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Families Citing this family (53)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7994021B2 (en) * 2006-07-28 2011-08-09 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Method of manufacturing semiconductor device
JP5205042B2 (ja) * 2006-12-20 2013-06-05 株式会社半導体エネルギー研究所 半導体装置の作製方法
JP5442224B2 (ja) * 2007-07-23 2014-03-12 株式会社半導体エネルギー研究所 Soi基板の製造方法
JP2010073820A (ja) * 2008-09-17 2010-04-02 Dowa Electronics Materials Co Ltd 導電接続部付き半導体素子用電極膜およびその製造方法、ならびに、この半導体素子用電極膜を具える発光素子
KR101513717B1 (ko) * 2008-09-18 2015-04-20 삼성디스플레이 주식회사 기판 및 이를 갖는 표시장치
WO2010065955A1 (en) * 2008-12-05 2010-06-10 Solopower, Inc. Method and apparatus for forming contact layers for continuous workpieces
JP5258666B2 (ja) * 2009-04-22 2013-08-07 株式会社半導体エネルギー研究所 発光装置の作製方法および成膜用基板
KR101050462B1 (ko) * 2009-05-06 2011-07-19 삼성모바일디스플레이주식회사 레이저 조사 장치 및 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법
JP2013512111A (ja) * 2009-11-30 2013-04-11 イ−エスアイ−パイロフォトニクス レーザーズ インコーポレイテッド 一連のレーザパルスを用いて薄膜にラインをスクライブするための方法及び装置
US20110287593A1 (en) * 2010-05-20 2011-11-24 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Method for forming semiconductor film and method for manufacturing semiconductor device
TWI400138B (zh) * 2010-11-18 2013-07-01 Ind Tech Res Inst 雷射背面加工吸附方法及其裝置
JPWO2012153364A1 (ja) 2011-05-10 2014-07-28 パナソニック株式会社 表示用薄膜半導体装置及び表示用薄膜半導体装置の製造方法
KR20140008562A (ko) * 2012-07-05 2014-01-22 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치의 제조 방법
KR102002858B1 (ko) 2012-08-10 2019-10-02 삼성디스플레이 주식회사 박막 트랜지스터 기판 및 그 제조 방법
US11074025B2 (en) 2012-09-03 2021-07-27 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Display device and method for manufacturing the same
US20150223345A1 (en) * 2012-09-25 2015-08-06 Toray Industries, Inc. Method of forming wiring pattern, and wiring pattern formation
WO2014088950A1 (en) * 2012-12-07 2014-06-12 3M Innovative Properties Company Method of making transparent conductors on a substrate
EP2754524B1 (de) 2013-01-15 2015-11-25 Corning Laser Technologies GmbH Verfahren und Vorrichtung zum laserbasierten Bearbeiten von flächigen Substraten, d.h. Wafer oder Glaselement, unter Verwendung einer Laserstrahlbrennlinie
EP2781296B1 (de) 2013-03-21 2020-10-21 Corning Laser Technologies GmbH Vorrichtung und verfahren zum ausschneiden von konturen aus flächigen substraten mittels laser
TWI685026B (zh) 2013-08-06 2020-02-11 日商半導體能源研究所股份有限公司 剝離方法
TWI794098B (zh) 2013-09-06 2023-02-21 日商半導體能源研究所股份有限公司 發光裝置以及發光裝置的製造方法
JP6513929B2 (ja) 2013-11-06 2019-05-15 株式会社半導体エネルギー研究所 剥離方法
CN103604527B (zh) * 2013-12-06 2016-02-17 上海交通大学 使用布拉格光栅阵列测量温度的方法
US11556039B2 (en) 2013-12-17 2023-01-17 Corning Incorporated Electrochromic coated glass articles and methods for laser processing the same
US20150165563A1 (en) * 2013-12-17 2015-06-18 Corning Incorporated Stacked transparent material cutting with ultrafast laser beam optics, disruptive layers and other layers
US9517963B2 (en) 2013-12-17 2016-12-13 Corning Incorporated Method for rapid laser drilling of holes in glass and products made therefrom
CN103686005A (zh) * 2013-12-24 2014-03-26 北京交通大学 一种具有记忆和多次选择输出功能的像素单元电路
KR102334815B1 (ko) 2014-02-19 2021-12-02 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 발광 장치 및 박리 방법
TWI679560B (zh) 2014-03-13 2019-12-11 日商半導體能源研究所股份有限公司 觸控面板
DE112015001780B4 (de) 2014-04-11 2022-02-03 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Lichtemittierende Vorrichtung
