JP2008122145A - Probe alignment method, movable probe unit mechanism, and inspection device - Google Patents

Probe alignment method, movable probe unit mechanism, and inspection device Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To easily align a probe assembly with a liquid crystal panel. <P>SOLUTION: A method includes: a probe alignment step of placing the liquid crystal panel at a set position and aligning a probe with an electrode by moving the probe assembly independently of the other probe assemblies while photographing the probe 6 of the probe assembly 5 and the electrode of the crystal panel; a maintaining step of maintaining a relative position of the probe assembly to a base plate with the probe aligned with the electrode in the alignment step; a reference position determination step of determining a reference position of the crystal panel by photographing an alignment mark of the crystal panel after the alignment while moving the photographing means; and a normal alignment step of aligning the probe with an electrode of a new inspecting object plate by aligning an alignment mark of the new object plate with the determined reference position. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、液晶表示パネルのような検査対象板の点灯検査等のために、プローブと電極とを位置合わせして接触させるプローブ位置合わせ方法及び可動式プローブユニット機構並びに検査装置に関する。   The present invention relates to a probe alignment method, a movable probe unit mechanism, and an inspection apparatus for aligning and contacting a probe and an electrode for lighting inspection of an inspection target plate such as a liquid crystal display panel.
液晶パネルの製造工程における検査の1つに、セル工程の最終検査で、液晶を封入した液晶パネルの点灯検査がある。この点灯検査は、液晶パネルを点灯させてテストパターンを表示させ、液晶パネルの動作状態を確認する検査がある。この点灯検査では、色度、色むら、コントラスト等の検査を行う。   One of inspections in the manufacturing process of a liquid crystal panel is a lighting inspection of a liquid crystal panel in which liquid crystal is enclosed in a final inspection in a cell process. In this lighting inspection, there is an inspection in which the liquid crystal panel is turned on to display a test pattern and the operation state of the liquid crystal panel is confirmed. In this lighting inspection, inspections such as chromaticity, color unevenness, and contrast are performed.
この点灯検査に使用する検査装置には、CCDカメラを使用してテストパターンを検査する自動検査装置と、人間が目視で検査する目視検査装置がある。   The inspection devices used for the lighting inspection include an automatic inspection device that inspects a test pattern using a CCD camera and a visual inspection device that is visually inspected by a human.
このような液晶パネルの検査装置の一つに、検査を受ける液晶パネルが配置される検査ステージに、検査のための複数の接触子ユニットを設けたものがある。   One of such inspection apparatuses for liquid crystal panels is one in which a plurality of contact units for inspection are provided on an inspection stage on which a liquid crystal panel to be inspected is arranged.
複数の接触子ユニットは、検査時にそれらの接触子が検査ステージのパネル受け上の液晶パネルの電極に接触することにより、通電回路からの検査信号を表示パネルへ供給する。   The plurality of contact units supply an inspection signal from the energization circuit to the display panel when the contacts come into contact with the electrodes of the liquid crystal panel on the panel receiver of the inspection stage at the time of inspection.
また、検査に先立つパネル受けへの表示パネルの配置及び検査後のパネル受けからの表示パネルの取り出し時には、各接触子ユニットは、表示パネルの配置領域から後退する。   Further, when the display panel is arranged on the panel receiver prior to the inspection and the display panel is taken out of the panel receiver after the inspection, each contact unit is retracted from the display panel arrangement area.
これにより、多数の接触子ユニットが表示パネルのパネル受けへの配置およびその取り出しの妨げになることはなく、表示パネルの取扱が円滑に行える(特許文献1)。   Thereby, a large number of contact unit units do not hinder the arrangement and removal of the display panel from the panel receiver, and the display panel can be handled smoothly (Patent Document 1).
また、従来、大きさの異なる表示パネルに対しては、表示パネル専用の検査ステージおよびプローブユニットを設置する必要があったが、大きさの異なる表示パネルのサイズに合わせて、開口部を調整することにより新たな専用の検査ステージおよびプローブユニットを設置する必要をなくした装置も見られる(特許文献2)。
特開2002−350485号公報 特開2002−91336号公報
Conventionally, for display panels having different sizes, it has been necessary to install an inspection stage and a probe unit dedicated to the display panel. However, the opening is adjusted according to the size of the display panel having a different size. Thus, there is also an apparatus that eliminates the need to install a new dedicated inspection stage and probe unit (Patent Document 2).
JP 2002-350485 A JP 2002-91336 A
この従来のプローブユニットでは、各コンタクトユニットにモータ及び配線を取り付けてコンタクトユニットを駆動させていたため、配線の本数が多くなってしまう。この場合、配線が引き回されるスペースを確保する必要があるため、広い作業スペースを確保することが困難であった。   In this conventional probe unit, since the motor and wiring are attached to each contact unit and the contact unit is driven, the number of wirings increases. In this case, since it is necessary to secure a space around which the wiring is routed, it is difficult to secure a wide working space.
また、プローブと液晶パネルの電極との位置合わせにおいて、複数のプローブブロックが一体となったコンタクトユニットの単位でしかプローブと各電極との位置合わせをすることができない。そのため、バックライトの熱による液晶パネルの熱膨張に対して、各プローブの各電極に対するずれを確実に吸収することはできない。   Further, in the alignment of the probe and the electrode of the liquid crystal panel, the probe and each electrode can be aligned only in the unit of the contact unit in which a plurality of probe blocks are integrated. Therefore, the displacement of each probe with respect to each electrode cannot be reliably absorbed with respect to the thermal expansion of the liquid crystal panel due to the heat of the backlight.
さらに、同じコンタクトユニット内に複数のプローブブロックが搭載されている場合は、各プローブブロック間の相対位置を調整することができないため、液晶パネルの品種(各電極の配置位置)が変わると、各プローブと各電極との適切な位置合わせをすることが困難となる。   Furthermore, when multiple probe blocks are mounted in the same contact unit, the relative position between the probe blocks cannot be adjusted. Therefore, if the LCD panel type (positioning position of each electrode) changes, It becomes difficult to properly align the probe and each electrode.
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたもので、検査対象板の熱膨張を許容してプローブと電極との位置合わせを容易に行うことができるプローブ位置合わせ方法及び可動式プローブユニット機構並びに検査装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such problems, and a probe alignment method and a movable probe unit mechanism capable of easily aligning the probe and the electrode while allowing thermal expansion of the inspection object plate. An object of the present invention is to provide an inspection apparatus.
本発明に係るプローブ位置合わせ方法は、前記課題を解決するためになされたもので、検査対象板の検査を行うプローブユニットのベース板に対して移動可能に支持された複数のプローブ組立体と、前記ベース板に対して前記各プローブ組立体と平行に移動可能に支持された撮影手段とによって、前記検査対象板の電極と前記各プローブ組立体のプローブとの位置合わせを行うプローブ位置合わせ方法であって、前記検査対象板を設定位置に設置して、前記撮影手段を適宜移動させて当該撮影手段で前記プローブ組立体のプローブ及び前記検査対象板の電極を撮影しながら、当該プローブ組立体を他のプローブ組立体から独立して移動させることにより、当該プローブと前記電極との位置合わせを行うプローブ位置合わせ工程と、当該プローブ位置合わせ工程で前記プローブと電極との位置合わせをした状態で前記プローブ組立体の前記ベース板に対する相対位置を保持する保持工程と、前記撮影手段を移動させて前記位置合わせ後の検査対象板のアライメントマークを当該撮影手段で撮影して前記位置合わせされた検査対象板の基準位置を特定する基準位置特定工程と、当該基準位置特定工程により特定した前記基準位置に新たな検査対象板のアライメントマークを合わせることで前記プローブと前記新たな検査対象板の電極の位置合わせを行う通常位置合わせ工程とを含んで構成されたことを特徴とする。   A probe alignment method according to the present invention is made in order to solve the above problems, and a plurality of probe assemblies supported movably with respect to a base plate of a probe unit that inspects an inspection target plate; A probe alignment method for aligning an electrode of the inspection object plate and a probe of each probe assembly by an imaging unit supported so as to be movable in parallel with each probe assembly with respect to the base plate. The inspection target plate is placed at a set position, the imaging unit is moved as appropriate, and the probe assembly is photographed while imaging the probe of the probe assembly and the electrode of the inspection target plate with the imaging unit. A probe alignment step for aligning the probe and the electrode by moving the probe independently of the other probe assembly; and the probe A holding step of holding the relative position of the probe assembly with respect to the base plate in a state in which the probe and the electrode are aligned in the alignment step; and moving the imaging means to move the imaging target plate after the alignment A reference position specifying step for picking up an alignment mark by the photographing means and specifying the reference position of the aligned inspection target plate, and a new alignment mark for the inspection target plate at the reference position specified by the reference position specifying step And a normal alignment step of aligning the electrodes of the probe and the new inspection target plate by combining them.
前記構成により、プローブ位置合わせ工程では、前記撮影手段で前記プローブ組立体のプローブ及び前記検査対象板の電極を撮影しながら、当該プローブ組立体を移動させることにより、当該プローブと前記電極との位置合わせを行う。保持工程で、位置合わせ後の前記プローブ組立体を前記ベース板に保持する。1つのプローブ組立体の位置合わせが終わると、前記撮影手段を次のプローブ組立体に移動して前記同様にして次のプローブ組立体の位置合わせを行う。これを繰り返して全てのプローブ組立体の位置合わせを行う。次いで、基準位置特定工程では、位置合わせ後の検査対象板に対して前記撮影手段を移動させてアライメントマークを撮影し、この状態で撮影手段を固定して、撮影したアライメントマークの位置を、前記位置合わせされた検査対象板の基準位置として特定する。次いで、通常位置合わせ工程で、2枚目以降の検査に際して位置合わせを行う。新たな検査対象板を検査する場合、前記基準位置に新たな検査対象板のアライメントマークを合わせて、前記プローブと前記新たな検査対象板の電極の位置を合わせる。   With the above configuration, in the probe alignment step, the position of the probe and the electrode is moved by moving the probe assembly while imaging the probe of the probe assembly and the electrode of the inspection target plate by the imaging unit. Align. In the holding step, the aligned probe assembly is held on the base plate. When the alignment of one probe assembly is completed, the imaging means is moved to the next probe assembly and the next probe assembly is aligned in the same manner as described above. This is repeated to align all probe assemblies. Next, in the reference position specifying step, the imaging means is moved with respect to the inspection target plate after alignment, and the alignment mark is imaged. In this state, the imaging means is fixed, and the position of the imaged alignment mark is determined. It is specified as the reference position of the aligned inspection target plate. Next, in the normal alignment process, alignment is performed for the second and subsequent inspections. When inspecting a new inspection target plate, the alignment mark of the new inspection target plate is aligned with the reference position, and the positions of the probe and the electrode of the new inspection target plate are aligned.
