JP2008159862A - 高周波電子部品のパッケージ構造 - Google Patents
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Abstract
【課題】 半導体デバイス等の高周波信号を入出力する電子部品のパッケージ構造において、不要な共振を防止し、高周波信号の損失増加を防止する。
【解決手段】 凹部内に電子部品23を搭載するパッケージ構造において、電子部品23に高周波信号を入出力する伝送線路6を誘電体基板1上に設けるとともに、接地用電極線7を当該伝送線路に隣接して誘電体基板1部材上に設け、接地用電極線7の凹部に臨む先端を接地用金属筐体3に導電性スルーホール10で接続した。これにより。誘電体基板1上に設けた接地用電極線7の先端が開放された状態がなくなり、共振や高周波信号の損失が増加することを防止することができる。
【選択図】 図1
【解決手段】 凹部内に電子部品23を搭載するパッケージ構造において、電子部品23に高周波信号を入出力する伝送線路6を誘電体基板1上に設けるとともに、接地用電極線7を当該伝送線路に隣接して誘電体基板1部材上に設け、接地用電極線7の凹部に臨む先端を接地用金属筐体3に導電性スルーホール10で接続した。これにより。誘電体基板1上に設けた接地用電極線7の先端が開放された状態がなくなり、共振や高周波信号の損失が増加することを防止することができる。
【選択図】 図1
Description
本発明は、高周波信号を入出力する半導体デバイス等の電子部品をパッケージする構造に関し、特に、接地用導電体面上に周囲を誘電体部材で囲んだ形成した凹部内に電子部品を搭載するパッケージ構造に関する。
マイクロ波帯以上の移動無線端末や画像伝送装置等に用いられる高周波電子部品のパッケージ構造では、搭載性や簡素化の観点から高周波パッケージ装置の小型化、気密構造化、高周波化が重要な要素となっている。
マイクロ波帯以上の移動無線端末や画像伝送装置等に用いられる従来の高周波パッケージ装置の第1の例として、接地用金属筐体(接地用導体)の面上に多層の誘電体基板を設け、この誘電体基板上に電子部品に高周波信号を入出力する伝送線路を設けて分布定数素子を形成した構造が知られている(非特許文献1参照。)。
この例では、接地用金属筐体の面上に配置した多層の誘電体基板に、電子部品を収納するキャビティ構造の凹部と伝送線路とを有し、キャビティ構造の凹部の端面まで伝送線路による分布定数素子を形成して、搭載した電子部品に高周波信号を伝送する構造としている。
この例では、接地用金属筐体の面上に配置した多層の誘電体基板に、電子部品を収納するキャビティ構造の凹部と伝送線路とを有し、キャビティ構造の凹部の端面まで伝送線路による分布定数素子を形成して、搭載した電子部品に高周波信号を伝送する構造としている。
また、同様に、接地用金属筐体と多層の誘電体基板を用いた第2の従来例として、接地用金属筐体(接地用導体)の面上に多層の誘電体基板を設け、この誘電体基板上に電子部品に高周波信号を入出力する伝送線路と接地用金属電極とを設けて分布定数素子を形成した構造が知られている(非特許文献1参照。)。
この例では、接地用金属筐体の面上に配置した多層の誘電体基板に、電子部品を収納するキャビティ構造の凹部と伝送線路と接地用金属電極とを有し、キャビティ構造の凹部の端面まで同一面上の接地用金属電極を有する伝送線路による分布定数素子を形成して、搭載した電子部品に高周波信号を伝送する構造としている。
この例では、接地用金属筐体の面上に配置した多層の誘電体基板に、電子部品を収納するキャビティ構造の凹部と伝送線路と接地用金属電極とを有し、キャビティ構造の凹部の端面まで同一面上の接地用金属電極を有する伝送線路による分布定数素子を形成して、搭載した電子部品に高周波信号を伝送する構造としている。
これら従来例の構造は、伝送線路による分布定数素子を形成した誘電体基板により、搭載した電子部品を収納するキャビティ構造の凹部の端面まで、あるいは、搭載した電子部品を収納するキャビティ構造の空洞の端面まで、高周波信号を伝播することができる利点と、前記伝送線路による分布定数素子の構造が簡単であるため小型化できる利点が有る。
