JP2008151652A

JP2008151652A - 測定装置、測定方法、校正装置および校正方法

Info

Publication number: JP2008151652A
Application number: JP2006340098A
Authority: JP
Inventors: Masahito Haruta; 将人春田; Kiwa Nakayama; 喜和中山
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 2006-12-18
Filing date: 2006-12-18
Publication date: 2008-07-03
Anticipated expiration: 2026-12-18
Also published as: TWI364546B; JP4215798B2; WO2008075602A1; TW200831917A

Abstract

【課題】正確に信号発生器の出力電力を校正する。
【解決手段】与えられた設定値に応じた電力の出力信号を出力する信号発生器の出力反射係数を測定する測定装置であって、互いに異なる入力反射係数を有する少なくとも４つの接続回路と、少なくとも４つの接続回路のそれぞれを順次に信号発生器に接続する選択部と、信号発生器から所定の電力且つ所定の周波数の出力信号を出力させる発生制御部と、少なくとも４つの接続回路が信号発生器に順次に接続されたそれぞれの状態において信号発生器から出力された出力信号の電力を順次に測定する電力測定装置と、所定の電力、電力測定装置により測定された電力測定値、および少なくとも４つの接続回路のそれぞれの所定の周波数における入力反射係数に基づき、信号発生器の出力反射係数を算出する出力反射係数算出部とを備える測定装置を提供する。
【選択図】図１

Description

本発明は、測定装置、測定方法、校正装置および校正方法に関する。特に本発明は、信号発生器の出力端子側からみた反射係数である出力反射係数を測定する測定装置および測定方法、並びに、信号発生器を校正する校正方法に関する。

図８は、パワーセンサ２０６をスイッチマトリクス２０４を介してＲＦ信号源２０２に接続した構成を示す。ＲＦ信号源２０２を備える試験装置が知られている。ＲＦ信号源２０２を備える試験装置は、試験に先立って、ＲＦ信号源２０２から出力される出力信号の電力が校正される。この場合において、試験装置は、ＲＦ信号源２０２の出力端子に接続されたパワーセンサ２０６により、当該ＲＦ信号源２０２の出力信号の電力が測定される。

国際公開ＷＯ２００４／０４９５６４号パンフレット

ところで、ＲＦ信号源２０２とパワーセンサ２０６との間にスイッチマトリクス２０４等の回路が挿入される場合がある。この場合、電力測定ブロック側の反射係数がゼロとならないので、ＲＦ信号源２０２とスイッチマトリクス２０４との間で多重反射が生じ、パワーセンサ２０６による測定に誤差が生じる。

ここで、スイッチマトリクス２０４の入力端側から見た反射係数（入力反射係数）およびＲＦ信号源２０２の出力端側からみた反射係数（出力反射係数）がわかれば、パワーセンサ２０６による測定値を、Ｓパラメータ行列を用いて多重反射の影響を除去した値に補正することができる。しかしながら、ＲＦ信号源２０２の出力反射係数を測定することは困難であった。

そこで本発明は、上記の課題を解決することのできる測定装置、測定方法、校正装置および校正方法を提供することを目的とする。この目的は特許請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。

上記課題を解決するために、本発明の第１形態においては、与えられた設定値に応じた電力の出力信号を出力する信号発生器の出力反射係数を測定する測定装置であって、互いに異なる入力反射係数を有する少なくとも４つの接続回路と、少なくとも４つの接続回路のそれぞれを順次に信号発生器に接続する選択部と、信号発生器から所定の電力且つ所定の周波数の出力信号を出力させる発生制御部と、少なくとも４つの接続回路が信号発生器に順次に接続されたそれぞれの状態において信号発生器から出力された出力信号の電力を順次に測定する電力測定装置と、所定の電力、電力測定装置により測定された電力測定値、および少なくとも４つの接続回路のそれぞれの所定の周波数における入力反射係数に基づき、信号発生器の出力反射係数を算出する出力反射係数算出部とを備える測定装置を提供する。

本発明の第２形態においては、与えられた設定値に応じた電力の出力信号を出力する信号発生器の出力反射係数を測定する測定装置であって、互いに異なる入力反射係数を有する少なくとも４つの接続回路と、少なくとも４つの接続回路のそれぞれを順次に信号発生器に接続する選択部と、信号発生器から所定の電力且つ所定の周波数の出力信号を出力させる発生制御部と、信号発生器と当該信号発生器に接続された接続回路との間に設けられ、信号発生器から接続回路へ向かう方向に伝播する出力信号の一部を分離した出力分離信号を出力する出力信号分離器と、信号発生器と当該信号発生器に接続された接続回路との間に設けられ、接続回路から信号発生器へ向かう方向に伝播する反射信号の一部を分離した反射分離信号を出力する反射信号分離器と、出力分離信号をアナログ／デジタル変換して検出する出力信号検出部と、反射分離信号をアナログ／デジタル変換して検出する反射信号検出部と、少なくとも４つの接続回路が信号発生器に順次に接続されたそれぞれの状態において検出された反射分離信号に対する出力分離信号の割合に基づき、少なくとも４つの接続回路のそれぞれの所定の周波数における入力反射係数を算出する入力反射係数算出部と、少なくとも４つの接続回路が信号発生器に順次に接続されたそれぞれの状態において検出された出力分離信号に基づき、少なくとも４つの接続回路が信号発生器に順次に接続されたそれぞれの状態において出力された出力信号の電力を順次に測定する電力測定部と、所定の電力、電力測定部により測定された電力測定値、および少なくとも４つの接続回路のそれぞれの所定の周波数における入力反射係数に基づき、信号発生器の出力反射係数を算出する出力反射係数算出部とを備える測定装置を提供する。

本発明の第３形態においては、与えられた設定値に応じた電力の出力信号を出力する信号発生器の出力反射係数を測定する測定方法であって、互いに異なる入力反射係数を有する少なくとも４つの接続回路のそれぞれを順次に信号発生器に接続し、信号発生器から所定の電力且つ所定の周波数の出力信号を出力させ、少なくとも４つの接続回路が信号発生器に順次に接続されたそれぞれの状態において信号発生器から出力された出力信号の電力を電力測定装置により順次に測定し、所定の電力、電力測定装置により測定された電力測定値、および少なくとも４つの接続回路のそれぞれの所定の周波数における入力反射係数に基づき、信号発生器の出力反射係数を算出する測定方法を提供する。