前記プローブ位置合わせ工程においては、前記撮影手段と位置合わせ対象の前記プローブ組立体とを互いに連結して同時に移動させて、当該プローブ組立体のプローブと前記検査対象板の電極との位置合わせを行うことが望ましい。   In the probe alignment step, the imaging means and the probe assembly to be aligned are connected to each other and simultaneously moved to align the probe of the probe assembly and the electrode of the inspection object plate. It is desirable.
本発明に係る可動式プローブユニット機構は、先端でプローブを支持して当該プローブを検査対象板の電極と接触させる複数のプローブ組立体と、当該プローブ組立体のプローブ及び前記検査対象板の電極等を撮影する撮影手段と、前記検査対象板の検査を行うプローブユニットのベース板に対して前記各プローブ組立体を、それぞれ独立して移動可能にかつ前記撮影手段に対しても独立して移動可能に支持して前記検査対象板の電極と前記各プローブ組立体のプローブとの位置合わせを行うプローブ組立体スライド機構と、前記ベース板に対して前記撮影手段を、前記プローブ組立体のスライド方向と平行に移動可能に支持して、前記プローブ及び電極等の位置に適宜移動させる撮影手段スライド機構と、当該撮影手段スライド機構に移動可能に支持された前記撮影手段に連結して当該撮影手段を適宜移動させる移動機構と、前記検査対象板の電極と前記各プローブ組立体のプローブとの位置合わせをした状態で当該プローブ組立体の前記ベース板に対する相対位置を保持するロック機構とを備えて構成されたことを特徴とする。   The movable probe unit mechanism according to the present invention includes a plurality of probe assemblies that support a probe at a tip and bring the probe into contact with an electrode of an inspection target plate, a probe of the probe assembly, an electrode of the inspection target plate, and the like The probe assembly can be moved independently with respect to the imaging means for taking images and the base plate of the probe unit for inspecting the inspection object plate, and can also be moved independently with respect to the imaging means. A probe assembly slide mechanism for positioning the electrodes of the inspection target plate and the probes of the probe assemblies, and the imaging means with respect to the base plate, and a slide direction of the probe assembly. An imaging means slide mechanism that is supported so as to be movable in parallel and appropriately moved to the position of the probe, electrode, etc., and moved to the imaging means slide mechanism The probe assembly in a state in which the moving mechanism is connected to the imaging means supported by the function, and the imaging means is appropriately moved, and the electrode of the inspection object plate and the probe of each probe assembly are aligned. And a lock mechanism that holds a relative position with respect to the base plate.
前記構成により、前記プローブ組立体スライド機構で、前記各プローブ組立体をそれぞれ独立して移動させて当該プローブ組立体のプローブを前記検査対象板の電極に位置合わせする。このとき、前記撮影手段スライド機構に移動可能に支持された前記撮影手段を前記移動機構で、前記プローブ及び電極等の位置に適宜移動させて、前記プローブ及び電極等を撮影しながら、前記プローブ組立体スライド機構で前記プローブ組立体をスライドさせてプローブと電極との位置合わせを行う。位置合わせ終了後は、前記ロック機構で、プローブ組立体を前記ベース板に保持する。   With the above configuration, the probe assembly slide mechanism moves the probe assemblies independently to align the probes of the probe assemblies with the electrodes of the inspection target plate. At this time, while moving the imaging unit supported movably on the imaging unit slide mechanism to the position of the probe and the electrode, etc. with the moving mechanism, The probe assembly is slid by a three-dimensional slide mechanism to align the probe and the electrode. After the alignment is completed, the probe assembly is held on the base plate by the lock mechanism.
前記撮影手段で前記プローブ組立体のプローブと前記検査対象板の電極とを撮影する際には、当該プローブ組立体及び撮影手段を互いに連結して当該撮影手段を移動させることで前記プローブの位置を調整する連結手段を備えることが望ましい。   When imaging the probe of the probe assembly and the electrode of the inspection target plate by the imaging means, the probe assembly and the imaging means are connected to each other and the imaging means is moved to move the position of the probe. It is desirable to provide connecting means for adjusting.
前記連結手段は、前記プローブ組立体又は撮影手段に設けられたガイド穴に嵌合するロッドと、前記撮影手段又はプローブ組立体に設けられて前記ロッドを出没させる出没機構とを備えて構成されることが望ましい。   The connecting means includes a rod that fits into a guide hole provided in the probe assembly or the imaging means, and a retracting mechanism that is provided in the imaging means or the probe assembly and causes the rod to protrude and retract. It is desirable.
前記ロック機構は、前記出没機構から延出された前記ロッドが前記ガイド穴に嵌合することで解除され、引き抜かれることでロックされることが望ましい。   It is desirable that the lock mechanism is released when the rod extended from the retracting mechanism is fitted into the guide hole and is locked by being pulled out.
前記撮影手段は、CCDまたはCMOSからなるイメージセンサを有するカメラを備えて構成され、前記検査対象板は液晶表示板であることが望ましい。   Preferably, the photographing means includes a camera having an image sensor made of CCD or CMOS, and the inspection object plate is a liquid crystal display plate.
前記ベース板は、複数の枠板から構成されて、品種の違う検査対象板の異なる寸法に応じて、前記各枠板を移動させて前記検査対象板の寸法に調整するための可動枠機構を備えて構成されることが望ましい。   The base plate is composed of a plurality of frame plates, and a movable frame mechanism for adjusting the size of the inspection target plate by moving each frame plate according to different dimensions of the inspection target plates of different varieties. It is desirable to be prepared.
本発明に係る検査装置は、プローブ組立体のプローブを検査対象板の電極に接触させて検査を行う検査装置であって、前記プローブ組立体のプローブと前記検査対象板の電極とを互いに位置合わせするための機構として、前記可動式プローブユニット機構を備えたことを特徴とする。   An inspection apparatus according to the present invention is an inspection apparatus that performs inspection by bringing a probe of a probe assembly into contact with an electrode of an inspection target plate, and aligns the probe of the probe assembly and the electrode of the inspection target plate with each other. As a mechanism for this, the movable probe unit mechanism is provided.
この構成により、前記可動式プローブユニット機構と同様に作用して、前記検査対象板を検査する。   With this configuration, the plate to be inspected is inspected in the same manner as the movable probe unit mechanism.
以上のように、本発明によれば、次のような効果を奏することができる。   As described above, according to the present invention, the following effects can be obtained.
前記プローブ位置合わせ工程で、前記プローブと前記電極との位置合わせを行い、保持工程で、前記プローブ組立体を前記ベース板に保持し、基準位置特定工程で、検査対象板の基準位置を特定し、通常位置合わせ工程で、前記プローブと前記新たな検査対象板の電極の位置を合わせるため、前記検査対象板に対して前記プローブ組立体を容易に位置合わせさせることができる。   In the probe alignment step, the probe and the electrode are aligned, in the holding step, the probe assembly is held on the base plate, and in the reference position specifying step, the reference position of the inspection target plate is specified. In the normal alignment step, the probe assembly can be easily aligned with the inspection target plate because the probe and the electrode of the new inspection target plate are aligned.
また、前記プローブ組立体スライド機構で、前記プローブ組立体のプローブを前記検査対象板の電極に位置合わせし、前記撮影手段で前記プローブ及び電極等を撮影しながら、前記プローブ組立体スライド機構で位置合わせし、前記ロック機構で、プローブ組立体を前記ベース板に保持するため、前記検査対象板に対して前記プローブ組立体を容易に位置合わせさせることができる。   Further, the probe assembly slide mechanism is used to align the probe of the probe assembly with the electrode of the inspection object plate, and to position the probe assembly slide mechanism while photographing the probe and the electrode with the photographing means. In addition, since the probe assembly is held on the base plate by the lock mechanism, the probe assembly can be easily aligned with the inspection target plate.
以下、本発明の実施形態に係る可動式プローブユニット機構を備えた検査装置及び可動式プローブユニット機構を用いたプローブ位置合わせ方法について、添付図面を参照しながら説明する。なおここでは、検査対象板として液晶パネルを例に説明する。また、検査装置は、液晶パネルの点灯検査を行う装置として説明する。点灯検査を行う検査装置の全体構成は上述した従来の検査装置とほぼ同様であるため、ここでは本発明の特徴部分である、検査装置に組み込まれる可動式プローブユニット機構及びこの可動式プローブユニット機構を用いたプローブ位置合わせ方法を中心に説明する。   Hereinafter, an inspection apparatus including a movable probe unit mechanism and a probe alignment method using the movable probe unit mechanism according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. Here, a liquid crystal panel will be described as an example of the inspection target plate. The inspection apparatus will be described as an apparatus for inspecting lighting of a liquid crystal panel. Since the entire configuration of the inspection apparatus that performs the lighting inspection is substantially the same as that of the conventional inspection apparatus described above, here, the movable probe unit mechanism incorporated in the inspection apparatus and the movable probe unit mechanism, which are features of the present invention, are described here. A probe alignment method using the above will be mainly described.
可動式プローブユニット機構1は、検査を行うために前記液晶パネルの電極と各後述するプローブ組立体のプローブとの位置合わせをしてこれらを互いに接触させる装置である。この可動式プローブユニット機構1は、検査装置のフレーム側に固定されて取り付けられている。具体的には図2に示すように、検査装置側のワークテーブル2に面した位置に取り付けられている。   The movable probe unit mechanism 1 is a device that aligns the electrodes of the liquid crystal panel and the probes of the probe assemblies described later and makes them contact each other for inspection. The movable probe unit mechanism 1 is fixedly attached to the frame side of the inspection apparatus. Specifically, as shown in FIG. 2, it is attached at a position facing the work table 2 on the inspection apparatus side.
