JP2008138227A - ウエッブ状被蒸着材の蒸着膜厚制御方法 - Google Patents

Abstract

【課題】
蒸着開始時の低速度から定常速度までの間の蒸着膜厚を均一にすることにより、ロスを減少し生産性を向上することのできるウエッブ状被蒸着材の蒸着膜厚制御方法を提供する。
【解決手段】
減圧下で連続したウエッブ状被蒸着材の少なくとも一方の表面に蒸着材料を加熱蒸発させる加熱手段を用いて蒸着する真空蒸着装置において、前記ウエッブ状被蒸着材の表面上の蒸着膜厚を検出する蒸着膜厚検出手段と前記蒸着膜厚検出手段による検出値に基づいて蒸着膜厚を制御するに際し、前記ウエッブ状被蒸着材の走行速度が蒸着開始時から定常蒸着時の走行速度に達するまでの加速中の間は、蒸着材料を加熱蒸発させるための導入電力量を予め設定したプログラムにより段階的に上昇させながら、蒸着膜厚検出手段の検出値と目標膜厚の偏差から前記ウエッブ状被蒸着材の走行速度を制御することを特徴とするウエッブ状被蒸着材の蒸着膜厚制御方法。
【選択図】 図２

Description

本発明は、プラスチックフイルム、紙および布などの連続したウエッブ状被蒸着材に蒸着材料を真空蒸着させる連続真空蒸着装置により、ウエッブ状被蒸着材の長さ方向に均一な蒸着膜厚が得られるように制御する方法に関するものである。

連続したウエッブ状被蒸着材を蒸着する真空蒸着装置は、図１に示すように、連続したウエッブ状被蒸着材１４を巻きだすための巻出し装置２、ウエッブ状被蒸着材１４を搬送するための搬送ロール５、ウエッブ状被蒸着材１４を巻き取るための巻取り装置３、アルミニウム、亜鉛、銅および酸化アルミニウムなどの蒸着材料７を格納するための坩堝（るつぼ）６、その坩堝６を加熱するための加熱装置８、ウエッブ状被蒸着材１４への蒸着を開始・停止させるためのシャッター９、蒸着膜厚検出器１２、真空槽１、真空ポンプ１５、搬送ロールを駆動するための電動機１０、該ウエッブ状被蒸着材１４の速度検出器１１、および蒸着膜厚制御装置１３等で構成されている。

このような構成の真空蒸着装置において、蒸着膜厚を一定に保つ方法としては、従来では、蒸着膜厚が蒸着材料の温度に比例し、ウエッブ状被蒸着材がその速度に反比例することを利用して、蒸着膜厚を蒸着膜厚検出器で検出し、加熱装置に投入する電力を変更することにより蒸着材料の温度を変えて、坩堝からの蒸着材料の蒸発量を制御する方法（従来法１）、あるいは、加熱装置に投入する電力を一定にして、電動機の速度を変更することによりウエッブ状被蒸着材の速度を変更する方法（従来法２）、および従来法１と従来法２を組み合わせた方法（従来法３）が採られていた（特許文献１参照）。
特開平５−２８７５２８号公報

しかしながら、上記の従来法１では、坩堝および蒸着材料の熱容量が大きいことから、加熱装置に投入する電力Ｐを変更しても、坩堝内の蒸着材料の温度が変わり安定するのまでに数分程度要するため、蒸着開始速度Ｖｓから蒸着定常速度Ｖｔまで加速する間、また定常速度から停止するまでの間、蒸着膜厚を均一に保つことが困難であった。また、上記の従来法２では、電動機の応答速度が速いため、定常速度付近での蒸着膜厚の急激な変動に対しては有効であるが、加熱装置に投入するパワーは一定であるため、蒸着開始速度Ｖｓから蒸着定常速度Ｖｔまで加速する間、また定常速度から停止するまでの間、蒸着膜厚を均一に保つことが困難であった。さらに、これらの従来法１と従来法２を組み合わせた上記の従来法３においても、蒸着開始速度Ｖｓから蒸着定常速度Ｖｔまで加速する間の蒸着膜厚を均一に保つことは困難であり、蒸着の開始部分および終了部において、ロスが発生する。

本発明は、上記問題点を解決せんとするものであり、蒸着開始時の低速度から定常速度までの間の蒸着膜厚を均一にすることにより、ロスを減少し生産性を向上することのできるウエッブ状被蒸着材の蒸着膜厚制御方法を提供することである。