本発明の第４形態においては、与えられた設定値に応じた電力の出力信号を出力する信号発生器の出力反射係数を測定する測定方法であって、互いに異なる入力反射係数を有する少なくとも４つの接続回路のそれぞれを順次に信号発生器に接続し、信号発生器から所定の電力且つ所定の周波数の出力信号を出力させ、信号発生器と当該信号発生器に接続された接続回路との間に設けられた出力信号分離器により、信号発生器から接続回路へ向かう方向に伝播する出力信号の一部を分離した出力分離信号を出力し、信号発生器と当該信号発生器に接続された接続回路との間に設けられた反射信号分離器により、接続回路から信号発生器へ向かう方向に伝播する反射信号の一部を分離した反射分離信号を出力し、出力分離信号をアナログ／デジタル変換して検出し、反射分離信号をアナログ／デジタル変換して検出し、少なくとも４つの接続回路が信号発生器に順次に接続されたそれぞれの状態において検出された反射分離信号に対する出力分離信号の割合に基づき、少なくとも４つの接続回路のそれぞれの所定の周波数における入力反射係数を算出し、少なくとも４つの接続回路が信号発生器に順次に接続されたそれぞれの状態において検出された出力分離信号に基づき、少なくとも４つの接続回路が信号発生器に順次に接続されたそれぞれの状態において出力された出力信号の電力を順次に測定し、所定の電力、測定された電力測定値、および少なくとも４つの接続回路のそれぞれの所定の周波数における入力反射係数に基づき、信号発生器の出力反射係数を算出する測定方法を提供する。

本発明の第５形態においては、与えられた設定値に応じた電力の出力信号を出力する信号発生器を校正する校正装置であって、互いに異なる入力反射係数を有する少なくとも４つの接続回路と、少なくとも４つの接続回路のそれぞれを順次に信号発生器に接続する選択部と、信号発生器から所定の電力且つ所定の周波数の出力信号を出力させる発生制御部と、少なくとも４つの接続回路が信号発生器に順次に接続されたそれぞれの状態において信号発生器から出力された出力信号の電力を順次に測定する電力測定装置と、所定の電力、電力測定装置により測定された電力測定値、および少なくとも４つの接続回路のそれぞれの所定の周波数における入力反射係数に基づき、信号発生器の出力伝送係数を算出する特性算出部と、与えられた設定値に応じた電力を出力するように算出した出力伝送係数に基づき信号発生器を校正する校正部とを備える校正装置を提供する。

本発明の第６形態においては、与えられた設定値に応じた電力の出力信号を出力する信号発生器を校正する校正装置であって、互いに異なる入力反射係数を有する少なくとも４つの接続回路と、少なくとも４つの接続回路のそれぞれを順次に信号発生器に接続する選択部と、信号発生器から所定の電力且つ所定の周波数の出力信号を出力させる発生制御部と、信号発生器と当該信号発生器に接続された接続回路との間に設けられ、信号発生器から接続回路へ向かう方向に伝播する出力信号の一部を分離した出力分離信号を出力する出力信号分離器と、信号発生器と当該信号発生器に接続された接続回路との間に設けられ、接続回路から信号発生器へ向かう方向に伝播する反射信号の一部を分離した反射分離信号を出力する反射信号分離器と、出力分離信号をアナログ／デジタル変換して検出する出力信号検出部と、反射分離信号をアナログ／デジタル変換して検出する反射信号検出部と、少なくとも４つの接続回路が信号発生器に順次に接続されたそれぞれの状態において検出された反射分離信号に対する出力分離信号の割合に基づき、少なくとも４つの接続回路のそれぞれの所定の周波数における入力反射係数を算出する入力反射係数算出部と、少なくとも４つの接続回路が信号発生器に順次に接続されたそれぞれの状態において検出された出力分離信号に基づき、少なくとも４つの接続回路が信号発生器に順次に接続されたそれぞれの状態において出力された出力信号の電力を順次に測定する電力測定部と、所定の電力、電力測定部により算出された電力測定値、および少なくとも４つの接続回路のそれぞれの所定の周波数における入力反射係数に基づき、前信号発生器の出力伝送係数を算出する特性算出部と、与えられた設定値に応じた電力を出力するように算出した出力伝送係数に基づき信号発生器を校正する校正部とを備える校正装置を提供する。

本発明の第７形態においては、与えられた設定値に応じた電力の出力信号を出力する信号発生器を校正する校正方法であって、互いに異なる入力反射係数を有する少なくとも４つの接続回路のそれぞれを順次に信号発生器に接続し、信号発生器から所定の電力且つ所定の周波数の出力信号を出力させ、少なくとも４つの接続回路が信号発生器に順次に接続されたそれぞれの状態において信号発生器から出力された出力信号の電力を電力測定装置により順次に測定し、所定の電力、電力測定装置により測定された電力測定値、および少なくとも４つの接続回路のそれぞれの所定の周波数における入力反射係数に基づき、信号発生器の出力伝送係数を算出し、与えられた設定値に応じた電力を出力するように算出した出力伝送係数に基づき信号発生器を校正する校正方法を提供する。

本発明の第８形態においては、与えられた設定値に応じた電力の出力信号を出力する信号発生器を校正する校正方法であって、互いに異なる入力反射係数を有する少なくとも４つの接続回路のそれぞれを順次に信号発生器に接続し、信号発生器から所定の電力且つ所定の周波数の出力信号を出力させ、信号発生器と当該信号発生器に接続された接続回路との間に設けられた出力信号分離器により、信号発生器から接続回路へ向かう方向に伝播する出力信号の一部を分離した出力分離信号を出力し、信号発生器と当該信号発生器に接続された接続回路との間に設けられた反射信号分離器により、接続回路から信号発生器へ向かう方向に伝播する反射信号の一部を分離した反射分離信号を出力し、出力分離信号をアナログ／デジタル変換して検出し、反射分離信号をアナログ／デジタル変換して検出し、少なくとも４つの接続回路が信号発生器に順次に接続されたそれぞれの状態において検出された反射分離信号に対する出力分離信号の割合に基づき、少なくとも４つの接続回路のそれぞれの所定の周波数における入力反射係数を算出し、少なくとも４つの接続回路が信号発生器に順次に接続されたそれぞれの状態において検出された出力分離信号に基づき、少なくとも４つの接続回路が信号発生器に順次に接続されたそれぞれの状態において出力された出力信号の電力を順次に測定し、所定の電力、測定された電力測定値、および少なくとも４つの接続回路のそれぞれの所定の周波数における入力反射係数に基づき、前信号発生器の出力伝送係数を算出し、与えられた設定値に応じた電力を出力するように算出した出力伝送係数に基づき信号発生器を校正する校正方法を提供する。

なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。

以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、また実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。