ワークテーブル2は、液晶パネル3を直接支持するための部材である。ワークテーブル2上には、液晶パネル3の周縁部に当接してこの液晶パネル3をワークテーブル2上に正確に位置決めするためのストッパとプッシャー(いずれも図示せず)が設けられている。液晶パネル3は、ワークテーブル2上に載置される際に、まず液晶パネル3の周縁部がストッパに当接されて、このストッパと対向する位置に設けられたプッシャーで液晶パネル3の反対側の周縁部を押して支持される。ワークテーブル2は、検査装置内のXYZθステージ(図示せず)に取り付けられている。このXYZθステージによって、ワークテーブル2に支持された液晶パネル3の位置が微調整されるようになっている。具体的には、液晶パネル3の電極4と、プローブ組立体5のプローブ6とが互いに整合するように(図7の状態になるように)、ワークテーブル2に支持された液晶パネル3の位置がXYZθステージで微調整される。   The work table 2 is a member for directly supporting the liquid crystal panel 3. On the work table 2, there are provided stoppers and pushers (both not shown) for contacting the periphery of the liquid crystal panel 3 and accurately positioning the liquid crystal panel 3 on the work table 2. When the liquid crystal panel 3 is placed on the work table 2, the peripheral edge of the liquid crystal panel 3 is first brought into contact with the stopper, and a pusher provided at a position facing the stopper is opposite to the liquid crystal panel 3. It is supported by pushing the peripheral part of. The work table 2 is attached to an XYZθ stage (not shown) in the inspection apparatus. The position of the liquid crystal panel 3 supported by the work table 2 is finely adjusted by the XYZθ stage. Specifically, the position of the liquid crystal panel 3 supported by the work table 2 so that the electrode 4 of the liquid crystal panel 3 and the probe 6 of the probe assembly 5 are aligned with each other (as shown in FIG. 7). Are finely adjusted on the XYZθ stage.
ワークテーブル2の内側(図2中の下側)には、バックライト7が設けられている。このバックライト7は、点灯検査において液晶パネル3をその内側から点灯するための装置である。バックライト7は具体的には、複数本配設された蛍光管8と、各蛍光管8を収納する筐体9と、ワークテーブル2に組み込まれた導光板10及び拡散板11とから構成されている。   A backlight 7 is provided inside the work table 2 (lower side in FIG. 2). The backlight 7 is a device for lighting the liquid crystal panel 3 from the inside in the lighting test. Specifically, the backlight 7 includes a plurality of fluorescent tubes 8, a housing 9 that houses each fluorescent tube 8, a light guide plate 10 and a diffusion plate 11 that are incorporated in the work table 2. ing.
可動式プローブユニット機構1は、図1〜5に示すように、ベース板15と、前記プローブ組立体5と、プローブ組立体スライド機構17と、ロック機構18と、撮影手段19と、撮影手段スライド機構20と、移動機構21とから構成されている。   As shown in FIGS. 1 to 5, the movable probe unit mechanism 1 includes a base plate 15, the probe assembly 5, a probe assembly slide mechanism 17, a lock mechanism 18, an imaging unit 19, and an imaging unit slide. A mechanism 20 and a moving mechanism 21 are included.
ベース板15は、可動式プローブユニット機構1の全体を支持する基板である。このベース板15は、検査装置のフレーム側に固定されている。ベース板15は、その中央に四角形の開口15Aを備えた四角形板状に形成されている。プローブ組立体5等は、このベース板15の上側面にそれぞれ取り付けられている。   The base plate 15 is a substrate that supports the entire movable probe unit mechanism 1. The base plate 15 is fixed to the frame side of the inspection apparatus. The base plate 15 is formed in a square plate shape having a square opening 15A at the center thereof. The probe assembly 5 and the like are respectively attached to the upper side surface of the base plate 15.
プローブ組立体5は、プローブ6を支持するための部材である。プローブ組立体5は、その先端でプローブ6を支持した状態で、ベース板15に移動可能に支持されている。プローブ組立体5は、ベース板15に移動可能に支持されて、プローブ6を液晶パネル3の電極4に接触させる。このプローブ組立体5は、ベース板15の短辺側に4個、長辺側に5個設けられている。プローブ組立体5の基端部には、撮影手段19の連結機構37の連結ロッド39が嵌合するガイド穴5Aが設けられている。ガイド穴5Aには、テーパが施されて、連結ロッド39が嵌合しやすいようになっている。   The probe assembly 5 is a member for supporting the probe 6. The probe assembly 5 is movably supported by the base plate 15 with the probe 6 supported at its tip. The probe assembly 5 is movably supported by the base plate 15 and brings the probe 6 into contact with the electrode 4 of the liquid crystal panel 3. Four probe assemblies 5 are provided on the short side of the base plate 15 and five on the long side. A guide hole 5 </ b> A into which the connecting rod 39 of the connecting mechanism 37 of the photographing means 19 is fitted is provided at the base end portion of the probe assembly 5. The guide hole 5A is tapered so that the connecting rod 39 can be easily fitted.
プローブ組立体スライド機構17は、前記ベース板15に対して前記各プローブ組立体5を移動可能に支持するための装置である。プローブ組立体スライド機構17は、各プローブ組立体5をそれぞれ独立して移動可能にかつ前記撮影手段19に対しても独立して移動可能に支持している。これにより、プローブ組立体スライド機構17は、プローブ組立体5を適宜移動させて、前記液晶パネル3の電極4と前記各プローブ組立体5のプローブ6との位置合わせを行う。プローブ組立体スライド機構17は具体的には、プローブレール25と、このプローブレール25にスライド可能に取り付けられるプローブガイド26とから構成されている。   The probe assembly slide mechanism 17 is an apparatus for movably supporting the probe assemblies 5 with respect to the base plate 15. The probe assembly slide mechanism 17 supports the probe assemblies 5 so that they can be moved independently of each other and also independently of the photographing means 19. As a result, the probe assembly slide mechanism 17 moves the probe assembly 5 appropriately to align the electrodes 4 of the liquid crystal panel 3 with the probes 6 of the probe assemblies 5. Specifically, the probe assembly slide mechanism 17 includes a probe rail 25 and a probe guide 26 slidably attached to the probe rail 25.
プローブレール25は、ベース板15の開口15Aの縁部に、当該縁部に沿って配設されている。プローブレール25は、開口15Aの短辺側と長辺側に隣り合ってそれぞれ設けられている。具体的には、短辺側の対向する2つの辺のうちの一方と、長辺側の対向する2つの辺のうちの一方とにそれぞれ設けられている。   The probe rail 25 is disposed at the edge of the opening 15A of the base plate 15 along the edge. The probe rail 25 is provided adjacent to the short side and the long side of the opening 15A. Specifically, it is provided on one of the two opposing sides on the short side and one of the two opposing sides on the long side.
プローブガイド26は、各プローブ組立体5にそれぞれ取り付けられた状態で、プローブレール25にスライド可能に嵌合されて、各プローブ組立体5をベース板15側にスライド可能に支持している。   The probe guide 26 is slidably fitted to the probe rail 25 in a state where it is attached to each probe assembly 5, and supports each probe assembly 5 to be slidable on the base plate 15 side.
ロック機構18は、プローブ組立体5の前記ベース板15に対する相対位置を保持するための装置である。このロック機構18は、前記液晶パネル3の電極4と前記各プローブ組立体5のプローブ6との位置合わせをした状態でこのプローブ組立体5の前記ベース板15に対する相対位置が保持される。ロック機構18は、プローブガイド26に組み込まれて、このプローブガイド26をプローブレール25に固定し、固定解除する。ロック機構18は具体的には、図8に示すように、電磁ロック部28と、この電磁ロック部28を作動するスイッチ29とから構成される。電磁ロック部28は電磁ソレノイド30で構成されている。電磁ソレノイド30は、この電磁ソレノイド30から出没する固定ピン31を備え、この固定ピン31が延出されて、プローブレール25に圧接することで、プローブガイド26をプローブレール25に固定する。なお、電磁ロック部28としては、電磁石で構成される場合もある。この場合は、プローブガイド26に電磁石組み込まれ、この電磁石に通電されることで、この電磁石がプローブレール25に吸着してプローブガイド26をプローブレール25に固定する。   The lock mechanism 18 is a device for maintaining the relative position of the probe assembly 5 with respect to the base plate 15. The lock mechanism 18 maintains the relative position of the probe assembly 5 with respect to the base plate 15 in a state where the electrode 4 of the liquid crystal panel 3 and the probe 6 of each probe assembly 5 are aligned. The lock mechanism 18 is incorporated in the probe guide 26 and fixes the probe guide 26 to the probe rail 25 to release the lock. Specifically, as shown in FIG. 8, the lock mechanism 18 includes an electromagnetic lock portion 28 and a switch 29 that operates the electromagnetic lock portion 28. The electromagnetic lock unit 28 includes an electromagnetic solenoid 30. The electromagnetic solenoid 30 includes a fixing pin 31 that protrudes and protrudes from the electromagnetic solenoid 30, and the fixing pin 31 extends and presses against the probe rail 25 to fix the probe guide 26 to the probe rail 25. The electromagnetic lock unit 28 may be composed of an electromagnet. In this case, an electromagnet is incorporated in the probe guide 26, and the electromagnet is energized, whereby the electromagnet is attracted to the probe rail 25 and the probe guide 26 is fixed to the probe rail 25.
スイッチ29は、プローブ組立体5の基端部のガイド穴5A内に設けられている。これにより、ガイド穴5Aに連結機構37の連結ロッド39が嵌合することで、スイッチ29が切れて、プローブガイド26のプローブレール25に対する固定が解除されるようになっている。また、ガイド穴5Aから連結ロッド39を引き抜くことで、スイッチ29が入って、プローブガイド26がプローブレール25に固定されるようになっている。   The switch 29 is provided in the guide hole 5 </ b> A at the proximal end portion of the probe assembly 5. Thereby, when the connecting rod 39 of the connecting mechanism 37 is fitted into the guide hole 5A, the switch 29 is cut off, and the probe guide 26 is released from being fixed to the probe rail 25. Further, by pulling out the connecting rod 39 from the guide hole 5A, the switch 29 is turned on so that the probe guide 26 is fixed to the probe rail 25.