Microwave Application Lab.:「RF and Microwave Packaging Technology」、Dielectric Laboratories.2003年3月。
Microwave Application Lab.:「RF and Microwave Packaging Technology」、Dielectric Laboratories.2003年3月。
上記の従来技術で示した第1の例では、2層以上の誘電体基板を用いており、伝送線路による分布定数素子を形成した誘電体基板により、搭載した電子部品を収納するキャビティ構造の凹部の端面まで、あるいは、半導体を含む搭載部品を収納するキャビティ構造の空洞の端面まで、高周波信号を伝播する伝送線路による分布定数素子を形成している。
この構造では、誘電体基板の同一面上に接地用電極が形成されない伝送線路による分布定数素子が用いられており、誘電体基板の面上に設けた伝送線路による分布定数素子から空間への高周波信号の放射が増加して、高周波信号の損失が増加してしまうことがある。
この構造では、誘電体基板の同一面上に接地用電極が形成されない伝送線路による分布定数素子が用いられており、誘電体基板の面上に設けた伝送線路による分布定数素子から空間への高周波信号の放射が増加して、高周波信号の損失が増加してしまうことがある。
上記の従来技術で示した第2の例では、2層以上の誘電体基板を用いており、誘電体基板の同一面上に設けた接地用金属電極と伝送線路による分布定数素子を形成した誘電体基板により、電子部品を収納するキャビティ構造の凹部の端面まで、あるいは、電子部品を収納するキャビティ構造の空洞の端面まで高周波信号を伝播する伝送線路による分布定数素子を形成している。
この構造では、誘電体基板の同一面上に接地用金属電極を形成した伝送線路による分布定数素子を構成するが、接地用金属電極をスルーホールにより接地用金属筐体(接地用導体)に接続しても、スルーホールの先端に一方が開放された伝送線路による分布定数素子が残り、高周波信号の損失が増加してしまうことがある。
この構造では、誘電体基板の同一面上に接地用金属電極を形成した伝送線路による分布定数素子を構成するが、接地用金属電極をスルーホールにより接地用金属筐体(接地用導体)に接続しても、スルーホールの先端に一方が開放された伝送線路による分布定数素子が残り、高周波信号の損失が増加してしまうことがある。
図10には、上記の従来技術で示した第2の例に相当する高周波電子部品のパッケージ構造を示してある。
このパッケージ構造は、2層の誘電体基板101、102を用い、誘電体基板101の同一面上に設けた接地用金属電極107と伝送線路106による分布定数素子を形成した誘電体基板101により、搭載する電子部品を収納するキャビティ構造の凹部の端面まで、高周波信号を伝播する伝送線路106による分布定数素子を構成している。
このパッケージ構造は、2層の誘電体基板101、102を用い、誘電体基板101の同一面上に設けた接地用金属電極107と伝送線路106による分布定数素子を形成した誘電体基板101により、搭載する電子部品を収納するキャビティ構造の凹部の端面まで、高周波信号を伝播する伝送線路106による分布定数素子を構成している。
図10において、101は伝送線路106による分布定数素子を形成する第一層目の誘電体基板、102は第二層目の誘電体基板、103は接地用金属筐体、107は伝送線路106に隣接する両側に誘電体基板101の同一面上に設けた一対の接地用金属電極、104は第一層目の誘電体基板101に形成したキャビティ構造を構成する空洞、105は第二層目の誘電体基板102に形成したキャビティ構造を構成する空洞であり、接地用金属電極107は接地用金属筐体103に導電性のスルーホール108で接続されている。