上記課題を解決する本発明のウエッブ状被蒸着材の蒸着膜厚制御方法は、減圧下で連続したウエッブ状被蒸着材の少なくとも一方の表面に蒸着材料を加熱蒸発させる加熱手段を用いて蒸着する真空蒸着装置において、前記ウエッブ状被蒸着材の表面上の蒸着膜厚を検出する蒸着膜厚検出手段と前記蒸着膜厚検出手段による検出値に基づいて蒸着膜厚を制御するに際し、前記ウエッブ状被蒸着材の走行速度が蒸着開始時から定常蒸着時の走行速度に達するまでの加速中の間は、蒸着材料を加熱蒸発させるための導入電力量を予め設定したプログラムにより段階的に上昇させながら、蒸着膜厚検出手段の検出値と目標膜厚の偏差から前記ウエッブ状被蒸着材の走行速度を制御することを特徴とするウエッブ状被蒸着材の蒸着膜厚制御方法である。

また、本発明の上記ウエッブ状被蒸着材の蒸着膜厚制御方法には、前記ウエッブ状被蒸着材の走行速度が定常蒸着時の走行速度に達した後、前記ウエッブ状被蒸着材の走行速度を定常蒸着時の速度に保ちながら、蒸着膜厚検出手段の検出値と目標膜厚の偏差から導入電力量を制御することが、好ましい態様として包含される。

本発明のウエッブ状被蒸着材の蒸着膜厚制御方法によれば、連続するウエッブ状被蒸着材に対して蒸着材料を加熱して蒸着する際に、蒸着開始速度から、定常蒸着速度に至る加速中に蒸着加工する部分から定常蒸着速度での蒸着加工に渡り、蒸着膜厚を均一に保つことができるので、ロスを減少し生産性を向上することが可能となる。

本発明のウエッブ状被蒸着材の蒸着膜厚制御方法は、減圧下で連続したウエッブ状被蒸着材の少なくとも一方の表面に蒸着材料を加熱蒸発させる加熱手段を用いて蒸着する真空蒸着装置において、前記ウエッブ状被蒸着材の表面上の蒸着膜厚を検出する蒸着膜厚検出手段と前記蒸着膜厚検出手段による検出値に基づいて蒸着膜厚を制御するに際し、
（ａ）前記ウエッブ状被蒸着材の走行速度が蒸着開始時から定常蒸着時の走行速度に達するまでの加速中の間は、蒸着材料を加熱蒸発させるための導入電力量を予め設定したプログラムにより段階的に上昇させながら、蒸着膜厚検出手段の検出値と目標膜厚の偏差から前記ウエッブ状被蒸着材の走行速度を制御すると共に、
（ｂ）前記ウエッブ状被蒸着材の走行速度が定常蒸着時の走行速度に達した後、前記ウエッブ状被蒸着材の走行速度を定常蒸着時の速度に保ちながら、蒸着膜厚検出手段の検出値と目標膜厚の偏差から導入電力量を制御する方法である。

具体的に、ウエッブ状被蒸着材の走行速度をＶ、蒸着開始時のウエッブ状被蒸着材の走行速度をＶｓ、ウエッブ状被蒸着材の定常蒸着時の走行速度をＶｔとし、蒸着材料を加熱蒸発させるための導入電力量をＰとしたとき、
（ａ）ウエッブ状被蒸着材の走行速度ＶがＶｓ≦Ｖ＜Ｖｔと定常蒸着時の走行速度Ｖｔより低速度の間は、導入電力量Ｐを予め設定したプログラムにより段階的に上昇させながら、蒸着膜厚検出手段の検出値と目標膜厚の偏差からウエッブ状被蒸着材の走行速度Ｖを制御しながら加速し、
（ｂ）ウエッブ状被蒸着材の走行速度ＶがＶ＝Ｖｔの定常蒸着時の走行速度Ｖｔに達した後は、前記ウエッブ状被蒸着材の速度Ｖを定常蒸着時の速度Ｖｔに保ちながら、蒸着膜厚検出手段の検出値と目標膜厚の偏差から導入電力量Ｐを増加または減少させて制御する。

すなわち、本発明の蒸着膜厚制御は、（ａ）蒸着を開始し、ウエッブ状被蒸着材の走行速度Ｖを、蒸着開始時のウエッブ状被蒸着材の走行速度Ｖｓから定常蒸着速度Ｖｔまで加速する間と、（ｂ）ウエッブ状被蒸着材の走行速度Ｖが定常蒸着速度Ｖｔに達した後、定常蒸着速度Ｖｔの一定速度の２段階に分けて行われる。

