JP2008166062A - 真空容器を持つ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】真空容器内に潤滑剤を使用した機構を有するCD−SEMなどの装置であって、この真空容器内の機構に、潤滑剤評価用装置の真空容器内に導入した物質の表面への1分間あたりの吸着量が、真空排気開始後、準平衡状態に到達した後において0.09ng/cm2未満である潤滑剤(オイル、グリース)を使用する。
【選択図】図9
Description
半導体デバイスの製品開発から信頼性を確保しつつ短期間に量産に移行するためには、量産プロセス条件の短期最適化が必須となる。高い信頼性を得るには、設計した幾何学的構造を確実に許容寸法範囲内に収めることが第一に必要である。このためにリソグラフィー技術で形成した微細パターンの寸法計測は不可欠である。半導体プロセスのインライン検査装置として寸法計測専用の電子顕微鏡CD−SEMが用いられており、半導体デバイス信頼性確保および半導体製造期間の観点から高精度・高スループットの計測が要求される。
図1により、本発明の一実施の形態であるCD−SEMの一例を説明する。CD−SEMは、制御装置1と、この制御装置1により制御される、電子光学系制御装置2、ステージ制御装置3、試料搬送制御装置4、および試料交換室制御装置5と、さらにこれらの制御装置2,3,4,5,により制御される、電子光学系、ステージ系、試料搬送系、および試料交換室などから構成される。
図3((A):真空容器部の上面図、(B):真空容器部の正面図)により、潤滑剤評価用装置の一例を説明する。潤滑剤評価用装置は、ステンレス製真空容器101と、ステンレス製真空容器101の一方に結合された四重極質量分析器102と、ステンレス製真空容器(単に真空容器とも記す)101の他方に結合されたアングル型バルブ103と、アングル型バルブ103に結合されたターボ分子ポンプ104と、ターボ分子ポンプ104に結合されたスクロールドライポンプ105と、潤滑剤評価用装置の架台106などから構成される。
ここに、Δmは水晶振動子素子表面に吸着した物質の質量増分、Fは水晶振動子結晶の物質が吸着する面の面積、ρQは水晶振動子結晶の密度、dは水晶振動子結晶の厚み、Δfは表面に吸着した物質の質量増分に対応する水晶振動子の共振周波数の変化、fは水晶振動子の基本共振周波数を表す。試験用潤滑オイル塗布板に潤滑オイルA、B、Cをそれぞれ塗布した場合、および試験用潤滑オイル塗布板に何も塗布しない場合の4つの場合について、水晶振動子の共振周波数の時間変化を観測した結果を図9に示した。図9において、701は何も塗布しない場合、702は潤滑オイルAを塗布した場合、703は潤滑オイルBを塗布した場合、704は潤滑オイルCを塗布した場合、の時間変化を観測した結果である。
Claims (8)
- 真空容器内に潤滑剤を使用した機構を有する装置であって、
前記真空容器内の機構には、真空容器内に導入した物質の表面への1分間あたりの吸着量が、真空排気開始後、準平衡状態に到達した後において0.09ng/cm2未満である潤滑剤が使用されることを特徴とする真空容器を持つ装置。 - 請求項1記載の真空容器を持つ装置において、
前記潤滑剤は、オイルであることを特徴とする真空容器を持つ装置。 - 請求項1記載の真空容器を持つ装置において、
前記潤滑剤は、グリースであることを特徴とする真空容器を持つ装置。 - 請求項1記載の真空容器を持つ装置において、
前記物質の表面は、水晶振動子の素子表面であることを特徴とする真空容器を持つ装置。 - 真空容器内に潤滑剤を使用した機構を有する装置であって、
前記真空容器内の機構には、真空容器内に導入した物質の表面への1分間あたりの吸着量が、真空排気開始後、ほぼ準平衡状態に到達した後において0.09ng/cm2未満である潤滑剤が使用されることを特徴とする真空容器を持つ装置。 - 請求項5記載の真空容器を持つ装置において、
前記潤滑剤は、オイルであることを特徴とする真空容器を持つ装置。 - 請求項5記載の真空容器を持つ装置において、
前記潤滑剤は、グリースであることを特徴とする真空容器を持つ装置。 - 請求項5記載の真空容器を持つ装置において、
前記物質の表面は、水晶振動子の素子表面であることを特徴とする真空容器を持つ装置。
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