なお、伝送線路導体106及び接地用金属電極107の基端部は、第二層目の誘電体基板102に形成した切欠き109により露出され、外部と接続できる構造となっている。また、空洞104、105により構成されるキャビティ構造の凹部に搭載する電子部品が収容され、当該電子部品に対して伝送線路106がボンディングワイヤで接続される。
なお、伝送線路導体106及び接地用金属電極107の基端部は、第二層目の誘電体基板102に形成した切欠き109により露出され、外部と接続できる構造となっている。また、空洞104、105により構成されるキャビティ構造の凹部に搭載する電子部品が収容され、当該電子部品に対して伝送線路106がボンディングワイヤで接続される。
図10の構造では、伝送線路106による分布定数素子の構造が簡単であるため小型化できる利点に加えて、伝送線路106をその先端がキャビティ構造の凹部に臨むように延設しているので、伝送線路106により電子部品を収容するキャビティ構造の空洞104の端面まで高周波信号を伝播することができる利点が得られる。
しかしながら、接地用金属電極107がその中央部でスルーホール108により接地用金属筐体に接続されているため、接地用金属電極107のスルーホール108より先端側に、一方が開放されたb−c間、e−f間の伝送線路106による分布定数素子が残り、共振や高周波信号の損失が増加してしまうことがある。
しかしながら、接地用金属電極107がその中央部でスルーホール108により接地用金属筐体に接続されているため、接地用金属電極107のスルーホール108より先端側に、一方が開放されたb−c間、e−f間の伝送線路106による分布定数素子が残り、共振や高周波信号の損失が増加してしまうことがある。
図11には図10に示した例におけるa−c間、d−f間の伝送特性を示し、図12には同じくa−c間、d−f間の反射特性を示してある。
図11から明らかなように約26GHzに不要な共振があり、伝送損失が急増していることがわかり、また、図12から明らかなように約26GHzに不要な共振があり、−11dB程度に反射特性が劣化していることがわかる。
図11から明らかなように約26GHzに不要な共振があり、伝送損失が急増していることがわかり、また、図12から明らかなように約26GHzに不要な共振があり、−11dB程度に反射特性が劣化していることがわかる。
なお、図11及び図12の特性計測では、図10に示す例において、第1層目の誘電体基板101及び第2層目の誘電体基板102の比誘電率を5.6、厚さを0.15mm、伝送線路106による分布定数素子の金属導体幅を0.22mm、接地用金属電極107の金属導体幅を0.8mm、導電性のスルーホール108の直径を0.2mm、導電性のスルーホール108とキャビティ構造の空洞104の間に残る伝送線路106の距離を1.2mm、誘電体基板101及び誘電体基板102及び接地用金属筐体103の大きさをそれぞれ10×8mm、接地用金属筐体103の厚みを0.6mm、誘電体基板101に形成した空洞104の大きさを4.8×3.2mm、誘電体基板102に形成したキャビティ構造の空洞105の大きさを7.2×5.6mm、高周波信号を外部から入出力するために、第2層目の誘電体基板102に形成した切欠き109の大きさを2.4×0.6mmとした。
本発明は、上記従来の事情に鑑みなされたものであり、半導体デバイス等の高周波信号を入出力する電子部品のパッケージ構造において、不要な共振を防止し、高周波信号の損失増加を防止することを目的としている。
本発明は、接地用導電体面上に周囲を誘電体部材で囲んだ凹部を設け、当該凹部内に電子部品を搭載するパッケージ構造であって、前記電子部品に高周波信号を入出力する伝送線路を前記誘電体部材上に設けるとともに、接地用電極線を当該伝送線路に隣接して当該誘電体部材上に設け、当該接地用電極線の前記凹部に臨む先端を前記接地用導電体に接続したことを特徴とする。
また、本発明は、更に、前記接地用電極線はその基端から先端に至る中間部で前記誘電体部材を貫通する導電性スルーホールにより前記接地用導電体に接続されていることを特徴とする。
また、本発明は、更に、伝送線路及び接地用電極線が設けられた前記誘電体部材上に更に他の誘電体部材を設けて、誘電体部材の多層構造としたことを特徴とする。
