KR102587652B1

KR102587652B1 - Probe device

Info

Publication number: KR102587652B1
Application number: KR1020210102582A
Authority: KR
Inventors: 정영배; 서정윤; 조현철; 조성훈; 이헌석; 장희준; 전진아
Original assignee: 주식회사 아이에스시
Priority date: 2021-08-04
Filing date: 2021-08-04
Publication date: 2023-10-11
Also published as: KR20230020780A

Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 탐침장치는, 피검사 대상물의 단자와 접촉할 수 있는 제1 탐침부 및 제1 탐침부에서 제1 방향으로 연장되는 가이드부를 포함하는 제1 레이어; 및 제1 레이어와 결합되는 결합부, 검사장치의 패드와 접촉할 수 있는 제2 탐침부 및 결합부와 제2 탐침부를 연결하는 탄성부를 포함하는 제2 레이어를 포함하고, 제1 레이어의 가이드부는 제1 방향으로의 일측에서 가이드부의 길이 방향을 따라 연장되는 가이드홈을 갖고, 제2 레이어의 결합부가 제1 레이어의 가이드홈을 따라 슬라이딩되어, 탄성부가 가이드홈에 배치될 수 있다.A probe device according to an embodiment of the present invention includes a first layer including a first probe portion capable of contacting a terminal of an object to be inspected and a guide portion extending from the first probe portion in a first direction; And a second layer including a coupling portion coupled to the first layer, a second probe portion capable of contacting the pad of the inspection device, and an elastic portion connecting the coupling portion and the second probe portion, and the guide portion of the first layer It has a guide groove extending along the longitudinal direction of the guide portion on one side in the first direction, and the coupling portion of the second layer slides along the guide groove of the first layer, so that the elastic portion can be disposed in the guide groove.

Description

Probe device {PROBE DEVICE}

본 발명은 탐침장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 피검사 대상물과 검사장치 사이에 배치되어 피검사 대상물에 대한 전기적 검사를 수행함에 있어서 보다 향상된 접촉 특성과 전기적 특성을 갖는 탐침장치에 관한 것이다. The present invention relates to a probe device, and more specifically, to a probe device that is disposed between an object to be inspected and a test device and has improved contact characteristics and electrical characteristics in performing an electrical test on the object to be inspected.

일반적으로, 반도체 장치 또는 집적 회로 등(이하, "피검사 대상물")이 제조될 때, 정상 동작 여부, 결함 여부, 신뢰성 등을 검사하기 위해 다양한 검사가 수행된다. 피검사 대상물에 대한 전기적 검사를 수행함에 있어서, 피검사 대상물의 접속 단자와 검사장치의 테스트 보드의 패드 또는 접속 단자 사이에 배치되어 전기적 신호를 전송하는 탐침장치가 사용될 수 있다.Generally, when a semiconductor device or integrated circuit (hereinafter referred to as “inspection object”) is manufactured, various tests are performed to check normal operation, defects, reliability, etc. When performing an electrical test on an object to be inspected, a probe device that is disposed between the connection terminal of the object to be inspected and the pad or connection terminal of the test board of the inspection device and transmits an electrical signal may be used.

구체적으로, 검사장치 상에 탐침장치를 배치한 후에, 피검사 대상물을 탐침장치 상측에서 가압하여 누름으로써, 피검사 대상물, 탐침장치 및 검사장치 간에 전기적 접속이 이루어지고, 소정의 전기적 신호를 인가하여 전기적 검사를 수행할 수 있다.Specifically, after placing the probe device on the inspection device, the object to be inspected is pressed and pressed from the upper side of the probe device, so that an electrical connection is made between the object to be inspected, the probe device, and the inspection device, and a predetermined electrical signal is applied to Electrical tests can be performed.

이러한 탐침장치는 일반적으로 스프링 등의 탄성부를 포함하여, 피검사 대상물 및 검사장치와 접촉하는 과정에서 발생하는 충격을 흡수하고 다수의 단자들이 신뢰성 있게 접촉하도록 돕는 역할을 한다.These probe devices generally include elastic parts such as springs, and serve to absorb shock generated in the process of contacting the object to be inspected and the inspection device and to help ensure reliable contact between multiple terminals.

그러나, 종래의 탐침장치에서는, 테스트를 반복함에 따라 탄성부가 변형되거나 접촉 특성이 악화되어 검사의 신뢰성을 저하시키는 문제점이 있다.However, in the conventional probe device, as the test is repeated, the elastic part is deformed or the contact characteristics deteriorate, which reduces the reliability of the test.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 더욱 상세하게는 탐침장치의 변형을 방지하여 내구성을 향상시키고, 접촉 특성을 개선하여 검사의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 탐침장치를 제공하는 것이다.The present invention was created to solve the above-mentioned problems, and more specifically, to provide a probe device that can prevent deformation of the probe device, improve durability, and improve the reliability of inspection by improving contact characteristics.

일부 실시예에서, 결합부는 피검사 대상물의 단자와 접촉할 수 있다.In some embodiments, the coupling portion may contact a terminal of the object to be inspected.

일부 실시예에서, 제1 레이어의 제1 탐침부는 일측에서 돌출되는 적어도 하나의 제1 돌출부를 포함하고, 제2 레이어의 결합부는 일측에서 돌출되는 적어도 하나의 제2 돌출부 및 제2 돌출부에 의해 정의되는 결합홈을 포함하고, 제1 레이어가 결합홈에 배치되어, 제1 레이어와 제2 레이어가 크로스 결합될 수 있다.In some embodiments, the first probe portion of the first layer includes at least one first protrusion protruding from one side, and the coupling portion of the second layer includes at least one second protrusion protruding from one side and defined by the second protrusion. and a coupling groove, and the first layer is disposed in the coupling groove, so that the first layer and the second layer can be cross-coupled.

일부 실시예에서, 제1 레이어는 좌우대칭인 형상을 갖는다.In some embodiments, the first layer has a symmetrical shape.

일부 실시예에서, 제1 레이어가 제2 레이어와 결합되는 경우, 제1 돌출부의 일단부 및 제2 돌출부의 일단부는 동일 평면 상에 위치한다.In some embodiments, when the first layer is combined with the second layer, one end of the first protrusion and one end of the second protrusion are located on the same plane.

일부 실시예에서, 제2 돌출부는 피검사장치의 단자와 접촉한다.In some embodiments, the second protrusion contacts a terminal of the device under test.

일부 실시예에서, 제1 레이어가 제2 레이어와 결합되는 경우, 제1 돌출부의 일단부와 제2 돌출부의 일단부는 평면상에서 결합 중심축을 기준으로 대칭인 형상을 갖는다.In some embodiments, when the first layer is combined with the second layer, one end of the first protrusion and one end of the second protrusion have a symmetrical shape in a plane about the central axis of the coupling.

일부 실시예에서, 제1 레이어가 제2 레이어와 결합되는 경우, 제1 돌출부의 일단부는, 제1 방향의 반대 방향인 제2 방향으로 제2 돌출부의 일단부보다 더 돌출된다.In some embodiments, when the first layer is joined to the second layer, one end of the first protrusion protrudes further than one end of the second protrusion in a second direction opposite the first direction.

일부 실시예에서, 제1 레이어의 가이드부는 제1 방향으로의 일측 단부에 배치되는 제1 체결부를 더 포함하고, 제2 탐침부는 제2 체결부를 포함하고, 제1 체결부와 제2 체결부가 체결되어, 제1 레이어가 제2 레이어와 결합될 수 있다.In some embodiments, the guide portion of the first layer further includes a first fastener disposed at one end in the first direction, the second probe portion includes a second fastener, and the first fastener and the second fastener are fastened. Thus, the first layer can be combined with the second layer.

일부 실시예에서, 제1 체결부는 걸림돌기를 포함하고, 제2 체결부는 홈 또는 홀을 포함하고, 제1 방향으로 제1 체결부의 길이는 제2 체결부의 길이보다 작다.In some embodiments, the first fastening part includes a locking protrusion, the second fastening part includes a groove or a hole, and the length of the first fastening part in the first direction is smaller than the length of the second fastening part.

일부 실시예에서, 제1 레이어의 가이드부는 제1 방향으로의 일측 단부에 배치되는 제1 체결부를 더 포함하고, 제2 탐침부는 제2 체결부를 포함하고, 제1 체결부는 걸림돌기를 포함하고, 제2 체결부는 홈 또는 홀을 포함하며, 제1 방향으로 결합홈의 일단부에서 제1 방향의 반대 방향인 제2 방향으로 제2 체결부의 일단부까지의 길이는, 제2 방향으로 가이드홈의 일단부에서 제2 방향으로 제1 체결부의 일단부까지의 길이와 같거나 작고, 제1 체결부와 제2 체결부가 체결되어, 제1 레이어가 제2 레이어와 결합될 수 있다.In some embodiments, the guide portion of the first layer further includes a first fastening portion disposed at one end in the first direction, the second probe portion includes a second fastening portion, the first fastening portion includes a locking protrusion, and 2 The fastening part includes a groove or hole, and the length from one end of the coupling groove in the first direction to one end of the second fastening part in the second direction opposite to the first direction is one end of the guide groove in the second direction. It is equal to or smaller than the length from the part to one end of the first fastener in the second direction, and the first fastener and the second fastener are fastened, so that the first layer can be coupled to the second layer.

일부 실시예에서, 탄성부는 탄성부와 마주하는 가이드부의 내면과 접촉한다.In some embodiments, the elastic portion contacts the inner surface of the guide portion facing the elastic portion.

일부 실시예에서, 제1 레이어의 가이드부는 서로 대향하게 배치되어 가이드홈을 정의하는 제1 가이드부 및 제2 가이드부를 포함하고, 제1 가이드부와 제2 가이드부 간의 거리는 제2 레이어의 탄성부의 두께와 동일하다.In some embodiments, the guide portion of the first layer includes a first guide portion and a second guide portion disposed opposite to each other and defining a guide groove, and the distance between the first guide portion and the second guide portion is determined by the elastic portion of the second layer. Same as thickness.

일부 실시예에서, 탄성부의 폭은 가이드부의 두께보다 크다.In some embodiments, the width of the elastic portion is greater than the thickness of the guide portion.

일부 실시예에서, 제1 레이어의 가이드부는 서로 대향하게 배치되어 가이드홈을 정의하는 제1 가이드부 및 제2 가이드부를 포함하고, 제1 가이드부 및 제2 가이드부의 탄성부와 중첩하는 부분은 탄성부와 중첩하지 않는 부분보다 큰 폭을 갖는다.In some embodiments, the guide portion of the first layer includes a first guide portion and a second guide portion disposed opposite to each other and defining a guide groove, and a portion overlapping the elastic portion of the first guide portion and the second guide portion is elastic. It has a larger width than the part that does not overlap with the part.

