JP2008166701A - 半導体素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】曲率半径の大きいプロファイルを有するリセスチャンネル構造を効果的に形成することができる半導体素子の製造方法を提供する。
【解決手段】半導体基板310にリセス領域を画成するハードマスク層パターンを形成し、ハードマスク層パターンを食刻マスクに半導体基板を選択食刻してリセスチャンネル構造340を形成し、ハードマスク層パターンを除去してリセスチャンネル構造340を含む半導体基板310を露出し、リセスチャンネル構造を埋め込むゲート電極364を形成する。選択食刻工程は食刻条件が異なる第1の異方性食刻と第2の等方性食刻からなる二段階のプラズマ食刻方法で行なう。
【選択図】図3f
【解決手段】半導体基板310にリセス領域を画成するハードマスク層パターンを形成し、ハードマスク層パターンを食刻マスクに半導体基板を選択食刻してリセスチャンネル構造340を形成し、ハードマスク層パターンを除去してリセスチャンネル構造340を含む半導体基板310を露出し、リセスチャンネル構造を埋め込むゲート電極364を形成する。選択食刻工程は食刻条件が異なる第1の異方性食刻と第2の等方性食刻からなる二段階のプラズマ食刻方法で行なう。
【選択図】図3f
Description
本発明は半導体素子に関するものである。特に、本発明はリセストランジスタを含む半導体素子の製造方法に関するものである。
半導体素子の性能を向上させて製造コストを節減するよう半導体素子の集積度に対する必要が持続的に増加しているので、安定的に半導体素子のサイズを減少させることのできる技術が求められている。半導体素子の速度及び集積度を向上させるように素子のデザインルールを減少させてMOSFET(Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor)のチャンネル長も減少した。しかし、このような素子のチャンネル長の減少は、ソース領域とドレイン領域の間の間隔を狭くする。このようなショートチャンネル効果(Short Channel Effect:SCE)は、ソース領域とチャンネル領域の電圧に影響を及ぼすドレイン領域の電圧を効率的に制御することを難しくして能動スイッチ素子特性を劣化させた。さらに、平面MOSトランジスタ(Planar MOSFET)は素子のサイズの縮小に構造的に限界があり、ショートチャンネル効果の発生の抑制が困難である。
リセスFET(Field Effect Transistor)はゲート領域の下部の活性領域を陥没させ、これを埋め込むゲート電極を形成してチャンネルの長さを増加させた構造である。このような構造は、素子のデザインルールの減少に伴うチャンネル長の縮小を立体的に増加させることができるので、究極的に素子の面積を縮小させることのできる構造である。一方、半導体素子の高集積化で素子のサイズは減少する。したがって、リセスチャンネル構造の幅も狭くなりチャンネル下部の曲率半径も縮小される。結局、ここに電場(E-field)が集中され、ゲート絶縁膜の厚さが減少してしきい値電圧の制御が容易ではない。したがって、半導体素子の特性が劣化する。
リセストランジスタを含む半導体素子の製造方法に関するものである。一実施形態によれば、リセストランジスタはリセスチャンネル構造を備える。このようなリセスチャンネル構造は、食刻条件が異なる二段階のプラズマ食刻工程を行なって形成する。
本発明の一実施形態に係る半導体素子の製造方法は、
半導体基板にリセス領域を画成するハードマスク層パターンを形成する段階と、ハードマスク層パターンを食刻マスクに半導体基板を選択食刻してリセスチャンネル構造を形成するものの、選択食刻工程は食刻条件が異なる二段階のプラズマ食刻方法で行なわれる段階と、ハードマスク層パターンを除去してリセスチャンネル構造を含む半導体基板を露出する段階と、リセスチャンネル構造を埋め込むゲート電極を形成する段階とを含むことを特徴とする。
半導体基板にリセス領域を画成するハードマスク層パターンを形成する段階と、ハードマスク層パターンを食刻マスクに半導体基板を選択食刻してリセスチャンネル構造を形成するものの、選択食刻工程は食刻条件が異なる二段階のプラズマ食刻方法で行なわれる段階と、ハードマスク層パターンを除去してリセスチャンネル構造を含む半導体基板を露出する段階と、リセスチャンネル構造を埋め込むゲート電極を形成する段階とを含むことを特徴とする。
