JP2008168252A - パターン形成方法、液滴吐出装置、及び電気光学装置 - Google Patents

パターン形成方法、液滴吐出装置、及び電気光学装置 Download PDF

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Abstract

【課題】異なるタイミングで着弾した液滴によって形成される膜パターンの境界を連続的
にしたパターン形成方法、液滴吐出装置、及び電気光学装置を提供する。
【解決手段】副走査方向に配列した先行ノズルＮＬからなるノズル列ＮＲの一側と、副走
査方向に配列した後続ノズルＮＦからなるノズル列ＮＲの他側とを主走査方向から見て重
なり合うように配置させた。そして、主走査方向に走査されるカラーフィルタ基板６に向
けて液滴を吐出させるとき、重畳領域Ｓに対応する先行ノズルＮＬの中から複数の先行ノ
ズルＮＬを選択し、選択した先行ノズルＮＬの各々に先行液滴を吐出させた。また、主走
査方向から見て選択した複数の先行ノズルＮＬの間に位置する複数の後続ノズルＮＦを選
択し、選択した後続ノズルＮＦの各々に後続液滴を吐出させた。
【選択図】図７

Description

本発明は、パターン形成方法、液滴吐出装置、及び電気光学装置に関する。
液晶表示装置は、液晶分子の配向状態を規定させるために、液晶を封入する基板の内側
面にラビング処理の施された配向膜を備えている。配向膜の製造工程においては、生産性
の向上や製造コストの低減を図るために、液滴吐出装置を用いたインクジェット法を採用
している。
液滴吐出装置は、基板に対して相対移動する吐出ヘッドと、吐出ヘッドの一方向に配列
された複数のノズルとを有している。液滴吐出装置は、この吐出ヘッドと基板とを主走査
方向に沿って相対移動させながら選択したノズルに液滴を吐出させる。そして、液滴吐出
装置は、液状体からなるパターンを基板の主走査方向に沿って描画させ、このパターンを
乾燥させることによって配向膜を形成させる。
ところで、上記インクジェット法においては、膜パターンの領域全体に液滴を吐出させ
るため、膜パターンのサイズが大きくなると、吐出ヘッドの走査径路を複数回にわたって
改行させなければならない。この際、先行の走査によって吐出された液滴は、後続の走査
によって吐出される液滴よりも早く乾燥し始める。その結果、先行の走査径路に対応する
液状体と、後続の走査径路に対応する液状体との間に流動性の差を生じ、走査径路の境界
において主走査方向に連続する筋状の膜厚段差（以下単に、スジムラという。）を形成し
てしまう。
そこで、インクジェット法においては、従来から、上記スジムラを解消させるための提
案がなされている。特許文献１と特許文献２は、それぞれ主走査方向と交差する一方向に
沿って複数の吐出ヘッドを配置させる。そして、液滴吐出装置は、複数の吐出ヘッドに対
して１回だけ基板を走査させ、複数の吐出ヘッドから基板の略全体にわたって液滴を吐出
させる。これによれば、吐出ヘッドの改行走査が不要となるため、改行走査に起因したス
ジムラを解消させることができる。
特開２００４−２５５３３５号公報 特開２００５−９５８３５号公報
上記吐出ヘッドは、一般的に、ノズルの配列方向に沿って延びる直方体形状に形成され
ている。吐出ヘッドは、その配列方向の端部に、アクチュエータを駆動するための入力端
子やノズルの加工精度を確保するためのスペースなど、ノズルを配列できないデッドスペ
ースを有している。こうした吐出ヘッドをその配列方向に沿って併設させた場合、各デッ
ドスペースの走査径路上に液滴を吐出できないため、結果的に複数回の改行走査が必要と
なる。
特許文献１と特許文献２は、各吐出ヘッドを千鳥状や階段状に配置させ、各デットスペ
ースの走査方向に、隣接する吐出ヘッドのノズル列の一部を配置させる。これによれば、
デッドスペースの走査経路にノズル列の走査経路を重ねることができるため、デッドスペ
ースに起因した改行走査を無くすことができる。
しかしながら、特許文献１と特許文献２は、ノズル列の各々を隣接するノズル列の主走
査方向あるいは反主走査方向に配置させるため、隣接するノズル列の走査径路の境界にお
いて、液滴の吐出タイミングに時差を生じる。基板に着弾する液滴は、そのサイズが数ｎ
ｇ〜数十ｎｇであるため、こうした吐出タイミングの時差によって乾燥状態に大きな差異
を生じる。この結果、特許文献１と特許文献２は、隣接する吐出ヘッドの境界においてス
ジムラを来たし、ひいては液晶表示装置の表示画質を損なうものであった。
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、その目的は、異なるタイミ
ングで着弾した液滴によって形成される膜パターンの境界を連続的にしたパターン形成方
法、液滴吐出装置、及び電気光学装置を提供することである。
本発明のパターン形成方法は、一方向に配列した複数の第１ノズルからなる第１ノズル
群の一側と、前記一方向に配列した複数の第２ノズルからなる第２ノズル群の他側とを他
方向から見て重なり合うように配置させ、前記第１ノズル群と前記第２ノズル群に対して
前記他方向に相対移動する基板に向けて、選択した複数の前記第１ノズルの各々と選択し
た複数の前記第２ノズルの各々とから液滴を吐出させて前記基板にパターンを形成するパ
ターン形成方法であって、前記他方向から見て前記第２ノズル群と重なり合う前記第１ノ
ズル群の領域の中から選択した複数の第１ノズルの各々に液滴を吐出させ、かつ、前記他
方向から見て前記選択した複数の第１ノズルの間に位置する複数の前記第２ノズルの各々
を選択して液滴を吐出させることである。
本発明のパターン形成方法によれば、異なるタイミングで形成される膜パターンが互い
に接合する領域において、異なるタイミングで形成される膜パターンを一方向に繰り返し
配置させることができる。したがって、異なるタイミングで形成される膜パターンの境界
を分散させることができ、膜パターンの全体として連続的に形成させることができる。
このパターン形成方法は、前記他方向から見て前記第２ノズル群と重なり合う前記第１
ノズル群の領域の中から所定の間隔ごとに選択した複数の第１ノズルの各々に液滴を吐出
させ、かつ、前記他方向から見て前記選択した複数の第１ノズルの間に位置する複数の前
記第２ノズルの各々を選択して液滴を吐出させてもよい。
このパターン形成方法によれば、異なるタイミングで形成される膜パターンが互いに接