일부 실시예에서, 제1 레이어 및 제2 레이어는 각각 일체형으로 형성된다.In some embodiments, the first layer and the second layer are each formed integrally.

일부 실시예에서, 탄성부는 웨이브 형상을 갖는다.In some embodiments, the elastic portion has a wave shape.

일부 실시예에서, 피검사 대상물의 단자와 접촉할 수 있는 제1 탐침부 및 제1 탐침부에서 제1 방향으로 연장되는 가이드부를 포함하는 제1 레이어; 및 제1 레이어와 결합되는 결합부, 검사장치의 패드와 접촉할 수 있는 제2 탐침부 및 결합부와 제2 탐침부를 연결하는 탄성부를 포함하는 제2 레이어를 포함하고, 제1 레이어의 가이드부는, 서로 대향하게 배치되어 가이드부의 길이 방향을 따라 연장되는 가이드홈을 정의하는 제1 가이드부 및 제2 가이드부를 포함하고, 제2 레이어의 결합부가 제1 레이어의 가이드홈을 따라 슬라이딩되어, 제2 레이어의 탄성부가 제1 가이드부와 제2 가이드부 사이에 배치될 수 있다.In some embodiments, a first layer including a first probe portion capable of contacting a terminal of an object to be inspected and a guide portion extending from the first probe portion in a first direction; And a second layer including a coupling portion coupled to the first layer, a second probe portion capable of contacting the pad of the inspection device, and an elastic portion connecting the coupling portion and the second probe portion, and the guide portion of the first layer , a first guide portion and a second guide portion that are disposed opposite to each other and define a guide groove extending along the longitudinal direction of the guide portion, and the coupling portion of the second layer slides along the guide groove of the first layer to form a second guide portion. The elastic portion of the layer may be disposed between the first guide portion and the second guide portion.

본 발명의 실시예에 의하면 적어도 다음과 같은 효과가 있다.According to an embodiment of the present invention, there are at least the following effects.

첫째, 탐침장치의 접촉 특성이 향상되어 전기적 특성이 개선될 수 있다.First, the electrical characteristics can be improved by improving the contact characteristics of the probe.

둘째, 전기 전달 경로의 개선으로 접촉 저항이 저하될 수 있다.Second, contact resistance can be reduced by improving the electrical transmission path.

셋째, 탄성부가 안정적으로 지지되어 탄성부의 변형이 방지될 수 있다.Third, the elastic part is stably supported and deformation of the elastic part can be prevented.

넷째, 부품의 개수를 최소화하여, 제조 수율을 향상시키고 제조 비용이 감소될 수 있다.Fourth, by minimizing the number of parts, manufacturing yield can be improved and manufacturing costs can be reduced.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 탐침장치의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시에에 따른 제1 탐침장치의 분해 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 탐침장치의 상면도, 측면도 및 하면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 탐침장치의 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시에에 따른 제2 탐침장치의 분해 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 탐침장치의 상면도, 측면도 및 하면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따라 도 1의 제1 탐침장치의 전기적 경로를 설명하기 위한 측면도이다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 제3 탐침장치의 사시도이다.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 제4 탐침장치의 사시도이다.
도 10은 본 발명의 다른 실시예에 따른 도 9의 제4 탐침장치의 분해 사시도이다.Figure 1 is a perspective view of a first probe device according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is an exploded perspective view of a first probe device according to an embodiment of the present invention.
Figure 3 is a top view, side view, and bottom view of a first probe device according to an embodiment of the present invention.
Figure 4 is a perspective view of a second probe device according to an embodiment of the present invention.
Figure 5 is an exploded perspective view of a second probe device according to an embodiment of the present invention.
Figure 6 is a top view, side view, and bottom view of a second probe device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 7 is a side view illustrating the electrical path of the first probe device of FIG. 1 according to an embodiment of the present invention.
Figure 8 is a perspective view of a third probe device according to another embodiment of the present invention.
Figure 9 is a perspective view of a fourth probe device according to another embodiment of the present invention.
Figure 10 is an exploded perspective view of the fourth probe device of Figure 9 according to another embodiment of the present invention.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 따라서, 몇몇 실시예에서, 잘 알려진 공정 단계들, 잘 알려진 소자 구조 및 잘 알려진 기술들은 본 발명이 모호하게 해석되는 것을 피하기 위하여 구체적으로 설명되지 않는다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다. 이러한 반복은 간결성과 명료성을 위한 것이며 그 자체가 논의된 다양한 실시예 및/또는 구성 간의 관계를 지시하는 것은 아니다.The advantages and features of the present invention and methods for achieving them will become clear by referring to the embodiments described in detail below along with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below and will be implemented in various different forms. The present embodiments only serve to ensure that the disclosure of the present invention is complete, and those skilled in the art It is provided to fully inform the person of the scope of the invention, and the present invention is only defined by the scope of the claims. Accordingly, in some embodiments, well-known process steps, well-known device structures, and well-known techniques are not specifically described in order to avoid ambiguous interpretation of the present invention. Like reference numerals refer to like elements throughout the specification. This repetition is for brevity and clarity and does not by itself dictate the relationship between the various embodiments and/or configurations discussed.

공간적으로 상대적인 용어인 "아래", "하부", "위", "상부" 등은 도면에 도시되어 있는 바와 같이 하나의 소자 또는 구성 요소들과 다른 소자 또는 구성 요소들과의 상관관계를 용이하게 기술하기 위해 사용될 수 있다. 공간적으로 상대적인 용어는 도면에 도시되어 있는 방향에 더하여 사용시 또는 동작시 소자의 서로 다른 방향을 포함하는 용어로 이해되어야 한다. 예를 들면, 도면에 도시되어 있는 소자를 뒤집을 경우, 다른 소자의 "아래"로 기술된 소자는 다른 소자의 "위"에 놓여질 수 있다. 따라서, 예시적인 용어인 "아래"는 아래와 위의 방향을 모두 포함할 수 있다. 소자는 다른 방향으로도 배향될 수 있고, 이에 따라 공간적으로 상대적인 용어들은 배향에 따라 해석될 수 있다.Spatially relative terms such as “below,” “lower,” “above,” and “top” facilitate the correlation between one element or component and other elements or components, as shown in the drawing. It can be used to describe. Spatially relative terms should be understood as terms that include different directions of the element during use or operation in addition to the direction shown in the drawings. For example, if an element shown in the drawings is turned over, an element described as “below” another element may be placed “above” the other element. Accordingly, the illustrative term “down” may include both downward and upward directions. Elements can also be oriented in other directions, so spatially relative terms can be interpreted according to orientation.

본 명세서에서 사용된 용어는 실시예를 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다" 및/또는 "포함하는"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.The terms used in this specification are for describing embodiments and are not intended to limit the invention. As used herein, singular forms also include plural forms, unless specifically stated otherwise in the context. As used in the specification, “comprise” and/or “comprising” does not exclude the presence or addition of one or more other components, steps, operations and/or elements. .

본 명세서에서 제1, 제2, 제3 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 이러한 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되는 것은 아니다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소들로부터 구별하는 목적으로 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위로부터 벗어나지 않고, 제1 구성 요소가 제2 또는 제3 구성 요소 등으로 명명될 수 있으며, 유사하게 제2 또는 제3 구성 요소도 교호적으로 명명될 수 있다.In this specification, terms such as first, second, and third may be used to describe various components, but these components are not limited by the terms. The above terms are used for the purpose of distinguishing one component from other components. For example, without departing from the scope of the present invention, a first component may be named a second or third component, etc., and similarly, the second or third component may also be named alternately.

다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않은 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.Unless otherwise defined, all terms (including technical and scientific terms) used in this specification may be used with meanings that can be commonly understood by those skilled in the art to which the present invention pertains. Additionally, terms defined in commonly used dictionaries are not to be interpreted ideally or excessively unless clearly specifically defined.

이하의 실시예에서, 탐침장치는 반도체 장치 또는 집적회로 등(이하, 피검사 대상물)과 이를 검사하기 위한 검사장치 사이에 배치되어 피검사 대상물의 단자와 검사장치의 패드를 전기적으로 접속시킬 수 있는 탐침장치에 관한 것이다. 예를 들어, 탐침장치는 포고핀으로 지칭될 수도 있다. 본 발명에 따른 탐침장치는 피검사대상물의 제조 공정 도중에 또는 제조된 이후에, 정상 동작 여부, 결함 여부, 신뢰성 등을 검사하기 위해 사용될 수 있다. 그러나, 본 발명의 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다.In the following embodiments, the probe device is disposed between a semiconductor device or integrated circuit, etc. (hereinafter referred to as an object to be inspected) and a test device for testing the same, and can electrically connect the terminal of the object to be inspected and the pad of the test device. It is about a probe device. For example, the probe may be referred to as a pogo pin. The probe device according to the present invention can be used to inspect normal operation, defects, reliability, etc. during or after the manufacturing process of the object to be inspected. However, embodiments of the present invention are not limited thereto.

이하, 도 1 내지 도 10을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 탐침장치를 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a probe device according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 to 10.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 탐침장치(1)의 사시도이다. 도 2는 본 발명의 일 실시에에 따른 제1 탐침장치(1)의 분해 사시도이다. 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 탐침장치(1)의 평면도 및 측면도이다.Figure 1 is a perspective view of a first probe device 1 according to an embodiment of the present invention. Figure 2 is an exploded perspective view of the first probe device 1 according to one embodiment of the present invention. Figure 3 is a top view and a side view of the first probe device 1 according to an embodiment of the present invention.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 탐침장치(1)는 제1 레이어(10) 및 제2 레이어(20)을 포함한다.1 to 3, the first probe device 1 according to an embodiment of the present invention includes a first layer 10 and a second layer 20.