図１は、本実施形態に係る校正装置１０の構成を信号発生器１００とともに示す。校正装置１０は、与えられた設定値に応じた電力の出力信号を出力する信号発生器１００の出力反射係数を測定する。さらに、校正装置１０は、信号発生器１００から出力される出力信号の電力を校正する。校正装置１０は、一例として、半導体等の試験装置に備えられ、半導体等の試験に先立って、当該試験装置に備えられた１または複数のＲＦ信号源等の信号発生器１００を校正してよい。

校正装置１０は、少なくとも４つの接続回路２０（例えば、第１から第４の接続回路２０−１〜２０−４）と、選択部２２と、発生制御部２４と、電力測定装置２６と、特性算出部２８と、校正部３０とを備える。少なくとも４つの接続回路２０のそれぞれは、互いに異なる入力反射係数を有する。入力反射係数は、接続回路２０の入力端側からみた反射係数であり、入力端から入力された信号の振幅に対する当該入力端から反射して出力される信号の振幅の割合を表す。入力反射係数は、複素数で表され、信号の周波数に応じて異なる値となる。また、本例において、少なくとも４つの接続回路２０のそれぞれは、入力反射係数が例えば予め測定されていること等により、既知である。

選択部２２は、少なくとも４つの接続回路２０のそれぞれを順次に信号発生器１００に接続する。選択部２２は、一例として、切り替えスイッチを有し、信号発生器１００の出力端子１１０と、少なくとも４つの接続回路２０のそれぞれの入力端子とを順次に切り替えて接続する。これに代えて、選択部２２は、接続回路２０が例えば手動により差し替えられることに応じて、少なくとも４つの接続回路２０を順次に信号発生器１００に接続するソケット等であってもよい。このような少なくとも４つの接続回路２０のそれぞれは、信号発生器１００から出力された出力信号を入力し、入力反射係数に応じた反射信号を信号発生器１００に対して出力する。

発生制御部２４は、所定の電力の設定値および所定の周波数の設定値を信号発生器１００に対して与えることにより、信号発生器１００から所定の電力且つ所定の周波数の出力信号を出力させる。信号発生器１００から所定の電力且つ所定の周波数の出力信号を出力させる。発生制御部２４は、一例として、第１から第４の接続回路２０−１〜２０−４が信号発生器１００に接続されたそれぞれの状態において、信号発生器１００から所定の電力且つ所定の周波数の出力信号を出力させる。

電力測定装置２６は、少なくとも４つの接続回路２０が信号発生器１００に順次に接続されたそれぞれの状態において、信号発生器１００から出力された出力信号の電力を順次に測定する。電力測定装置２６は、一例として、少なくとも４つの接続回路２０のそれぞれの出力端に接続され、接続回路２０を介して信号発生器１００の出力端子１１０から出力された出力信号の電力を順次に測定してよい。この場合において、電力測定装置２６は、一例として、予め校正されていることにより、接続回路２０の入力伝送係数の影響を除いた測定値を出力する。

特性算出部２８は、所定の電力、電力測定装置２６により測定された電力測定値、および少なくとも４つの接続回路２０のそれぞれの所定の周波数における入力反射係数に基づき、信号発生器１００の出力伝送係数を算出する。ここで、所定の電力は、発生制御部２４が信号発生器１００に対して与える出力信号の電力の設定値である。電力測定装置２６により測定された電力測定値は、少なくとも４つの接続回路２０が信号発生器１００に順次に接続されたそれぞれの状態において、電力測定装置２６によって測定された信号発生器１００から出力された出力信号の電力の値である。少なくとも４つの接続回路２０のそれぞれの所定の周波数における入力反射係数は、信号発生器１００から出力された出力信号の周波数における入力反射係数であり、メモリ等に予め格納されている。

特性算出部２８は、一例として、出力反射係数算出部３２と、出力伝送係数算出部３４とを有する。出力反射係数算出部３２は、所定の電力、電力測定装置２６により測定された電力測定値、および、少なくとも４つの接続回路２０のそれぞれの所定の周波数における入力反射係数に基づき、信号発生器１００の出力反射係数を算出する。出力伝送係数算出部３４は、出力反射係数算出部３２により算出された出力反射係数に基づき、信号発生器１００の出力伝送係数を算出する。信号発生器１００の出力伝送係数は、信号発生器１００に対して与えられた信号の振幅の設定値に対する、信号発生器１００の出力端子１１０から出力される信号の振幅の割合を表す値である。

校正部３０は、与えられた設定値に応じた電力を出力するように、特性算出部２８により算出された出力伝送係数に基づき信号発生器１００を校正する。校正部３０は、一例として、外部から与えられた設定値を出力伝送係数により除算した値に応じた電力の出力信号を、出力端子１１０から出力するように信号発生器１００を校正する。校正部３０は、一例として、出力伝送係数を信号発生器１００内の記憶部に格納し、信号発生器１００に対して記憶部に記憶した出力伝送係数に応じて補正した電力の出力信号を出力させてよい。

図２は、信号発生器１００、接続回路２０、電力測定装置２６、およびこれら伝播する信号とともに示す。図３は、図２のシグナルフローグラフを示す。

図２に示すように、信号発生器１００の出力伝送係数をＥｏｕｔ、信号発生器１００の出力反射係数をΓ_Ｓ、信号発生器１００の出力端子１１０に接続された接続回路２０の入力反射係数をΓ_Ｌ（＝ｘ）、当該接続回路２０の入力伝送係数をＥｉｎとする。発生制御部２４から信号発生器１００に与えられる所定の電力の設定値の平方根をＰｓとする。入力反射係数Γ_Ｌ（＝ｘ）を有する接続回路２０が信号発生器１００の出力端子１１０に接続された状態において電力測定装置２６により測定された電力測定値の平方根をＰｍとする。信号発生器１００から接続回路２０へ出力端子１１０を介して伝播する信号（出力信号）の電力の平方根をＡとする。接続回路２０から信号発生器１００へ出力端子１１０を介して伝播する信号（反射信号）の電力の平方根をＢとする。

このような場合、これらの信号およびパラメータは、図３に表されるような、シグナルフローグラフにより表される。なお、図３のシグナルフローグラフにおいて、Ｅｏｕｔ、Ｅｉｎ、Ｐｓ、Ｐｍ、Ａ、Ｂは、実数となり、Γ_Ｓ、Γ_Ｌ（＝ｘ）は、複素数となる。

ここで、電力測定装置２６は、接続回路２０の影響なく出力端子１１０から出力された信号の電力を測定できるように予め校正されている。この結果、図３のシグナルフローグラフにおいて、Ｐｍ＝Ａとなる。このことから、図３のシグナルフローグラフに基づき、下記式（１１）に表される式が導き出される。