例えば、蒸着開始時のウエッブ状被蒸着材の走行速度Ｖｓは、通常１００ｍ／分以下、即ち０ｍ／分〜１００ｍ／分程度であり、定常蒸着速度Ｖｔは通常２００ｍ／分〜１０００ｍ／分程度である。また、蒸着開始時の走行速度Ｖｓと定常蒸着速度Ｖｔの差異は、少なくとも５０ｍ／分以上であることが好ましく、通常１００ｍ／分〜８００ｍ／分程度である。

また、本発明では、導入電力量Ｐを予め設定したプログラムにより段階的に上昇させていくが、これは、ある時間間隔△ｔ毎に△Ｐずつ電力を増加させていくことにより達成される。導入電力量を段階的に上昇させる際に、少なくとも２段階の複数ステップで階段状に上げることができる。例えば、１０秒間隔で加熱電力の電圧値を５Ｖステップで１０Ｖから５００Ｖまで階段状に上げるようにプログラムを設定することができる。

次に、図面に基づいて本発明のウエッブ状被蒸着材の蒸着膜厚制御方法について説明する。まず図１は、本発明で用いられる真空蒸着装置を例示説明するための側面断面図である。

図１において、連続したウエッブ状被蒸着材１４を蒸着するための真空蒸着装置は、真空槽１内に、連続したウエッブ状被蒸着材１４を巻きだすための巻出し装置２、そのウエッブ状被蒸着材１４を搬送するための搬送ロール５、冷却ロール４、連続したウエッブ状被蒸着材１４を巻き取るための巻取り装置３、アルミニウム、亜鉛、銅および酸化アルミニウムなどの蒸着材料７を格納するための坩堝（るつぼ）６、その坩堝（るつぼ）６を加熱するための加熱装置８、ウエッブ状被蒸着材１４への蒸着を開始・停止させるためのシャッター９、および蒸着膜厚検出手段である蒸着膜厚検出器１２が収納されている。

真空槽１内は、真空ポンプ１５で減圧下に制御保持されており、巻出し装置２から解除されたウエッブ状被蒸着材１４は、搬送ロール５と冷却ロール４を経て巻取り装置３に巻き取られる間に、加熱手段である加熱装置８により加熱された蒸着材料７が蒸着される。

図１では、真空槽１外には、蒸着膜厚検出器１２に接続された蒸着膜厚制御装置１３が配置されており、蒸着膜厚検出器１２からの膜厚検出値を受けとる。この蒸着膜厚制御装置１３は、更に搬送ロール５や冷却ロール４を駆動するための電動機１０が速度検出器１１を経て接続されており、蒸着膜厚制御装置１３により搬送ロール５と冷却ロール４の回転数が制御され、それによりウエッブ状被蒸着材１４の走行速度が制御される。また、この蒸着膜厚制御装置１３は、真空槽１内の加熱装置８に接続されており、蒸着膜厚検出器１２からの膜厚検出値を感知して、導入電力量が制御され、加熱により真空槽１内温度が制御される。

具体的に、蒸着膜厚検出器１２で検出された蒸着膜厚の検出値と、ウエッブ状被蒸着材１４の速度検出器１１で検出された速度値が、蒸着膜厚制御装置１３に送られる。蒸着膜厚制御装置１３は、後述する演算処理をして、電動機１０の速度、すなわちウエッブ状被蒸着材１４の走行速度と、加熱装置８に供給する導入電力量を制御する。

図２と図３に、本発明の蒸着膜厚制御のブロック図を示す。図２は、ウエッブ状被蒸着材の走行速度Ｖが、定常蒸着時の走行速度Ｖｔより低速度の間の制御方法を説明するための制御ブロック図である。また、図３は、ウエッブ状被蒸着材の走行速度Ｖが、定常蒸着時の走行速度Ｖｔに達して後の制御方法を説明するための制御ブロック図である。図２と図３に示すように、蒸着膜厚制御装置１３は、搬送速度制御機能と加熱電力制御機能を備えている。

本発明の蒸着膜厚制御は、（ａ）蒸着を開始し、ウエッブ状被蒸着材の走行速度Ｖを、蒸着開始時のウエッブ状被蒸着材の走行速度Ｖｓから定常蒸着速度Ｖｔまで加速する間と、（ｂ）ウエッブ状被蒸着材の速度Ｖが定常蒸着速度Ｖｔに達した後、定常蒸着速度Ｖｔの一定速度の２段階に分けて行う。