撮影手段19は、前記プローブ組立体5のプローブ6及び前記液晶パネル3の電極4等を撮影して位置の調整をするためのアライメントユニットである。この撮影手段19は、基端ブロック部33と、延出板部34と、アライメントカメラ部35とから構成されている。基端ブロック部33は、撮影手段スライド機構20に支持されて撮影手段19全体を移動可能に支持ための材料である。この基端ブロック部33には、移動機構21の移動ナット部45が設けられている。さらに、基端ブロック部33には、連結機構37が設けられている。この連結機構37は、撮影手段19でプローブ組立体5のプローブ6と液晶パネル3の電極4とを撮影して位置合わせする際に、このプローブ組立体5及び撮影手段19を互いに一体的に連結して、この撮影手段19を移動させることで前記プローブ6の位置を調整するための連結手段である。この連結機構37は、シリンダ38と、連結ロッド39とから構成されている。シリンダ38は、連結ロッド39を出没させるための出没機構である。このシリンダ38は、油圧式、空気圧式、電動式等のアクチュエータで構成され、連結ロッド39を出没させる。連結ロッド39は、プローブ組立体5のガイド穴5Aに嵌合してプローブ組立体5と撮影手段19とを連結するための部材である。連結ロッド39は、シリンダ38に支持された状態で延出されてガイド穴5Aに嵌合することで、プローブ組立体5と撮影手段19とが一体となって移動するように連結される。さらに、連結ロッド39がガイド穴5Aに嵌合することでスイッチ29がオフされ、抜き取られることでスイッチ29がオンされるようになっている。   The photographing means 19 is an alignment unit for photographing the probe 6 of the probe assembly 5 and the electrode 4 of the liquid crystal panel 3 to adjust the position. The photographing means 19 includes a proximal end block portion 33, an extension plate portion 34, and an alignment camera portion 35. The proximal end block 33 is a material that is supported by the photographing means slide mechanism 20 to support the whole photographing means 19 so as to be movable. The proximal block portion 33 is provided with a moving nut portion 45 of the moving mechanism 21. Further, the base end block portion 33 is provided with a connecting mechanism 37. The connecting mechanism 37 integrally connects the probe assembly 5 and the imaging means 19 to each other when the imaging means 19 images and aligns the probe 6 of the probe assembly 5 and the electrode 4 of the liquid crystal panel 3. Then, it is a connecting means for adjusting the position of the probe 6 by moving the photographing means 19. The connection mechanism 37 includes a cylinder 38 and a connection rod 39. The cylinder 38 is a retracting mechanism for retracting the connecting rod 39. The cylinder 38 is constituted by an actuator such as a hydraulic type, a pneumatic type, and an electric type, and causes the connecting rod 39 to appear and retract. The connecting rod 39 is a member that fits into the guide hole 5 </ b> A of the probe assembly 5 to connect the probe assembly 5 and the imaging means 19. The connecting rod 39 is extended so as to be supported by the cylinder 38 and is fitted into the guide hole 5A, so that the probe assembly 5 and the imaging means 19 are connected so as to move together. Furthermore, the switch 29 is turned off when the connecting rod 39 is fitted into the guide hole 5A, and the switch 29 is turned on when the connecting rod 39 is removed.
延出板部34は、プローブ組立体5の上側に延出して設けられ、プローブ組立体5のプローブ6に面する位置まで延ばされている。アライメントカメラ部35は、液晶パネル3の電極4とプローブ組立体5のプローブ6とを撮影するためのカメラである(図7参照)。このアライメントカメラ部35は、CCDまたはCMOSからなるイメージセンサを有するカメラを備えて構成されている。アライメントカメラ部35で、電極4とプローブ6が撮影されて、これらの位置合わせがなされる。さらに、アライメントカメラ部35は、液晶パネル3のアライメントマーク3Aも撮影して、この液晶パネル3の位置合わせを行う。   The extension plate portion 34 is provided to extend above the probe assembly 5 and extends to a position facing the probe 6 of the probe assembly 5. The alignment camera unit 35 is a camera for photographing the electrode 4 of the liquid crystal panel 3 and the probe 6 of the probe assembly 5 (see FIG. 7). The alignment camera unit 35 includes a camera having an image sensor made of a CCD or a CMOS. The alignment camera unit 35 takes an image of the electrode 4 and the probe 6 and aligns them. Further, the alignment camera unit 35 photographs the alignment mark 3 </ b> A of the liquid crystal panel 3 and aligns the liquid crystal panel 3.
撮影手段スライド機構20は、前記ベース板15に対して前記撮影手段19を、前記プローブ組立体5のスライド方向と平行に移動可能に支持して、前記プローブ6及び電極4の位置やアライメントマーク3Aの位置に適宜移動させるための機構である。この撮影手段スライド機構20は、撮影手段レール41と、この撮影手段レール41にスライド可能に取り付けられる撮影手段ガイド42とから構成されている。   The photographing means slide mechanism 20 supports the photographing means 19 with respect to the base plate 15 so as to be movable in parallel with the sliding direction of the probe assembly 5, and positions of the probe 6 and the electrode 4 and alignment marks 3A. It is a mechanism for appropriately moving to the position. The photographing means slide mechanism 20 includes a photographing means rail 41 and a photographing means guide 42 that is slidably attached to the photographing means rail 41.
撮影手段レール41は、ベース板15の開口15Aの縁部に、前記プローブレール25と隣り合って平行に配設されている。即ち、撮影手段レール41は、前記ベース板15の開口15Aの縁部に沿って直交する方向に2つ設けられている。   The imaging means rail 41 is disposed adjacent to and parallel to the probe rail 25 at the edge of the opening 15 </ b> A of the base plate 15. That is, two photographing means rails 41 are provided in a direction orthogonal to the edge of the opening 15A of the base plate 15.
撮影手段ガイド42は、撮影手段19に取り付けられた状態で、撮影手段レール41にスライド可能に嵌合されて、撮影手段19をベース板15側にスライド可能に支持している。これにより、撮影手段19は、プローブ組立体5の移動方向と平行に移動する。   The photographing means guide 42 is slidably fitted to the photographing means rail 41 while being attached to the photographing means 19, and supports the photographing means 19 so as to be slidable on the base plate 15 side. As a result, the imaging means 19 moves in parallel with the moving direction of the probe assembly 5.
移動機構21は、撮影手段スライド機構20に移動可能に支持された撮影手段19に連結してこの撮影手段19を適宜移動させるための装置である。移動機構21は、ボールネジ44と、移動ナット部45と、駆動モータ46とから構成されている。ボールネジ44は、撮影手段レール41に平行に配設され、その両端が回転可能に支持されている。移動ナット部45は、ボールネジ44にねじ込まれて、このボールネジ44の回転によって移動する部材である。この移動ナット部45は、撮影手段19の基端ブロック部33に一体的に設けられて、ボールネジ44の回転によって撮影手段19を移動させるようになっている。駆動モータ46は、ボールネジ44の一端に連結されて、このボールネジ44を回転駆動する。駆動モータ46は、ステッピングモータ等の回転を正確に制御できるモータで構成され、ボールネジ44の回転を正確に制御して、撮影手段19の位置を正確に調整できるようになっている。この駆動モータ46は、コンピュータプログラムによる画像処理によって自動的に制御されたり、手動で制御されたりする。   The moving mechanism 21 is an apparatus for connecting the photographing means 19 movably supported by the photographing means slide mechanism 20 and appropriately moving the photographing means 19. The moving mechanism 21 includes a ball screw 44, a moving nut portion 45, and a drive motor 46. The ball screw 44 is disposed in parallel to the photographing means rail 41, and both ends thereof are rotatably supported. The moving nut portion 45 is a member that is screwed into the ball screw 44 and moves by the rotation of the ball screw 44. The moving nut portion 45 is provided integrally with the base end block portion 33 of the photographing means 19 and moves the photographing means 19 by the rotation of the ball screw 44. The drive motor 46 is connected to one end of the ball screw 44 and rotationally drives the ball screw 44. The drive motor 46 is composed of a motor that can accurately control the rotation of a stepping motor or the like, and can accurately adjust the position of the photographing means 19 by accurately controlling the rotation of the ball screw 44. The drive motor 46 is automatically controlled by image processing by a computer program, or manually controlled.
[プローブ位置合わせ方法]
次に、以上のように構成された検査装置を用いたプローブ位置合わせ方法について説明する。
[Probe alignment method]
Next, a probe alignment method using the inspection apparatus configured as described above will be described.
まず、プローブ位置合わせ工程を行う。このプローブ位置合わせ工程では、液晶パネル3を設定位置に設置して、撮影手段19を適宜移動させてこの撮影手段19でプローブ組立体5のプローブ6及び液晶パネル3の電極4を撮影しながら、このプローブ組立体5を他のプローブ組立体5から独立して移動させることにより、このプローブ6と電極4との位置合わせを行う。   First, a probe alignment process is performed. In this probe alignment step, the liquid crystal panel 3 is set at a set position, the photographing means 19 is moved as appropriate, and the probe 6 of the probe assembly 5 and the electrode 4 of the liquid crystal panel 3 are photographed with the photographing means 19. By moving the probe assembly 5 independently of the other probe assemblies 5, the probe 6 and the electrode 4 are aligned.
具体的には、1枚目の検査対象板となる液晶パネル3をワークテーブル2の設定位置に載置する。このとき、液晶パネル3の原点がワークテーブル2の原点に一致するように載置する。具体的には、液晶パネル3の周縁部を前記ストッパに当接させて、液晶パネル3をワークテーブル2上に載置する。次いで、前記プッシャーで前記ストッパの反対側から液晶パネル3の周縁部に当接して押すことにより、液晶パネル3を位置決めして支持する。この載置による液晶パネル3の位置にて、プローブユニットのベース板15に対する液晶パネル3の適正な相対位置が確保できるようにプローブユニットは設定されている。   Specifically, the liquid crystal panel 3 serving as the first inspection target plate is placed at the set position of the work table 2. At this time, the liquid crystal panel 3 is placed so that the origin of the liquid crystal panel 3 coincides with the origin of the work table 2. Specifically, the liquid crystal panel 3 is placed on the work table 2 by bringing the peripheral edge of the liquid crystal panel 3 into contact with the stopper. Next, the liquid crystal panel 3 is positioned and supported by abutting and pressing the peripheral edge of the liquid crystal panel 3 from the opposite side of the stopper with the pusher. The probe unit is set so that an appropriate relative position of the liquid crystal panel 3 with respect to the base plate 15 of the probe unit can be secured at the position of the liquid crystal panel 3 by this placement.
次いで、撮影手段19を、ベース板15上に支持されたプローブ組立体5列のうちの一端に位置するプローブ組立体5の位置まで移動させる。具体的には、撮影手段19を、初期位置から一端のプローブ組立体5に整合する位置まで移動させる。撮影手段19の移動は、駆動モータ46を制御して、ボールネジ44を回転させて行う。駆動モータ46でボールネジ44を回転させて直接的に移動ナット部45を移動させ、間接的に撮影手段19をそのアライメントカメラ部35が一端のプローブ組立体5を認識するまで移動させる。この撮影手段19の移動が完了した時点で、連結機構37のシリンダ38の連結ロッド39と、プローブ組立体5のガイド穴5Aとが互いに整合される。   Next, the imaging means 19 is moved to the position of the probe assembly 5 located at one end of the five rows of probe assemblies supported on the base plate 15. Specifically, the imaging means 19 is moved from the initial position to a position aligned with the probe assembly 5 at one end. The photographing means 19 is moved by controlling the drive motor 46 and rotating the ball screw 44. The ball screw 44 is rotated by the drive motor 46 to move the moving nut portion 45 directly, and the imaging means 19 is indirectly moved until the alignment camera portion 35 recognizes the probe assembly 5 at one end. When the movement of the photographing means 19 is completed, the connecting rod 39 of the cylinder 38 of the connecting mechanism 37 and the guide hole 5A of the probe assembly 5 are aligned with each other.