式（１１）は、任意の入力反射係数Γ_Ｌ（＝ｘ）の接続回路２０が接続された場合の信号発生器１００の電力利得の平方根（ｆ（ｘ））、つまり、Ｐｓに対するＰｍの割合を表す。すなわち、式（１１）により表されるように、電力利得の平方根（ｆ（ｘ））は、信号発生器１００の出力反射係数Γ_Ｓと当該信号発生器１００と接続された接続回路２０の入力反射係数ｘとの乗算値（ｘ・Γ_Ｓ）を１から減算した値の絶対値（｜１−（ｘ・Γ_Ｓ）｜）により、出力伝送係数Ｅｏｕｔを除算した値となる。

さらに、式（１１）の両辺を二乗すると、下記式（１２）のように変形される。式（１２）は、電力利得（ｆ（ｘ））^２を表す。なお、ｘ^※は、ｘの複素共役を表し、Γ_Ｓ ^※は、Γ_Ｓの複素共役を表す。

さらに、式（１２）は、下記式（１３）のように変形される。式（１３）は、入力反射係数ｘと出力反射係数Γ_Ｓとの乗算値（ｘ・Γ_Ｓ）、入力反射係数ｘの複素共役と出力反射係数Γ_Ｓの複素共役との乗算値（ｘ^※・Γ_Ｓ ^※）、入力反射係数ｘの絶対値の二乗と出力反射係数Γ_Ｓの絶対値の二乗の乗算値（｜ｘ｜^２・｜Γ_Ｓ｜^２）、電力利得（ｆ（ｘ）^２）の逆数（ｇ（ｘ））と出力伝送係数Ｅｏｕｔの二乗の乗算値（ｇ（ｘ）Ｅｏｕｔ）の加算値が、１となることを表している。

ここで、式（１３）は、Γ_Ｓ、Γ_Ｓ ^※、｜Γ_Ｓ｜^２、Ｅｏｕｔ^２の４個の変数に関する１次方程式と考えることができる。従って、少なくとも４つの接続回路２０のうちの第１から第ｋ（ｋは４以上の整数。）の接続回路２０の出力反射係数、これらｋ個の接続回路２０が信号発生器１００に接続されたそれぞれの状態において信号発生器１００に与えられた電力の設定値および電力測定装置２６の測定電力値から、これら４個の変数の値を算出することができる。より具体的には、下記式（１）により、Γ_Ｓ、Γ_Ｓ ^※、｜Γ_Ｓ｜^２、Ｅｏｕｔ^２の４個の変数を算出することができる。

式（１）において、Ｐｓ_１からＰｓ_ｋは、少なくとも４つの接続回路２０のうちの第１から第ｋの接続回路２０が信号発生器１００に接続されたそれぞれの状態において、発生制御部２４から信号発生器１００に与えられた所定の電力の設定値の平方根を表す。Ｐｍ_１からＰｍ_ｋは、第１から第ｋの接続回路２０が信号発生器１００に接続されたそれぞれの状態において、電力測定装置２６により測定された電力測定値の平方根を表す。ｘ_１からｘ_ｋは、第１から第ｋの接続回路２０のそれぞれの所定の周波数（出力信号の周波数）における入力反射係数を表す。Γ_Ｓは、信号発生器１００の所定の周波数（出力信号の周波数）における出力反射係数を表す。Ｅｏｕｔは、信号発生器１００の出力伝送係数を表す。

以上から、出力反射係数算出部３２は、一例として、以上の式（１）の演算により、信号発生器１００の所定の周波数における入力反射係数Γ_Ｓを算出する。これにより、出力反射係数算出部３２によれば、簡易に信号発生器１００の所定の周波数における入力反射係数Γ_Ｓを算出することができる。

さらに、入力反射係数Γ_Ｓが算出された場合、上述した式（１１）に基づき、信号発生器１００の出力伝送係数Ｅｏｕｔを算出することができる。より具体的には、下記式（２）により、Ｅｏｕｔを算出することができる。

式（２）において、Ｐｓ_１は、第１の接続回路２０が信号発生器１００に接続された状態において発生制御部２４から信号発生器１００に与えられた所定の電力の設定値の平方根を表す。Ｐｍ_１は、第１の接続回路２０が信号発生器１００に接続された状態において電力測定装置２６により測定された電力測定値の平方根を表す。ｘ_１は、第１の接続回路２０の所定の周波数（出力信号の周波数）における入力反射係数を表す。

以上から、出力伝送係数算出部３４は、一例として、以上の式（２）の演算により、信号発生器１００の出力伝送係数Ｅｏｕｔを算出する。これにより、出力反射係数算出部３２によれば、簡易に信号発生器１００の出力伝送係数Ｅｏｕｔを算出することができる。

なお、出力伝送係数算出部３４は、式（２）の演算に代えて、式（１）の演算によりＥｏｕｔ^２を算出し、続いて、算出したＥｏｕｔ^２の平方根を演算することにより、信号発生器１００の出力伝送係数Ｅｏｕｔを算出してもよい。この場合、特性算出部２８は、出力反射係数算出部３２により入力反射係数Γ_Ｓを算出せずに、出力伝送係数Ｅｏｕｔを算出することができる。

図４は、本実施形態に係る校正装置１０の処理の流れの一例を示す。まず、校正装置１０は、例えば信号発生器１００の出力可能周波数範囲において所定周波数ステップ毎に、ステップＳ１００２〜ステップＳ１００７の処理を繰り返す（Ｓ１００１、Ｓ１００８）。

続いて、選択部２２は、入力反射係数（ｘ１〜ｘ４）が互いに異なる第１から第４の接続回路２０−１〜２０−４を順次に信号発生器１００に接続する。さらに、選択部２２は、第１から第４の接続回路２０−１〜２０−４のそれぞれを信号発生器１００に接続した状態において、ステップＳ１００３〜ステップＳ１００４の処理を繰り返す（Ｓ１００２、Ｓ１００５）。

ステップＳ１００３において、発生制御部２４は、所定の電力（Ｐｓ１〜Ｐｓ４）且つステップＳ１００１において設定された所定の周波数の出力信号を、信号発生器１００から出力させる。そして、ステップＳ１００４において、電力測定装置２６は、信号発生器１００から出力された出力信号の電力（Ｐｍ１〜Ｐｍ４）を信号発生器１００に接続された接続回路２０を介して測定する。ステップＳ１００２〜ステップＳ１００５の処理が終了すると、選択部２２は、処理をステップＳ１００６に進める。

続いて、出力反射係数算出部３２は、上述した式（１）により信号発生器１００の出力反射係数Γ_Ｓを算出する（ステップＳ１００６）。続いて、出力伝送係数算出部３４は、上述した式（２）により、信号発生器１００の出力伝送係数Ｅｏｕｔを算出する。ステップＳ１００１〜ステップＳ１００８の処理が終了すると、校正装置１０は、処理をステップＳ１００９に進める。続いて、校正部３０は、信号発生器１００が与えられた設定値に応じた電力を出力するように、特性算出部２８により算出された出力伝送係数Ｅｏｕｔに基づき信号発生器１００を校正する（Ｓ１００９）。