合する領域において、異なるタイミングで形成される膜パターンを一方向に沿って所定の
間隔ごとに規則的に繰り返し配置させることができる。この結果、液滴を吐出して形成す
る膜パターンを、より確実に連続的に形成させることができる。
このパターン形成方法は、前記他方向から見て重なり合う少なくとも一対の前記第１ノ
ズルと前記第２ノズルとを交互に選択して液滴を吐出させてもよい。
このパターン形成方法によれば、異なるタイミングで形成される膜パターンが互いに接
合する領域において、異なるタイミングで形成される膜パターンを、さらに他方向に繰り
返し配置させることができる。したがって、異なるタイミングで形成される膜パターンの
境界を、さらに分散させることができ、膜パターンの全体として、より連続的に形成させ
ることができる。
このパターン形成方法は、前記他方向から見て前記第２ノズル群と重なり合う前記第１
ノズル群の領域の中から選択する前記第１ノズルの最も前記一方向の位置を所定の周期で
変位させてもよい。
このパターン形成方法によれば、異なるタイミングで形成される膜パターンが互いに接
合する領域において、異なるタイミングで形成される膜パターンの境界を、一方向と交差
する方向であって、かつ、他方向と交差する方向に繰り返し配置させることができる。し
たがって、異なるタイミングで形成される膜パターンの境界を、さらに分散させることが
でき、膜パターンの全体として、さらに連続的に形成させることができる。
本発明のパターン形成方法は、一方向に配列した複数の第１ノズルからなる第１ノズル
群の一側と、前記一方向に配列した複数の第２ノズルからなる第２ノズル群の他側とを他
方向から見て重なり合うように配置させ、前記第１ノズル群と前記第２ノズル群に対して
前記他方向に相対移動する基板に向けて、選択した複数の前記第１ノズルの各々と選択し
た複数の前記第２ノズルの各々とから液滴を吐出させて前記基板にパターンを形成するパ
ターン形成方法であって、前記他方向から見て重なり合う少なくとも一対の前記第１ノズ
ルと前記第２ノズルとを交互に選択して液滴を吐出させることである。
本発明のパターン形成方法によれば、異なるタイミングで形成される膜パターンが互い
に接合する領域において、異なるタイミングで形成される膜パターンを他方向に繰り返し
配置させることができる。したがって、異なるタイミングで形成される膜パターンの境界
を分散させることができ、膜パターンの全体として連続的に形成させることができる。
このパターン形成方法は、前記他方向から見て重なり合う少なくとも一対の前記第１ノ
ズルと前記第２ノズルとを所定の周期で交互に選択し液滴を吐出させてもよい。
このパターン形成方法によれば、異なるタイミングで形成される膜パターンが互いに接
合する領域において、異なるタイミングで形成される膜パターンを他方向に沿って所定の
間隔ごとに規則的に繰り返し配置させることができる。この結果、液滴を吐出して形成す
る膜パターンを、より連続的に形成させることである。
このパターン形成方法は、前記他方向から見て前記第２ノズル群と重なり合う前記第１
ノズル群の領域で前記一方向に連続する複数の前記第１ノズルの各々と、前記他方向から
見て前記第１ノズル群と重なり合う前記第２ノズル群の領域で前記一方向に連続する複数
の第２ノズルの各々とを所定の周期で交互に選択し液滴を吐出させてもよい。
このパターン形成方法によれば、異なるタイミングで形成される膜パターンが互いに接
合する領域において、異なるタイミングで形成されて、かつ、一方向に連続するパターン
を他方向に繰り返し配置させることができる。したがって、異なるタイミングで形成され
る膜パターンの境界を一方向と他方向の双方に沿って分散させることができ、膜パターン
の全体として、さらに連続的に形成させることができる。
このパターン形成方法は、前記他方向から見て前記第２ノズル群と重なり合う前記第１
ノズル群の領域の中から選択する前記第１ノズルの最も前記一方向の位置を所定の周期で
変位させてもよい。
このパターン形成方法によれば、異なるタイミングで形成される膜パターンが互いに接
合する領域において、異なるタイミングで形成される膜パターンの境界を、一方向と交差
する方向であって、かつ、他方向と交差する方向に繰り返し配置させることができる。し
たがって、異なるタイミングで形成される膜パターンの境界を分散させることができ、膜
パターンの全体として、さらに連続的に形成させることができる。
本発明の液滴吐出装置は、一方向に配列した複数の第１ノズルからなる第１ノズル群と
、前記一方向に配列した複数の第２ノズルからなる第２ノズル群とを有し、前記一方向と
交差する他方向から見て前記第１ノズル群の一側と前記第２ノズル群の他側とを重なり合
うように配置させたヘッドユニットと、前記ヘッドユニットと基板とを前記他方向に相対
移動させる移動手段と、前記他方向から見て、前記第２ノズル群と重なり合う前記第１ノ
ズル群の領域から複数の第１ノズルを選択し、かつ、選択した複数の前記第１ノズルの間
に位置する前記第２ノズルを選択する選択データを生成し、前記複数の第１ノズルの各々
と前記複数の第２ノズルの各々を前記選択データに基づいて選択的に駆動して前記基板に
向けて液滴を吐出させる制御手段と、を備えたことである。
本発明の液滴吐出装置によれば、異なるタイミングで形成される膜パターンが互いに接
合する領域において、制御手段は、異なるタイミングで形成される膜パターンを一方向に
繰り返し配置させることができる。したがって、異なるタイミングで形成される膜パター
ンの境界を分散させることができ、膜パターンの全体として連続的に形成させることであ
る。
本発明の液滴吐出装置は、一方向に配列した複数の第１ノズルからなる第１ノズル群と
、前記一方向に配列した複数の第２ノズルからなる第２ノズル群とを有し、前記一方向と
交差する他方向から見て前記第１ノズル群の一側と前記第２ノズル群の他側とを重なり合
うように配置させたヘッドユニットと、前記ヘッドユニットと基板とを前記他方向に相対
移動させる移動手段と、前記他方向から見て重なり合う少なくとも一対の前記第１ノズル
と前記第２ノズルとを交互に選択する選択データを生成し、前記複数の第１ノズルの各々
と前記複数の第２ノズルの各々を前記選択データに基づいて選択的に駆動して前記基板に
向けて液滴を吐出させる制御手段と、を備えたことである。
本発明の液滴吐出装置によれば、異なるタイミングで形成される膜パターンが互いに接
合する領域において、制御手段は、異なるタイミングで形成される膜パターンを他方向に