次いで、プローブ組立体5と撮影手段19とを連結する。具体的には、撮影手段19の連結機構37を作動させて連結ロッド39を延出させ、この連結ロッド39をプローブ組立体5のガイド穴5Aに押し当てて嵌合させる。これにより、ロック機構18のロックが解除されて、プローブ組立体5は撮影手段19と、連結ロッド39を介して互いに連結されて一体的に移動可能となる。   Next, the probe assembly 5 and the imaging means 19 are connected. Specifically, the connecting mechanism 37 of the photographing means 19 is operated to extend the connecting rod 39, and the connecting rod 39 is pressed against the guide hole 5A of the probe assembly 5 to be fitted. Thereby, the lock of the lock mechanism 18 is released, and the probe assembly 5 is connected to each other via the imaging means 19 and the connecting rod 39 and can move integrally.
次いで、アライメントカメラ部35により液晶パネル3の各電極4とプローブ組立体5の各プローブ6とを写して、図7に示すように、これらのズレ量をゼロにするよう調整する。具体的には、駆動モータ46の回転角を微調整するように制御する。これにより、ボールネジ44が設定角度(ズレ量をゼロにする角度)だけ回転して、撮影手段19と一体化したプローブ組立体5を移動させる。この動作により、プローブ組立体5(プローブ組立体5列の一端に位置するプローブ組立体5)の各プローブ6とこの各プローブ6に対応する液晶パネル3の各電極4とが位置合わせされる。   Next, each electrode 4 of the liquid crystal panel 3 and each probe 6 of the probe assembly 5 are copied by the alignment camera unit 35 and adjusted so that the amount of deviation is zero as shown in FIG. Specifically, control is performed so that the rotation angle of the drive motor 46 is finely adjusted. As a result, the ball screw 44 rotates by a set angle (an angle at which the amount of deviation becomes zero), and the probe assembly 5 integrated with the imaging means 19 is moved. By this operation, each probe 6 of the probe assembly 5 (probe assembly 5 located at one end of the probe assembly 5 row) and each electrode 4 of the liquid crystal panel 3 corresponding to each probe 6 are aligned.
次いで、保持工程を行う。この保持工程では、前記プローブ位置合わせ工程で前記プローブ6と電極4との位置合わせをした状態で、前記プローブ組立体5の前記ベース板15に対する相対位置を保持する。   Next, a holding process is performed. In this holding step, the relative position of the probe assembly 5 with respect to the base plate 15 is held in a state where the probe 6 and the electrode 4 are aligned in the probe positioning step.
前記プローブ位置合わせ工程で位置合わせしたプローブ組立体5は、ロック機構18によって前記ベース板15に対する相対位置を保持する。具体的には、ガイド穴5Aに嵌合した連結機構37の連結ロッド39が、このガイド穴5Aから少し抜き出されると、ロック機構18のスイッチ29が入って、プローブ組立体5が、プローブガイド26のプローブレール25に対する固定されて、ベース板15に対する相対位置が保持される。   The probe assembly 5 aligned in the probe alignment process maintains a relative position with respect to the base plate 15 by the lock mechanism 18. Specifically, when the connecting rod 39 of the connecting mechanism 37 fitted in the guide hole 5A is slightly extracted from the guide hole 5A, the switch 29 of the lock mechanism 18 is turned on, and the probe assembly 5 is moved to the probe guide. 26 is fixed to the probe rail 25 and the relative position to the base plate 15 is maintained.
次いで、連結ロッド39が、このガイド穴5Aから完全に引き抜かれて、プローブ組立体5と撮影手段19との連結が解除される。連結ロッド39を引き抜いた後も、ロック機構18によりプローブ組立体5が、プローブ6と電極4が位置合わせされた状態で保持される。   Next, the connecting rod 39 is completely pulled out from the guide hole 5A, and the connection between the probe assembly 5 and the imaging means 19 is released. Even after the connecting rod 39 is pulled out, the probe assembly 5 is held by the lock mechanism 18 in a state where the probe 6 and the electrode 4 are aligned.
次いで、前記プローブ位置合わせ工程と保持工程を、各プローブ組立体5に対して個別に行って、全てのプローブ組立体5の各プローブ6を液晶パネル3の各電極4に整合させる。即ち、プローブ組立体5列において、隣接する順に、各プローブ組立体5の各プローブ6と、この各プローブ6に対応する液晶パネル3の各電極4とを位置合わせする。具体的には、前記プローブ位置合わせ工程で位置合わせしたプローブ6および電極4を基準として、そのとなりのプローブ組立体5に対して順々に前記プローブ位置合わせ工程と保持工程とを施して、全てのプローブ組立体5の各プローブ6を液晶パネル3の各電極4に整合させる。   Next, the probe alignment process and the holding process are individually performed for each probe assembly 5 so that the probes 6 of all the probe assemblies 5 are aligned with the electrodes 4 of the liquid crystal panel 3. That is, in the probe assembly 5 row, each probe 6 of each probe assembly 5 and each electrode 4 of the liquid crystal panel 3 corresponding to each probe 6 are aligned in the adjacent order. Specifically, with the probe 6 and the electrode 4 aligned in the probe alignment process as a reference, the probe alignment process and the holding process are sequentially performed on the adjacent probe assembly 5, Each probe 6 of the probe assembly 5 is aligned with each electrode 4 of the liquid crystal panel 3.
次いで、基準位置特定工程を行う。この基準位置特定工程では、前記撮影手段19を移動させて、液晶パネル3の基準位置を特定する。具体的には、撮影手段19を、前記位置合わせ後の液晶パネル3の一端にあるアライメントマーク3Aに前記移動機構21で正確に移動させて、この撮影手段19でアライメントマーク3Aを撮影し、前記位置合わせされた液晶パネル3の基準位置を特定する。撮影手段19の位置は、前記移動機構21で撮影手段19を正確に移動させることで特定して固定することができ、その特定した撮影手段19の位置でアライメントマーク3Aを撮影することで、液晶パネル3の基準位置を正確に特定することができる。2枚目以降の液晶パネル3は、そのアライメントマーク3Aを、撮影手段19で特定した基準位置に整合させることで、位置合わせすることができる。   Next, a reference position specifying step is performed. In this reference position specifying step, the photographing means 19 is moved to specify the reference position of the liquid crystal panel 3. Specifically, the photographing means 19 is accurately moved by the moving mechanism 21 to the alignment mark 3A at one end of the liquid crystal panel 3 after the alignment, and the alignment mark 3A is photographed by the photographing means 19, The reference position of the aligned liquid crystal panel 3 is specified. The position of the photographing means 19 can be specified and fixed by accurately moving the photographing means 19 by the moving mechanism 21. By photographing the alignment mark 3A at the position of the specified photographing means 19, the liquid crystal The reference position of the panel 3 can be specified accurately. The second and subsequent liquid crystal panels 3 can be aligned by aligning the alignment mark 3A with the reference position specified by the photographing means 19.
次いで、バックライト7を点灯させた状態で、所定の電気信号をプローブ6から電極4に通電して、液晶パネル3の点灯検査を行う。   Next, in a state where the backlight 7 is turned on, a predetermined electrical signal is supplied from the probe 6 to the electrode 4 to perform a lighting inspection of the liquid crystal panel 3.
次いで、通常位置合わせ工程を行う。この通常位置合わせ工程では、前記基準位置特定工程により特定した前記基準位置に2枚目の新たな液晶パネル3のアライメントマーク3Aを合わせることで、前記プローブ6と前記新たな液晶パネル3の電極4の位置合わせを行う。   Next, a normal alignment process is performed. In this normal alignment step, the probe 6 and the electrode 4 of the new liquid crystal panel 3 are aligned by aligning the alignment mark 3A of the second new liquid crystal panel 3 with the reference position specified in the reference position specifying step. Perform position alignment.
2枚目の液晶パネル3(1枚目と同一品種)を検査すべく、当該液晶パネル3がワークテーブル2上で1枚目の液晶パネル3と同じ位置に載置され位置決めされる。ここで、各液晶パネル3の寸法精度により1枚目とこの2枚目の液晶パネル3とをワークテーブル2上の同じ位置に載置しても、プローブユニットのベース板15に対する相対位置が整合しない場合がある。そこで、撮影手段19により1枚目の位置合わせされた液晶パネル3上のアライメントマーク3Aを撮影して基準位置を特定しておき、2枚目の液晶パネル3とベース板15との相対位置を、1枚目の液晶パネル3と同じ位置になるように調整する。この調整は、ワークテーブル2に備えられた前記XYZθ機構によりなされる。   In order to inspect the second liquid crystal panel 3 (the same type as the first one), the liquid crystal panel 3 is placed and positioned on the work table 2 at the same position as the first liquid crystal panel 3. Here, even if the first and second liquid crystal panels 3 are placed at the same position on the work table 2 due to the dimensional accuracy of each liquid crystal panel 3, the relative position of the probe unit to the base plate 15 is aligned. May not. Therefore, the photographing unit 19 shoots the alignment mark 3A on the first liquid crystal panel 3 aligned to specify the reference position, and the relative position between the second liquid crystal panel 3 and the base plate 15 is determined. Adjustment is made so that it is in the same position as the first liquid crystal panel 3. This adjustment is made by the XYZθ mechanism provided in the work table 2.
検査対象となる各液晶パネル3の品種が同一である限り、液晶パネル3上の各電極4の位置およびアライメントマーク3Aと各電極4の相対位置も同一となるため、この調整が終了した時点で、2枚目以降の液晶パネル3の各電極4とプローブ6との位置合わせが完了することになる。   As long as the types of the liquid crystal panels 3 to be inspected are the same, the positions of the electrodes 4 on the liquid crystal panel 3 and the relative positions of the alignment marks 3A and the electrodes 4 are also the same. The alignment of each electrode 4 and the probe 6 of the second and subsequent liquid crystal panels 3 is completed.
即ち、2枚目の液晶パネル3につき前記同様の工程により点灯検査を行い、3枚目以降(1枚目と同一品種)の液晶パネル3についても上記と同様の工程により点灯検査を行う。   That is, the lighting inspection is performed on the second liquid crystal panel 3 by the same process as described above, and the lighting inspection is performed on the third and subsequent liquid crystal panels 3 (same type as the first sheet) by the same process as described above.