また、本発明は、更に、伝送線路及び接地用電極線が設けられた前記誘電体部材上に更に他の誘電体部材を設けて、誘電体部材の多層構造としたことを特徴とする。
ここで、本発明では、伝送路及び設置用電極線が設けられる誘電体部材は1層であっても2層以上の多層であってもよく、設計上の必要に応じて任意に選択し得る。
また、本発明では、接地用導電体は、上記の例のように金属体(接地用金属筐体)である他に、誘電体基板の表面を金属で覆うことで導電性をもたせた部材であってもよく、要は、接地として機能するよう構成されたものであればよい。
また、本発明は、半導体デバイス、フィルタ機能デバイス等、高周波信号を入出力する種々な電子部品のパッケージ構造に適用することができる。
また、本発明では、接地用導電体は、上記の例のように金属体(接地用金属筐体)である他に、誘電体基板の表面を金属で覆うことで導電性をもたせた部材であってもよく、要は、接地として機能するよう構成されたものであればよい。
また、本発明は、半導体デバイス、フィルタ機能デバイス等、高周波信号を入出力する種々な電子部品のパッケージ構造に適用することができる。
また、本発明では、誘電体部材として、ガラス、セラミック等の種々な材料を用いることができる。
なお、電子部品を収容しているキャビティ構造の凹部を誘電体基板で蓋をすることで、電子部品を気密に収容するパッケージ構造を容易に実現することができる。
なお、電子部品を収容しているキャビティ構造の凹部を誘電体基板で蓋をすることで、電子部品を気密に収容するパッケージ構造を容易に実現することができる。
本発明によると、伝送線路に隣接して設けた接地用電極線を凹部に臨む先端で接地用導電体に接続するようにしたため、誘電体部材上に設けた接地用電極線の先端が開放された状態がなくなり、共振や高周波信号の損失が増加することを防止することができる。
また、本発明によると、接地用電極線をその中間部で誘電体部材を貫通する導電性スルーホールにより接地用導電体に接続するようにしたため、共振や高周波信号の損失が増加することをより効果的に防止することができる。
また、本発明によると、伝送線路及び接地用電極線が設けられた誘電体部材上に更に他の誘電体部材を設けて誘電体部材の多層構造としたため、誘電体基板の多層構造という従来の構造を踏襲して、共振や高周波信号の損失が増加することを防止することができるパッケージ構造を実現することができる。
また、本発明によると、接地用電極線をその中間部で誘電体部材を貫通する導電性スルーホールにより接地用導電体に接続するようにしたため、共振や高周波信号の損失が増加することをより効果的に防止することができる。
また、本発明によると、伝送線路及び接地用電極線が設けられた誘電体部材上に更に他の誘電体部材を設けて誘電体部材の多層構造としたため、誘電体基板の多層構造という従来の構造を踏襲して、共振や高周波信号の損失が増加することを防止することができるパッケージ構造を実現することができる。
本発明を実施例に基づいて具体的に説明する。
図1は本発明の第1実施例に係る高周波電子部品のパッケージ構造を示し、図2は接地用電極線7部分の断面構造を示している。
なお、以下に説明する各実施例では、誘電体部材として誘電体基板を用い、接地用導電体として接地用金属筐体或いは金属で覆った誘電体基板を用いている。
図1は本発明の第1実施例に係る高周波電子部品のパッケージ構造を示し、図2は接地用電極線7部分の断面構造を示している。
なお、以下に説明する各実施例では、誘電体部材として誘電体基板を用い、接地用導電体として接地用金属筐体或いは金属で覆った誘電体基板を用いている。
図1及び図2において、第1層目の誘電体基板1に電子部品21を収納するキャビティ構造の空洞4を設け、この誘電体基板1の上面に分布定数素子を形成する伝送路導体6と一対の接地用電極線7を設け、誘電体基板1の下面に接地用金属筐体3を設けて空洞4に底面を形成し、誘電体基板1上にキャビティ構造の空洞5を有する第2層目の誘電体基板2を設けてある。
