JP2008131025A5 - - Google Patents

Claims (8)

1. ウェーハ裏面の欠陥を検査するウェーハ裏面検査装置であって、
   ラインセンサを撮像素子として備える撮像手段と、
   暗視野照明となるようにウェーハ裏面の撮像部位を照明する照明手段と、
   前記撮像手段および前記照明手段とウェーハとの間を一定方向に相対移動させる移動手段と、
   ウェーハの略円形の中心を回転中心として回転させるウェーハ回転手段とから構成され、
   前記ウェーハ回転手段により互いに直交する２つの方向にウェーハを配置して、それぞれの方向のスキャン画像を撮像することを特徴とするウェーハ裏面検査装置。
2. 前記照明手段は、ライン状のライトガイドとシリンドリカルレンズとから構成されることを特徴とする請求項１に記載のウェーハ裏面検査装置。
3. 前記照明手段のライン状のライトガイドから拡散した照明光がシリンドカルレンズにより収束されて広角度で撮像手段の撮像位置に入射するようにライン状のライトガイドおよびシリンドリカルレンズが配置されていることを特徴とする請求項２に記載のウェーハ裏面検査装置。
4. （旧［請求項６］）
   前記移動手段は、ウェーハを保持して一定方向に移動させるリニアステージを備えることを特徴とする請求項１に記載のウェーハ裏面検査装置。
5. （旧［請求項７］）
   前記ウェーハ回転手段は、前記移動手段上に設けられていることを特徴とする請求項１に記載のウェーハ裏面検査装置。
6. （旧［請求項８］）
   前記ウェーハ回転手段は、ウェーハを載置するウェーハ回転台にリングギヤを設け、駆動源の出力軸と前記リングギヤを噛み合わせることによりウェーハを回転させることを特徴とする請求項５に記載のウェーハ裏面検査装置。
7. （旧［請求項９］）
   前記照明手段は、ウェーハに対する角度を変更可能に構成されていることを特徴とする請求項１に記載のウェーハ裏面検査装置。
8. （旧［請求項１０］）
   ウェーハ裏面を複数の領域に分割し、それぞれの領域を照明する照明手段と対応する領域を撮像する撮像手段とを設けたことを特徴とする請求項１に記載のウェーハ裏面検査装置。