繰り返し配置させることができる。したがって、異なるタイミングで形成される膜パター
ンの境界を分散させることができ、膜パターンの全体として連続的に形成させることであ
る。
本発明の電気光学装置は、基板の一側面に配向膜を備えた電気光学装置であって、前記
配向膜が上記の液滴吐出装置によって形成された。
本発明の電気光学装置によれば、配向膜の全体としてスジムラを軽減させた電気光学装
置を提供させることができる。
（第１実施形態）
以下、本発明を具体化した第１実施形態を図１〜図９に従って説明する。まず、電気光
学装置としての液晶表示装置１について説明する。図１は、液晶表示装置の全体を示す斜
視図であり、図２は、液晶表示装置に備えられた配向膜を示す斜視図である。
図１において、液晶表示装置１は、バックライト２と液晶パネル３とを有する。バック
ライト２は、光源４から出射された光を液晶パネル３の全面に照射させる。液晶パネル３
は、素子基板５とカラーフィルタ基板６とを有し、これら素子基板５とカラーフィルタ基
板６とが、四角枠状のシール材７によって貼り合わされて、その間隙に液晶ＬＣを封入す
る。液晶ＬＣは、バックライト２からの光を変調して所望の画像をカラーフィルタ基板６
の上面に表示させる。
図２において、カラーフィルタ基板６の上面（図１の下面：素子基板５と相対向する側
面）には、格子状の遮光層８と、遮光層８によって囲まれた多数の空間（画素９）と、が
形成されている。遮光層８は、クロムやカーボンブラックなどの遮光性材料を含む樹脂で
形成され、液晶ＬＣの透過した光を遮光する。各画素９は、それぞれ特定波長の光を透過
するカラーフィルタＣＦを有している。カラーフィルタＣＦは、例えば、赤色の光を透過
する赤色フィルタＣＦＲと、緑色の光を透過する緑色フィルタＣＦＧと、青色の光を透過
する青色フィルタＣＦＢとによって構成される。
カラーフィルタＣＦの上側には、カラーフィルタ基板６の全面を覆って液晶ＬＣと接触
する配向膜ＯＦが形成されている。配向膜ＯＦは、配向性ポリイミドなどの配向性高分子
からなる薄膜である。配向膜ＯＦは、ラビング処理などの配向処理を施されて、接触する
液晶分子の配向状態を規定する。配向膜ＯＦは、本発明の液滴吐出装置を利用して形成さ
れている。すなわち、配向膜ＯＦは、配向性高分子を含む配向膜材料（以下単に、配向膜
用インクＩｋという。）を多数の液滴にしてカラーフィルタ基板６の略全面に吐出し、着
弾した多数の液滴を乾燥させることによって形成されている。
次に、上記配向膜ＯＦを形成するための液滴吐出装置について説明する。図３及び図４
は、それぞれ液滴吐出装置の全体及び吐出ヘッドの全体を示す斜視図である。図５及び図
６は、それぞれ吐出ヘッドの配置及び吐出ヘッドの内部を模式的に示す平面図及び側断面
図である。
図３において、液滴吐出装置１０は、直方体形状に形成された基台１１を有する。基台
１１の上面には、基台１１に設けられたステージモータの出力軸に駆動連結される基板ス
テージ１２が取着されている。基板ステージ１２は、吐出面６ａを上側にした状態でカラ
ーフィルタ基板６を載置し、カラーフィルタ基板６を位置決め固定する。基板ステージ１
２は、ステージモータが正転又は逆転するとき、主走査方向（Ｙ方向）に沿って所定の速
度で往復移動し、カラーフィルタ基板６を主走査方向に沿って走査させる。
基台１１の上側には、門型に形成されたガイド部材１３がＹ方向と直交する副走査方向
（Ｘ方向）に沿って架設され、ガイド部材１３の上側には、インクタンク１４が配設され
ている。インクタンク１４は、上記配向膜用インクＩｋを貯留して配向膜用インクＩｋを
所定の圧力で導出する。
ガイド部材１３の下側には、ガイド部材１３に設けられたキャリッジモータの出力軸に
駆動連結されるキャリッジ１５が取着されている。キャリッジ１５の下側には、複数の吐
出ヘッド１６が副走査方向に沿って配置されている。キャリッジ１５は、キャリッジモー
タが正転又は逆転するとき、副走査方向に沿って往復移動し、各吐出ヘッド１６を副走査
方向に沿って走査させる。
基台１１の左側には、メンテナンス機構１７が配設されている。メンテナンス機構１７
は、吐出ヘッド１６の吐出状態を安定させるため、吐出ヘッド１６に対して行うクリーニ
ングやフラッシングの際に利用される。
図４において、吐出ヘッド１６の上側には、ノズルプレート１８が備えられている。ノ
ズルプレート１８の上面には、カラーフィルタ基板６と平行のノズル形成面１８ａが形成
され、そのノズル形成面１８ａには、ノズル形成面１８ａの法線方向に貫通する１８０個
のノズルＮが吐出ヘッド１６の副走査方向（Ｘ方向）に沿って等間隔に配列され、ノズル
群としての１列のノズル列ＮＲを構成している。吐出ヘッド１６の下側には、ヘッド基板
１９が設けられ、そのヘッド基板１９の一側端には、入力端子１９ａが設けられている。
入力端子１９ａには、吐出ヘッド１６を駆動するための所定の駆動波形信号が入力される
。
図５において、複数の吐出ヘッド１６は、それぞれ副走査方向に沿って千鳥状に配置さ
れている。ここで、反主走査方向に配置された複数の吐出ヘッド１６を、それぞれ先行吐
出ヘッド１６Ｌとし、先行吐出ヘッド１６Ｌが有するノズルＮを、第１ノズルとしての先
行ノズルＮＬという。また、主走査方向に配置された複数の吐出ヘッド１６を、それぞれ
後続吐出ヘッド１６Ｆとし、後続吐出ヘッド１６Ｆが有するノズルＮを、第２ノズルとし
ての後続ノズルＮＦという。なお、図５においては、吐出ヘッド１６の配置を説明する便
宜上、ノズルＮの数量を簡略化している。
隣接する先行吐出ヘッド１６Ｌと後続吐出ヘッド１６Ｆとは、主走査方向から見て、互
いのノズル列ＮＲの一部を所定の割合で重ならせる。また、互いに重なるノズル列ＮＲの
領域においては、先行ノズルＮＬと後続ノズルＮＦとが、主走査方向から見て略同じ位置
に配置されている。
ここで、ノズル列ＮＲの幅をノズル列幅Ｗ１とし、隣接するノズル列ＮＲの互いに重な
る幅を重畳幅Ｗ２とする。また、ノズル列幅Ｗ１に対する重畳幅Ｗ２の割合を「重畳率」
とする。配向膜ＯＦのスジムラを軽減させるため、この重畳率は、５％〜４０％が好まし
い。重畳率が５％よりも小さくなると、先行ノズルＮＬによって形成される配向膜ＯＦと
、後続ノズルＮＦによって形成される配向膜ＯＦとの間にスジムラが形成され始める。ま
た、重畳率が４０％よりも大きくなると、先行吐出ヘッド１６Ｌと後続吐出ヘッド１６Ｆ
との間の重なりが大きくなり、結果的に吐出ヘッド１６の数量を大幅に増量させなければ