KR102445217B1 (ko) 2014-07-08 2022-09-20 코닝 인코포레이티드 재료를 레이저 가공하는 방법 및 장치
US9801415B2 (en) * 2014-07-11 2017-10-31 POSIFA Microsytems, Inc. MEMS vaporizer
TWI659793B (zh) 2014-07-14 2019-05-21 美商康寧公司 用於使用可調整雷射束焦線來處理透明材料的系統及方法
KR101865441B1 (ko) * 2014-09-29 2018-06-07 주식회사 엘지화학 발열체 및 이의 제조방법
EP3848334A1 (en) 2015-03-24 2021-07-14 Corning Incorporated Alkaline earth boro-aluminosilicate glass article with laser cut edge
TWI631688B (zh) * 2015-06-16 2018-08-01 勤友光電股份有限公司 用於雷射剝離處理之晶圓結構
JP6259023B2 (ja) * 2015-07-20 2018-01-10 ウルトラテック インク 電極系デバイス用のald処理のためのマスキング方法
US10259207B2 (en) 2016-01-26 2019-04-16 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Method for forming separation starting point and separation method
CN109803786B (zh) 2016-09-30 2021-05-07 康宁股份有限公司 使用非轴对称束斑对透明工件进行激光加工的设备和方法
JP7066701B2 (ja) 2016-10-24 2022-05-13 コーニング インコーポレイテッド シート状ガラス基体のレーザに基づく加工のための基体処理ステーション
KR102499027B1 (ko) * 2016-11-03 2023-02-10 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 반도체 장치의 제작 방법
US10730147B2 (en) * 2016-11-11 2020-08-04 Lg Chem, Ltd. Method of forming pattern for a large area liquid crystal device
CN110800089B (zh) 2017-03-31 2024-03-08 尼尔森科学有限公司 三维半导体制造
CN107845741B (zh) * 2017-10-23 2019-05-07 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 柔性基板剥离方法及柔性基板
US11167375B2 (en) 2018-08-10 2021-11-09 The Research Foundation For The State University Of New York Additive manufacturing processes and additively manufactured products
KR102662392B1 (ko) 2018-11-22 2024-05-02 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치 및 그것의 제조 방법
CN111435703B (zh) * 2019-01-14 2024-03-22 联华电子股份有限公司 磁隧穿结装置及其形成方法
KR102081708B1 (ko) * 2019-04-15 2020-02-27 세메스 주식회사 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법
CN109967872B (zh) * 2019-04-23 2021-05-07 苏州福唐智能科技有限公司 一种半导体激光焊接方法及其焊接结构
TW202445852A (zh) 2019-06-26 2024-11-16 日商索尼半導體解決方案公司 半導體裝置及其製造方法
KR20210049250A (ko) * 2019-10-24 2021-05-06 삼성디스플레이 주식회사 기판 가공 장치 및 기판 가공 방법
CN111965854B (zh) * 2020-08-28 2023-07-21 济南晶正电子科技有限公司 电光晶体薄膜及其制备方法,及电光调制器
DE112022002460T5 (de) 2021-05-07 2024-03-21 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Anzeigevorrichtung

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6384789A (ja) * 1986-09-26 1988-04-15 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 光加工方法
US5708252A (en) * 1986-09-26 1998-01-13 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Excimer laser scanning system
US6149988A (en) * 1986-09-26 2000-11-21 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Method and system of laser processing
US6261856B1 (en) * 1987-09-16 2001-07-17 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Method and system of laser processing
US4842677A (en) * 1988-02-05 1989-06-27 General Electric Company Excimer laser patterning of a novel resist using masked and maskless process steps
JPH01296623A (ja) * 1988-05-25 1989-11-30 Nec Corp 薄膜除去方法
JP3222326B2 (ja) * 1994-07-05 2001-10-29 理化学研究所 基板表面薄膜パターンの形成方法
JPH09152618A (ja) 1995-11-30 1997-06-10 Sony Corp 平板状表示パネルの製造方法
JP3809681B2 (ja) * 1996-08-27 2006-08-16 セイコーエプソン株式会社 剥離方法
JP3852176B2 (ja) * 1997-09-26 2006-11-29 凸版印刷株式会社 レーザープラズマ加工された多層フィルム及びそのレーザープラズマ加工方法
AUPP699698A0 (en) * 1998-11-06 1998-12-03 Pacific Solar Pty Limited Indirect laser patterning of resist
JP2000223346A (ja) * 1999-02-03 2000-08-11 Alps Electric Co Ltd 薄膜積層体の製造方法
JP4588341B2 (ja) * 2003-03-24 2010-12-01 株式会社半導体エネルギー研究所 Icカード

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