（ａ）まず、蒸着を開始から、ウエッブ状被蒸着材の速度Ｖを蒸着開始時のウエッブ状被蒸着材の走行速度Ｖｓから蒸着定常速度Ｖｔまで加速する間において、すなわち、ウエッブ状被蒸着材の速度Ｖが定常速度速度Ｖｔよりも低い場合、加熱電力指令演算器にあらかじめ設定したプログラムにしたがって、加熱装置からの導入電力量Ｐを階段状に上げていく。加熱装置の導入電力量Ｐの上昇と共に、蒸着材料の蒸発量が増える。膜厚検出器の検出値とあらかじめ設定された目標膜厚との偏差△ｔを計算し、膜厚偏差△ｔを速度変更量演算器に送り、膜厚偏差△ｔに比例した速度偏差△Ｖを計算し速度指令演算器に送る。速度指令演算器は、ウエッブ状被蒸着材の速度Ｖに計算された速度偏差△Ｖを加算した新たなウエッブ状被蒸着材の速度Ｖ＝（Ｖ＋△Ｖ）を電動機に送り、ウエッブ状被蒸着材の速度Ｖを変更することにより蒸着膜厚を制御する。このステップを繰り返えすことにより、蒸着膜厚を一定に制御しつつ、加熱装置の導入電力量Ｐの上昇に伴い、ウエッブ状被蒸着材の速度Ｖは上昇する。

（ｂ）速度偏差演算器により速度検出器が検出したウエッブ状被蒸着材の走行速度Ｖを定常蒸着速度Ｖｔに達したと判定した場合、速度変更指令演算器は、ウエッブ状被蒸着材の走行速度Ｖを定常蒸着速度Ｖｔに保つように電動機に指令を出す。膜厚検出器の検出値とあらかじめ設定した目標膜厚との偏差△ｔを計算し、膜厚偏差△ｔを加熱電力変更量辺慙愧に送り、膜厚偏差△ｔに比例した加熱電力偏差△Ｐを計算し、過熱電力指令演算器に送る。加熱電力指令演算器は、加熱導入電力量Ｐに計算された電力偏差△Ｐを加算した新たな電力Ｐ＝（Ｐ＋△Ｐ）を加熱装置に送り、加熱電力を変更することにより蒸着膜厚を制御する。このようにして、蒸着開始速度から定常蒸着速度まで蒸着膜厚を均一に保つことができる。

本発明において用いられる蒸着材料を加熱蒸発させる加熱手段としては、カーボン製の坩堝に蒸着材料を所定の量投入し電磁誘導法により加熱する方法、抵抗体に電流を流し加熱する方法および電子ビームを直接蒸着材料に照射して加熱する方法などが挙げられるが、何れの方法も導入電力量Pを変更することにより、単位時間あたりの蒸発量を変更制御することができる。

蒸着膜厚を検出する手段としては、光透過（吸収）率計を用いる方法、渦電流計を用いる方法、蛍光X線測定器を用いる方法および光の干渉次数を用いる方法などがあるが、連続するウエッブ状被蒸着材の性質や蒸着材料の性質により最適なものを選び使用することができる。

また、蒸着材料としては、例えば、アルミニウム、銅、亜鉛、錫および銀等の金属材料や、酸化アルミニウム、酸化ケイ素、酸化亜鉛、酸化錫、酸化マグネシウムおよび酸化チタン等の酸化物などが挙げられる。

蒸着膜厚は、その蒸着膜厚が光を通す位の厚みの場合は、光学濃度計で光透過率を測定し、使用する製品の目的に応じて設定することができる。さらに蒸着膜厚が厚くなり、光の透過量が減った場合は、渦電流計で蒸着膜の抵抗値で蒸着膜厚を設定することができる。さらに蛍光Ｘ線計を使い、蒸着材料の元素量から蒸着膜厚を測定し、設定することも可能である。これらの方法を用い、好ましくは１００オングストローム〜３μｍまで用途に応じて蒸着膜厚を設定することができる。