ならなくなる。
各後続吐出ヘッド１６Ｆは、カラーフィルタ基板６が主走査方向に沿って走査されると
き、それぞれ隣接する先行吐出ヘッド１６Ｌの走査経路の間の領域を補填するように、隣
接する先行吐出ヘッド１６Ｌの走査経路に対してそれぞれ重畳率の分だけ重なる走査経路
を描く。これにより、吐出面６ａの上には、先行吐出ヘッド１６Ｌの走査経路と後続吐出
ヘッド１６Ｆの走査経路とが重なり合う領域として、重畳幅Ｗ２を有して主走査方向に延
びる帯状の重畳領域Ｓが形成される。
図６において、各ノズルＮの上側には、それぞれインクタンク１４に連通するキャビテ
ィ２１が形成されている。各キャビティ２１は、それぞれインクタンク１４が導出した配
向膜用インクＩｋを貯留して、対応するノズルＮに供給する。各キャビティ２１の上側に
は、上下方向に振動可能な振動板２２が貼り付けられて、対応するキャビティ２１の容積
を拡大及び縮小可能にする。振動板２２の上側には、それぞれ圧電素子ＰＺが配設されて
いる。各圧電素子ＰＺは、それぞれ圧電素子ＰＺを駆動するための駆動波形信号が入力さ
れるとき、上下方向に収縮及び伸張して対応する振動板２２を振動させる。
各キャビティ２１は、それぞれ対応する振動板２２が振動するとき、対応するノズルＮ
のメニスカスを上下方向に振動させ、駆動波形信号に応じた重量の配向膜用インクＩｋを
、対応するノズルＮから液滴Ｄとして吐出させる。吐出された各液滴Ｄは、それぞれカラ
ーフィルタ基板６の略法線に沿って飛行し、ノズルＮと相対向する吐出面６ａに着弾する
。着弾した各液滴Ｄは、それぞれ吐出面６ａの上において合一し、画素９の全体にわたっ
て広がる液状膜ＬＦを形成する。吐出面６ａに形成された液状膜ＬＦは、所定の乾燥処理
によってその溶媒又は分散媒を蒸発させて配向膜ＯＦを形成する。
ここで、先行ノズルＮＬから吐出される液滴Ｄを、「先行液滴」とし、先行液滴によっ
て形成される配向膜ＯＦを「先行配向膜」という。また、後続ノズルＮＦから吐出される
液滴Ｄを、「後続液滴」とし、後続液滴によって形成される配向膜ＯＦを「後続配向膜」
という。
図７は、吐出面６ａに規定された液滴Ｄの吐出位置と、吐出位置の各々に対応付けられ
たノズルＮとを模式的に示す図（以下単に、ドットパターンという。）である。なお、図
７において、吐出面６ａの右側は、先行吐出ヘッド１６Ｌの走査領域に対応し、吐出面６
ａの左側は、後続吐出ヘッド１６Ｆの走査領域に対応する。
図７において、吐出面６ａは、一点鎖線で示すドットパターン格子によって仮想分割さ
れている。ドットパターン格子とは、主走査方向の吐出ピッチＰｙと、副走査方向の吐出
ピッチＰｘとによって規定された格子である。液滴Ｄの吐出・非吐出は、このドットパタ
ーン格子の格子点Ｐごとに規定される。
各格子点Ｐの中において吐出位置に規定された各格子点Ｐは、それぞれ四角の枠（以下
単に、吐出枠Ｆという。）によって囲まれている。グラデーションを付した吐出枠Ｆへの
吐出動作を選択されたノズルＮは、同様のグラデーションを付して示され、白抜きの吐出
枠Ｆへの吐出動作を選択されたノズルＮは、同様に白抜きで示されている。そして、吐出
動作の選択されたノズルＮは実線で示され、吐出動作の選択されていないノズルＮは破線
で示されている。なお、吐出動作の選択された先行ノズルＮＬを、先行選択ノズルＮＬｓ
とし、吐出動作の選択された後続ノズルＮＦを、後続選択ノズルＮＦｓという。
図７に示すように、液滴Ｄを吐出するノズルＮは、格子点Ｐごとに選択され、対応する
格子点Ｐの上方を通過するノズルＮに規定されている。すなわち、重畳領域Ｓの各格子点
Ｐにおいては、液滴Ｄを吐出するノズルＮが、先行ノズルＮＬと後続ノズルＮＦのいずれ
か一方に選択されている。
重畳領域Ｓにおいては、最も反主走査方向の格子点Ｐは、それぞれ液滴Ｄの非吐出位置
として規定され、その他の格子点Ｐは、全て液滴Ｄの吐出位置として規定されている。吐
出位置として規定された各格子点Ｐは、副走査方向に沿って１つおきにグラデーションが
付され、先行選択ノズルＮＬｓと後続選択ノズルＮＦｓとが交互に選択されている。
先行吐出ヘッド１６Ｌは、カラーフィルタ基板６が主走査方向に走査されるとき、重畳
領域Ｓに対応する先行ノズルＮＬの中から１つおきに先行選択ノズルＮＬｓを選択し、各
先行選択ノズルＮＬｓにそれぞれ先行液滴を吐出させる。先行選択ノズルＮＬｓから吐出
された各先行液滴は、それぞれ吐出ピッチＰｙごとに規定された格子点Ｐの領域に着弾し
、走査方向に延びる帯状の液状膜ＬＦを形成する。
後続吐出ヘッド１６Ｆは、カラーフィルタ基板６が主走査方向に走査されるとき、重畳
領域Ｓに対応する後続ノズルＮＦの中から先行選択ノズルＮＬｓの走査経路上に位置しな
い後続ノズルＮＦを後続選択ノズルＮＦｓとして選択し、各後続選択ノズルＮＦｓにそれ
ぞれ後続液滴を吐出させる。後続選択ノズルＮＦｓから吐出された後続液滴は、先行選択
ノズルＮＬｓによって形成された各液状膜ＬＦの間を補填するように着弾し、各液状膜Ｌ
Ｆの間を合一させて重畳領域Ｓの全体にわたる液状膜ＬＦを形成する。
この際、先行液滴と後続液滴は、その吐出タイミングが異なるため、先行配向膜と後続
配向膜との境界に膜厚の段差（スジムラ）を形成する。重畳領域Ｓに着弾した先行液滴と
後続液滴は、このスジムラを吐出ピッチＰｘごとの微細なスジムラとして規則正しく分散
させ、重畳領域Ｓの全体に一様な縦縞模様を描く。そのため、重畳領域Ｓに形成される配
向膜ＯＦは、配向膜ＯＦの全体から見て、先行配向膜と後続配向膜との間の境界をぼかし
て連続的にさせる。この結果、先行配向膜と後続配向膜との間のスジムラを軽減させるこ
とができる。
次に、上記液滴吐出装置１０の電気的構成を図８及び図９に従って説明する。
図８は、液滴吐出装置１０の電気的構成を示すブロック回路図であり、図９は、ヘッド
駆動回路の電気的構成を示すブロック回路図である。
図８において、制御手段を構成する制御装置３０は、液滴吐出装置１０に各種の処理動
作を実行させるものである。制御装置３０は、外部Ｉ／Ｆ３１と、ＣＰＵなどからなる制
御部３２と、ＤＲＡＭ及びＳＲＡＭを含み各種のデータを格納するＲＡＭ３３と、各種制
御プログラムを格納するＲＯＭ３４とを有する。また、制御装置３０は、クロック信号を
生成する発振回路３５と、駆動波形生成回路３６と、基板ステージ１２やキャリッジ１５
を走査するためのモータ駆動回路３７と、各種の信号を送信する内部Ｉ／Ｆ３９とを有す