일 실시예에서, 제1 레이어(10)는 제1 탐침부(110) 및 제1 탐침부(110)의 일측에서 제1 방향(D1)으로 연장되는 가이드부(120)를 포함할 수 있다. 본 명세서에서, 설명의 편의를 위해, 제1 방향(D1)을 하측 방향, 제1 방향(D1)에 반대하는 제2 방향(D2)를 상측 방향이라고도 지칭한다.In one embodiment, the first layer 10 may include a first probe unit 110 and a guide unit 120 extending from one side of the first probe unit 110 in the first direction D1. In this specification, for convenience of explanation, the first direction D1 is also referred to as a downward direction, and the second direction D2 opposite to the first direction D1 is also referred to as an upward direction.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 제1 탐침부(110)는 제1 탐침부(110)의 상측에서 돌출되는 적어도 하나의 제1 돌출부(111) 및 제1 돌출부(111)에 의해 정의되는 제1 홈(112)을 포함할 수 있다. 예를 들어, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 제1 돌출부(111)는 제2 방향(D2)을 따라 그 폭이 점차 줄어드는 테이퍼 형상을 가질 수 있다. 도 1 내지 도 3에는 두 개의 제1 돌출부(111)가 제1 탐침부(110)에 배치되는 것으로 도시되었지만, 본 발명의 실시예는 이에 한정되지 않으며, 제1 돌출부(111)는 2 이상의 복수의 제1 돌출부(111)를 포함할 수 있다. 제1 탐침부(110)는 피검사 대상물(도 7의 5 참조)에 접촉하는 역할을 할 수 있는 바, 이에 대해서는 이하에서 더 상세히 설명한다.1 to 3, the first probe 110 includes at least one first protrusion 111 protruding from the upper side of the first probe 110 and a first protrusion defined by the first protrusion 111. 1 may include a groove 112. For example, as shown in FIGS. 1 to 3 , the first protrusion 111 may have a tapered shape whose width gradually decreases along the second direction D2. 1 to 3 show that two first protrusions 111 are disposed on the first probe 110, but the embodiment of the present invention is not limited thereto, and the first protrusions 111 may be formed of two or more plurality of first protrusions 111. It may include a first protrusion 111. The first probe unit 110 may serve to contact the object to be inspected (see 5 in FIG. 7), which will be described in more detail below.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 가이드부(120)는, 제1 가이드부(121), 제2 가이드부(122) 및 가이드홈(125)을 포함할 수 있다. 제1 가이드부(121) 및 제2 가이드부(122)는 서로 대향하게 배치되어 가이드홈(125)을 정의할 수 있다. 가이드홈(125)은 가이드부(120)의 하측에서 제2 방향(D2)을 따라 연장된다. 예를 들어, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 가이드홈(125)은 가이드부(120)의 길이 방향으로 길게 연장되며, 제1 방향(D1)으로 개방될 수 있다. 예를 들어, 가이드부(120)의 하측은 서로 이격된 제1 가이드부(121) 및 제2 가이드부(122)를 포함하고, 가이드부(120)의 상측은 제1 탐침부(110)의 하측에 배치되어, 가이드부(120)는 전체적으로 U-자 형상 또는 후크 형상을 가질 수 있다. 가이드부(120)는 제1 레이어(10)와 제2 레이어(20)가 결합되는 것을 가이드하고, 추후 설명되는 탄성부(220)를 지지하는 역할을 할 수 있다. 이에 대해서는 이하에서 더 상세히 설명한다.Referring to FIGS. 1 to 3 , the guide part 120 may include a first guide part 121, a second guide part 122, and a guide groove 125. The first guide part 121 and the second guide part 122 may be disposed to face each other to define a guide groove 125. The guide groove 125 extends from the lower side of the guide portion 120 along the second direction D2. For example, as shown in FIGS. 1 to 3, the guide groove 125 extends long in the longitudinal direction of the guide portion 120 and may be open in the first direction D1. For example, the lower side of the guide portion 120 includes a first guide portion 121 and a second guide portion 122 spaced apart from each other, and the upper side of the guide portion 120 includes the first probe portion 110. Arranged on the lower side, the guide portion 120 may have an overall U-shape or a hook shape. The guide portion 120 guides the first layer 10 and the second layer 20 to be combined and may serve to support the elastic portion 220, which will be described later. This will be explained in more detail below.

가이드부(120)는 하측 단부에 배치되는 제1 체결부(130)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 제1 체결부(130)는 가이드홈(125)을 향하는 방향으로 돌출되는 걸림돌기를 포함할 수 있다. 예를 들어, 제1 체결부(130)는 제1 가이드부(121) 및 제2 가이드부(122) 각각으로부터 가이드홈(125)을 향하는 방향으로 돌출되는 걸림돌기를 포함할 수 있다. 따라서, 제1 체결부(130) 사이의 간격(g2)은 가이드홈(125)의 폭(g1), 즉 제1 가이드부(121)와 제2 가이드부(122) 사이의 간격(g1)보다 작을 수 있다. 제1 체결부(130)는 추후 설명되는 제2 레이어(20)의 제2 체결부(235)와 체결되어, 제1 레이어(10)와 제2 레이어(20)가 결합되는 경우 제1 레이어(10)가 제2 레이어(20)로부터 이탈되는 것을 방지하는 역할을 할 수 있다.The guide portion 120 may include a first fastening portion 130 disposed at the lower end. For example, the first fastening part 130 may include a locking protrusion that protrudes in a direction toward the guide groove 125. For example, the first fastening part 130 may include a locking protrusion that protrudes from each of the first guide part 121 and the second guide part 122 in a direction toward the guide groove 125. Therefore, the gap g2 between the first fastening parts 130 is greater than the width g1 of the guide groove 125, that is, the gap g1 between the first guide part 121 and the second guide part 122. It can be small. The first fastening part 130 is fastened to the second fastening part 235 of the second layer 20, which will be described later, so that when the first layer 10 and the second layer 20 are combined, the first layer ( 10) may serve to prevent the layer from being separated from the second layer 20.

일 실시예에서, 제1 레이어(10)는 대칭인 형상을 갖는다. 예를 들어, 도 2에 도시된 바와 같이, 제1 레이어(10)는 좌우 대칭인 형상을 갖는다. 이와 같은 구성으로 인해, 본 발명의 제1 탐침장치(10)는, 제1 레이어(10)를 통과하는 병렬의 평행인 전기적 경로가 대칭으로 형성되고, 피검사 대상물과의 우수한 접촉성을 달성하고, 비교적 낮은 접촉 저항을 가짐으로써, 전기적 특성이 향상될 수 있다. 그러나, 본 발명의 실시예가 이에 한정되는 것은 아니며, 제1 레이어(10)는 비대칭인 형상을 가질 수도 있다.In one embodiment, first layer 10 has a symmetrical shape. For example, as shown in FIG. 2, the first layer 10 has a left-right symmetrical shape. Due to this configuration, the first probe device 10 of the present invention has a symmetrical parallel electrical path passing through the first layer 10, achieves excellent contact with the object to be inspected, and , by having a relatively low contact resistance, electrical characteristics can be improved. However, the embodiment of the present invention is not limited to this, and the first layer 10 may have an asymmetric shape.

일 실시예에서, 제2 레이어(20)는 결합부(210), 제2 탐침부(230) 및 결합부(210)와 제2 탐침부(230)를 연결하는 탄성부(220)를 포함할 수 있다.In one embodiment, the second layer 20 may include a coupling portion 210, a second probe portion 230, and an elastic portion 220 connecting the coupling portion 210 and the second probe portion 230. You can.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 결합부(210)는 결합부(210)의 상측에서 돌출되는 적어도 하나의 제2 돌출부(211) 및 제2 돌출부(211)에 의해 정의되는 결합홈(212)을 포함할 수 있다. 예를 들어, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 제2 돌출부(211)는 제2 방향(D2)을 따라 그 폭이 점차 줄어드는 테이퍼 형상을 가질 수 있다. 도 1 내지 도 3에는 두 개의 제2 돌출부(211)가 제2 탐침부(210)에 배치되는 것으로 도시되었지만, 본 발명의 실시예는 이에 한정되지 않으며, 제2 돌출부(211)는 2 이상의 복수의 제2 돌출부(211)를 포함할 수 있다. 제1 레이어(10)와 제2 레이어(20)가 결합되는 경우, 제1 레이어(10)가 결합홈(212)에 배치되어 제1 레이어(10)와 제2 레이어(20)가 크로스 결합될 수 있다.1 to 3, the coupling portion 210 includes at least one second protrusion 211 protruding from the upper side of the coupling portion 210 and a coupling groove 212 defined by the second protrusion 211. may include. For example, as shown in FIGS. 1 to 3 , the second protrusion 211 may have a tapered shape whose width gradually decreases along the second direction D2. 1 to 3 show that two second protrusions 211 are disposed on the second probe 210, but the embodiment of the present invention is not limited thereto, and the second protrusions 211 may be formed of two or more plurality of second protrusions 211. It may include a second protrusion 211. When the first layer 10 and the second layer 20 are combined, the first layer 10 is placed in the coupling groove 212 so that the first layer 10 and the second layer 20 are cross-coupled. You can.

탄성부(220)는 제2 레이어(20)의 길이 방향(예를 들어, 제1 방향(D1) 또는 제2 방향(D2))으로 신축 가능하게 형성된다. 예를 들어, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 탄성부(220)는 웨이브 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 탄성부(220)는 균일한 또는 부분적으로 상이한 피치, 파고, 및/또는 파장을 갖는 웨이브 형상을 가질 수 있다. 그러나, 본 발명의 실시예가 이에 한정되는 것은 아니며, 탄성부(220)는 당업계에 공지된 스프링 형상을 가질 수 있으며, 제2 레이어(20)의 두께 방향으로 복수의 층으로 적층될 수도 있다. 예를 들어, 제2 탐침부(230)를 검사장치(도 7의 7) 상에 배치하고, 제1 탐침부(110)를 피검사 대상물(도 7의 5) 하부에 배치한 후에, 이를 가압하는 경우, 탄성부(220)가 신축 가능하여 탄성부(220)의 길이가 줄어들도록 형성됨으로써, 탄성부(220)는 검사장치 및 피검사 대상물과 접촉하는 과정에서 발생하는 충격을 흡수할 뿐만 아니라 피검사 대상물과 검사장치에 대한 충분한 접촉 압력을 제공하여 다수의 단자들과 우수한 접촉 성능을 제공할 수 있다.The elastic portion 220 is formed to be stretchable in the longitudinal direction of the second layer 20 (eg, in the first direction D1 or the second direction D2). For example, as shown in FIGS. 1 to 3, the elastic portion 220 may have a wave shape. For example, the elastic portion 220 may have a uniform or partially wavy shape with different pitch, wave height, and/or wavelength. However, the embodiment of the present invention is not limited to this, and the elastic portion 220 may have a spring shape known in the art, and may be stacked in a plurality of layers in the thickness direction of the second layer 20. For example, after the second probe unit 230 is placed on the inspection device (7 in FIG. 7) and the first probe unit 110 is placed below the object to be inspected (5 in FIG. 7), it is pressed. In this case, the elastic portion 220 is flexible and is formed to reduce the length of the elastic portion 220, so that the elastic portion 220 not only absorbs the shock that occurs in the process of contact with the inspection device and the object to be inspected. It can provide excellent contact performance with multiple terminals by providing sufficient contact pressure to the object to be inspected and the inspection device.