以上のような校正装置１０によれば、信号発生器１００の出力端からみた反射係数である出力反射係数Γ_Ｓを簡易に検出することができる。これにより、校正装置１０によれば、例えば、信号発生器１００と電力測定装置２６との間にスイッチマトリクスのような回路が挿入されて当該信号発生器１００との間で多重反射が生じる場合であっても、当該多重反射の影響を除去して正確に信号発生器１００の出力電力を校正することができる。

なお、校正装置１０は、信号発生器１００の出力反射係数Γ_Ｓを算出した後に、当該出力反射係数Γ_Ｓから信号発生器１００の出力インピーダンスＺ_Ｓを算出する出力インピーダンス算出部を更に備えてもよい。ここで、出力反射係数Γ_Ｓと出力インピーダンスＺ_Ｓとは、下記式（１４）により互いの関係が一義的に定まる。

式（１４）において、Ｚ_Ｏは、信号発生器１００の出力端子１１０に接続される負荷のインピーダンスであり、一例として、５０Ωである。従って、出力インピーダンス算出部は、式（１４）の演算に基づき、信号発生器１００の出力インピーダンスを算出することができる。

また、式（１）において、左式の左側の行列に対応する行列式の値が０となる場合、（つまり、入力反射係数ｘ_１〜ｘ_ｋが全て実数となり、出力反射計数Γｓの解が２つとなり１つに定まらない場合）、出力反射係数Γｓの解を求めることができない。すなわち、下記の式（１５）により表される行列式の値が０となる場合、式（１）に基づき信号発生器１００の出力反射係数Γｓを算出することができない。

そこで、式（１）において左式の左側の行列に対応する行列式の値が予め定められた値よりも小さい場合において、校正装置１０は、次のように処理をしてよい。すなわち、発生制御部２４は、所定の周波数より高い第１周波数の出力信号および所定の周波数より低い第２周波数の出力信号を信号発生器１００から出力させる。そして、電力測定装置２６は、第１周波数の出力信号および第２の周波数の出力信号のそれぞれについて、第１から第ｋの接続回路２０が信号発生器１００に接続されたそれぞれの状態において電力を測定する。

続いて、出力反射係数算出部３２は、第１周波数を所定の周波数として、信号発生器１００の第１周波数における出力反射係数Γ_Ｓを式（１）により算出する。次に、出力反射係数算出部３２は、第２周波数を所定の周波数として、信号発生器１００の第２周波数における出力反射係数Γ_Ｓを式（１）により算出する。そして、信号発生器１００の第１周波数における出力反射係数Γ_Ｓおよび信号発生器１００の第２周波数における出力反射係数Γ_Ｓを補間して、所定の周波数における出力反射係数Γ_Ｓを算出する。

これにより、出力反射係数算出部３２によれば、式（１）を用いて解を１つに定めることができない場合であっても、出力反射係数Γ_Ｓを１つの値に決定することができる。さらに、出力反射係数算出部３２は、式（１）の２つの解のうち、補間した値に近い方の解を、所定の周波数における出力反射係数Γ_Ｓとして決定してもよい。

また、校正装置１０が５以上の接続回路２０を備える場合、選択部２２は、５以上の接続回路２０のうち、所定の周波数において実数でない入力反射係数を有する接続回路２０を少なくとも１つ含む４つの接続回路２０を選択し、選択した４つの接続回路２０を順次に信号発生器１００に接続してもよい。これにより、校正装置１０によれば、式（１）を用いて求める信号発生器１００の出力反射係数Γｓの解を、１つの値に定めることができる。

図５は、本実施形態の変形例に係る校正装置１０の構成を信号発生器１００とともに示す。本変形例に係る校正装置１０は、図１に示した同一符号の部材と略同一の構成および機能を採るので、以下相違点を除き説明を省略する。

校正装置１０は、出力信号分離器４２と、反射信号分離器４４と、第１ダウンコンバータ４６と、特性算出部２８と、出力信号検出部５０と、反射信号検出部５２と、入力反射係数算出部５４とを更に備える。また、校正装置１０は、電力測定装置２６に代えて、電力測定部５６を備える。なお、信号発生器１００がベクトル・ネットワーク・アナライザ機能を内蔵する場合、校正装置１０は、信号発生器１００が有する部材および機能を流用して出力信号分離器４２、反射信号分離器４４、第１ダウンコンバータ４６、特性算出部２８、出力信号検出部５０および反射信号検出部５２を構成してよい。

出力信号分離器４２は、信号発生器１００と当該信号発生器１００に接続された接続回路２０との間に設けられ、信号発生器１００から接続回路２０へ向かう方向に伝播する出力信号の一部を分離した出力分離信号を出力する。出力信号分離器４２は、一例として、信号発生器１００から接続回路２０へ向かう方向に伝播する出力信号の一部を所定の割合で分離する方向性結合器であってよい。

反射信号分離器４４は、信号発生器１００と当該信号発生器１００に接続された接続回路２０との間に設けられ、接続回路２０から信号発生器１００へ向かう方向に伝播する反射信号の一部を分離した反射分離信号を出力する。反射信号分離器４４は、一例として、接続回路２０から信号発生器１００へ向かう方向に伝播する出力信号の一部を所定の割合で分離する方向性結合器であってよい。

第１ダウンコンバータ４６は、出力信号分離器４２により分離された出力分離信号の周波数をダウンコンバートする。第２ダウンコンバータ４８は、反射信号分離器４４により分離された反射分離信号の周波数をダウンコンバートする。出力信号検出部５０は、第１ダウンコンバータ４６によりダウンコンバートされた出力分離信号をアナログ／デジタル変換して検出する。反射信号検出部５２は、第２ダウンコンバータ４８によりダウンコンバートされた反射分離信号をアナログ／デジタル変換して検出する。なお、出力信号および反射信号は多重反射することにより複素信号となるので、出力信号検出部５０および反射信号検出部５２は、一例として、出力分離信号および反射分離信号を直交復調して検出してよい。

入力反射係数算出部５４は、少なくとも４つの接続回路２０が信号発生器１００に順次に接続されたそれぞれの状態において検出された反射分離信号に対する出力分離信号の割合に基づき、少なくとも４つの接続回路２０のそれぞれの所定の周波数における入力反射係数Γ_Ｌを算出する。ここで、信号発生器１００から接続回路２０へ出力端子１１０を介して伝播する信号をａ、接続回路２０から信号発生器１００へ出力端子１１０を介して伝播する信号（反射信号）をｂとした場合、信号発生器１００に接続された入力反射係数Γ_Ｌは、次の下記式（１６）により表される。