本発明で用いられるウエッブ状被蒸着材としては、プラスチックフイルム、紙および布などが挙げられる。

プラスチックフイルムとしては、無延伸または少なくとも一方向に延伸されたポリエチレンテレフタレートフイルム、ポリエチレンナフタレートフイルム、ポリプロピレンフイルム、ポリアミドフイルム、ポリイミドフイルム、ポリフェニレンサルファイドフイルム、ポリカーボネートフイルム、およびそれらの共重合フイルムおよびポリマー同士をブレンドしたフイルムなどが挙げられる。また、これらのプラスチックフイルム少なくとも一方の面に樹脂がコーティングされていても良いし、コロナ放電処理やプラズマ処理がなされていてもかまわない。プラスチックフィルムの厚みは、通常０．５μｍから５００μｍの範囲がロール状に巻き取る上で好ましいが、各種プラスチックフイルムの特性により異なり、ロール状に巻き取ることが可能であれば、この厚み範囲を外れても適用可能である。また、紙や布も同様である。

本発明のウエッブ状被蒸着材の蒸着膜厚制御方法は、連続真空蒸着装置により、プラスチックフイルム、紙および布などの連続したウエッブ状被蒸着材に蒸着材料を真空蒸着させる際に適用される蒸着膜厚制御方法であり、得られた蒸着物は、食品用包装用フイルム、表示ラベル、熱線反射用フイルムおよび防湿用蒸着紙等に好適に用いられる。

以下、本発明のウエッブ状被蒸着材の蒸着膜厚制御方法を、実施例に基づき詳細に説明する。

（実施例１）
図１に示した構造の真空蒸着装置（ＵＬＶＡＣ社製巻取式真空蒸着装置ＥＷシリーズ）を用いた。

本発明の蒸着膜厚制御は、（ａ）蒸着を開始し、ウエッブ状被蒸着材の速度Ｖを蒸着開始時のウエッブ状被蒸着材の走行速度Ｖｓから定常蒸着速度Ｖｔまで加速する間と、（ｂ）ウエッブ状被蒸着材の速度Ｖが定常蒸着速度Ｖｔに達した後、定常蒸着速度Ｖｔの一定速度の２段階に分けて行った。

まず、ウエッブ状被蒸着材（東レ（株）製“ルミラー”（登録商標）Ｔ７０Ａ、厚み１２μｍ、幅２ｍ、長さ４００００ｍ）を真空蒸着機内にセットした後、真空ポンプにより真空槽内の真空度が３×１０^−２Ｐａ以下に下がったことを確認し、蒸着を開始した。着材料にはアルミニウムを使用した。（ａ）蒸着を開始し、ウエッブ状被蒸着材の速度ＶをＶｓ（５０ｍ／分）から蒸着定常速度Ｖｔ（５００ｍ／分）まで加速する間において、すなわち、ウエッブ状被蒸着材の速度Ｖが定常速度速度Ｖｔよりも低い場合、加熱電力指令演算器にあらかじめ設定した、すなわち１５秒間隔で加熱装置の電圧を１０Ｖから５Ｖステップであげるプログラムにしたがって、加熱装置の電力Ｐを階段状に上げていった。加熱装置の電力の上昇と共に、蒸着材料の蒸発量が増える。膜厚検出器の検出値とあらかじめ設定した目標膜厚（光学濃度で０．８）との偏差△ｔを計算し、膜厚偏差△ｔを速度変更量演算器に送り、膜厚偏差△ｔに比例した速度偏差△Ｖを計算し速度指令演算器送る。速度指令演算器は、ウエッブ状被蒸着材の速度Ｖに計算された速度偏差△Ｖを加算した新たなウエッブ状被蒸着材の速度Ｖ＝（Ｖ＋△Ｖ）を電動機に送り、ウエッブ状被蒸着材の速度Ｖを変更することにより蒸着膜厚を制御する。このステップを繰り返えすことにより、蒸着膜厚を一定に制御しつつ、加熱装置の電力Ｐの上昇に伴い、ウエッブ状被蒸着材の速度Ｖは上昇する。

（ｂ）速度偏差演算器により速度検出器が検出したウエッブ速度Ｖを定常蒸着速度Ｖｔ（５００ｍ／分）に達したと判定した場合、速度変更指令演算器は、ウエッブ状被蒸着材の速度ＶをＶｔ（５００ｍ／分）に保つように電動機に指令を出す。膜厚検出器の検出値とあらかじめ設定した目標膜厚との偏差△ｔを計算し、膜厚偏差△ｔを加熱電力変更量辺慙愧に送り、膜厚偏差△ｔに比例した加熱電力偏差△Ｐを計算し、過熱電力指令演算器に送る。加熱電力指令演算器は、加熱電力Ｐに計算された電力偏差△Ｐを加算した新たな電力Ｐ＝（Ｐ＋△Ｐ）を加熱装置に送り、加熱電力を変更することにより蒸着膜厚を制御した。この結果、図４に示すように、蒸着開始速度から定常蒸着速度まで蒸着膜厚を均一（０．８±０．１）に保つことができた。