제2 탐침부(230)는 돌출부(231) 및 제2 체결부(235)를 포함한다. 일 실시예에서, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 제2 탐침부(230)는 하나의 돌출부(231)를 포함할 수 있지만, 본 발명의 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 제2 탐침부(230)의 돌출부(231)는 검사장치의 패드 또는 단자(도 7의 7 참조)와 접촉할 수 있다. 예를 들어, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 돌출부(231)는 제1 방향(D1)을 따라 그 폭이 점차 줄어드는 테이퍼 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 돌출부(231)는 검사장치와 우수한 접촉 성능을 갖도록 뾰족한 산(mountain)과 같은 형상을 가질 수 있다.The second probe 230 includes a protrusion 231 and a second fastening portion 235. In one embodiment, as shown in FIGS. 1 to 3, the second probe 230 may include one protrusion 231, but the embodiment of the present invention is not limited thereto. The protrusion 231 of the second probe 230 may contact the pad or terminal (see 7 in FIG. 7) of the inspection device. For example, as shown in FIGS. 1 to 3 , the protrusion 231 may have a tapered shape whose width gradually decreases along the first direction D1. For example, the protrusion 231 may have a sharp mountain-like shape to have excellent contact performance with the inspection device.

제2 체결부(235)는 제1 체결부(130)와 체결되도록, 제1 체결부(130)에 부분적으로 대응하는 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 제1 체결부(130)가 가이드홈(125)을 향하는 방향으로 돌출되는 걸림돌기의 형태인 경우, 제2 체결부(235)는 제1 체결부(130)가 걸릴 수 있는 홀, 홈 등의 형상을 가질 수 있다. 도 1 내지 도 3에는 제2 체결부(235)가 홀의 형상을 갖도록 도시되어 있지만, 본 발명의 실시예가 이에 한정되는 것은 아니며, 제2 체결부(235)는 제1 체결부(130)가 체결될 수 있는 임의의 형상, 예를 들어 걸림턱의 형상을 가질 수 있다.The second fastening part 235 may have a shape that partially corresponds to the first fastening part 130 so as to be fastened to the first fastening part 130 . For example, when the first fastening part 130 is in the form of a locking protrusion protruding in the direction toward the guide groove 125, the second fastening part 235 has a hole into which the first fastening part 130 can be caught. , grooves, etc. 1 to 3, the second fastening part 235 is shown to have the shape of a hole, but the embodiment of the present invention is not limited thereto, and the second fastening part 235 is fastened to the first fastening part 130. It may have any shape, for example, the shape of a locking protrusion.

일 실시예에서, 제1 레이어(10) 및 제2 레이어(20)는 MEMS(Micro Electro mechanical System, 미세전자기계시스템) 공정을 이용하여 형성되어, 연속적으로 제조할 수 있고, 정밀하게 가공될 수 있다. 다만, 본 발명의 실시예가 이에 한정되는 것은 아니며, 제1 및 제2 레이어(10, 20)는 스탬핑(stamping), 프레스(press) 공정, 또는 에칭(etch) 공정 등의 당업계에 공지된 다양한 공정 및 이들을 조합한 공정을 통해 형성될 수 있다. 일 실시예에서, 제1 레이어(10) 및 제2 레이어(20)는 매우 얇은 스트립(strip) 형태로 형성될 수 있지만, 본 발명의 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다.In one embodiment, the first layer 10 and the second layer 20 are formed using a MEMS (Micro Electro mechanical System) process, and can be continuously manufactured and precisely processed. there is. However, the embodiment of the present invention is not limited thereto, and the first and second layers 10 and 20 may be formed using various processes known in the art, such as stamping, press process, or etching process. It can be formed through processes and combinations thereof. In one embodiment, the first layer 10 and the second layer 20 may be formed in the form of very thin strips, but the embodiment of the present invention is not limited thereto.

일 실시예에서, 제1 레이어(10) 및 제2 레이어(20)의 각각은 일체형으로 모놀리식(monolithic) 구조로 형성될 수 있다. 즉, 제1 탐침부(110), 가이드부(120) 및 제1 체결부(130)는 일체형으로 형성될 수 있다. 또한, 결합부(210), 탄성부(220) 및 제2 탐침부(230)는 일체형으로 형성될 수 있다. 또한, 제1 레이어(10) 및 제2 레이어(20)의 각각은 동일한 물질을 사용하여 형성될 수 있다. 그러나, 본 발명의 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 일 실시예에서, 제1 레이어(10) 및 제2 레이어(20)는 각각 균일한 두께(t1, t2)를 갖도록 형성될 수 있다. 제1 레이어(10) 및 제2 레이어(20)의 두께(t1, t2)는 서로 동일할 수도 있고, 상이할 수도 있다. 이와 같이, 탐침장치를 구성하는 구성요소(예를 들어, 부품)의 개수를 최소화하고, 제1 및 제2 레이어(10, 20)의 제조 공정을 간소화할 수 있도록 하여, 불량률을 낮추고, 제조 수율을 향상시키고 제조 비용을 저감할 수 있다.In one embodiment, each of the first layer 10 and the second layer 20 may be formed as an integrated monolithic structure. That is, the first probe part 110, the guide part 120, and the first fastening part 130 may be formed as one piece. Additionally, the coupling portion 210, the elastic portion 220, and the second probe portion 230 may be formed as one piece. Additionally, each of the first layer 10 and the second layer 20 may be formed using the same material. However, embodiments of the present invention are not limited thereto. In one embodiment, the first layer 10 and the second layer 20 may be formed to have uniform thicknesses t1 and t2, respectively. The thicknesses t1 and t2 of the first layer 10 and the second layer 20 may be the same or different. In this way, the number of components (e.g., parts) constituting the probe device can be minimized and the manufacturing process of the first and second layers 10 and 20 can be simplified, thereby lowering the defect rate and manufacturing yield. can improve and reduce manufacturing costs.

일 실시예에서, 제1 레이어(10)와 제2 레이어(20)는 결합될 수 있다. 예를 들어, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 제2 레이어(20)의 결합부(210)가 제1 레이어(10)의 가이드홈(125)을 따라 제2 방향(D2)으로 슬라이딩되어 제1 레이어(10)에 삽입될 수 있다. 이 경우, 제1 레이어(10)가 결합부(210)의 결합홈(212)에 배치되어 제1 레이어(10)와 제2 레이어(20)가 크로스 결합될 수 있다. 또한, 제1 체결부(130)가 제2 체결부(235)와 체결되어, 제1 레이어(10)가 제2 레이어(20)로부터 이탈되는 것을 방지할 수 있다. 일 실시예에서, 제1 레이어(10)와 제2 레이어(20) 간의 접촉 면적을 최대화하기 위해, 예를 들어, 결합홈(212)의 폭은 제1 레이어(10)의 두께(t1)과 동일할 수 있고, 제2 체결부(235)의 폭은 제1 체결부(130)의 두께(t1)과 동일할 수 있으나, 본 발명의 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다.In one embodiment, the first layer 10 and the second layer 20 may be combined. For example, as shown in FIGS. 1 to 3, the coupling portion 210 of the second layer 20 slides in the second direction D2 along the guide groove 125 of the first layer 10. and can be inserted into the first layer 10. In this case, the first layer 10 is disposed in the coupling groove 212 of the coupling portion 210, so that the first layer 10 and the second layer 20 can be cross-coupled. Additionally, the first fastening part 130 is fastened to the second fastening part 235, thereby preventing the first layer 10 from being separated from the second layer 20. In one embodiment, to maximize the contact area between the first layer 10 and the second layer 20, for example, the width of the coupling groove 212 is adjusted to the thickness t1 of the first layer 10 and It may be the same, and the width of the second fastening part 235 may be the same as the thickness t1 of the first fastening part 130, but the embodiment of the present invention is not limited thereto.

일 실시예에서, 제1 레이어(10)와 제2 레이어(20)가 결합되는 경우, 탄성부(220)가 가이드홈(125)에 배치될 수 있다. 예를 들어, 탄성부(220)는 제1 가이드부(121)와 제2 가이드부(122) 사이에 배치될 수 있다. 예를 들어, 탄성부(220)는 가이드홈(125) 내에 배치되고 가이드부(120)(예를 들어, 제1 및 제2 가이드부(121, 122))에 의해 지지되어, 탄성부(220)가 제1 방향(D1)에 수직하는 방향, 예를 들어, 탄성부(220)의 두께(t2) 방향으로 휘는 것이 방지될 수 있다. 이로 인해 본 발명에 따른 탄성부(220)의 변형이 억제되어 탐침장치의 내구성이 향상될 수 있다. 일 실시예에서, 가이드부(120)의 탄성부(220)에 대한 지지력을 향상시키기 위하여, 탄성부(220)와 중첩하는 가이드부(120)는 더 큰 폭을 가질 수 있다. 예를 들어, 제1 및 제2 가이드부(121, 122)의 탄성부(220)와 중첩하는 부분의 폭(w4)은 탄성부(220)와 중첩하지 않는 부분의 폭(w3)보다 클 수 있다. 일 실시예에서, 탄성부(220)의 폭(w2)은 가이드부(120)의 두께(t1)보다 클 수 있다. 예를 들어, 탄성부(220)의 적어도 일부가 가이드홈(125)에 배치될 수 있다. In one embodiment, when the first layer 10 and the second layer 20 are combined, the elastic portion 220 may be disposed in the guide groove 125. For example, the elastic part 220 may be disposed between the first guide part 121 and the second guide part 122. For example, the elastic part 220 is disposed in the guide groove 125 and supported by the guide part 120 (e.g., the first and second guide parts 121 and 122), so that the elastic part 220 ) can be prevented from bending in a direction perpendicular to the first direction D1, for example, in the direction of the thickness t2 of the elastic portion 220. As a result, deformation of the elastic portion 220 according to the present invention can be suppressed and durability of the probe device can be improved. In one embodiment, in order to improve the support force of the guide portion 120 for the elastic portion 220, the guide portion 120 overlapping the elastic portion 220 may have a larger width. For example, the width (w4) of the portion of the first and second guide portions 121 and 122 that overlaps the elastic portion 220 may be greater than the width (w3) of the portion that does not overlap the elastic portion 220. there is. In one embodiment, the width w2 of the elastic portion 220 may be greater than the thickness t1 of the guide portion 120. For example, at least a portion of the elastic portion 220 may be disposed in the guide groove 125.

또한, 제1 레이어(10)와 제2 레이어(20)가 결합되는 경우, 탄성부(220)는 탄성부(220)와 마주하는 가이드부(120), 즉 제1 및 제2 가이드부(121, 122)의 내면과 접촉할 수 있다. 예를 들어, 제1 가이드부(121)와 제2 가이드부(122) 사이의 간격(g1)(예를 들어, 제1 방향(D1)에 수직하는 방향으로의 제1 가이드부(121)와 제2 가이드부(122) 사이의 거리)은 탄성부(220)의 두께(t2)와 동일할 수 있다. 예를 들어, 가이드부(120)와 마주하는 탄성부(220)의 양면 중 가이드부(120)와 중첩하는 부분 전체가 가이드부(120)와 면접촉함으로써, 본 발명에 따른 제1 레이어(10)와 제2 레이어(20)의 결합 시에 항상 접점을 유지하고, 서로 간에 비교적 넓은 접촉 면적을 확보하여, 탐침장치의 접촉 특성 및 전기적 특성을 향상시킬 수 있다.In addition, when the first layer 10 and the second layer 20 are combined, the elastic portion 220 includes the guide portion 120 facing the elastic portion 220, that is, the first and second guide portions 121. , 122). For example, the gap g1 between the first guide part 121 and the second guide part 122 (e.g., the first guide part 121 in the direction perpendicular to the first direction D1 and The distance between the second guide parts 122) may be equal to the thickness t2 of the elastic part 220. For example, the entire portion that overlaps the guide portion 120 among both sides of the elastic portion 220 facing the guide portion 120 makes surface contact with the guide portion 120, thereby forming the first layer 10 according to the present invention. ) and the second layer 20 are always maintained at the contact point and a relatively large contact area is secured between them, thereby improving the contact characteristics and electrical characteristics of the probe device.