る。この制御装置３０は、外部Ｉ／Ｆ３１を介して入出力装置４０に接続され、内部Ｉ／
Ｆ３９を介して基板ステージ１２及びキャリッジ１５に接続されている。また、この制御
装置３０は、外部Ｉ／Ｆ３１を介し、吐出ヘッド１６ごとに設けられて制御手段を構成す
るヘッド駆動回路４１に接続されている。
入出力装置４０は、例えばＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭ、ハードディスク、液晶ディスプレ
イなどを有した外部コンピュータである。入出力装置４０は、ＲＯＭ又はハードディスク
に記憶された制御プログラムに従って液滴吐出装置１０を駆動させるための各種の制御信
号を外部Ｉ／Ｆ３１に出力する。外部Ｉ／Ｆ３１は、入出力装置４０から描画データＩｐ
を受信する。
ここで、描画データＩｐとは、ドットパターン格子の各格子点Ｐに対し液滴Ｄの吐出・
非吐出を規定したデータ、先行選択ノズルＮＬｓ及び後続選択ノズルＮＦｓに関するデー
タ、基板ステージ１２の走査速度に関する情報など、液滴Ｄを吐出させるための各種のデ
ータである。
ＲＡＭ３３は、受信バッファ３３ａ、中間バッファ３３ｂ、出力バッファ３３ｃとして
利用される。ＲＯＭ３４は、制御部３２が実行する各種の制御ルーチンと、該制御ルーチ
ンを実行するための各種のデータとを格納する。
発振回路３５は、各種のデータや各種の駆動信号を同期させるためのクロック信号を生
成する。発振回路３５は、例えば各種のデータのシリアル転送時に利用される転送クロッ
クＳＣＬＫを生成する。発振回路３５は、シリアル転送された各種のデータのパラレル変
換時に利用されるラッチ信号ＬＡＴを吐出周期ごとに生成する。
駆動波形生成回路３６は、波形メモリ３６ａ、ラッチ回路３６ｂ、Ｄ／Ａ変換器３６ｃ
、増幅器３６ｄを有する。波形メモリ３６ａは、各種の駆動波形信号ＣＯＭ（例えば、濃
色用波形信号ＣＯＭＡ及び薄色用波形信号ＣＯＭＢ）を生成するための波形データを所定
のアドレスに対応させて格納する。ラッチ回路３６ｂは、制御部３２が波形メモリから読
み出した波形データを所定のクロック信号でラッチする。Ｄ／Ａ変換器３６ｃは、ラッチ
回路３６ｂがラッチした波形データをアナログ信号に変換し、増幅器３６ｄは、Ｄ／Ａ変
換器３６ｃが変換したアナログ信号を増幅して駆動波形信号ＣＯＭを生成する。
制御部３２は、入出力装置４０が描画データＩｐを入力するとき、描画データＩｐを参
照して波形メモリ３６ａの波形データを読み出し、駆動波形生成回路３６を介して、駆動
波形信号ＣＯＭを生成させる。
制御部３２は、モータ駆動回路３７に対応する駆動制御信号を出力する。モータ駆動回
路３７は、制御部３２からの駆動制御信号に応答し、内部Ｉ／Ｆ３９を介して基板ステー
ジ１２とキャリッジ１５を走査させる。
制御部３２は、外部Ｉ／Ｆ３１が受信した入出力装置４０からの描画データＩｐを受信
バッファ３３ａに一時的に格納させる。制御部３２は、描画データＩｐを中間コードに変
換し中間コードデータとして中間バッファ３３ｂに格納させる。制御部３２は、中間バッ
ファ３３ｂから中間コードデータを読み出してドットパターンデータに展開し、ドットパ
ターンデータを出力バッファ３３ｃに格納させる。ドットパターンデータとは、吐出ヘッ
ド１６ごとに生成されるデータであって、ドットパターン格子の各格子点Ｐにそれぞれ液
滴Ｄを吐出させるか否かを対応付けたデータである。
制御部３２は、基板ステージ１２の１スキャン分に相当するドットパターンデータを展
開すると、ドットパターンデータを利用して転送クロックＳＣＬＫに同期したシリアルデ
ータを生成し、内部Ｉ／Ｆ３９を介して、各ヘッド駆動回路４１にシリアル転送させる。
ここで、ドットパターンデータを利用して生成されるシリアルデータを、選択データと
してのシリアルパターンデータＳＩという。シリアルパターンデータＳＩは、ドットの吐
出・非吐出を規定するためのビットの値をノズルＮの数量、すなわち１８０個分だけ有し
、吐出周期ごとに順次生成される。
次に、ヘッド駆動回路４１について以下に説明する。
図９において、ヘッド駆動回路４１は、シフトレジスタ４２と、ラッチ４３と、レベル
シフタ４４と、アナログスイッチ４５と、を有する。
シフトレジスタ４２は、シリアルパターンデータＳＩがシリアル転送されるとき、シリ
アルパターンデータＳＩを転送クロックＳＣＬＫによって順次シフトさせて１８０ビット
のシリアルパターンデータＳＩを格納する。ラッチ４３は、ラッチ信号ＬＡＴが入力され
るとき、シフトレジスタ４２に格納されたシリアルパターンデータＳＩをラッチしてシリ
アル／パラレル変換し、パラレルパターンデータＰＩとして出力する。
レベルシフタ４４は、ラッチ４３が出力するパラレルパターンデータＰＩを受け、パラ
レルパターンデータＰＩをアナログスイッチ素子の駆動電圧レベルに昇圧し、１８０個の
圧電素子ＰＺの各々に対応する開閉信号を出力する。
アナログスイッチ４５は、各圧電素子ＰＺに対応する１８０個のスイッチ素子を有し、
各スイッチ素子は、それぞれレベルシフタ４４が出力する開閉信号を受けて開閉する。各
スイッチ素子の入力端には、それぞれ駆動波形信号ＣＯＭが入力され、各スイッチ素子の
出力端には、それぞれ対応する圧電素子ＰＺが接続されている。各スイッチ素子は、それ
ぞれレベルシフタ４４が“Ｈ”レベル（高い電位）の開閉信号を出力するとき、対応する
圧電素子ＰＺに駆動波形信号ＣＯＭを出力する。逆に、各スイッチ素子は、それぞれレベ
ルシフタ４４が“Ｌ”レベル（低い電位）の開閉信号を出力するとき、駆動波形信号ＣＯ
Ｍの出力を停止させる。
これにより、制御装置３０は、各ヘッド駆動回路４１を介して、各ドットパターンデー
タに応じた液滴Ｄの吐出処理を実行させることができる。すなわち、制御装置３０は、先
行吐出ヘッド１６Ｌに対応するヘッド駆動回路４１を介して、重畳領域Ｓに対応する先行
ノズルＮＬの中から１つおきに先行選択ノズルＮＬｓを選択させ、各先行選択ノズルＮＬ
ｓにそれぞれ先行液滴を吐出させる。また、制御装置３０は、後続吐出ヘッド１６Ｆに対
応するヘッド駆動回路４１を介して、重畳領域Ｓに対応する後続ノズルＮＦの中から先行
選択ノズルＮＬｓの走査経路上に位置しない後続ノズルＮＦを後続選択ノズルＮＦｓとし
て選択させ、各後続選択ノズルＮＦｓにそれぞれ後続液滴を吐出させる。
次に、液滴吐出装置１０を用いた配向膜ＯＦの形成方法について以下に説明する。
まず、図３に示すように、カラーフィルタ基板６が、その吐出面６ａを上側にして基板