すなわち、信号発生器１００に接続された入力反射係数Γ_Ｌは、出力信号に対する反射信号の割合で表される。従って、出力信号分離器４２による出力信号に対する出力分離信号の分離割合と、反射信号分離器４４による反射信号に対する反射分離信号の分離割合が既知であれば、信号発生器１００に接続された入力反射係数Γ_Ｌは、出力分離信号に対する反射分離信号により算出することができる。このことから、入力反射係数算出部５４は、出力信号検出部５０により検出された出力分離信号に対する、反射信号検出部５２により検出された反射分離信号を演算し、少なくとも４つの接続回路２０のそれぞれの所定の周波数における入力反射係数Γ_Ｌを算出する。

電力測定部５６は、少なくとも４つの接続回路２０が信号発生器１００に順次に接続されたそれぞれの状態において出力信号検出部５０により検出された出力分離信号に基づき、少なくとも４つの接続回路２０が信号発生器１００に順次に接続されたそれぞれの状態において出力された出力信号の電力を順次に測定する。特性算出部２８は、所定の電力、電力測定部５６により算出された電力測定値、および入力反射係数算出部５４により算出された少なくとも４つの接続回路２０のそれぞれの所定の周波数における入力反射係数に基づき、信号発生器１００の出力伝送係数を算出する。

図６は、変形例に係る校正装置１０の処理の流れの一例を示す。変形例に係る校正装置１０は、図４のステップＳ１００４の処理に代えて、ステップＳ１０１１〜ステップＳ１０１４の処理を行う。

出力信号検出部５０は、ステップＳ１００３の処理の後に、出力分離信号をアナログ／デジタル変換して検出する（Ｓ１０１１）。これとともに、反射信号検出部５２は、反射分離信号をアナログ／デジタル変換して検出する（Ｓ１０１２）。

続いて、入力反射係数算出部５４は、反射信号検出部５２により検出された反射分離信号に対する出力信号検出部５０により検出された出力分離信号の割合に基づき、信号発生器１００に接続された接続回路２０のステップＳ１００１において設定された所定の周波数における入力反射係数Γ_Ｌを算出する（Ｓ１０１３）。これとともに、電力測定部５６は、出力信号検出部５０により検出された出力分離信号に基づき、接続回路２０が信号発生器１００に順次に接続された状態において出力された出力信号の電力を測定する（Ｓ１０１４）。

そして、ステップＳ１００２〜ステップＳ１００５の処理が終了した後、ステップＳ１００６において、出力反射係数算出部３２は、式（１）により信号発生器１００の出力反射係数Γ_Ｓを算出する。この場合において、出力反射係数算出部３２は、Ｐｍ_１からＰｍ_４として、第１から第４の接続回路２０が信号発生器１００に接続されたそれぞれの状態において、電力測定部５６により測定された電力測定値の平方根を用いる。また、出力反射係数算出部３２は、ｘ_１からｘ_４として、入力反射係数算出部５４により算出された第１から第４の接続回路２０のそれぞれの所定の周波数（出力信号の周波数）における入力反射係数を用いる。

以上のような変形例に係る校正装置１０は、接続回路２０の入力反射係数を測定することができる。従って、変形例に係る校正装置１０によれば、接続回路２０の入力反射係数を予め記憶していなくても、すなわち、接続回路２０の入力反射係数が未知であっても、信号発生器１００の出力端からみた反射係数である出力反射係数Γ_Ｓを簡易に検出することができる。

図７は、本実施形態に係る校正装置１０により校正された信号発生器１００の出力信号の電力の誤差（Ａ）を、反射係数が０として仮定して校正された信号発生器１００の出力信号の電力の誤差（Ｂ）と比較した一例を示す。接続回路２０の入力反射係数Γ_Ｌおよび信号発生器１００の出力反射係数Γ_Ｓが共に０と仮定して信号発生器１００の出力電力が校正された場合、与えられた設定値に対する信号発生器１００の出力信号の電力の誤差は、図７のＢに示すようになった。すなわち、信号発生器１００の出力信号の電力は、８５０ＭＨｚから９００ＭＨｚの範囲で、一例として、電力利得で＋０．６ｄＢ〜−０．７ｄＢ程度の誤差が生じた。

これに対して、本実施形態に係る校正装置１０により校正された場合、与えられた設定値に対する信号発生器１００の出力信号の電力の誤差は、図７のＡに示すようになった。すなわち、校正装置１０により校正された信号発生器１００の出力信号の電力は、８５０ＭＨｚから９００ＭＨｚの範囲で、一例として、電力利得で略０．０２ｄＢ程度の誤差に収まった。以上のように校正装置１０によれば、正確に信号発生器１００の出力電力を校正することができた。

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。

本発明の実施形態に係る校正装置１０の構成を信号発生器１００とともに示す。信号発生器１００、接続回路２０、電力測定装置２６、およびこれら伝播する信号とともに示す。図２のシグナルフローグラフを示す。本発明の実施形態に係る校正装置１０の処理の流れの一例を示す。本実施形態の変形例に係る校正装置１０の構成を信号発生器１００とともに示す。変形例に係る校正装置１０の処理の流れの一例を示す。本発明の実施形態に係る校正装置１０により校正された信号発生器１００の出力信号の電力の誤差（Ａ）を、反射係数が０として仮定して校正された信号発生器１００の出力信号の電力の誤差（Ｂ）と比較した一例を示す。パワーセンサ２０６をスイッチマトリクス２０４を介してＲＦ信号源２０２に接続した構成を示す。

符号の説明

１０校正装置
２０接続回路
２２選択部
２４発生制御部
２６電力測定装置
２８特性算出部
３０校正部
３２出力反射係数算出部
３４出力伝送係数算出部
４２出力信号分離器
４４反射信号分離器
４６第１ダウンコンバータ
４８第２ダウンコンバータ
５０出力信号検出部
５２反射信号検出部
５４入力反射係数算出部
５６電力測定部
１００信号発生器
１１０出力端子
２０２ＲＦ信号源
２０４スイッチマトリクス
２０６パワーセンサ