일 실시예에서, 제1 탐침장치(1)는 볼 그리드 어레이(BGA, Ball Grid Array)용 탐침장치로 볼(예를 들어, 땜납볼)의 형상을 갖는 단자를 포함하는 피검사 대상물(도 7의 5 참조)을 검사하기 위한 것일 수 있다. 본 실시예의 경우, 제1 레이어(10)의 제1 탐침부(110) 뿐만 아니라, 제2 레이어(20)의 결합부(210)의 제2 돌출부(211) 또한 피검사 대상물의 단자와 접촉할 수 있다. 일 실시예에서, 제1 돌출부(111) 및 제2 돌출부(211)의 상측 단부는 모두 동일 평면 상에 위치할 수 있다.In one embodiment, the first probe device 1 is a probe device for a ball grid array (BGA, Ball Grid Array) and is used to inspect an object to be inspected (FIG. 7) including a terminal having the shape of a ball (e.g., a solder ball). (see 5) may be for inspection. In the case of this embodiment, not only the first probe 110 of the first layer 10, but also the second protrusion 211 of the coupling part 210 of the second layer 20 may contact the terminal of the object to be inspected. You can. In one embodiment, upper ends of the first protrusion 111 and the second protrusion 211 may both be located on the same plane.

또한, 도 1 및 도 3을 참조하면, 제1 레이어(10)와 제2 레이어(20)가 결합되는 경우, 제1 탐침장치(1)의 상측에서 봤을 때, 제1 탐침부(110)의 제1 돌출부(111) 및 결합부(210)의 제2 돌출부(211)는 함께 결합 중심축(C1)을 기준으로 대칭 형상을 이룰 수 있다. 이와 같은 구성으로 인해, 제1 및 제2 레이어(10, 20)를 통과하는 병렬의 대칭 평행하는 전기적 경로가 형성될 수 있다.In addition, referring to FIGS. 1 and 3, when the first layer 10 and the second layer 20 are combined, when viewed from the top of the first probe device 1, the first probe unit 110 The first protrusion 111 and the second protrusion 211 of the coupling portion 210 may form a symmetrical shape with respect to the central coupling axis C1. Due to this configuration, parallel, symmetrical and parallel electrical paths passing through the first and second layers 10 and 20 can be formed.

이와 같이, 제1 돌출부(111) 및 제2 돌출부(211)의 상측 단부가 모두 동일 평면 상에 위치하고, 대칭 형상을 이루는 경우, 예를 들어, 피검사 대상물의 단자(예를 들어, 볼)와 보다 안정적으로 접촉하고 접촉 면적을 최대화하여 접촉 저항을 줄이고, 탐침장치의 전기적 특성을 향상시킬 수 있다.In this way, when the upper ends of the first protrusion 111 and the second protrusion 211 are all located on the same plane and form a symmetrical shape, for example, the terminal (e.g., ball) of the object to be inspected By making more stable contact and maximizing the contact area, contact resistance can be reduced and the electrical characteristics of the probe device can be improved.

일 실시예에서, 제1 레이어(10)와 제2 레이어(20)가 결합되기 이전에, 결합홈(212)의 하측 단부에서 제2 체결부(235)의 상측 단부까지의 길이(L2)는, 가이드홈(125)의 상측 단부에서 제1 체결부(130)의 상측 단부까지의 길이(L1)와 동일하거나 그보다 작다. 이와 같은 경우, 제1 체결부(130)가 제2 체결부(235)에 배치되어 제1 레이어(10)와 제2 레이어(20)가 결합될 때, 제1 체결부(130)의 상측 단부가 제2 체결부(235)의 상측 단부에 걸리거나 제2 체결부(235) 내에 배치되어 체결될 수 있다.In one embodiment, before the first layer 10 and the second layer 20 are combined, the length L2 from the lower end of the coupling groove 212 to the upper end of the second fastening portion 235 is , is equal to or smaller than the length L1 from the upper end of the guide groove 125 to the upper end of the first fastening part 130. In this case, when the first fastening part 130 is placed on the second fastening part 235 and the first layer 10 and the second layer 20 are coupled, the upper end of the first fastening part 130 It may be caught on the upper end of the second fastening part 235 or may be placed and fastened within the second fastening part 235.

일 실시예에서, 제1 체결부(130)의 제1 방향(D1)으로의 길이(l1)는 제2 체결부(235)의 제1 방향(D1)으로의 길이(l2)보다 작다. 예를 들어, 제1 체결부(130)가 제2 체결부(235)에 배치되어 결합된 제1 레이어(10)와 제2 레이어(20)가 제1 방향(D1) 또는 제2 방향(D2)으로 가압되는 경우, 탄성부(220)의 탄성력을 이용하여, 제1 체결부(130)의 하측 단부가 제2 체결부(235)의 하측 단부에 걸릴 때까지 이동할 수 있다. 이로 인해, 제1 체결부(130) 및 제2 체결부(235)는 제1 레이어(10)와 제2 레이저(20)가 서로로부터 이탈되는 것을 방지할 뿐만 아니라, 서로에 대한 이동 범위를 제한하는 역할을 할 수 있다.In one embodiment, the length l1 of the first fastening part 130 in the first direction D1 is smaller than the length l2 of the second fastening part 235 in the first direction D1. For example, the first fastening part 130 is disposed on the second fastening part 235 and the coupled first layer 10 and the second layer 20 move in the first direction D1 or the second direction D2. ), using the elastic force of the elastic part 220, the lower end of the first fastening part 130 can be moved until it is caught by the lower end of the second fastening part 235. Because of this, the first fastening part 130 and the second fastening part 235 not only prevent the first layer 10 and the second laser 20 from being separated from each other, but also limit the range of movement with respect to each other. can play a role.

일 예에서, 제1 레이어(10)와 제2 레이어(20)가 제1 방향(D1) 또는 제2 방향(D2)으로 가압되는 경우, 피검사 대상물의 단자(도 7의 5)와 검사장치(도 7의 7)의 패드 간의 거리에 따라 탄성부(220)가 수축되면서, 제1 체결부(130)의 상측 단부가 제2 체결부(235)의 상측 단부에 위치하는 제1 위치에서 제1 체결부(130)의 하측 단부가 제2 체결부(235)의 하측 단부에 위치하는 제2 위치까지 제1 체결부(130) 및 제2 체결부(235)가 서로에 대해 상대적으로 이동할 수 있다. 따라서, 제1 탐침부(110)가 피검사 대상물의 단자(5)에 그리고 제2 탐침부(230)가 검사장치(7)의 패드에 효과적으로 접촉하여, 충분한 접촉 압력 및 우수한 접촉 성능을 확보할 수 있다.In one example, when the first layer 10 and the second layer 20 are pressed in the first direction D1 or the second direction D2, the terminal (5 in FIG. 7) of the object to be inspected and the inspection device As the elastic portion 220 contracts according to the distance between the pads (7 in FIG. 7), the upper end of the first fastening portion 130 is first positioned at the upper end of the second fastening portion 235. 1 The first fastening part 130 and the second fastening part 235 can be moved relative to each other until the second position where the lower end of the fastening part 130 is located at the lower end of the second fastening part 235. there is. Therefore, the first probe unit 110 effectively contacts the terminal 5 of the object to be inspected and the second probe unit 230 effectively contacts the pad of the inspection device 7, thereby ensuring sufficient contact pressure and excellent contact performance. You can.

이하에서, 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 제2 탐침장치(2)를 설명한다. 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 탐침장치(2)의 사시도이다. 도 5는 본 발명의 일 실시에에 따른 제2 탐침장치(2)의 분해 사시도이다. 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 탐침장치(2)의 상면도, 측면도 및 하면도이다. 간결성을 위해, 도 1 내지 도 3을 참조하여 설명된 제1 탐침장치(1)에 대한 설명과 중복되는 설명은 생략한다.Below, the second probe device 2 according to another embodiment of the present invention will be described. Figure 4 is a perspective view of the second probe device 2 according to an embodiment of the present invention. Figure 5 is an exploded perspective view of the second probe device 2 according to one embodiment of the present invention. Figure 6 is a top view, side view, and bottom view of the second probe device 2 according to an embodiment of the present invention. For brevity, descriptions that overlap with those of the first probe device 1 described with reference to FIGS. 1 to 3 will be omitted.

도 4 내지 도 6을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 탐침장치(2)는 제3 레이어(30) 및 제4 레이어(40)을 포함한다.4 to 6, the second probe device 2 according to an embodiment of the present invention includes a third layer 30 and a fourth layer 40.

일 실시예에서, 제3 레이어(30)는 제3 탐침부(310) 및 제3 탐침부(310)의 일측에서 제1 방향(D1)으로 연장되는 가이드부(320)를 포함할 수 있다. 제3 탐침부(310)는 제3 탐침부(310)의 상측에서 돌출되는 적어도 하나의 제3 돌출부(311)를 포함한다. 가이드부(320)는, 제3 가이드부(321), 제4 가이드부(322) 및 가이드홈(325)을 포함할 수 있다. 또한, 가이드부(320)는 하측 단부에 배치되는 제3 체결부(330)를 포함할 수 있다.In one embodiment, the third layer 30 may include a third probe unit 310 and a guide unit 320 extending from one side of the third probe unit 310 in the first direction D1. The third probe unit 310 includes at least one third protrusion 311 protruding from the upper side of the third probe unit 310. The guide part 320 may include a third guide part 321, a fourth guide part 322, and a guide groove 325. Additionally, the guide portion 320 may include a third fastening portion 330 disposed at the lower end.

본 실시예에 따른 제3 레이어(30)는, 도 1 내지 도 3을 참조하여 설명한 제1 레이어(10)과 비교하여, 제3 돌출부(311)의 형상을 제외하고 실질적으로 유사하다. 따라서, 가이드부(320), 제3 및 제4 가이드부(321, 322), 및 제3 체결부(330)에 대한 설명은 도 1 내지 도 3과 관련하여 설명한 가이드부(120), 제1 및 제2 가이드부(121, 122) 및 제1 체결부(130)에 대한 설명을 각각 참조한다.The third layer 30 according to this embodiment is substantially similar to the first layer 10 described with reference to FIGS. 1 to 3 except for the shape of the third protrusion 311. Accordingly, the description of the guide portion 320, the third and fourth guide portions 321 and 322, and the third fastening portion 330 is similar to the guide portion 120 and the first fastening portion described in relation to FIGS. 1 to 3. and the description of the second guide parts 121 and 122 and the first fastening part 130, respectively.