ステージ１２に載置される。このとき、基板ステージ１２は、カラーフィルタ基板６をキ
ャリッジ１５の反主走査方向に配置する。この状態から、入出力装置４０は、描画データ
Ｉｐを制御装置３０に入力する。
制御装置３０は、モータ駆動回路３７を介してキャリッジ１５を走査し、カラーフィル
タ基板６が主走査方向に走査されるときに各吐出ヘッド１６がカラーフィルタ基板６上を
通過するようにキャリッジ１５を配置する。制御装置３０は、キャリッジ１５を配置する
とモータ駆動回路３７を介して基板ステージ１２の走査を開始する。
制御装置３０は、入出力装置４０から入力された描画データＩｐをドットパターンデー
タに展開する。この際、制御装置３０は、重畳領域Ｓの各格子点Ｐに対して、先行選択ノ
ズルＮＬｓと後続選択ノズルＮＦｓとを副走査方向に沿って交互に選択したドットパター
ンデータを生成する。また、制御装置３０は、重畳領域Ｓを除く吐出面６ａ上の各格子点
Ｐに対して、それぞれ対応する先行ノズルＮＬあるいは後続ノズルＮＦを副走査方向に沿
って連続的に選択したドットパターンデータを生成する。
制御装置３０は、基板ステージ１２の１スキャン分に相当するドットパターンデータを
展開すると、ドットパターンデータを用いてシリアルパターンデータＳＩを生成し、シリ
アルパターンデータＳＩを転送クロックＳＣＬＫに同期させて各ヘッド駆動回路４１にシ
リアル転送する。
そして、制御装置３０は、最も主走査方向に位置する格子点Ｐが先行ノズルＮＬの直下
に到達すると、吐出周期ごとにラッチ信号ＬＡＴとラッチ信号ＬＡＴに同期した駆動波形
信号ＣＯＭとを出力する。制御装置３０は、各ヘッド駆動回路４１を介して、吐出周期ご
とに転送されるシリアルパターンデータＳＩをシリアル／パラレル変換し、各スイッチ素
子を開閉するための開閉信号を生成する。
制御装置３０は、開閉信号に従って、重畳領域Ｓに対応する先行ノズルＮＬの中から１
つおきに選択した各先行選択ノズルＮＬｓにそれぞれ液滴Ｄを吐出させる。また、制御装
置３０は、開閉信号に従って後続選択ノズルＮＦｓを選択し液滴Ｄを吐出させる。すなわ
ち、制御装置３０は、重畳領域Ｓに対応する後続ノズルＮＦの中から各先行選択ノズルＮ
Ｌｓの走査経路上に位置しない各後続ノズルＮＦをそれぞれ後続選択ノズルＮＦｓとして
選択し、各後続選択ノズルＮＦｓにそれぞれ液滴Ｄを吐出させる。
これにより、制御装置３０は、重畳領域Ｓの配向膜ＯＦに対して、吐出ピッチＰｘごと
の微細なスジムラを付与することができ、配向膜ＯＦの全体にわたり、先行配向膜と後続
配向膜との間のスジムラを軽減させる。
次に、上記のように構成した第１実施形態の効果を以下に記載する。
（１）上記実施形態によれば、副走査方向に配列した先行ノズルＮＬからなるノズル列
ＮＲの一側と、副走査方向に配列した後続ノズルＮＦからなるノズル列ＮＲの他側とを主
走査方向から見て重なり合うように配置させた。そして、主走査方向に走査されるカラー
フィルタ基板６に向けて液滴Ｄを吐出させるとき、重畳領域Ｓに対応する先行ノズルＮＬ
の中から複数の先行ノズルＮＬを選択し、選択した先行ノズルＮＬの各々に先行液滴を吐
出させた。また、主走査方向から見て選択した複数の先行ノズルＮＬの間に位置する複数
の後続ノズルＮＦを選択し、選択した後続ノズルＮＦの各々に後続液滴を吐出させた。
したがって、異なるタイミングで形成される配向膜ＯＦを重畳領域Ｓの副走査方向に繰
り返し配置させることができる。この結果、異なるタイミングで形成される配向膜ＯＦの
境界を重畳領域Ｓにおいて分散させることができ、配向膜ＯＦの全体として連続的に形成
させることができる。
（２）上記実施形態によれば、重畳領域Ｓに対応する先行ノズルＮＬを１つおきに選択
して先行液滴を吐出させ、かつ、選択した先行ノズルＮＬの間に位置する後続ノズルＮＦ
の各々を選択して後続液滴を吐出させた。したがって、異なるタイミングで形成される配
向膜ＯＦを重畳領域Ｓの副走査方向に沿って最小間隔、すなわち吐出ピッチＰｘごとに規
則的に繰り返し配置させることができる。この結果、配向膜ＯＦを、より確実に連続的に
形成させることができる。
（第２実施形態）
以下、本発明を具体化した第２実施形態を図１０に従って説明する。第２実施形態は、
第１実施形態のドットパターンを変更したものである。そのため、以下では、その変更点
について詳細に説明する。なお、図１０に示す各格子点Ｐの中において吐出位置に規定さ
れた格子点Ｐは、それぞれ四角の枠（以下単に、吐出枠Ｆという。）によって囲まれてい
る。グラデーションを付した吐出枠Ｆが選択するノズルＮは、同様のグラデーションを付
して示され、白抜きの吐出枠Ｆが選択するノズルＮは、同様に白抜きで示されている。そ
して、吐出動作の選択されたノズルＮは実線で示され、吐出動作の選択されていないノズ
ルＮは破線で示されている。
図１０に示すように、重畳領域Ｓの左側において、吐出位置として規定された各格子点
Ｐは、主走査方向に沿ってグラデーションが付された複数の格子点Ｐと、主走査方向に沿
って１つおきにグラデーションが付された複数の格子点Ｐとを、副走査方向に沿って交互
に有している。また、重畳領域Ｓの右側において、吐出位置として規定された各格子点Ｐ
は、主走査方向に沿って白抜きされた複数の格子点Ｐと、主走査方向に沿って１つおきに
グラデーションが付された複数の格子点Ｐとを、副走査方向に沿って交互に有している。
制御装置３０は、図１０に示すドットパターンに対応したドットパターンデータと、該
ドットパターンデータに対応したシリアルパターンデータＳＩとを生成し、各ヘッド駆動
回路４１を介して先行液滴と後続液滴とを選択的に吐出させる。そして、制御装置３０は
、重畳領域Ｓの左側において、後続液滴を地にした先行液滴のブロック・チェック（市松
模様）を描き、さらに、重畳領域Ｓの右側において、先行液滴を地にした後続液滴のブロ
ック・チェックを描く。
この構成によれば、先行液滴を地にした後続液滴のブロック・チェックを先行配向膜か
ら連続的に描くことができ、後続液滴を地にした先行液滴のブロック・チェックを後続配
向膜から連続的に描くことができる。そして、重畳領域Ｓの副走査方向の略中央で、先行
液滴を地にした後続液滴のブロック・チェックと、後続液滴を地にした先行液滴のブロッ
ク・チェックとを連結させることができる。
したがって、重畳領域Ｓに形成される配向膜ＯＦによって、先行配向膜と後続配向膜と
の間の境界を、主走査方向及び副走査方向に沿う微小なスジムラによって形成させること