本発明に係る半導体素子の製造方法は、曲率半径の大きいプロファイルを有するリセスチャンネル構造を効果的に形成することができるという利点がある。さらに、第2の等方性プラズマ食刻工程で素子分離構造に隣接した半導体基板に形成される食刻ホーン(Horn)構造を抑制することができるという効果が得られる。なお、第2のリセス形成に対する食刻工程時にスペーサ形成の工程を省略することができるので、工程を単純化することができるという利点がある。
以下では、本発明の実施の形態を図を参照して詳しく説明する。
図1は、本発明の一実施形態に係る半導体素子のレイアウトである。半導体素子は素子分離領域120により画成される活性領域102、リセスゲート領域104及びゲート領域106を含む。本発明の一実施形態によれば、リセスゲート領域104はゲート領域106内に位置する。さらに、リセスゲート領域104の線幅はゲート領域106のそれより狭い。
図1は、本発明の一実施形態に係る半導体素子のレイアウトである。半導体素子は素子分離領域120により画成される活性領域102、リセスゲート領域104及びゲート領域106を含む。本発明の一実施形態によれば、リセスゲート領域104はゲート領域106内に位置する。さらに、リセスゲート領域104の線幅はゲート領域106のそれより狭い。
図2a〜図2gは、本発明に係る半導体素子を示した断面図である。ここで、図2a(i)〜図2g(i)は図1のI−I’に沿う断面図であり、図2a(ii)〜図2g(ii)は図1のII−II’に沿う断面図である。
図2a及び図2cに示されているように、半導体基板210の上部にパッド酸化膜212とパッド窒化膜214を形成する。素子分離マスク(図示省略)を食刻マスクにパッド窒化膜214、パッド酸化膜212及び半導体基板210の一部を食刻して図1に示した活性領域102を画成するトレンチ(図示省略)を形成する。半導体基板210の上部に素子分離用絶縁膜(図示省略)を形成してトレンチを埋め込む。パッド窒化膜214が露出するまで素子分離用絶縁膜を平坦化食刻して素子分離構造220を形成する。パッド窒化膜214を除去して素子分離構造220の高さを低める。半導体基板210の上部にハードマスク層222を形成する。特に、パッド酸化膜212と素子分離構造220の上部にハードマスク層222を形成する。
本発明の一実施形態によれば、素子分離用絶縁膜は酸化膜であるのが好ましい。さらに、素子分離用絶縁膜とトレンチの界面に熱酸化膜(図示省略)、ライナー窒化膜(図示省略)及びライナー酸化膜(図示省略)の積層構造をさらに形成するのが好ましい。本発明の他の実施形態によれば、ハードマスク層222はポリシリコン層、非晶質炭素(Amorphous Carbon)膜、窒化膜、シリコン窒酸化(SiON)膜及びこれらの組合せでなる一群から選択されるいずれか1つで形成するのが好ましい。
図2c及び図2dに示されているように、ハードマスク層222の上部に反射防止膜224を形成する。反射防止膜224の上部に感光膜(図示省略)を形成する。図1に示したリセスゲート領域104に対応するマスク(図示省略)を利用して感光膜を露光及び現像し、感光膜パターン226を形成する。感光膜パターン226を食刻マスクに下部の反射防止膜224、ハードマスク層222及びパッド酸化膜212を食刻して下部に半導体基板210を露出するリセス領域230を形成する。露出した半導体基板210と素子分離構造220を所定の厚さに食刻して第1のリセス232を形成する。感光膜パターン226、反射防止膜224及びハードマスク層222を除去する。
本発明の一実施形態によれば、反射防止膜224は有機反射防止(Organic Bottom Anti-Reflective Coating:OBARC)膜であるのが好ましい。さらに、第1のリセス232の形成のための食刻工程は異方性(Anisotropic)食刻方法で行なわれるのが好ましい。
図2e〜図2gに示されているように、半導体基板210の上部表面に絶縁膜(図示省略)を形成する。絶縁膜を選択食刻して図2dに示した第1のリセス232内に半導体基板210とパッド酸化膜212の側壁にスペーサ236を形成する。スペーサ236を食刻マスクに第1のリセス232内に露出した半導体基板210の一部を食刻して第2のリセス234を形成する。第2のリセス234は楕円形または円形の形状を有するのが好ましい。
リセスチャンネル構造240は、図2dに示した第1のリセス232と第2のリセス234を含む。パッド酸化膜212とスペーサ236を除去してリセスチャンネル構造240を含む半導体基板210を露出する。露出した半導体基板210の上部にゲート絶縁膜260を形成する。半導体基板210の上部にゲート導電層262を形成してリセスチャンネル構造240を埋め込む。ゲート導電層262の上部にゲートハードマスク層290を形成する。図1に示したゲート領域106に対応するマスク(図示省略)でゲートハードマスク層290、ゲート導電層262及びゲート絶縁膜260をパターニングしてゲートハードマスク層パターン292とゲート電極264の積層構造を含むゲート構造物296を形成する。