일 실시예에서, 제2 탐침장치(2)는 랜드 그리드 어레이(LGA, Land Grid Array)용 탐침장치로 랜드 형태를 갖는 단자를 포함하는 피검사 대상물(미도시)을 검사하기 위한 것일 수 있다. 본 실시예의 경우, 제3 탐침부(310)가 피검사 대상물의 단자(미도시)에 접촉하는 역할을 한다. 예를 들어, 제1 탐침장치(1)와 달리, 제3 레이어(30)의 제3 탐침부(310)의 제3 돌출부(311)만이 피검사 대상물의 단자와 접촉하고, 추후 설명되는 제4 레이어(40)의 결합부(410)의 제4 돌출부(411)는 피검사 대상물의 단자와 접촉하지 않는다.In one embodiment, the second probe device 2 is a land grid array (LGA) probe device and may be used to inspect an object to be inspected (not shown) including a land-shaped terminal. In the case of this embodiment, the third probe unit 310 serves to contact a terminal (not shown) of the object to be inspected. For example, unlike the first probe device 1, only the third protrusion 311 of the third probe portion 310 of the third layer 30 contacts the terminal of the object to be inspected, and the fourth probe to be described later The fourth protrusion 411 of the coupling portion 410 of the layer 40 does not contact the terminal of the object to be inspected.

도 4 내지 도 6을 참조하면, 제3 돌출부(311)는 제3 탐침부(310)의 상측에서 돌출되며, 제2 방향(D2)을 따라 그 폭이 점차 줄어드는 테이퍼 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 제3 돌출부(311)는 피검사 대상물의 랜드 형상의 단자와 우수한 접촉 성능을 갖도록 뾰족한 산(mountain)과 같은 형상을 가질 수 있다. 도 4 내지 도 6에는 하나의 제3 돌출부(311)가 제3 탐침부(310)에 배치되는 것으로 도시되었지만, 본 발명의 실시예는 이에 한정되지 않으며, 제3 돌출부(311)는 복수의 제3 돌출부(311)를 포함할 수 있다. Referring to FIGS. 4 to 6 , the third protrusion 311 protrudes from the upper side of the third probe 310 and may have a tapered shape whose width gradually decreases along the second direction D2. For example, the third protrusion 311 may have a sharp mountain-like shape to have excellent contact performance with the land-shaped terminal of the object to be inspected. 4 to 6, one third protrusion 311 is shown as being disposed on the third probe 310, but the embodiment of the present invention is not limited thereto, and the third protrusion 311 includes a plurality of third protrusions 311. 3 May include protrusions 311.

일 실시예에서, 제3 레이어(30)는 대칭인 형상을 갖는다. 예를 들어, 도 5에 도시된 바와 같이, 제3 레이어(30)는 좌우 대칭인 형상을 갖는다. 이와 같은 구성으로 인해, 본 발명의 제2 탐침장치(2)는, 제3 및 제4 레이어(30, 40)를 통과하는 병렬의 평행인 전기적 경로가 대칭으로 형성되고, 피검사 대상물과의 우수한 접촉성을 달성하고, 비교적 낮은 접촉 저항을 가짐으로써, 전기적 특성이 향상될 수 있다. 그러나, 본 발명의 실시예가 이에 한정되는 것은 아니며, 제3 레이어(30)는 비대칭인 형상을 가질 수도 있다.In one embodiment, the third layer 30 has a symmetrical shape. For example, as shown in FIG. 5, the third layer 30 has a left-right symmetrical shape. Due to this configuration, the second probe device 2 of the present invention has a symmetrical parallel electrical path passing through the third and fourth layers 30 and 40, and has excellent contact with the object to be inspected. By achieving contact properties and having relatively low contact resistance, electrical properties can be improved. However, the embodiment of the present invention is not limited to this, and the third layer 30 may have an asymmetric shape.

제4 레이어(40)는 결합부(410), 제4 탐침부(430) 및 결합부(410)와 제4 탐침부(430)를 연결하는 탄성부(420)를 포함할 수 있다. 결합부(410)는 제4 돌출부(411) 및 제4 돌출부(411)에 의해 정의되는 결합홈(412)을 포함한다. 제4 탐침부(430)는 돌출부(431) 및 제4 체결부(435)를 포함한다. 본 실시예에 따른 제4 레이어(40)는, 도 1 내지 도 3을 참조하여 설명한 제2 레이어(20)와 실질적으로 유사하다. 따라서, 결합부(410), 탄성부(420) 및 제4 탐침부(430) 등에 대한 설명은 도 1 내지 도 3과 관련하여 설명한 결합부(210), 탄성부(220), 및 제2 탐침부(230) 및 대응하는 구성요소에 대한 설명을 각각 참조한다. 한편, 본 발명에 따르면, 제2 레이어(20) 및 제4 레이어(40)를 동일하게 형성하고, BGA 또는 LGA에 대응하여 제1 레이어(10)와 제3 레이어(30)를 교체하여 제조 부품의 개수를 줄이고, 제조 공정을 단순화할 수 있는 장점이 있다. The fourth layer 40 may include a coupling portion 410, a fourth probe portion 430, and an elastic portion 420 connecting the coupling portion 410 and the fourth probe portion 430. The coupling portion 410 includes a fourth protrusion 411 and a coupling groove 412 defined by the fourth protrusion 411 . The fourth probe portion 430 includes a protrusion 431 and a fourth fastening portion 435. The fourth layer 40 according to this embodiment is substantially similar to the second layer 20 described with reference to FIGS. 1 to 3. Accordingly, the description of the coupling portion 410, the elastic portion 420, and the fourth probe portion 430 is similar to the coupling portion 210, the elastic portion 220, and the second probe described in relation to FIGS. 1 to 3. Please refer to the description of unit 230 and corresponding components, respectively. Meanwhile, according to the present invention, the second layer 20 and the fourth layer 40 are formed identically, and the first layer 10 and the third layer 30 are replaced corresponding to BGA or LGA to manufacture parts. It has the advantage of reducing the number and simplifying the manufacturing process.

일 실시예에서, 제1 및 제2 레이어(10, 20)와 유사하게, 제3 및 제4 레이어(30, 40) 또한 MEMS 공정, 스탬핑 공정, 프레스 공정, 또는 에칭 공정 등을 통하여 형성될 수 있고, 각각 일체형으로 모놀리식 구조로 형성될 수 있다. 또한, 제3 레이어(30) 및 제4 레이어(40)의 각각은 균일한 두께(t1, t2)를 갖도록 형성될 수 있다. 그러나, 본 발명의 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다.In one embodiment, similar to the first and second layers 10 and 20, the third and fourth layers 30 and 40 may also be formed through a MEMS process, stamping process, press process, or etching process. and each can be formed as an integrated monolithic structure. Additionally, each of the third layer 30 and the fourth layer 40 may be formed to have uniform thicknesses t1 and t2. However, embodiments of the present invention are not limited thereto.

일 실시예에서, 제3 레이어(30) 및 제4 레이어(40)가 결합될 수 있다. 본 실시예에서, 도 4 및 도 6에 도시된 바와 같이, 제3 레이어(30) 및 제4 레이어(40)가 결합되는 경우, 제3 돌출부(311)의 상측 단부가 제4 돌출부(411)의 상측 단부보다 제2 방향(D2)으로 더 돌출된다는 점을 제외하고는, 제3 및 제4 레이어(30, 40)의 결합은 제1 및 제2 레이어(10, 20)의 결합과 실질적으로 유사하다. 따라서, 이에 대한 자세한 설명은 생략한다.In one embodiment, the third layer 30 and the fourth layer 40 may be combined. In this embodiment, as shown in FIGS. 4 and 6, when the third layer 30 and the fourth layer 40 are combined, the upper end of the third protrusion 311 is the fourth protrusion 411. The combination of the third and fourth layers 30 and 40 is substantially similar to the combination of the first and second layers 10 and 20, except that it protrudes further in the second direction D2 than the upper end of. similar. Therefore, detailed description thereof will be omitted.

이 경우, 도 4 및 도 6을 참조하면, 제2 탐침장치(2)의 상측에서 봤을 때, 제3 탐침부(310)의 제3 돌출부(311) 및 결합부(410)의 제4 돌출부(411)는 함께 결합 중심축(C2)을 기준으로 대칭 형상을 이룰 수 있다. 이와 같은 구성으로 인해, 피검사 대상물의 단자(예를 들어, 랜드)와 보다 안정적으로 접촉하고, 제3 및 제4 레이어(30, 40)를 통과하는 병렬의 평행하는 전기적 경로가 대칭으로 형성될 수 있어, 전기적 특성을 보다 향상시킬 수 있다.In this case, referring to FIGS. 4 and 6, when viewed from the top of the second probe device 2, the third protrusion 311 of the third probe unit 310 and the fourth protrusion of the coupling unit 410 ( 411) together can form a symmetrical shape with respect to the central axis C2. Due to this configuration, more stable contact is made with the terminal (e.g., land) of the object to be inspected, and a parallel electrical path passing through the third and fourth layers 30 and 40 can be formed symmetrically. This allows the electrical characteristics to be further improved.

이하에서, 본 발명에 따른 탐침장치의 전기적 경로에 대해서 설명한다. 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 도 1의 제1 탐침장치(1)의 전기적 경로를 설명하기 위한 측면도이다. 도 7은 일 예시를 도시한 것으로, 도 4 내지 도 6의 제2 탐침장치(2)도 실질적으로 유사한 전기적 경로를 가질 수 있다.Below, the electrical path of the probe device according to the present invention will be described. FIG. 7 is a side view illustrating the electrical path of the first probe device 1 of FIG. 1 according to an embodiment of the present invention. FIG. 7 shows an example, and the second probe device 2 of FIGS. 4 to 6 may also have a substantially similar electrical path.

도 1 내지 도 3 및 도 7을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 탐침장치(1)는 피검사 대상물의 단자(예를 들어, 볼)(5)와 검사장치(7)의 패드(미도시) 사이에 배치된다. 예를 들어, 제1 탐침장치(1)의 제1 레이어(10)와 제2 레이어(20)가 결합되고, 상측 또는 하측에서 가압되는 경우, 피검사 대상물의 단자(5)와 검사장치(7)의 패드의 위치(예를 들어, 그 사이의 거리)에 따라 탄성부(220)가 수축되어, 제1 탐침부(110)가 피검사 대상물의 단자(5)에 그리고 제2 탐침부(230)가 검사장치(7)의 패드에 접촉될 수 있다.1 to 3 and 7, the first probe device 1 according to an embodiment of the present invention is a terminal (e.g., ball) 5 of the object to be inspected and the inspection device 7. It is placed between pads (not shown). For example, when the first layer 10 and the second layer 20 of the first probe device 1 are combined and pressed from the upper or lower side, the terminal 5 of the object to be inspected and the inspection device 7 ) The elastic portion 220 is contracted according to the position of the pad (for example, the distance between them), so that the first probe portion 110 is connected to the terminal 5 of the object to be inspected and the second probe portion 230 ) may be in contact with the pad of the inspection device (7).