ができる。この結果、先行配向膜と後続配向膜との間の境界を、さらに連続的に形成させ
ることができる。
（第３実施形態）
以下、本発明を具体化した第３実施形態を図１１に従って説明する。第３実施形態は、
第１実施形態のドットパターンを変更したものである。そのため、以下では、その変更点
について詳細に説明する。なお、図１１に示す各格子点Ｐの中において吐出位置に規定さ
れた格子点Ｐは、それぞれ四角の枠（以下単に、吐出枠Ｆという。）によって囲まれてい
る。グラデーションを付した吐出枠Ｆが選択するノズルＮは、同様のグラデーションを付
して示され、白抜きの吐出枠Ｆが選択するノズルＮは、同様に白抜きで示されている。そ
して、吐出動作の選択されたノズルＮは実線で示され、吐出動作の選択されていないノズ
ルＮは破線で示されている。
図１１に示すように、重畳領域Ｓの左側において、副走査方向に連続する複数の格子点
Ｐの各々が、後続ノズルＮＦの吐出位置として規定されている。また、重畳領域Ｓの右側
において、反副走査方向に連続する複数の格子点Ｐの各々が、先行ノズルＮＬの吐出位置
として規定されている。
後続ノズルＮＦの吐出位置として規定された各格子点Ｐの中において最も副走査方向に
位置する格子点Ｐは、吐出ピッチＰｙごとに吐出ピッチＰｘだけ副走査方向に変位し、主
走査方向に連続する鋸歯状の軌跡を描く。
制御装置３０は、図１１に示すドットパターンに対応したドットパターンデータと、該
ドットパターンデータに対応したシリアルパターンデータＳＩとを生成し、各ヘッド駆動
回路４１を介して先行液滴と後続液滴とを選択的に吐出させる。そして、制御装置３０は
、重畳領域Ｓの左側に吐出する後続液滴と、重畳領域Ｓの右側に吐出する先行液滴との境
界を、主走査方向に連続する鋸歯状に描く。
この構成によれば、重畳領域Ｓに形成される配向膜ＯＦによって、先行配向膜と後続配
向膜との間の境界を、主走査方向に沿う鋸歯状の微小なスジムラ、すなわち主走査方向と
交差する方向であって、かつ、副走査方向と交差する方向の微小なスジムラによって形成
させることができる。この結果、先行配向膜と後続配向膜との間の境界を、さらに連続的
に形成させることができる。
尚、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・上記第１実施形態では、副走査方向に沿って１つおきに先行選択ノズルＮＬｓを選択
する構成にした。これに限らず、例えば、副走査方向に沿って２つ以上の先行ノズルＮＬ
ごとに先行選択ノズルＮＬｓを選択する構成にしてもよく、さらには、非周期的に先行選
択ノズルＮＬｓを選択する構成にしてもよい。
・上記第２実施形態では、主走査方向に沿って先行選択ノズルＮＬｓと後続選択ノズル
ＮＦｓとを格子点Ｐごとに交互に選択した。これに限らず、例えば、先行選択ノズルＮＬ
ｓと後続選択ノズルＮＦｓとを非周期的に交互に選択する構成にしてもよい。
・上記第３実施形態では、副走査方向に連続する先行選択ノズルＮＬｓと、副走査方向
に連続する後続選択ノズルＮＦｓとによって、先行配向膜と後続配向膜との間の境界を、
主走査方向に沿う鋸歯状に形成する構成にした。これに限らず、例えば、図１２に示すよ
うに、重畳領域Ｓの左側に吐出する後続液滴と、重畳領域Ｓの右側に吐出する先行液滴と
の間の境界を、主走査方向に連続する鋸歯状に構成し、さらに各鋸歯を副走査方向に延び
る櫛歯によって構成してもよい。すなわち、先行液滴と後続液滴との間の境界を、図１２
においてグラデーションを付した副走査方向に延びる櫛歯と、同櫛歯と噛合う白抜きの櫛
歯とによって形成する構成にしてもよい。
この構成によれば、重畳領域Ｓにおける微細なスジムラの形成方向が、副走査方向を含
む多方向に分散される。したがって、重畳領域Ｓに形成する配向膜ＯＦによって、先行配
向膜と後続配向膜との間の境界を、さらに連続的にさせることができる。
なお、この際、制御装置３０は、図１２のドットパターンに対応したドットパターンデ
ータと、該ドットパターンデータに対応したシリアルパターンデータＳＩとを生成し、各
ヘッド駆動回路４１を介して先行液滴と後続液滴とを選択的に吐出させる。
・さらには、図１３に示すように、図１２における各櫛歯を、図１０に示す縦縞模様に
よって分断させる構成にしてもよい。
この構成によれば、重畳領域Ｓにおけるスジムラの形成方向が、主走査方向と副走査方
向を含む多方向に分散される。したがって、重畳領域Ｓに形成する配向膜ＯＦによって、
先行配向膜と後続配向膜との間の境界を連続的にさせることができる。よって、先行配向
膜と後続配向膜との間のスジムラを、より確実に解消させることができる。
なお、この際、制御装置３０は、図１３のドットパターンに対応したドットパターンデ
ータと、該ドットパターンデータに対応したシリアルパターンデータＳＩとを生成し、各
ヘッド駆動回路４１を介して先行液滴と後続液滴とを選択的に吐出させる。
・上記実施形態では、制御部３２が描画データＩｐを用いてドットパターンデータを生
成する構成にした。これに限らず、例えば、入出力装置４０が描画データＩｐを用いてド
ットパターンデータを生成し、入出力装置４０がドットパターンデータを制御装置３０に
入力する構成にしてもよい。
・上記実施形態では、液滴Ｄを吐出させるためのアクチュエータを圧電素子ＰＺに具体
化した。これに限らず、例えば、アクチュエータを抵抗加熱素子に具体化してもよく、所
定の駆動波形信号ＣＯＭを受けて駆動波形信号ＣＯＭに応じた重量の液滴Ｄを吐出させる
ものであればよい。
・上記実施形態では、各吐出ヘッド１６が１８０個のノズルＮを１列だけ備える構成に
した。これに限らず、例えば、各吐出ヘッド１６が１８０個のノズルＮを２列以上備える
構成にしてもよく、さらには、列内のノズル数を１８０個よりも多い数量で具体化しても
よい。
・上記実施形態では、電気光学装置を液晶表示装置１に具体化し、液滴Ｄによって配向
膜ＯＦを製造する構成にした。これに限らず、例えば液滴Ｄによって液晶表示装置１のカ
ラーフィルタＣＦを製造する構成にしてもよく、さらには、電気光学装置をエレクトロル
ミネッセンス表示装置として具体化し、発光素子形成材料を含む液滴Ｄによって発光素子
を製造する構成にしてもよい。