本発明の一実施形態によれば、第2のリセス234の形成のための食刻工程はリセスチャンネル構造240の下部の曲率半径を大きくするため等方性食刻方法で行なわれるのが好ましい。さらに、ゲート導電層262は下部ゲート導電層270と上部ゲート導電層280の積層構造で形成されるのが好ましい。本発明の他の実施形態によれば、ゲート電極264は上部ゲート電極282と下部ゲート電極272を含む。
後述する本発明の一実施形態に係る半導体素子の製造方法は、従来の方法に比べてリセスチャンネル構造の下部の曲率半径を効果的に増加させることができる。さらに、このような半導体素子の製造方法はリセスチャンネル構造の食刻された半導体基板に発生するホーン(Horn)を防止することができる。
図3a〜図3fは、本発明の一実施形態に係る半導体素子を示した断面図である。ここで、図3a(i)〜図3f(i)は図1のI−I’に沿う断面図であり、図3a(ii)〜図3f(ii)は図1のII−II’に沿う断面図である。
図3aに示されているように、半導体基板310の上部にパッド酸化膜312とパッド窒化膜314を形成する。素子分離マスク(図示省略)を食刻マスクにパッド窒化膜314、パッド酸化膜312及び半導体基板310の一部を食刻して図1に示した活性領域102を画成するトレンチ(図示省略)を形成する。半導体基板310の上部に素子分離用絶縁膜(図示省略)を形成してトレンチを埋め込む。パッド窒化膜314が露出するまで素子分離用絶縁膜を平坦化食刻して素子分離構造320を形成する。
本発明の一実施形態によれば、素子分離用絶縁膜は酸化膜であるのが好ましい。さらに、素子分離用絶縁膜とトレンチの界面に熱酸化膜(図示省略)、ライナー窒化膜(図示省略)及びライナー酸化膜(図示省略)の積層構造をさらに形成するのが好ましい。
図3bに示されているように、パッド窒化膜314及びパッド酸化膜312を除去して半導体基板310を露出する。素子分離構造320の高さを低める。半導体基板310の上部にハードマスク層(図示省略)を形成する。ハードマスク層の上部に反射防止膜(図示省略)を形成する。反射防止膜の上部に感光膜(図示省略)を形成する。図1に示したリセスゲート領域104に対応するマスク(図示省略)を利用して感光膜を露光及び現像し、感光膜パターン326を形成する。感光膜パターン326を食刻マスクに下部の反射防止膜を食刻して反射防止膜パターン324を形成する。反射防止膜パターン324を食刻マスクに下部のハードマスク層を食刻してハードマスク層パターン322を形成する。このとき、ハードマスク層パターン322は半導体基板310を露出するリセス領域330を画成する。
本発明の一実施形態によれば、ハードマスク層は酸化膜、窒化膜及びこれらの組合せでなる一群から選択されるいずれか1つで形成するのが好ましい。さらに、反射防止膜は有機反射防止(Organic Bottom Anti-Reflective Coating:OBARC)膜であるのが好ましい。本発明の他の実施形態によれば、反射防止膜パターン324の形成に対する食刻工程はCF4、CHF3、O2及びこれらの組合せでなる一群から選択されるガスを利用したプラズマ食刻方法で行なうのが好ましい。さらに、ハードマスク層パターン322の形成に対する食刻工程はCF4、CHF3及びこれらの組合せでなる一群から選択されるガスを利用したプラズマ食刻方法で行なわれるのが好ましい。
図3cに示されているように、感光膜パターン326と反射防止膜パターン324を除去する。ハードマスク層パターン322を食刻マスクに図3bに示したリセス領域330に露出した半導体基板310を食刻する。第1の異方性(Anisotropic)プラズマ食刻方法で露出した半導体基板310を食刻して第1のリセス332を形成する。第1のリセス332の側壁にポリマー保護層336を形成する。
本発明の一実施形態によれば、第1のプラズマ食刻工程はN2、H2、HBr、Cl2、SiF4及びこれらの組合せでなる一群から選択されるガスを利用する。さらに、第1のプラズマ食刻工程は300W以上のソースパワーと、20mTorr以下の圧力を含む工程条件下で行なわれるのが好ましい。他の実施形態で、第1のプラズマ食刻工程の食刻ガスはHBr/Cl2/N2/H2またはHBr/Cl2/N2/SiF4の混合ガスであるのが好ましい。第1のプラズマ食刻工程で、ソースパワーは300〜2,000Wで、バイアスパワーは300〜2,000Wであり、圧力は2〜20mTorrで、ソースパワーとバイアスパワーの比は1:1〜3:1であるのが好ましい。なお、HBrとCl2の混合比は2:1〜20:1であり、HBr/Cl2の混合ガスとN2の混合比は10:1〜20:1であるのが好ましい。