Claims

与えられた設定値に応じた電力の出力信号を出力する信号発生器の出力反射係数を測定する測定装置であって、
互いに異なる入力反射係数を有する少なくとも４つの接続回路と、
前記少なくとも４つの接続回路のそれぞれを順次に前記信号発生器に接続する選択部と、
前記信号発生器から所定の電力且つ所定の周波数の出力信号を出力させる発生制御部と、
前記少なくとも４つの接続回路が前記信号発生器に順次に接続されたそれぞれの状態において前記信号発生器から出力された出力信号の電力を順次に測定する電力測定装置と、
前記所定の電力、前記電力測定装置により測定された電力測定値、および前記少なくとも４つの接続回路のそれぞれの前記所定の周波数における入力反射係数に基づき、前記信号発生器の出力反射係数を算出する出力反射係数算出部と
を備える測定装置。
前記出力反射係数算出部は、以下の式（１）により前記信号発生器の前記出力反射係数を算出する
請求項１に記載の測定装置。

式（１）において、Ｐｓ_１からＰｓ_ｋは、前記少なくとも４つの接続回路のうちの第１から第ｋ（ｋは４以上の整数。）の接続回路が前記信号発生器に接続されたそれぞれの状態において、前記信号発生器に与えられた前記所定の電力の設定値の平方根を表す。Ｐｍ_１からＰｍ_ｋは、前記第１から第ｋの接続回路が前記信号発生器に接続されたそれぞれの状態において測定された前記電力測定値の平方根を表す。ｘ_１からｘ_ｋは、前記第１から第ｋの接続回路のそれぞれの前記所定の周波数における入力反射係数を表す。Γ_Ｓは、前記信号発生器の前記所定の周波数における前記出力反射係数を表す。Ｅｏｕｔは、前記信号発生器の出力伝送係数を表す。
前記式（１）において左式の左側の行列に対応する行列式の値が、予め定められた値より小さい場合において、
前記発生制御部は、前記所定の周波数より高い第１周波数の出力信号および前記所定の周波数より低い第２周波数の出力信号を前記信号発生器から出力させ、
前記電力測定装置は、前記第１周波数の出力信号および前記第２の周波数の出力信号のそれぞれについて、前記第１から第ｋの接続回路が前記信号発生器に接続されたそれぞれの状態において電力を測定し、
前記出力反射係数算出部は、
前記第１周波数を前記所定の周波数として、前記信号発生器の前記第１周波数における出力反射係数を前記式（１）により算出し、
前記第２周波数を前記所定の周波数として、前記信号発生器の前記第２周波数における出力反射係数を前記式（１）により算出し、
前記信号発生器の前記第１周波数における出力反射係数および前記信号発生器の前記第２周波数における出力反射係数を補間して、前記所定の周波数における出力反射係数を算出する
請求項２に記載の測定装置。
与えられた設定値に応じた電力の出力信号を出力する信号発生器の出力反射係数を測定する測定装置であって、
互いに異なる入力反射係数を有する少なくとも４つの接続回路と、
前記少なくとも４つの接続回路のそれぞれを順次に前記信号発生器に接続する選択部と、
前記信号発生器から所定の電力且つ所定の周波数の出力信号を出力させる発生制御部と、
前記信号発生器と当該信号発生器に接続された前記接続回路との間に設けられ、前記信号発生器から前記接続回路へ向かう方向に伝播する前記出力信号の一部を分離した出力分離信号を出力する出力信号分離器と、
前記信号発生器と当該信号発生器に接続された前記接続回路との間に設けられ、前記接続回路から前記信号発生器へ向かう方向に伝播する反射信号の一部を分離した反射分離信号を出力する反射信号分離器と、
前記出力分離信号をアナログ／デジタル変換して検出する出力信号検出部と、
前記反射分離信号をアナログ／デジタル変換して検出する反射信号検出部と、
前記少なくとも４つの接続回路が前記信号発生器に順次に接続されたそれぞれの状態において検出された前記反射分離信号に対する前記出力分離信号の割合に基づき、前記少なくとも４つの接続回路のそれぞれの前記所定の周波数における入力反射係数を算出する入力反射係数算出部と、
前記少なくとも４つの接続回路が前記信号発生器に順次に接続されたそれぞれの状態において検出された前記出力分離信号に基づき、前記少なくとも４つの接続回路が前記信号発生器に順次に接続されたそれぞれの状態において出力された前記出力信号の電力を順次に測定する電力測定部と、
前記所定の電力、前記電力測定部により測定された電力測定値、および前記少なくとも４つの接続回路のそれぞれの前記所定の周波数における入力反射係数に基づき、前記信号発生器の出力反射係数を算出する出力反射係数算出部と
を備える測定装置。
与えられた設定値に応じた電力の出力信号を出力する信号発生器の出力反射係数を測定する測定方法であって、
互いに異なる入力反射係数を有する少なくとも４つの接続回路のそれぞれを順次に前記信号発生器に接続し、
前記信号発生器から所定の電力且つ所定の周波数の出力信号を出力させ、
前記少なくとも４つの接続回路が前記信号発生器に順次に接続されたそれぞれの状態において前記信号発生器から出力された出力信号の電力を電力測定装置により順次に測定し、
前記所定の電力、前記電力測定装置により測定された電力測定値、および前記少なくとも４つの接続回路のそれぞれの前記所定の周波数における入力反射係数に基づき、前記信号発生器の出力反射係数を算出する
測定方法。
与えられた設定値に応じた電力の出力信号を出力する信号発生器の出力反射係数を測定する測定方法であって、
互いに異なる入力反射係数を有する少なくとも４つの接続回路のそれぞれを順次に前記信号発生器に接続し、
前記信号発生器から所定の電力且つ所定の周波数の出力信号を出力させ、
前記信号発生器と当該信号発生器に接続された前記接続回路との間に設けられた出力信号分離器により、前記信号発生器から前記接続回路へ向かう方向に伝播する前記出力信号の一部を分離した出力分離信号を出力し、
前記信号発生器と当該信号発生器に接続された前記接続回路との間に設けられた反射信号分離器により、前記接続回路から前記信号発生器へ向かう方向に伝播する反射信号の一部を分離した反射分離信号を出力し、
前記出力分離信号をアナログ／デジタル変換して検出し、
前記反射分離信号をアナログ／デジタル変換して検出し、
前記少なくとも４つの接続回路が前記信号発生器に順次に接続されたそれぞれの状態において検出された前記反射分離信号に対する前記出力分離信号の割合に基づき、前記少なくとも４つの接続回路のそれぞれの前記所定の周波数における入力反射係数を算出し、
前記少なくとも４つの接続回路が前記信号発生器に順次に接続されたそれぞれの状態において検出された前記出力分離信号に基づき、前記少なくとも４つの接続回路が前記信号発生器に順次に接続されたそれぞれの状態において出力された前記出力信号の電力を順次に測定し、
前記所定の電力、測定された電力測定値、および前記少なくとも４つの接続回路のそれぞれの前記所定の周波数における入力反射係数に基づき、前記信号発生器の出力反射係数を算出する
測定方法。
与えられた設定値に応じた電力の出力信号を出力する信号発生器を校正する校正装置であって、
互いに異なる入力反射係数を有する少なくとも４つの接続回路と、
前記少なくとも４つの接続回路のそれぞれを順次に前記信号発生器に接続する選択部と、
前記信号発生器から所定の電力且つ所定の周波数の出力信号を出力させる発生制御部と、
前記少なくとも４つの接続回路が前記信号発生器に順次に接続されたそれぞれの状態において前記信号発生器から出力された出力信号の電力を順次に測定する電力測定装置と、
前記所定の電力、前記電力測定装置により測定された電力測定値、および前記少なくとも４つの接続回路のそれぞれの前記所定の周波数における入力反射係数に基づき、前記信号発生器の出力伝送係数を算出する特性算出部と、
与えられた前記設定値に応じた電力を出力するように算出した前記出力伝送係数に基づき前記信号発生器を校正する校正部と
を備える校正装置。
前記特性算出部は、
以下の式（１）により、前記信号発生器の出力反射係数を算出する出力反射係数算出部と、
以下の式（２）により前記出力伝送係数を算出する出力伝送係数算出部と
を有する請求項７に記載の校正装置。