일 실시예에서, 제1 탐침장치(1)의 제1 돌출부(111) 및 제2 돌출부(211)가 피검사 대상물의 단자(5)와 접촉할 수 있다. 이 경우, 제1 탐침장치(1)의 일 측에서 바라본 도 7을 참조하면, 전기적 신호는 각각의 제2 돌출부(211)를 통해 결합부(210), 탄성부(220) 및 제2 탐침부(230)를 통과하는 제1 경로(P1)(또한, 비록 도면에 도시되지 않았지만, 제1 경로(P1)에 대향하는 반대쪽 경로를 더 포함함) 및 각각의 제1 돌출부(111)를 통해 제1 탐침부(110), 가이드부(120) 및 제1 체결부(130)를 통과하여 제2 탐침부(230)로 전달되는 제2 경로(P2) 및 제3 경로(P3)를 포함할 수 있다. 일 실시예에서, 제1 탐침장치(1)를 통과하는 전기적 경로는 결합 중심축(Cx)(예를 들어, 도 3의 중심축(C1) 또는 도 6의 중심축(C2)과 동일할 수 있음)을 기준으로 대칭 병렬의 구조를 가질 수 있다.In one embodiment, the first protrusion 111 and the second protrusion 211 of the first probe device 1 may contact the terminal 5 of the object to be inspected. In this case, referring to FIG. 7 viewed from one side of the first probe device 1, the electrical signal is transmitted to the coupling portion 210, the elastic portion 220, and the second probe portion through each second protrusion 211. A first path P1 passing through 230 (further including an opposite path opposite to the first path P1, although not shown in the figure) and a first path P1 passing through each first protrusion 111. 1 It may include a second path (P2) and a third path (P3) passing through the probe unit 110, the guide unit 120, and the first fastening unit 130 to the second probe unit 230. there is. In one embodiment, the electrical path passing through the first probe 1 may be the same as the coupling central axis Cx (e.g., central axis C1 in Figure 3 or central axis C2 in Figure 6). It can have a symmetrical parallel structure.

이하에서, 도 8을 참조하여, 본 발명의 다른 실시예에 따른 제3 탐침장치(3)를 설명한다. 도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 제3 탐침장치(3)의 사시도이다. Below, with reference to FIG. 8, a third probe device 3 according to another embodiment of the present invention will be described. Figure 8 is a perspective view of a third probe device 3 according to another embodiment of the present invention.

도 8의 제3 탐침장치(3)는, 제2 탐침부(230)의 제2-1 체결부(237)가 홈(groove, recess)의 형상으로 이루어져 있다는 점을 제외하고는 도 1의 탐침장치(1)와 실질적으로 유사하다. 간결성을 위해, 도 1 내지 도 3을 참조하여 설명된 제1 탐침장치(1)에 대한 설명과 중복되는 설명은 생략한다.The third probe device 3 in FIG. 8 is similar to the probe in FIG. 1 except that the 2-1 fastening part 237 of the second probe unit 230 is formed in the shape of a groove (recess). Substantially similar to device 1. For brevity, descriptions that overlap with those of the first probe device 1 described with reference to FIGS. 1 to 3 will be omitted.

본 실시예에서는, 도 8에 도시된 바와 같이, 제2-1 체결부(237)가, 제1 체결부(130)와 마주하는 제2 탐침부(230)의 양쪽 외면에 음각으로 형성된 홈의 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 걸림돌기의 형태를 갖는 제1 체결부(130)가 홈 형상을 갖는 제2-1 체결부(237)에 배치되어, 제1 체결부(130)와 제2-1 체결부(237)가 체결될 수 있다. 이 경우, 제2-1 체결부(237)와 마주하는 제1 체결부(130)의 단부가 제2-1 체결부(237)의 바닥면과 접촉함에 따라, 도 1 내지 도 3에 도시된 홀을 포함하는 제2 체결부(235)를 포함하는 제1 탐침장치(1)와 비교하여 보다 넓은 접촉 면적을 달성할 수 있기 때문에, 제3 탐침장치(3)의 전기적 특성이 제1 탐침장치(1)보다 더욱 향상될 수 있다. In this embodiment, as shown in FIG. 8, the 2-1 fastening part 237 has grooves formed by engraving on both outer surfaces of the second probe part 230 facing the first fastening part 130. It can have a shape. For example, the first fastening part 130 having the form of a locking protrusion is disposed on the 2-1 fastening part 237 having a groove shape, and the first fastening part 130 and the 2-1 fastening part ( 237) can be concluded. In this case, as the end of the first fastening part 130 facing the 2-1 fastening part 237 comes into contact with the bottom surface of the 2-1 fastening part 237, as shown in FIGS. 1 to 3 Because a larger contact area can be achieved compared to the first probe device 1 including the second fastening portion 235 including a hole, the electrical characteristics of the third probe device 3 are similar to those of the first probe device 3. It can be further improved than (1).

도 8에는, 도 1 내지 도 3의 제1 탐침장치(1)의 제2 체결부(235)가 제2-1 체결부(237)로 대체된 것을 도시하였지만, 도 4 내지 도 6의 제2 탐침장치(2)의 제4 체결부(435)도 제2-1 체결부(237)로 대체되어 홈의 형상을 가질 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예가 이에 한정되는 것은 아니며, 예를 들어, 제2 및 제4 탐침부(230, 430)는 양각으로 돌출된 걸림턱을 포함하는 체결부(미도시)를 포함하여 걸림돌기를 포함하는 제1 및 제3 체결부(130, 330)와 체결되는 등, 당업계에 공지된 다양한 체결수단을 이용할 수 있다. In Figure 8, the second fastening part 235 of the first probe device 1 of Figures 1 to 3 is shown replaced by the 2-1 fastening part 237, but the second fastening part 237 of Figures 4 to 6 is shown. The fourth fastening part 435 of the probe device 2 may also be replaced with the 2-1 fastening part 237 and have the shape of a groove. In addition, the embodiment of the present invention is not limited to this, and for example, the second and fourth probe parts 230 and 430 include a fastening part (not shown) including a locking protrusion protruding in relief. Various fastening means known in the art can be used, such as fastening with the first and third fastening portions 130 and 330.

이하에서, 도 9 및 도 10을 참조하여, 본 발명의 다른 실시예에 따른 제4 탐침장치(4)를 설명한다. 도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 제4 탐침장치(4)의 사시도이다. 도 10은 본 발명의 다른 실시예에 따른 도 9의 제4 탐침장치(4)의 분해 사시도이다. Hereinafter, with reference to FIGS. 9 and 10, the fourth probe device 4 according to another embodiment of the present invention will be described. Figure 9 is a perspective view of the fourth probe device 4 according to another embodiment of the present invention. Figure 10 is an exploded perspective view of the fourth probe device 4 of Figure 9 according to another embodiment of the present invention.

도 9 및 도 10의 제4 탐침장치(4)는, 제1 체결부(130) 대신 제5 체결부(537)를 포함하고, 제2 체결부(235) 대신 제6 체결부(639)를 포함한다는 점을 제외하고는 도 1의 탐침장치(1)와 실질적으로 유사하다. 예를 들어, 본 실시예에 따른 제5 레이어(50)는, 도 1 내지 도 3을 참조하여 설명한 제1 레이어(10)와 비교하여, 제5 체결부(537)의 형상을 제외하고 실질적으로 유사하다. 또한, 본 실시예에 따른 제6 레이어(60)는, 도 1 내지 도 3을 참조하여 설명한 제2 레이어(20)와 비교하여, 제6 체결부(639)의 형상을 제외하고 실질적으로 유사하다. 간결성을 위해, 도 1 내지 도 3을 참조하여 설명된 제1 탐침장치(1)에 대한 설명과 중복되는 설명은 생략한다.The fourth probe device 4 in FIGS. 9 and 10 includes a fifth fastening part 537 instead of the first fastening part 130, and a sixth fastening part 639 instead of the second fastening part 235. It is substantially similar to the probe device 1 of FIG. 1 except that it includes. For example, the fifth layer 50 according to the present embodiment is substantially different from the first layer 10 described with reference to FIGS. 1 to 3, except for the shape of the fifth fastening portion 537. similar. In addition, the sixth layer 60 according to the present embodiment is substantially similar to the second layer 20 described with reference to FIGS. 1 to 3 except for the shape of the sixth fastening portion 639. . For brevity, descriptions that overlap with those of the first probe device 1 described with reference to FIGS. 1 to 3 will be omitted.

일 실시예에서, 제4 탐침장치(4)의 가이드부(520)의 하측 단부는 제5 체결부(537)를 포함하고, 제4 탐침장치(4)의 제6 탐침부(630)는 제6 체결부(639)를 포함한다. 예를 들어, 제5 가이드부(521) 및 제6 가이드부(522)의 각각은 제6 체결부(639)에 대응하는 위치에 제5 체결부(537)를 포함할 수 있다. 일 실시예에서, 제5 체결부(537)는 홈의 형상을 갖고, 제6 체결부(639)는 걸림돌기를 포함할 수 있다.In one embodiment, the lower end of the guide portion 520 of the fourth probe device 4 includes a fifth fastening portion 537, and the sixth probe portion 630 of the fourth probe device 4 includes a fifth fastening portion 537. Includes 6 fastening portions 639. For example, each of the fifth guide part 521 and the sixth guide part 522 may include a fifth fastening part 537 at a position corresponding to the sixth fastening part 639. In one embodiment, the fifth fastening part 537 may have the shape of a groove, and the sixth fastening part 639 may include a locking protrusion.

일 실시예에서, 제5 레이어(50)와 제6 레이어(60)가 결합되기 이전에, 결합홈(612)의 하측 단부에서 제6 체결부(639)의 하측 단부까지의 길이(L4)는, 가이드홈(525)의 상측 단부에서 제5 체결부(537)의 하측 단부까지의 길이(L3)와 동일하거나 그보다 작다. 이와 같은 경우, 제6 체결부(639)가 제5 체결부(537)에 배치되어 제5 레이어(50)와 제6 레이어(60)가 결합될 때, 제6 체결부(639)의 하측 단부가 제5 체결부(537)의 하측 단부에 걸리거나 제5 체결부(537) 내에 배치되어 체결될 수 있다.In one embodiment, before the fifth layer 50 and the sixth layer 60 are combined, the length L4 from the lower end of the coupling groove 612 to the lower end of the sixth fastening portion 639 is , is equal to or smaller than the length L3 from the upper end of the guide groove 525 to the lower end of the fifth fastening portion 537. In this case, when the sixth fastening part 639 is disposed on the fifth fastening part 537 and the fifth layer 50 and the sixth layer 60 are coupled, the lower end of the sixth fastening part 639 It may be caught on the lower end of the fifth fastening part 537 or may be placed and fastened within the fifth fastening part 537.