（比較例１）
実施例１と同様に、図１に示した構造の真空蒸着装置（ＵＬＶＡＣ社製）を用いた。蒸着開始速度Ｖｓから定常蒸着速度Ｖｔに至るまで、膜厚検出器の検出値とあらかじめ設定した目標膜厚との偏差△ｔを計算し、膜厚偏差△ｔを加熱電力変更量演算器に送り、膜厚偏差△ｔに比例した加熱電力偏差△Ｐを計算し、過熱電力指令演算器に送った。加熱電力指令演算器は、加熱電力Ｐに計算された電力偏差△Ｐを加算した新たな電力Ｐ＝（Ｐ＋△Ｐ）を加熱装置に送り、加熱電力を変更することにより膜厚を制御した。まず、ウエッブ状被蒸着材（東レ（株）製“ルミラー”（登録商標）Ｔ７０Ａ、厚み１２μｍ、幅２ｍ、長さ４００００ｍ）を真空蒸着機内にセットした後、真空ポンプにより真空槽内の真空度が３×１０−２Ｐａ以下に下がったことを確認し、蒸着を開始した。蒸着開始速度Ｖｓ（５０ｍ／分）から毎分２０ｍ/分の一定の割合で速度を上げながら定常蒸着速度Ｖｔ（５００ｍ/分まで加速した。この結果、図５に示すように、蒸着速度上昇に坩堝からの蒸発量増加が追従せず、加速部分で蒸着膜厚が不均一になり、光学濃度の目標範囲（０．８±０．１）を外れた。

本発明のウエッブ状被蒸着材の蒸着膜厚制御方法は、連続するウエッブ状被蒸着材に対して蒸着材料を加熱して蒸着する際に、蒸着開始速度から定常蒸着速度に至る加速中に蒸着加工する部分から定常蒸着速度での蒸着加工に渡り、蒸着膜厚を均一に保つことができる方法であり、蒸着ロスを減少し生産性を向上させることができる。

図１は、本発明で用いられる真空蒸着装置を例示説明するための側面断面図である。 図２は、ウエッブ状被蒸着材の走行速度Ｖが、定常蒸着時の走行速度Ｖｔより低速度の間の制御方法を説明するための制御ブロック図である。 図３は、ウエッブ状被蒸着材の走行速度Ｖが、定常蒸着時の走行速度Ｖｔに達して後の制御方法を説明するための制御ブロック図である。 図４は、実施例１における蒸着膜厚の状態を示す図である。 図５は、比較例１における蒸着膜厚の状態を示す図である。

符号の説明

１ 真空槽
２ 巻出装置
３ 巻取装置
４ 冷却ロール
５ 搬送ロール
６ 坩堝（るつぼ）
７ 蒸着材料
８ 加熱装置
９ シャッター
１０ 電動機
１１ 速度検出器
１２ 蒸着膜厚検出器
１３ 蒸着膜厚制御装置
１４ ウエッブ状被蒸着材
１５ 真空ポンプ

Claims (2)

1. 減圧下で連続したウエッブ状被蒸着材の少なくとも一方の表面に蒸着材料を加熱蒸発させる加熱手段を用いて蒸着する真空蒸着装置において、前記ウエッブ状被蒸着材の表面上の蒸着膜厚を検出する蒸着膜厚検出手段と前記蒸着膜厚検出手段による検出値に基づいて蒸着膜厚を制御するに際し、前記ウエッブ状被蒸着材の走行速度が蒸着開始時から定常蒸着時の走行速度に達するまでの加速中の間は、蒸着材料を加熱蒸発させるための導入電力量を予め設定したプログラムにより段階的に上昇させながら、蒸着膜厚検出手段の検出値と目標膜厚の偏差から前記ウエッブ状被蒸着材の走行速度を制御することを特徴とするウエッブ状被蒸着材の蒸着膜厚制御方法。
2. ウエッブ状被蒸着材の走行速度が定常蒸着時の走行速度に達した後、前記ウエッブ状被蒸着材の走行速度を定常蒸着時の速度に保ちながら、蒸着膜厚検出手段の検出値と目標膜厚の偏差から導入電力量を制御することを特徴とする請求項１記載のウエッブ状被蒸着材の蒸着膜厚制御方法。

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