すなわち、接地用金属筐体3を底面とし、空洞4(及び空洞5)を内壁面としたキャビティ構造の凹部が形成され、誘電体基板1上に伝送線路6と当該伝送線に隣接する一対の接地用電極線7が延設され、これら伝送線路6と接地用電極線7の先端がキャビティ構造の凹部に臨んでいる。
すなわち、接地用金属筐体3を底面とし、空洞4(及び空洞5)を内壁面としたキャビティ構造の凹部が形成され、誘電体基板1上に伝送線路6と当該伝送線に隣接する一対の接地用電極線7が延設され、これら伝送線路6と接地用電極線7の先端がキャビティ構造の凹部に臨んでいる。
また、金属等の導電体を詰めた導電性のスルーホール8を誘電体基板1に設けて、接地用電極線7をその中央部で接地用金属筐体3に接続し、更に、金属等の導電体を内壁面に設けた導電性の半円筒状スルーホール10を空洞4の壁面に設けて、接地用電極線7をその先端で接地用金属筐体3に接続してある。
すなわち、誘電体基板1上の伝送線路6と同一面上に設けた接地用電極線7は、その基端から先端に至る中間部で導電性スルーホール8により接地用金属筐体3に接続されるとともに、凹部に望む先端で導電性のスルーホール10により接地用金属筐体3に接続さている。
なお、導電性スルーホール8を設けずに、導電性のスルーホール10で接地用電極線7を接地用金属筐体3に接続することも可能である。
すなわち、誘電体基板1上の伝送線路6と同一面上に設けた接地用電極線7は、その基端から先端に至る中間部で導電性スルーホール8により接地用金属筐体3に接続されるとともに、凹部に望む先端で導電性のスルーホール10により接地用金属筐体3に接続さている。
なお、導電性スルーホール8を設けずに、導電性のスルーホール10で接地用電極線7を接地用金属筐体3に接続することも可能である。
また、伝送線路6から高周波信号を外部に取り出すあるいは取り込むため、第2層目の誘電体基板2に切欠き9を形成してあり、伝送線路6と接地用電極線7の基端部を露出させている。
図3には、本発明の第1実施例に係る高周波電子部品パッケージの実装例を示してある。
空洞4により形成されたキャビティ構造の凹部内に電子部品21を収容し、この電子部品21と伝送線路6の先端部とをボンディングワイヤ22により接続する。
なお、第2層目の誘電体基板2と同一寸法の導電性を有する誘電体基板あるいは金属板で凹部に蓋23をすることにより、電子部品21を収容したパッケージを気密構造とすることができる。
空洞4により形成されたキャビティ構造の凹部内に電子部品21を収容し、この電子部品21と伝送線路6の先端部とをボンディングワイヤ22により接続する。
なお、第2層目の誘電体基板2と同一寸法の導電性を有する誘電体基板あるいは金属板で凹部に蓋23をすることにより、電子部品21を収容したパッケージを気密構造とすることができる。
図4には図1に示した例におけるa−c間、d−f間の伝送特性を示し、図5には同じくa−c間、d−f間の反射特性を示してある。
図4から明らかなようにDCから45GHzまで不要な共振のないことがわかり、また、図5から明らかなようにDCから45GHzまで不要な共振がなく、−20dB以下の反射特性を示していることがわかる。
図4から明らかなようにDCから45GHzまで不要な共振のないことがわかり、また、図5から明らかなようにDCから45GHzまで不要な共振がなく、−20dB以下の反射特性を示していることがわかる。
ここで、図4及び図5の特性計測では、図1に示す例において、第1層目の誘電体基板1及び第2層目の誘電体基板2の比誘電率を5.6、厚さを0.15mm、伝送線路6による分布定数素子の金属導体幅を0.22mm、接地用電極線7の金属導体幅を0.8mm、接地用電極線7と接地用金属筐体3を接続する導電性のスルーホール8の直径を0.2mm、接地用電極線7と接地用金属筐体3を接続する導電性のスルーホール10の直径を0.2mm、誘電体基板1と誘電体基板2と接地用金属筐体3とのそれぞれの大きさを10×8mm、接地用金属筐体3の厚みを0.6mm、第1層目の誘電体基板1に形成した空洞4の大きさを4.8×3.2mm、第2層目の誘電体基板2に形成した空洞5も大きさを7.2×5.6mm、誘電体基板2に形成した切欠き9の大きさを2.4×0.6mmとした。