일 실시예에서, 제6 체결부(639)의 제1 방향(D1)으로의 길이(l4)는 제5 체결부(537)의 제1 방향(D1)으로의 길이(l3)보다 작다. 예를 들어, 제6 체결부(639)가 제5 체결부(537)에 배치되어 결합된 제5 레이어(50)와 제6 레이어(60)가 제1 방향(D1) 또는 제2 방향(D2)으로 가압되는 경우, 탄성부(620)의 탄성력을 이용하여, 제6 체결부(639)의 상측 단부가 제5 체결부(537)의 상측 단부에 걸릴 때까지 이동할 수 있다. 이로 인해, 제5 체결부(537) 및 제6 체결부(639)는 제5 레이어(50)와 제2 레이저(60)가 서로로부터 이탈되는 것을 방지할 뿐만 아니라, 서로에 대한 이동 범위를 제한하는 역할을 할 수 있다.In one embodiment, the length l4 of the sixth fastening part 639 in the first direction D1 is smaller than the length l3 of the fifth fastening part 537 in the first direction D1. For example, the sixth fastening part 639 is disposed on the fifth fastening part 537 and the combined fifth layer 50 and the sixth layer 60 move in the first direction D1 or the second direction D2. ), using the elastic force of the elastic part 620, the upper end of the sixth fastening part 639 can be moved until it is caught by the upper end of the fifth fastening part 537. Because of this, the fifth fastening part 537 and the sixth fastening part 639 not only prevent the fifth layer 50 and the second laser 60 from being separated from each other, but also limit the range of movement with respect to each other. can play a role.

본 실시예에서, 제5 레이어(50)와 제6 레이어(60)가 가압되어 제6 체결부(639)의 상측 단부가 제5 체결부(537)의 상측 단부에 걸렸을 때, 제6 탐침부(630)의 하측 단부가 가이드부(520)의 하측 단부보다 제1 방향(D1)으로 돌출되어 검사장치(도 7의 7 참조)의 패드와 접촉할 수 있도록, 제5 체결부(537)와 제6 체결부(639)의 위치 및 길이가 결정되어 형성된다.In this embodiment, when the fifth layer 50 and the sixth layer 60 are pressed and the upper end of the sixth fastening part 639 is caught on the upper end of the fifth fastening part 537, the sixth probe The lower end of 630 protrudes from the lower end of the guide part 520 in the first direction D1 and is provided with a fifth fastening part 537 so that it can contact the pad of the inspection device (see 7 in FIG. 7). The position and length of the sixth fastening portion 639 are determined and formed.

도 9 및 도 10에는, 도 1의 탐침장치(1)의 제1 및 제2 체결부(130, 235)가 제5 및 제6 체결부(537, 639)로 대체된 것을 도시하였지만, 도 4 내지 도 6의 제2 탐침장치(2)의 제3 및 제4 체결부(330, 435)가 제5 및 제6 체결부(537, 639)로 대체되도록 형성될 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예가 이에 한정되는 것은 아니며, 당업계에 공지된 다양한 체결수단을 이용할 수 있다.9 and 10 show that the first and second fastening parts 130 and 235 of the probe device 1 of FIG. 1 are replaced with the fifth and sixth fastening parts 537 and 639, but in FIG. 4 The third and fourth fastening parts 330 and 435 of the second probe device 2 of FIGS. 6 through 6 may be replaced with the fifth and sixth fastening parts 537 and 639. Additionally, the embodiment of the present invention is not limited to this, and various fastening means known in the art can be used.

본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구의 범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구의 범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.Those skilled in the art to which the present invention pertains will understand that the present invention can be implemented in other specific forms without changing its technical idea or essential features. Therefore, the embodiments described above should be understood in all respects as illustrative and not restrictive. The scope of the present invention is indicated by the scope of the claims described below rather than the detailed description above, and all changes or modified forms derived from the meaning and scope of the claims and their equivalent concepts are included in the scope of the present invention. must be interpreted.

1, 2, 3, 4: 제1, 제2, 제3, 제4 탐침장치
5: 피검사 대상물 단자 7: 검사장치
10, 20, 30, 40, 50, 60: 제1, 제2, 제3, 제4, 제5, 제6 레이어
110: 제1 탐침부 111: 제1 돌출부
120, 320, 520: 가이드부 121: 제1 가이드부
122: 제2 가이드부 125, 325, 525: 가이드홈
130: 제1 체결부 210, 410, 610: 결합부
211: 제2 돌출부 220, 420, 620; 탄성부
230: 제2 탐침부 235: 제2 체결부
310: 제3 탐침부 311: 제3 돌출부
321: 제3 가이드부 322: 제4 가이드부
330: 제3 체결부 411: 제4 돌출부
430: 제4 탐침부 435: 제4 체결부
537: 제5 체결부 639: 제6 체결부1, 2, 3, 4: first, second, third, fourth probe devices
5: Test object terminal 7: Test device
10, 20, 30, 40, 50, 60: 1st, 2nd, 3rd, 4th, 5th, 6th layers
110: first probe 111: first protrusion
120, 320, 520: Guide unit 121: First guide unit
122: second guide unit 125, 325, 525: guide groove
130: first fastening portion 210, 410, 610: coupling portion
211: second protrusions 220, 420, 620; elastic part
230: second probe part 235: second fastening part
310: third probe 311: third protrusion
321: Third guide section 322: Fourth guide section
330: third fastening portion 411: fourth protrusion
430: fourth probe portion 435: fourth fastening portion
537: 5th fastening part 639: 6th fastening part

Claims

A first layer including a first probe part capable of contacting the terminal of the object to be inspected and a guide part extending from the first probe part in a first direction; and
A second layer including a coupling portion coupled to the first layer, a second probe portion capable of contacting the pad of the inspection device, and an elastic portion connecting the coupling portion and the second probe portion,
The guide portion of the first layer has a guide groove extending along the longitudinal direction of the guide portion on one side in the first direction,
In a state where the coupling portion of the second layer slides along the guide groove of the first layer and the elastic portion is disposed in the guide groove, the elastic portion contracts in the first direction according to external pressure,
A probe device in which the length of the first layer is shorter than the length of the second layer so that the first layer does not contact the pad of the inspection device when the elastic portion contracts.

According to paragraph 1,
The coupling portion is a probe device capable of contacting the terminal of the object to be inspected.

According to paragraph 1,
The first probe portion of the first layer includes at least one first protrusion protruding from one side,
The coupling portion of the second layer includes at least one second protrusion protruding from one side and a coupling groove defined by the second protrusion,
A probe device in which the first layer is disposed in the coupling groove so that the first layer and the second layer can be cross-coupled.

According to paragraph 3,
The first layer is a probe device having a symmetrical shape.

According to paragraph 3,
When the first layer is combined with the second layer, one end of the first protrusion and one end of the second protrusion are located on the same plane.

According to clause 5,
The second protrusion is a probe device that contacts the terminal of the object to be inspected.

According to clause 5,
When the first layer is combined with the second layer, one end of the first protrusion and one end of the second protrusion have a symmetrical shape with respect to the central axis of the coupling in a plane.

According to paragraph 3,
When the first layer is combined with the second layer, one end of the first protrusion protrudes further than one end of the second protrusion in a second direction opposite to the first direction.

According to paragraph 1,
The guide portion of the first layer further includes a first fastening portion disposed at one end in the first direction,
The second probe portion includes a second fastening portion,
A probe device in which the first fastening part and the second fastening part are fastened so that the first layer can be coupled to the second layer.

According to clause 9,
The first fastening part includes a locking protrusion, and the second fastening part includes a groove or hole,
A probe device in which the length of the first coupling portion in the first direction is smaller than the length of the second coupling portion.

According to paragraph 3,
The guide portion of the first layer further includes a first fastening portion disposed at one end in the first direction,
The second probe portion includes a second fastening portion,
The first fastening part includes a locking protrusion, and the second fastening part includes a groove or hole,
The length from one end of the coupling groove in the first direction to one end of the second fastening part in a second direction opposite to the first direction is from one end of the guide groove in the second direction to the first end of the coupling groove in the first direction. Equal to or smaller than the length to one end of the first fastening part in two directions,
A probe device in which the first fastening part and the second fastening part are fastened so that the first layer can be coupled to the second layer.

According to paragraph 1,
A probe device in which the elastic portion contacts the inner surface of the guide portion facing the elastic portion.

According to paragraph 1,
The guide portion of the first layer includes a first guide portion and a second guide portion disposed opposite to each other and defining the guide groove,
The probe device wherein the distance between the first guide part and the second guide part is equal to the thickness of the elastic part of the second layer.

According to paragraph 1,
A probe device in which the width of the elastic portion is greater than the thickness of the guide portion.

According to paragraph 1,
The guide portion of the first layer includes a first guide portion and a second guide portion disposed opposite to each other and defining the guide groove,
A probe device wherein a portion of the first guide portion and the second guide portion that overlaps the elastic portion has a larger width than a portion that does not overlap the elastic portion.

According to paragraph 1,
The first layer and the second layer are each formed as an integrated probe.

According to paragraph 1,
The first layer and the second layer each have a uniform thickness.

The probe device according to claim 1, wherein the elastic portion has a wave shape.

A first layer including a first probe part capable of contacting the terminal of the object to be inspected and a guide part extending from the first probe part in a first direction; and
A second layer including a coupling portion coupled to the first layer, a second probe portion capable of contacting the pad of the inspection device, and an elastic portion connecting the coupling portion and the second probe portion,
The guide part of the first layer includes a first guide part and a second guide part arranged opposite to each other and defining a guide groove extending along the longitudinal direction of the guide part,
In a state in which the coupling portion of the second layer slides along the guide groove of the first layer and the elastic portion is disposed between the first guide portion and the second guide portion, the elastic portion moves to the first guide portion according to external pressure. shrinks in the direction
A probe device in which the length of the first layer is shorter than the length of the second layer so that the first layer does not contact the pad of the inspection device when the elastic portion contracts.

According to paragraph 1,
The guide portion of the first layer further includes a pair of first fastening portions facing each other at one end in the first direction,
The second probe part of the second layer includes a pair of second fastening parts respectively facing the pair of first fastening parts,
The coupling portion of the second layer slides along the guide groove of the first layer, the elastic portion is disposed in the guide groove, and the first fastening portion and the second fastening portion are respectively fastened,
The first layer is a probe device having a symmetrical shape.