式（１）、（２）において、Ｐｓ_１からＰｓ_ｋは、前記少なくとも４つの接続回路のうちの第１から第ｋ（ｋは４以上の整数。）の接続回路が前記信号発生器に接続されたそれぞれの状態において、前記信号発生器に与えられた前記所定の電力の設定値の平方根を表す。Ｐｍ_１からＰｍ_ｋは、前記第１から第ｋの接続回路が前記信号発生器に接続されたそれぞれの状態において測定された前記電力測定値の平方根を表す。ｘ_１からｘ_ｋは、前記第１から第ｋの接続回路のそれぞれの前記所定の周波数における入力反射係数を表す。Γ_Ｓは、前記信号発生器の前記所定の周波数における前記出力反射係数を表す。Ｅｏｕｔは、前記信号発生器の出力伝送係数を表す。
与えられた設定値に応じた電力の出力信号を出力する信号発生器を校正する校正装置であって、
互いに異なる入力反射係数を有する少なくとも４つの接続回路と、
前記少なくとも４つの接続回路のそれぞれを順次に前記信号発生器に接続する選択部と、
前記信号発生器から所定の電力且つ所定の周波数の出力信号を出力させる発生制御部と、
前記信号発生器と当該信号発生器に接続された前記接続回路との間に設けられ、前記信号発生器から前記接続回路へ向かう方向に伝播する前記出力信号の一部を分離した出力分離信号を出力する出力信号分離器と、
前記信号発生器と当該信号発生器に接続された前記接続回路との間に設けられ、前記接続回路から前記信号発生器へ向かう方向に伝播する反射信号の一部を分離した反射分離信号を出力する反射信号分離器と、
前記出力分離信号をアナログ／デジタル変換して検出する出力信号検出部と、
前記反射分離信号をアナログ／デジタル変換して検出する反射信号検出部と、
前記少なくとも４つの接続回路が前記信号発生器に順次に接続されたそれぞれの状態において検出された前記反射分離信号に対する前記出力分離信号の割合に基づき、前記少なくとも４つの接続回路のそれぞれの前記所定の周波数における入力反射係数を算出する入力反射係数算出部と、
前記少なくとも４つの接続回路が前記信号発生器に順次に接続されたそれぞれの状態において検出された前記出力分離信号に基づき、前記少なくとも４つの接続回路が前記信号発生器に順次に接続されたそれぞれの状態において出力された前記出力信号の電力を順次に測定する電力測定部と、
前記所定の電力、前記電力測定部により算出された電力測定値、および前記少なくとも４つの接続回路のそれぞれの前記所定の周波数における入力反射係数に基づき、前前記信号発生器の出力伝送係数を算出する特性算出部と、
与えられた前記設定値に応じた電力を出力するように算出した前記出力伝送係数に基づき前記信号発生器を校正する校正部と
を備える校正装置。
与えられた設定値に応じた電力の出力信号を出力する信号発生器を校正する校正方法であって、
互いに異なる入力反射係数を有する少なくとも４つの接続回路のそれぞれを順次に前記信号発生器に接続し、
前記信号発生器から所定の電力且つ所定の周波数の出力信号を出力させ、
前記少なくとも４つの接続回路が前記信号発生器に順次に接続されたそれぞれの状態において前記信号発生器から出力された出力信号の電力を電力測定装置により順次に測定し、
前記所定の電力、前記電力測定装置により測定された電力測定値、および前記少なくとも４つの接続回路のそれぞれの前記所定の周波数における入力反射係数に基づき、前記信号発生器の出力伝送係数を算出し、
与えられた前記設定値に応じた電力を出力するように算出した前記出力伝送係数に基づき前記信号発生器を校正する
校正方法。
与えられた設定値に応じた電力の出力信号を出力する信号発生器を校正する校正方法であって、
互いに異なる入力反射係数を有する少なくとも４つの接続回路のそれぞれを順次に前記信号発生器に接続し、
前記信号発生器から所定の電力且つ所定の周波数の出力信号を出力させ、
前記信号発生器と当該信号発生器に接続された前記接続回路との間に設けられた出力信号分離器により、前記信号発生器から前記接続回路へ向かう方向に伝播する前記出力信号の一部を分離した出力分離信号を出力し、
前記信号発生器と当該信号発生器に接続された前記接続回路との間に設けられた反射信号分離器により、前記接続回路から前記信号発生器へ向かう方向に伝播する反射信号の一部を分離した反射分離信号を出力し、
前記出力分離信号をアナログ／デジタル変換して検出し、
前記反射分離信号をアナログ／デジタル変換して検出し、
前記少なくとも４つの接続回路が前記信号発生器に順次に接続されたそれぞれの状態において検出された前記反射分離信号に対する前記出力分離信号の割合に基づき、前記少なくとも４つの接続回路のそれぞれの前記所定の周波数における入力反射係数を算出し、
前記少なくとも４つの接続回路が前記信号発生器に順次に接続されたそれぞれの状態において検出された前記出力分離信号に基づき、前記少なくとも４つの接続回路が前記信号発生器に順次に接続されたそれぞれの状態において出力された前記出力信号の電力を順次に測定し、
前記所定の電力、測定された電力測定値、および前記少なくとも４つの接続回路のそれぞれの前記所定の周波数における入力反射係数に基づき、前前記信号発生器の出力伝送係数を算出し、
与えられた前記設定値に応じた電力を出力するように算出した前記出力伝送係数に基づき前記信号発生器を校正する
校正方法。