なお、上記第1実施例では、キャビティ構造の空洞4を形成した第1層目の誘電体基板1上面に、キャビティ構造の空洞5を形成した第2層目の誘電体基板2を重ね、接地用金属筐体3を下部に配置し、金属板あるいは導電性を有する誘電体基板で蓋をする誘電体基板の2層構造としたが、例えば第1層目の誘電体基板1と第2層目の誘電体基板2の間に第1層目の誘電体基板1あるいは第2層目の誘電体基板2と同様の誘電体基板を重ねて3層以上にする場合もあり、本発明は誘電体基板の層数を特に限定するものではない。
図6は本発明の第2実施例に係る高周波電子部品のパッケージ構造を示し、図3は接地用電極線7部分の断面構造を示している。
なお、第1実施例と同じ部分には同一符号を付して、重複する説明は割愛する。
なお、第1実施例と同じ部分には同一符号を付して、重複する説明は割愛する。
第2実施例に係る高周波電子部品のパッケージ構造では、第1実施例の半円筒状スルーホール10に代えて、板状の金属導体11で接地用電極線7をその先端で接地用金属筐体3に接続してある。
すなわち、誘電体基板1の内壁面に板状の金属導体11を設け、電子部品21を収容するキャビティ構造の凹部に望む接地用電極線7の先端を接地用金属筐体3に接続している。
すなわち、誘電体基板1の内壁面に板状の金属導体11を設け、電子部品21を収容するキャビティ構造の凹部に望む接地用電極線7の先端を接地用金属筐体3に接続している。
なお、第2実施例においても、接地用電極線7を、その基端から先端に至る中間部で導電性スルーホール8により接地用金属筐体3に接続するとともに、その先端で金属導体11により接地用金属筐体3に接続しているが、導電性スルーホール8を設けずに、金属導体11で接地用電極線7を接地用金属筐体3に接続することも可能である。
第2実施例のパッケージ構造にあっても、図6におけるa−c間、d−f間の伝送特性は第1実施例の伝送特性(図4)と同様の特性であり、また、同じくa−c間、d−f間の反射特性は第1実施例の伝送特性(図5)と同様の特性である。
図8本発明の第3実施例に係る高周波電子部品のパッケージ構造を示し、図9は接地用電極線7部分の断面構造を示している。
なお、第1実施例と同じ部分には同一符号を付して、重複する説明は割愛する。
なお、第1実施例と同じ部分には同一符号を付して、重複する説明は割愛する。
第3実施例に係る高周波電子部品のパッケージ構造では、第1実施例の接地用金属筐体3を、接地用の金属を全面に形成した2層の誘電体基板3a、3bで構成してある。
すなわち、第1層目となる誘電体基板3a上に空洞4と同じ大きさの空洞を有する第2層目となる誘電体基板3bを設け、当該誘電体基板3b上に第3層目となる誘電体基板1、第4層目となる誘電体基板2を設けた多層構造とし、誘電体基板3a、3bに形成した金属により接地面を構成している。
すなわち、第1層目となる誘電体基板3a上に空洞4と同じ大きさの空洞を有する第2層目となる誘電体基板3bを設け、当該誘電体基板3b上に第3層目となる誘電体基板1、第4層目となる誘電体基板2を設けた多層構造とし、誘電体基板3a、3bに形成した金属により接地面を構成している。
第3実施例に係る高周波電子部品のパッケージ構造では、第2層目となる誘電体基板3bに設けた空洞及び第3層目となる誘電体基板1に設けた空洞4により電子部品23を収容するキャビティ構造の凹部が形成されている。
第3実施例においては、誘電体基板1上に設けられた接地用電極線7の凹部に臨む先端は半円筒状スルーホール10により第2層目となる誘電体基板3bの金属面に接続されており、これにより、金属を全面に形成した2層の誘電体基板3a、3bから成る接地面に接地用電極線7の先端は接続されている。
第3実施例においては、誘電体基板1上に設けられた接地用電極線7の凹部に臨む先端は半円筒状スルーホール10により第2層目となる誘電体基板3bの金属面に接続されており、これにより、金属を全面に形成した2層の誘電体基板3a、3bから成る接地面に接地用電極線7の先端は接続されている。