本発明の他の実施形態によれば、H2ガスまたはSiF4ガスの量はN2ガスのそれより少なく維持するのが好ましい。したがって、前記のような条件下の第1のプラズマ食刻工程時に、第1のリセス332内にポリマー保護層336が形成される。さらに、半導体基板と酸化膜に対する食刻選択比は5:1以上であるのが好ましい。したがって、第1のリセス332の形成時に素子分離構造320は殆ど食刻されない。
図3dに示されているように、第2の等方性(Isotropic)プラズマ食刻方法で第1のリセス332の下部を食刻して第2のリセス334を形成する。保護層336とハードマスク層パターン322を除去して半導体基板310を露出する。
本発明の一実施形態によれば、第2のプラズマ食刻工程はF−ラジカルガス、O2、He及びこれらの組合せでなる一群から選択されるガスを利用するのが好ましい。さらに、第2のプラズマ食刻工程は500W以上のソースパワーと、30mTorr以下の圧力下で行なわれるのが好ましい。他の実施形態で、F−ラジカルガスはCF4、SF6またはCHF3であるのが好ましい。さらに、ソースパワーは500〜2,000Wで、バイアスパワーは0〜100Wであり、圧力は2〜30mTorrであるのが好ましい。したがって、前記のような条件下で第2のリセス334の下部は隣接した第2のリセス334と十分分離される。さらに、第2のリセス334は大きい曲率半径を有するプロファイルを備える。したがって、第2のプラズマ食刻工程は素子分離構造320に隣接した半導体基板310で発生するホーン(Horn)を防止することができる(図3d(ii)を参照)。
図3e及び図3fに示されているように、露出した半導体基板310の上部にゲート絶縁膜360を形成する。半導体基板310の上部表面にゲート導電層362を形成してリセスチャンネル構造340を埋め込む。ゲート導電層362の上部にゲートハードマスク層390を形成する。図1に示したゲート領域106に対応するゲートマスク(図示省略)でゲートハードマスク層390、ゲート導電層362及びゲート絶縁膜360をパターニングしてゲート構造物396を形成する。ゲート構造物396は、ゲートハードマスク層パターン392とゲート電極364の積層構造を含む。
本発明の一実施形態によれば、リセスチャンネル構造340は第1のリセス332と第2のリセス334を含む。さらに、ゲート導電層362は下部のゲート導電層370と上部のゲート導電層380の積層構造で形成されるのが好ましい。他の実施形態で、ゲート電極364は上部のゲート電極382と下部のゲート電極372を含む。
なお、本発明について、好ましい実施の形態を基に説明したが、これらの実施の形態は、例を示すことを目的として開示したものであり、当業者であれば、本発明に係る技術思想の範囲内で、多様な改良、変更、付加等が可能である。このような改良、変更なども、特許請求の範囲に記載した本発明の技術的範囲に属することは言うまでもない。
102 活性領域
104 リセスゲート領域
106 ゲート領域
120 素子分離領域
210、310 半導体基板
212、312 パッド酸化膜
214、314 パッド窒化膜
220、320 素子分離構造
222 ハードマスク層
224 反射防止膜
226、326 感光膜パターン
230、330 リセス領域
232、332 第1のリセス
234、334 第2のリセス
236 スペーサ
240、340 リセスチャンネル構造
260、360 ゲート絶縁膜
262、362 ゲート導電層
264、364 ゲート電極
270、370 下部ゲート導電層
272、372 下部ゲート電極
280、380 上部ゲート導電層
282、382 上部ゲート電極
290、390 ゲートハードマスク層
292、392 ゲートハードマスク層パターン
296、396 ゲート構造物
322 ハードマスク層パターン
324 反射防止膜パターン
336 ポリマー保護層
104 リセスゲート領域
106 ゲート領域
120 素子分離領域
210、310 半導体基板
212、312 パッド酸化膜
214、314 パッド窒化膜
220、320 素子分離構造
222 ハードマスク層
224 反射防止膜
226、326 感光膜パターン
230、330 リセス領域
232、332 第1のリセス
234、334 第2のリセス
236 スペーサ
240、340 リセスチャンネル構造
260、360 ゲート絶縁膜