[効果]
以上のように、前記プローブ位置合わせ工程で、前記プローブ6と前記電極4との位置合わせを行い、前記保持工程で、前記プローブ組立体5を前記ベース板15に保持し、前記基準位置特定工程で、液晶パネル3の基準位置を特定し、前記通常位置合わせ工程で、前記プローブ6と前記新たな液晶パネル3の電極4の位置を合わせるようにしたため、前記液晶パネル3に対して前記プローブ組立体5を容易に位置合わせすることができるようになる。その結果、検査の能率が向上する。
[effect]
As described above, the probe 6 and the electrode 4 are aligned in the probe alignment step, the probe assembly 5 is held on the base plate 15 in the holding step, and the reference position specifying step is performed. The reference position of the liquid crystal panel 3 is specified, and the probe 6 and the electrode 4 of the new liquid crystal panel 3 are aligned in the normal alignment step. The solid 5 can be easily aligned. As a result, the inspection efficiency is improved.
また、各プローブ組立体5を個別に移動させて各プローブ6と液晶パネル3の各電極4とを位置合わせするため、バックライト7の熱による液晶パネル3の熱膨張で各プローブ6が各電極に対してすれても、そのずれを確実に吸収することができる。   In addition, since each probe assembly 5 is moved individually to align each probe 6 with each electrode 4 of the liquid crystal panel 3, each probe 6 is moved to each electrode by the thermal expansion of the liquid crystal panel 3 due to the heat of the backlight 7. Even if it slips, the deviation can be absorbed reliably.
従来の検査装置と比較すると、駆動機構の駆動源として撮影手段19の移動機構21があるだけなので、駆動源の数が少なくすることができ、駆動源への配線の本数も少なくすることができる。その結果、コスト面でも有利となり、広い作業スペースが確保できる。   Compared with the conventional inspection apparatus, since there is only the moving mechanism 21 of the photographing means 19 as a drive source of the drive mechanism, the number of drive sources can be reduced and the number of wirings to the drive source can also be reduced. . As a result, it is advantageous in terms of cost and a large work space can be secured.
また、液晶パネル3の品種(電極の位置)が変わって、電極4の位置がそれまでの位置からずれても、各プローブ6を各電極に容易に位置合わせすることができる。   Further, even if the type of the liquid crystal panel 3 (electrode position) is changed and the position of the electrode 4 is shifted from the previous position, the probes 6 can be easily aligned with the electrodes.
アライメントカメラ部35により液晶パネル3のアライメントマーク3Aを写して、このアライメントマーク3Aと基準点とのズレ量をゼロにするよう調整して2枚目以降の液晶パネル3とプローブ組立体5の位置合わせを行うため、これらの位置合わせを容易かつ迅速に行うことができる。   The position of the second and subsequent liquid crystal panels 3 and the probe assembly 5 is adjusted by copying the alignment mark 3A of the liquid crystal panel 3 by the alignment camera unit 35 and adjusting the amount of deviation between the alignment mark 3A and the reference point to zero. Since alignment is performed, these alignments can be performed easily and quickly.
また、アライメントカメラ部35によりプローブ6と液晶パネル3の各電極4を写してこれらのズレ量をゼロにするよう調整してプローブ6と電極4との位置合わせを行うため、これらの位置合わせを容易かつ迅速に行うことができる。   Further, the probe 6 and the electrodes 4 of the liquid crystal panel 3 are copied by the alignment camera unit 35 and adjusted so that the amount of deviation is zero, and the probe 6 and the electrode 4 are aligned. It can be done easily and quickly.
[変形例]
前記実施形態では、撮影手段19を各辺に1つだけ設けたが、プローブ組立体5の数が多い場合は、撮影手段19を2つ以上設けてもよい。
[Modification]
In the above-described embodiment, only one imaging unit 19 is provided for each side. However, when the number of probe assemblies 5 is large, two or more imaging units 19 may be provided.
前記実施形態では、検査対象板として液晶パネル3を例に説明したが、プローブ6と電極4を整合させる必要のあるすべての検査対象板に適用することができる。また、検査装置で行う検査も、液晶パネル3の点灯検査に限らず、プローブ6と電極4を接触させて行う検査すべてに適用することができる。   In the above-described embodiment, the liquid crystal panel 3 is described as an example of the inspection target plate. However, the present invention can be applied to all inspection target plates that require the probe 6 and the electrode 4 to be aligned. Also, the inspection performed by the inspection apparatus is not limited to the lighting inspection of the liquid crystal panel 3 but can be applied to all inspections performed by bringing the probe 6 and the electrode 4 into contact with each other.
前記実施形態では、連結機構37を撮影手段19側に設けたが、プローブ組立体5側に設けてもよい。撮影手段19とプローブ組立体5とを互いに連結できる構造であればよい。   In the above embodiment, the coupling mechanism 37 is provided on the imaging means 19 side, but may be provided on the probe assembly 5 side. Any structure that can connect the imaging means 19 and the probe assembly 5 to each other is acceptable.
前記実施形態では、電磁ソレノイド30と固定ピン31とを備えたロック機構18を例に説明したが、ロック機構18として他の構成でも良い。例えば、図9に示すように、固定ピン51と、リフトピン52と、スプリング53とから構成しても良い。固定ピン51はスプリング53でプローブレール25側へ付勢されている。リフトピン52は、ガイド穴5A内に挿入されて、先端部にテーパ部52Aを有する。固定ピン51の上端部にも、リフトピン52のテーパ部52Aに対応するテーパ部51Aを有する。これにより、連結ロッド39がガイド穴5Aに押し込まれると、リフトピン52が押し込まれて、テーパ部51A、52Aによって固定ピン51が上方へ押し上げられて固定が解除される。連結ロッド39が抜き取られると、固定ピン51がスプリング53で押し下げられて固定される。   In the above-described embodiment, the lock mechanism 18 including the electromagnetic solenoid 30 and the fixing pin 31 has been described as an example. However, the lock mechanism 18 may have other configurations. For example, as shown in FIG. 9, the fixing pin 51, the lift pin 52, and the spring 53 may be used. The fixing pin 51 is urged toward the probe rail 25 by a spring 53. The lift pin 52 is inserted into the guide hole 5A and has a tapered portion 52A at the tip. The upper end portion of the fixing pin 51 also has a tapered portion 51A corresponding to the tapered portion 52A of the lift pin 52. Thus, when the connecting rod 39 is pushed into the guide hole 5A, the lift pin 52 is pushed, and the fixing pin 51 is pushed upward by the taper portions 51A and 52A to release the fixing. When the connecting rod 39 is pulled out, the fixing pin 51 is pushed down by the spring 53 and fixed.
前記実施形態では、ベース板15を四角形の板材で構成したが、可動式のベース板としてもよい。この場合、可動式プローブユニット機構に可動枠機構を備えて構成する。この可動枠機構は、ベース板を複数の枠板から構成して、品種の違う液晶パネル3の異なる寸法に応じて、前記各枠板を移動させて前記液晶パネル3の寸法に調整する機構である。   In the embodiment, the base plate 15 is made of a rectangular plate material, but may be a movable base plate. In this case, the movable probe unit mechanism is provided with a movable frame mechanism. This movable frame mechanism is a mechanism in which a base plate is composed of a plurality of frame plates, and each frame plate is moved and adjusted to the dimensions of the liquid crystal panel 3 according to different dimensions of the liquid crystal panels 3 of different varieties. is there.
この可動枠機構の一例を図10に示す。可動枠機構55は、Y軸移動機構56と、X軸移動機構57とから構成されている。Y軸移動機構56は、可動枠機構55の開口55AのY軸方向の調整をするための機構である。このY軸移動機構56は、Y軸方向に配設されたレールと、このレールに嵌合されてY軸方向にスライド可能に支持されたガイドと、このガイドに支持されてY軸方向にスライド可能に取り付けられた上側ベース板と、この上側ベース板と同様に、前記ガイドに支持されてY軸方向にスライド可能に取り付けられた下側ベース板と、上側ベース板及び下側ベース板をY軸方向に移動させるY軸駆動部とから構成されている。X軸移動機構57は、可動枠機構55の開口55AのX軸方向の調整をするための機構である。このX軸移動機構57は、X軸方向に配設されたX軸上辺フレーム部と、X軸上辺フレーム部と並列にX軸方向に配設されたX軸下辺フレーム部と、Y軸方向に配設されたY軸右辺フレーム部と、このY軸右辺フレーム部と同様に、Y軸方向に配設されたY軸左辺フレーム部と、X軸下辺フレーム部をX軸方向に移動させるX軸下辺駆動部と、X軸上辺フレーム部をX軸方向に移動させるX軸上辺駆動部とから構成されている。この可動枠機構55の具体的構成は、本出願人が先に提案した可動式プローブユニット機構(特願2006−148562)に説明されている。   An example of this movable frame mechanism is shown in FIG. The movable frame mechanism 55 includes a Y-axis moving mechanism 56 and an X-axis moving mechanism 57. The Y-axis moving mechanism 56 is a mechanism for adjusting the opening 55 </ b> A of the movable frame mechanism 55 in the Y-axis direction. The Y-axis moving mechanism 56 includes a rail disposed in the Y-axis direction, a guide fitted to the rail and supported to be slidable in the Y-axis direction, and supported by the guide and slid in the Y-axis direction. An upper base plate that can be attached, a lower base plate that is supported by the guide and is slidably attached in the Y-axis direction, and an upper base plate and a lower base plate that are attached to the upper base plate. It is comprised from the Y-axis drive part moved to an axial direction. The X-axis moving mechanism 57 is a mechanism for adjusting the opening 55 </ b> A of the movable frame mechanism 55 in the X-axis direction. The X-axis moving mechanism 57 includes an X-axis upper side frame portion arranged in the X-axis direction, an X-axis lower side frame portion arranged in the X-axis direction in parallel with the X-axis upper side frame portion, and a Y-axis direction. The Y-axis right side frame portion arranged, the Y-axis left side frame portion arranged in the Y-axis direction, and the X-axis lower side frame portion moved in the X-axis direction in the same manner as the Y-axis right side frame portion. The lower-side drive unit and an X-axis upper-side drive unit that moves the X-axis upper-side frame unit in the X-axis direction are configured. The specific configuration of the movable frame mechanism 55 is described in the movable probe unit mechanism (Japanese Patent Application No. 2006-148562) previously proposed by the present applicant.
この可動枠機構55を備えた検査装置で検査することにより、品種の違う液晶パネル3を検査する場合は、液晶パネル3がワークテーブル2の所定の位置に載置された後、可動枠機構55によって開口55Aを液晶パネル3の寸法に合わされる。この開口55Aの大きさを液晶パネル3の寸法に合わせて調整した後は、前記撮影手段19等でプローブ組立体5の各プローブ6を液晶パネル3の各電極4に位置合わせする。この結果、迅速に液晶パネル3の品種交換を行うことができる。   When inspecting a liquid crystal panel 3 of a different product type by inspecting with an inspection apparatus provided with the movable frame mechanism 55, the movable frame mechanism 55 is placed after the liquid crystal panel 3 is placed at a predetermined position on the work table 2. Thus, the opening 55A is adjusted to the size of the liquid crystal panel 3. After adjusting the size of the opening 55 </ b> A according to the size of the liquid crystal panel 3, the probes 6 of the probe assembly 5 are aligned with the electrodes 4 of the liquid crystal panel 3 by the photographing means 19 or the like. As a result, the liquid crystal panel 3 can be quickly replaced.