また、第3実施例においては、高周波信号を外部に取り出すあるいは取り込むため、第1層目を成す誘電体基板3a、第2層目を成す誘電体基板3b、第3層目を成す誘電体基板1、第4層目を成す誘電体基板2に半円筒状のスルーホール13を形成し、更に、第1層目を成す誘電体基板3a、第2層目を成す誘電体基板3b、第3層目を成す誘電体基板1を貫通するスルーホール13の内壁面に導電体12を設け、これにより、伝送線路による分布定数素子を形成する導体6と接地用電極線7を第1層目の誘電体基板3aの裏面に露出する構造としている。
なお、第3実施例において、接地用電極線7を、その基端から先端に至る中間部で導電性スルーホール8により接地面3a、3bに接続するとともに、その先端で導電性スルーホール10により接地面3a、3bに接続しているが、導電性スルーホール8を設けずに、導電性スルーホール10で接地用電極線7を接地面3a、3bに接続することも可能である。
第3実施例のパッケージ構造にあっても、図8におけるa−c間、d−f間の伝送特性は第1実施例の伝送特性(図4)と同様の特性であり、また、同じくa−c間、d−f間の反射特性は第1実施例の伝送特性(図5)と同様の特性である。
また、第3実施例にあっても、第4層目の誘電体基板2と同一寸法の導電性を有する誘電体基板あるいは金属板で蓋をすることにより気密構造とすることができる。
また、第3の実施例では、第1層目の誘電体基板3a、第2層目の誘電体基板3bに接地用の金属を全面に形成して下部に配置し、キャビティ構造の空洞4を形成した第3層目の誘電体基板1上面に、キャビティ構造の空洞5を形成した第4層目の誘電体基板2を重ね、金属板あるいは導電性を有する誘電体基板で蓋をする誘電体基板の4層構造としたが、例えば、第3層目の誘電体基板1と第4層目の誘電体基板2の間に誘電体基板1あるいは誘電体基板2と同様の誘電体基板を重ねて5層以上にすることもでき、本発明は誘電体基板の層数を特に限定するものではない。
また、第3の実施例では、第1層目の誘電体基板3a、第2層目の誘電体基板3bに接地用の金属を全面に形成して下部に配置し、キャビティ構造の空洞4を形成した第3層目の誘電体基板1上面に、キャビティ構造の空洞5を形成した第4層目の誘電体基板2を重ね、金属板あるいは導電性を有する誘電体基板で蓋をする誘電体基板の4層構造としたが、例えば、第3層目の誘電体基板1と第4層目の誘電体基板2の間に誘電体基板1あるいは誘電体基板2と同様の誘電体基板を重ねて5層以上にすることもでき、本発明は誘電体基板の層数を特に限定するものではない。
1:誘電体基板、 2:誘電体基板、 3:接地用金属筐体、 3a:金属で覆った誘電体基板、 3b:金属で覆った誘電体基板、 4:キャビティ構造の空洞、 5:キャビティ構造の空洞、 6:伝送線路導体、 7:接地用電極線、 8:導電性のスルーホール、 9:誘電体基板を除去した切欠き、 10:導電性のスルーホール、 11:導電体、 23:電子部品、
Claims (3)
- 接地用導電体面上に周囲を誘電体部材で囲んだ凹部を設け、当該凹部内に電子部品を搭載するパッケージ構造であって、
前記電子部品に高周波信号を入出力する伝送線路を前記誘電体部材上に設けるとともに、接地用電極線を当該伝送線路に隣接して当該誘電体部材上に設け、
当該接地用電極線の前記凹部に臨む先端を前記接地用導電体に接続したことを特徴とする高周波電子部品のパッケージ構造。 - 前記接地用電極線はその基端から先端に至る中間部で前記誘電体部材を貫通する導電性スルーホールにより前記接地用導電体に接続されていることを特徴とする請求項1に記載の高周波電子部品のパッケージ構造。
- 伝送線路及び接地用電極線が設けられた前記誘電体部材上に更に他の誘電体部材を設けて、誘電体部材の多層構造としたことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の高周波電子部品のパッケージ構造。
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