上に窒化ガリウム系半導体層33を成長して、エピタキシャル基板E1を作製する。窒化ガリウム系半導体層33はn導電性を示し、この膜は、厚み7μmおよびキャリア濃度5×1015cm−3のGaN半導体膜である。このGaN半導体膜の表面は良好な平坦性を有している。GaN半導体膜の成長は、例えば有機金属気相成長法で行われる。
図3は、実施の形態に係るショットキバリアダイオードを作製する方法の一例を示す図面である。図3(a)に示されるように、GaN基板31を準備する。窒化ガリウム系半導体層43および窒化ガリウム系半導体層45をGaN基板31の表面31a上に連続して成長して、エピタキシャル基板E2を作製する。窒化ガリウム系半導体層43はn導電性を示し、この膜は、厚み7μmおよびキャリア濃度5×1015cm−3のGaN半導体膜である。また、窒化ガリウム系半導体層45はp導電性を示し、この選択成長による堆積物は、例えば厚み0.5μmおよびp型ドーパントMgである。ドーパント濃度は、4×1017cm−3のGaN半導体を堆積した。これらのGaN半導体膜の表面は良好な平坦性を有している。GaN半導体膜の成長は、例えば有機金属気相成長法で行われる。
Claims (10)
- 第1のエリアと前記第1のエリアの外側に位置する第2のエリアとを含む主面を有するn型窒化ガリウム系半導体層と、
前記n型窒化ガリウム系半導体層の前記第1のエリア上に設けられ前記n型窒化ガリウム系半導体層にショットキ接触を成す金属体を有する第1の電極と、
前記n型窒化ガリウム系半導体層の前記第2のエリア上に設けられp型III族窒化物半導体からなるガードリング領域と
を備え、
前記ガードリング領域は前記第1導電型窒化ガリウム系半導体層の前記第2のエリアにpn接合を成す、ことを特徴とするショットキバリアダイオード。 - 前記n型窒化ガリウム系半導体層の前記主面は、前記第1のエリアと前記第2のエリアとの間に設けられた第3のエリアを含み、前記第1の電極は、前記ガードリング領域と電気的に絶縁されている、ことを特徴とする請求項1に記載されたショットキバリアダイオード。
- 前記第1の電極の前記金属体は前記ガードリング領域上に設けられており、
前記金属体は前記ガードリング領域に接触している、ことを特徴とする請求項1に記載されたショットキバリアダイオード。 - 前記ガードリング領域は、GaN、AlN、AlGaN、AlInGaNの少なくともいずれかからなる、ことを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載されたショットキバリアダイオード。
- 前記ガードリング領域にはp型ドーパントとしてマグネシウムが添加されており、
前記n窒化ガリウム系半導体層のキャリア濃度は、前記ガードリング領域のドーパント濃度よりも小さい、ことを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載されたショットキバリアダイオード。 - 主面および裏面を有するn型窒化ガリウム系半導体からなる支持基体と、
前記支持基体の前記裏面にオーミック接触を成す第2の電極と
を更に備え、
前記n型窒化ガリウム系半導体層は前記支持基体の前記主面上に設けられている、ことを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載されたショットキバリアダイオード。 - 前記支持基体の材料の構成元素は前記n型窒化ガリウム系半導体層の材料の構成元素と同じである、ことを特徴とする請求項6に記載されたショットキバリアダイオード。
- 前記n型窒化ガリウム系半導体層はGaNからなる、ことを特徴とする請求項7に記載されたショットキバリアダイオード。
- 前記n型窒化ガリウム系半導体層はAlGaNからなる、ことを特徴とする請求項7に記載されたショットキバリアダイオード。
- 前記ガードリング領域と前記第1導電型窒化ガリウム系半導体層の前記第2のエリアはホモ接合を成す、ことを特徴とする請求項1〜9のいずれか一項に記載されたショットキバリアダイオード。
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