また、液晶パネル3の品種が変更されても、プローブ組立体5を個別に移動させることができるため、プローブ6と電極4との位置合わせを確実に行うことができる。液晶パネル3の分趣向間に伴って、特別な装置を必要としない。   Even if the type of the liquid crystal panel 3 is changed, the probe assembly 5 can be moved individually, so that the alignment of the probe 6 and the electrode 4 can be performed reliably. A special device is not required in accordance with the proportion of the liquid crystal panel 3.
複数のプローブ組立体5と液晶パネル3の電極4に対する位置合わせを、各プローブ組立体5で個別に行うことができるため、液晶パネル3の規格(電極の位置)が変わっても、各プローブ6と各電極4との位置あわせを容易にすることができる。   Since the plurality of probe assemblies 5 and the alignment of the liquid crystal panel 3 with respect to the electrodes 4 can be individually performed by the respective probe assemblies 5, even if the standards (positions of the electrodes) of the liquid crystal panel 3 change, the probes 6 And alignment of each electrode 4 can be facilitated.
また、前記実施形態では、プローブ6と電極4との位置合わせのためのプローブ組立体5の移動を、このプローブ組立体5と連結された撮影手段19によって行ったが、各プローブ組立体5に同時に駆動源を備えても良い。例えば、リニアモータ機構を用いて、プローブ組立体5と独立して単独で、電気的に制御するようにしてもよい。なお、リニアモータ機構としては、公知の機構をそのまま用いることができる。このリニアモータ機構によって、プローブ組立体5を正確に微調整できるようにすることで、プローブ6と電極4との位置合わせの精度が向上させることができる。この場合、プローブ組立体5のロック機構としては、例えば電磁弁によるブレーキを適用する。これによっても、前記実施形態と同様の作用、効果を奏することができる。   In the above embodiment, the probe assembly 5 is moved by the imaging means 19 connected to the probe assembly 5 to align the probe 6 and the electrode 4. A drive source may be provided at the same time. For example, a linear motor mechanism may be used and electrically controlled independently of the probe assembly 5. As the linear motor mechanism, a known mechanism can be used as it is. By making the probe assembly 5 accurately and finely adjustable by this linear motor mechanism, the alignment accuracy between the probe 6 and the electrode 4 can be improved. In this case, as a lock mechanism of the probe assembly 5, for example, a brake using an electromagnetic valve is applied. Also by this, the same operation and effect as the above-mentioned embodiment can be produced.
本発明の実施形態に係る可動式プローブユニット機構を示す要部拡大斜視図である。It is a principal part expansion perspective view which shows the movable probe unit mechanism which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る可動式プローブユニット機構、ワークテーブル及びバックライトを示す側面断面図である。It is side surface sectional drawing which shows the movable probe unit mechanism, work table, and backlight which concern on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る可動式プローブユニット機構を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the movable probe unit mechanism which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る可動式プローブユニット機構を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the movable probe unit mechanism which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る可動式プローブユニット機構を示す平面図である。It is a top view which shows the movable probe unit mechanism which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る可動式プローブユニット機構の要部を示す一部拡大図である。It is a partially expanded view which shows the principal part of the movable probe unit mechanism which concerns on embodiment of this invention. アライメントカメラ部で撮影した、電極とプローブとの接触状態を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the contact state of an electrode and a probe image | photographed with the alignment camera part. 本発明の実施形態に係る可動式プローブユニット機構のプローブ組立体の基端ブロック部を示す一部拡大断面図である。It is a partially expanded sectional view which shows the base end block part of the probe assembly of the movable probe unit mechanism which concerns on embodiment of this invention. 第1変形例を示す要部拡大図である。It is a principal part enlarged view which shows a 1st modification. 第2変形例を示す要部拡大図である。It is a principal part enlarged view which shows a 2nd modification.
符号の説明Explanation of symbols
1:可動式プローブユニット機構、2:ワークテーブル、3:液晶パネル、4:電極、5:プローブ組立体、6:プローブ、7:バックライト、8:蛍光管、9:筐体、10:導光板、11:拡散板、15:ベース板、16:プローブ組立体、17:プローブ組立体スライド機構、18:ロック機構、19:撮影手段、20:撮影手段スライド機構、21:移動機構、24:プローブ、25:プローブレール、26:プローブガイド、28:電磁ロック部、29:スイッチ、30:電磁ソレノイド、31:固定ピン、33:基端ブロック部、34:延出板部、35:アライメントカメラ部、37:連結機構、38:シリンダ、39:連結ロッド、41:撮影手段レール、42:撮影手段ガイド、44:ボールネジ、45:移動ナット部、46:駆動モータ、51:固定ピン、52:リフトピン、53:スプリング。   1: movable probe unit mechanism, 2: work table, 3: liquid crystal panel, 4: electrode, 5: probe assembly, 6: probe, 7: backlight, 8: fluorescent tube, 9: housing, 10: guide Optical plate, 11: diffuser plate, 15: base plate, 16: probe assembly, 17: probe assembly slide mechanism, 18: lock mechanism, 19: photographing means, 20: photographing means slide mechanism, 21: moving mechanism, 24: Probe: 25: Probe rail, 26: Probe guide, 28: Electromagnetic lock part, 29: Switch, 30: Electromagnetic solenoid, 31: Fixing pin, 33: Base block part, 34: Extension plate part, 35: Alignment camera Part, 37: coupling mechanism, 38: cylinder, 39: coupling rod, 41: photographing means rail, 42: photographing means guide, 44: ball screw, 45: moving nut part, 46 Drive motor, 51: fixing pins, 52: lift, 53: spring.

Claims (9)

  1. 検査対象板の検査を行うプローブユニットのベース板に対して移動可能に支持された複数のプローブ組立体と、前記ベース板に対して前記各プローブ組立体と平行に移動可能に支持された撮影手段とによって、前記検査対象板の電極と前記各プローブ組立体のプローブとの位置合わせを行うプローブ位置合わせ方法であって、
    前記検査対象板を設定位置に設置して、前記撮影手段を適宜移動させて当該撮影手段で前記プローブ組立体のプローブ及び前記検査対象板の電極を撮影しながら、当該プローブ組立体を他のプローブ組立体から独立して移動させることにより、当該プローブと前記電極との位置合わせを行うプローブ位置合わせ工程と、
    当該プローブ位置合わせ工程で前記プローブと電極との位置合わせをした状態で前記プローブ組立体の前記ベース板に対する相対位置を保持する保持工程と、
    前記撮影手段を移動させて前記位置合わせ後の検査対象板のアライメントマークを当該撮影手段で撮影して前記位置合わせされた検査対象板の基準位置を特定する基準位置特定工程と、
    当該基準位置特定工程により特定した前記基準位置に新たな検査対象板のアライメントマークを合わせることで前記プローブと前記新たな検査対象板の電極の位置合わせを行う通常位置合わせ工程とを含んで構成されたことを特徴とするプローブ位置合わせ方法。
    A plurality of probe assemblies supported to be movable with respect to a base plate of a probe unit for inspecting an inspection target plate, and imaging means supported to be movable with respect to the base plate in parallel with the probe assemblies. And a probe alignment method for aligning the electrode of the inspection object plate and the probe of each probe assembly,
    The inspection target plate is installed at a set position, the imaging unit is appropriately moved, and the probe assembly is moved to another probe while imaging the probe of the probe assembly and the electrode of the inspection target plate with the imaging unit. A probe alignment step of aligning the probe and the electrode by moving independently of the assembly;
    A holding step of holding a relative position of the probe assembly with respect to the base plate in a state where the probe and the electrode are aligned in the probe alignment step;
    A reference position specifying step of moving the imaging means and imaging the alignment mark of the inspection target plate after the alignment with the imaging means to specify the reference position of the aligned inspection target plate;
    And a normal alignment step of aligning the probe and the electrode of the new inspection target plate by aligning the alignment mark of the new inspection target plate with the reference position specified by the reference position specifying step. A probe alignment method characterized by the above.
  2. 前記撮影手段及び前記各プローブ組立体が互いに独立して移動すると共に、前記プローブ位置合わせ工程において、前記撮影手段と位置合わせ対象の前記プローブ組立体とを互いに連結して同時に移動させて、当該プローブ組立体のプローブと前記検査対象板の電極との位置合わせを行うことを特徴とする、請求項1に記載のプローブ位置合わせ方法。   The imaging means and the probe assemblies move independently of each other, and in the probe positioning step, the imaging means and the probe assembly to be aligned are connected to each other and simultaneously moved to move the probe. The probe alignment method according to claim 1, wherein alignment of the probe of the assembly and the electrode of the inspection target plate is performed.
  3. 先端でプローブを支持して当該プローブを検査対象板の電極と接触させる複数のプローブ組立体と、
    当該プローブ組立体のプローブ及び前記検査対象板の電極等を撮影する撮影手段と、
    前記検査対象板の検査を行うプローブユニットのベース板に対して前記各プローブ組立体を、それぞれ独立して移動可能にかつ前記撮影手段に対しても独立して移動可能に支持して前記検査対象板の電極と前記各プローブ組立体のプローブとの位置合わせを行うプローブ組立体スライド機構と、
    前記ベース板に対して前記撮影手段を、前記プローブ組立体のスライド方向と平行に移動可能に支持して、前記プローブ及び電極等の位置に適宜移動させる撮影手段スライド機構と、
    当該撮影手段スライド機構に移動可能に支持された前記撮影手段に連結して当該撮影手段を適宜移動させる移動機構と、
    前記検査対象板の電極と前記各プローブ組立体のプローブとの位置合わせをした状態で当該プローブ組立体の前記ベース板に対する相対位置を保持するロック機構とを備えて構成されたことを特徴とする可動式プローブユニット機構。
    A plurality of probe assemblies that support the probe at the tip and bring the probe into contact with the electrode of the inspection target plate;
    Imaging means for imaging the probe of the probe assembly and the electrode of the inspection object plate,
    Each of the probe assemblies is supported so as to be independently movable with respect to a base plate of a probe unit that inspects the inspection object plate, and is also independently movable with respect to the imaging means. A probe assembly slide mechanism for aligning the electrode of the plate and the probe of each probe assembly;
    An imaging means slide mechanism that supports the imaging means with respect to the base plate so as to be movable in parallel with the sliding direction of the probe assembly, and appropriately moves to positions of the probe, electrodes, and the like;
    A moving mechanism for moving the photographing means as appropriate by connecting to the photographing means movably supported by the photographing means slide mechanism;
    And a lock mechanism that holds a relative position of the probe assembly with respect to the base plate in a state where the electrodes of the inspection target plate and the probes of the probe assemblies are aligned. Movable probe unit mechanism.