262、362 ゲート導電層
264、364 ゲート電極
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272、372 下部ゲート電極
280、380 上部ゲート導電層
282、382 上部ゲート電極
290、390 ゲートハードマスク層
292、392 ゲートハードマスク層パターン
296、396 ゲート構造物
322 ハードマスク層パターン
324 反射防止膜パターン
336 ポリマー保護層
Claims (12)
- 半導体基板にリセス領域を画成するハードマスク層パターンを形成する段階と、
前記ハードマスク層パターンを食刻マスクに前記半導体基板を選択食刻してリセスチャンネル構造を形成するものの、前記選択食刻工程は食刻条件が異なる二段階のプラズマ食刻方法で行なわれる段階と、
前記ハードマスク層パターンを除去して前記リセスチャンネル構造を含む前記半導体基板を露出する段階と、
前記リセスチャンネル構造を埋め込むゲート電極を形成する段階と、
を含むことを特徴とする半導体素子の製造方法。 - 前記ハードマスク層パターンは酸化膜、窒化膜及びこれらの積層構造でなる一群から選択されるいずれか1つで形成されることを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記半導体基板に対する選択食刻工程は、
前記ハードマスク層パターンを食刻マスクに前記リセス領域の下部に露出した前記半導体基板に第1の異方性(Anisotropic)プラズマ食刻工程を行なって内部にポリマー保護層を備えた第1のリセスを形成する段階と、
前記第1のリセス下部の前記半導体基板を第2の等方性(Isotropic)プラズマ食刻工程を行なって大きい曲率半径を有する第2のリセスを形成する段階と、
前記ポリマー保護層を除去して前記リセスチャンネル構造を形成する段階と、
を含むことを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の製造方法。 - 前記第1のプラズマ食刻工程はHBr、Cl2、N2、H2、SiF4及びこれらの組合せでなる一群から選択される食刻ガスを利用して行なわれることを特徴とする請求項3に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記第1のプラズマ食刻工程の食刻ガスはHBr/Cl2/N2/H2の混合ガス、またはHBr/Cl2/N2/SiF4の混合ガスであることを特徴とする請求項4に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記混合ガスにおいて、HBrとCl2の混合比は2:1〜20:1であることを特徴とする請求項5に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記混合ガスにおいて、HBr/Cl2の混合ガスとN2ガスの混合比は10:1〜20:1であることを特徴とする請求項5に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記混合ガスにおいて、H2ガスの量はN2ガスのそれより少ないことを特徴とする請求項5に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記第1のプラズマ食刻工程は300〜2,000Wのソースパワーと、300〜2,000Wのバイアスパワーと、1:1〜3:1のソースパワー及びバイアスパワーの比率と、2〜20mTorrの圧力を含む工程条件下で行なわれることを特徴とする請求項3に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記第2のプラズマ食刻工程はCF4、SF6、CHF3、O2、He及びこれらの組合せでなる一群から選択される食刻ガスで行なわれることを特徴とする請求項3に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記第2のプラズマ食刻工程は500〜2,000Wのソースパワーと、0〜100Wのバイアスパワーと、2〜30mTorrの圧力を含む工程条件下で行なわれることを特徴とする請求項3に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記半導体基板に活性領域を画成する素子分離構造を形成する段階をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の製造方法。
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