液晶表示装置を示す斜視図。 カラーフィルタ基板を示す斜視図。 液滴吐出装置を示す斜視図。 吐出ヘッドを示す斜視図。 吐出ヘッドの配置を示す平面図。 吐出ヘッドの内部構成を示す部分断面図。 吐出位置とノズルとの間の位置関係を模式的に示す平面図。 液滴吐出装置の電気的構成を示す電気ブロック回路図。 ヘッド駆動回路を示す電気ブロック回路図。 第２実施形態の吐出位置とノズルとの間の位置関係を模式的に示す平面図。 第３実施形態の吐出位置とノズルとの間の位置関係を模式的に示す平面図。 変更例の吐出位置とノズルとの間の位置関係を模式的に示す平面図。 変更例の吐出位置とノズルとの間の位置関係を模式的に示す平面図。
符号の説明
Ｄ…液滴、ＯＦ…配向膜、Ｎ…ノズル、ＮＬ…先行ノズル、ＮＦ…後続ノズル、ＮＲ…
ノズル群としてのノズル列、１０…液滴吐出装置、１２…移動手段を構成する基板ステー
ジ、３０…制御手段を構成する制御装置、４１…制御手段を構成するヘッド駆動回路。

Claims (11)

  1. 一方向に配列した複数の第１ノズルからなる第１ノズル群の一側と、前記一方向に配列
    した複数の第２ノズルからなる第２ノズル群の他側とを他方向から見て重なり合うように
    配置させ、前記第１ノズル群と前記第２ノズル群に対して前記他方向に相対移動する基板
    に向けて、選択した複数の前記第１ノズルの各々と選択した複数の前記第２ノズルの各々
    とから液滴を吐出させて前記基板にパターンを形成するパターン形成方法であって、
    前記他方向から見て前記第２ノズル群と重なり合う前記第１ノズル群の領域の中から選
    択した複数の第１ノズルの各々に液滴を吐出させ、かつ、前記他方向から見て前記選択し
    た複数の第１ノズルの間に位置する複数の前記第２ノズルの各々を選択して液滴を吐出さ
    せること、
    を特徴とするパターン形成方法。
  2. 請求項１に記載のパターン形成方法であって、
    前記他方向から見て前記第２ノズル群と重なり合う前記第１ノズル群の領域の中から所
    定の間隔ごとに選択した複数の第１ノズルの各々に液滴を吐出させ、かつ、前記他方向か
    ら見て前記選択した複数の第１ノズルの間に位置する複数の前記第２ノズルの各々を選択
    して液滴を吐出させること、
    を特徴とするパターン形成方法。
  3. 請求項１又は２に記載のパターン形成方法であって、
    前記他方向から見て重なり合う少なくとも一対の前記第１ノズルと前記第２ノズルとを
    交互に選択して液滴を吐出させること、
    を特徴とするパターン形成方法。
  4. 請求項１〜３のいずれか１つに記載のパターン形成方法であって、
    前記他方向から見て前記第２ノズル群と重なり合う前記第１ノズル群の領域の中から選
    択する前記第１ノズルの最も前記一方向の位置を所定の周期で変位させること、
    を特徴とするパターン形成方法。
  5. 一方向に配列した複数の第１ノズルからなる第１ノズル群の一側と、前記一方向に配列
    した複数の第２ノズルからなる第２ノズル群の他側とを他方向から見て重なり合うように
    配置させ、前記第１ノズル群と前記第２ノズル群に対して前記他方向に相対移動する基板
    に向けて、選択した複数の前記第１ノズルの各々と選択した複数の前記第２ノズルの各々
    とから液滴を吐出させて前記基板にパターンを形成するパターン形成方法であって、
    前記他方向から見て重なり合う少なくとも一対の前記第１ノズルと前記第２ノズルとを
    交互に選択して液滴を吐出させること、
    を特徴とするパターン形成方法。
  6. 請求項５に記載のパターン形成方法であって、
    前記他方向から見て重なり合う少なくとも一対の前記第１ノズルと前記第２ノズルとを
    所定の周期で交互に選択し液滴を吐出させること、
    を特徴とするパターン形成方法。
  7. 請求項５又は６に記載のパターン形成方法であって、
    前記他方向から見て前記第２ノズル群と重なり合う前記第１ノズル群の領域で前記一方
    向に連続する複数の前記第１ノズルの各々と、前記他方向から見て前記第１ノズル群と重
    なり合う前記第２ノズル群の領域で前記一方向に連続する複数の第２ノズルの各々とを所
    定の周期で交互に選択して液滴を吐出させること、
    を特徴とするパターン形成方法。
  8. 請求項５〜７のいずれか１つに記載のパターン形成方法であって、
    前記他方向から見て前記第２ノズル群と重なり合う前記第１ノズル群の領域の中から選
    択する前記第１ノズルの最も前記一方向の位置を所定の周期で変位させること、
    を特徴とするパターン形成方法。
  9. 一方向に配列した複数の第１ノズルからなる第１ノズル群と、前記一方向に配列した複
    数の第２ノズルからなる第２ノズル群とを有し、前記一方向と交差する他方向から見て前
    記第１ノズル群の一側と前記第２ノズル群の他側とを重なり合うように配置させたヘッド
    ユニットと、
    前記ヘッドユニットと基板とを前記他方向に相対移動させる移動手段と、
    前記他方向から見て、前記第２ノズル群と重なり合う前記第１ノズル群の領域から複数
    の第１ノズルを選択し、かつ、選択した複数の前記第１ノズルの間に位置する前記第２ノ
    ズルを選択する選択データを生成し、前記複数の第１ノズルの各々と前記複数の第２ノズ
    ルの各々を前記選択データに基づいて選択的に駆動して前記基板に向けて液滴を吐出させ
    る制御手段と、を備えたこと、
    を特徴とする液滴吐出装置。
  10. 一方向に配列した複数の第１ノズルからなる第１ノズル群と、前記一方向に配列した複
    数の第２ノズルからなる第２ノズル群とを有し、前記一方向と交差する他方向から見て前
    記第１ノズル群の一側と前記第２ノズル群の他側とを重なり合うように配置させたヘッド
    ユニットと、
    前記ヘッドユニットと基板とを前記他方向に相対移動させる移動手段と、
    前記他方向から見て重なり合う少なくとも一対の前記第１ノズルと前記第２ノズルとを
    交互に選択する選択データを生成し、前記複数の第１ノズルの各々と前記複数の第２ノズ
    ルの各々を前記選択データに基づいて選択的に駆動して前記基板に向けて液滴を吐出させ
    る制御手段と、を備えたこと、
    を特徴とする液滴吐出装置。
  11. 基板の一側面に配向膜を備えた電気光学装置であって、
    前記配向膜が請求項９又は１０に記載の液滴吐出装置によって形成されたこと特徴とす
    る電気光学装置。
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