  4. 前記撮影手段で前記プローブ組立体のプローブと前記検査対象板の電極とを撮影する際に、当該プローブ組立体及び撮影手段を互いに連結して当該撮影手段を移動させることで前記プローブの位置を調整する連結手段を備えたことを特徴とする、請求項3に記載の可動式プローブユニット機構。   When imaging the probe of the probe assembly and the electrode of the inspection object plate by the imaging means, the probe assembly and the imaging means are connected to each other and the imaging means is moved to adjust the position of the probe The movable probe unit mechanism according to claim 3, further comprising connecting means for performing the above operation.
  5. 前記連結手段が、前記プローブ組立体又は撮影手段に設けられたガイド穴に嵌合するロッドと、前記撮影手段又はプローブ組立体に設けられて前記ロッドを出没させる出没機構とを備えて構成されたことを特徴とする、請求項4に記載の可動式プローブユニット機構。   The coupling means includes a rod that fits into a guide hole provided in the probe assembly or the imaging means, and a retracting mechanism that is provided in the imaging means or the probe assembly and causes the rod to protrude and retract. The movable probe unit mechanism according to claim 4, wherein:
  6. 前記ガイド穴が前記プローブ組立体に設けられると共に、前記出没機構が前記撮影手段に設けられ、
    前記ロック機構が、前記出没機構から延出された前記ロッドが前記ガイド穴に嵌合することで解除され、引き抜かれることでロックされることを特徴とする、請求項5に記載の可動式プローブユニット機構。
    The guide hole is provided in the probe assembly, and the projecting mechanism is provided in the imaging unit.
    The movable probe according to claim 5, wherein the lock mechanism is released when the rod extended from the retracting mechanism is fitted into the guide hole and is pulled out to be locked. Unit mechanism.
  7. 前記撮影手段が、CCDまたはCMOSからなるイメージセンサを有するカメラを備えて構成され、
    前記検査対象板が液晶表示板であることを特徴とする、請求項3乃至6のいずれか1項に記載の可動式プローブユニット機構。
    The photographing means is configured to include a camera having an image sensor made of CCD or CMOS,
    The movable probe unit mechanism according to claim 3, wherein the inspection target plate is a liquid crystal display plate.
  8. 前記ベース板が、複数の枠板から構成されて、品種の違う検査対象板の異なる寸法に応じて、前記各枠板を移動させて前記検査対象板の寸法に調整するための可動枠機構を備えて構成されたことを特徴とする、請求項3乃至7のいずれか1項に記載の可動式プローブユニット機構。   The base plate is composed of a plurality of frame plates, and a movable frame mechanism for adjusting the size of the inspection target plate by moving each frame plate according to different dimensions of the inspection target plates of different varieties. The movable probe unit mechanism according to any one of claims 3 to 7, wherein the movable probe unit mechanism is provided.
  9. プローブ組立体のプローブを検査対象板の電極に接触させて検査を行う検査装置であって、
    前記プローブ組立体のプローブと前記検査対象板の電極とを互いに位置合わせするための機構として、前記請求項3乃至8のいずれか1項に記載の可動式プローブユニット機構を備えたことを特徴とする検査装置。
    An inspection apparatus for inspecting by contacting the probe of the probe assembly with the electrode of the inspection object plate,
    The movable probe unit mechanism according to any one of claims 3 to 8 is provided as a mechanism for aligning the probe of the probe assembly and the electrode of the inspection target plate with each other. Inspection device to do.
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101013110B1 (en) 2008-11-17 2011-02-14 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스 Alignment Apparatus for Inspection Substrate
CN107167722A (en) * 2016-03-08 2017-09-15 大唐移动通信设备有限公司 A kind of instrument detecting tool platform and instrument detection device
CN107957633A (en) * 2017-11-20 2018-04-24 苏州凌云视界智能设备有限责任公司 A kind of LCD modules essence alignment system
CN109342845A (en) * 2018-09-26 2019-02-15 嘉兴市云达智能科技有限公司 A kind of automatic contraposition device and equipment
CN110594546A (en) * 2019-11-14 2019-12-20 武汉精立电子技术有限公司 Camera mounting device, camera adjusting mechanism and detection equipment
US10962567B2 (en) 2015-11-24 2021-03-30 Photon Dynamics, Inc. Systems and methods for electrical inspection of flat panel displays using cell contact probing pads

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI467160B (en) * 2012-09-07 2015-01-01 Mas Automation Corp Solar energy module of the image and electrical detection device
JP6084426B2 (en) * 2012-10-15 2017-02-22 株式会社日本マイクロニクス Inspection device
KR102103840B1 (en) * 2013-10-11 2020-04-23 엘지디스플레이 주식회사 System and method of testing organic light emitting display device capable of testing automatically contact between probe and pad
KR102070056B1 (en) * 2013-10-11 2020-01-28 엘지디스플레이 주식회사 System and method of testing organic light emitting display device
KR101748248B1 (en) 2014-03-25 2017-06-16 가부시키가이샤 어드밴티스트 Handler apparatus and test apparatus
KR101597448B1 (en) * 2014-08-19 2016-02-24 엘지전자 주식회사 Unit for adjusting position error and Coupling apparatus including the same
KR101682378B1 (en) * 2014-09-24 2016-12-07 주식회사 디이엔티 Test Apparatus of Liquid Crystal Display Panel and Control Method Thereof
TWI568570B (en) * 2014-12-15 2017-02-01 Wei Kuang Automation Co Ltd Coating detection method and device thereof
KR101702300B1 (en) * 2015-06-19 2017-02-03 (주)제이디 test system for touch sensing display panel
KR101588856B1 (en) * 2015-09-04 2016-01-27 주식회사 디이엔티 Probe Unit Centering Apparatus of Liquid Crystal Display Panel Examination Apparatus
CN107991795B (en) * 2017-11-22 2020-07-10 航天科工智能机器人有限责任公司 Method for detecting liquid crystal module by using automatic optical detection system of liquid crystal module
US20210088581A1 (en) * 2019-09-24 2021-03-25 Star Technologies, Inc. Probing apparatus and method of operating the same
KR102270760B1 (en) * 2019-11-29 2021-06-30 에이엠티 주식회사 The test apparatus of the device having fine pitch
KR102150628B1 (en) * 2020-04-24 2020-09-02 주식회사 디에스케이 variable probe unit

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04179029A (en) * 1990-11-13 1992-06-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd Characteristics inspection device of plasma display
JPH1031225A (en) * 1996-07-15 1998-02-03 Sharp Corp Lighting inspection device for liquid crystal panel
JPH10268248A (en) * 1997-03-28 1998-10-09 Micronics Japan Co Ltd Method and device for testing display panel substrate
JPH11174108A (en) * 1997-12-12 1999-07-02 Dainippon Printing Co Ltd Inspecting apparatus for electrode wiring
JP2002091336A (en) * 2000-09-12 2002-03-27 Adtec Engineeng Co Ltd Display panel or support frame body for probe block
JP2003302439A (en) * 2002-04-09 2003-10-24 Tokyo Cathode Laboratory Co Ltd Probe contact device for display panel inspection
JP2005017179A (en) * 2003-06-27 2005-01-20 Toshiba Teli Corp Apparatus and method for inspecting display panel
JP2005274487A (en) * 2004-03-26 2005-10-06 Micronics Japan Co Ltd Probe system
JP2006003588A (en) * 2004-06-17 2006-01-05 Micronics Japan Co Ltd Alignment method of liquid crystal panel lighting inspecting device, and liquid crystal panel lighting inspecting device

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4740405B2 (en) * 2000-11-09 2011-08-03 東京エレクトロン株式会社 Alignment method and program recording medium
CN100492038C (en) 2003-02-21 2009-05-27 日本发条株式会社 Chip-mounting tape inspecting method and test unit used for inspection
KR100673795B1 (en) * 2004-12-17 2007-01-24 주식회사 디이엔티 Flat panel display tester
KR100633008B1 (en) * 2005-02-01 2006-10-12 주식회사 메디코아 A Universal Fixture for PCB Test

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04179029A (en) * 1990-11-13 1992-06-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd Characteristics inspection device of plasma display
JPH1031225A (en) * 1996-07-15 1998-02-03 Sharp Corp Lighting inspection device for liquid crystal panel
JPH10268248A (en) * 1997-03-28 1998-10-09 Micronics Japan Co Ltd Method and device for testing display panel substrate
JPH11174108A (en) * 1997-12-12 1999-07-02 Dainippon Printing Co Ltd Inspecting apparatus for electrode wiring
JP2002091336A (en) * 2000-09-12 2002-03-27 Adtec Engineeng Co Ltd Display panel or support frame body for probe block
JP2003302439A (en) * 2002-04-09 2003-10-24 Tokyo Cathode Laboratory Co Ltd Probe contact device for display panel inspection
JP2005017179A (en) * 2003-06-27 2005-01-20 Toshiba Teli Corp Apparatus and method for inspecting display panel
JP2005274487A (en) * 2004-03-26 2005-10-06 Micronics Japan Co Ltd Probe system
JP2006003588A (en) * 2004-06-17 2006-01-05 Micronics Japan Co Ltd Alignment method of liquid crystal panel lighting inspecting device, and liquid crystal panel lighting inspecting device

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101013110B1 (en) 2008-11-17 2011-02-14 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스 Alignment Apparatus for Inspection Substrate
US10962567B2 (en) 2015-11-24 2021-03-30 Photon Dynamics, Inc. Systems and methods for electrical inspection of flat panel displays using cell contact probing pads
CN107167722A (en) * 2016-03-08 2017-09-15 大唐移动通信设备有限公司 A kind of instrument detecting tool platform and instrument detection device
CN107957633A (en) * 2017-11-20 2018-04-24 苏州凌云视界智能设备有限责任公司 A kind of LCD modules essence alignment system
CN109342845A (en) * 2018-09-26 2019-02-15 嘉兴市云达智能科技有限公司 A kind of automatic contraposition device and equipment
CN109342845B (en) * 2018-09-26 2020-10-23 嘉兴市云达智能科技有限公司 Automatic aligning device and equipment
CN110594546A (en) * 2019-11-14 2019-12-20 武汉精立电子技术有限公司 Camera mounting device, camera adjusting mechanism and detection equipment

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