KR102121754B1 - Device for test socket pin having single coil spring divided into upper and lower regions - Google Patents

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Abstract

The present invention provides a test pin, which comprises: a first ball plunger which slides up and down between a semiconductor device and a test device and contacts one side of a conductive ball of the semiconductor device; a second ball plunger which separately operates from the first ball plunger and contacts the other side of the conductive ball; a pad plunger which independently slides between a pair of ball plungers and contacts the contact pads of the test device; and a single coil spring which is mounted on the outside of the first ball, the second ball, and the pad plunger and integrally formed but composed of a plurality of sections having different diameters. According to the configuration of the present invention, the number of parts and the number of processes are shortened.

Description

상하 2개의 영역으로 구분되는 단일 코일 스프링을 포함하는 테스트 소켓 {Device for test socket pin having single coil spring divided into upper and lower regions}{Device for test socket pin having single coil spring divided into upper and lower regions}

본 발명은, 단일 코일 스프링에 의하여 3개의 플런저가 독립적으로 슬라이드 동작하는 테스트 소켓에 있어서, 단일 코일 스프링이 상부 영역과 하부 영역으로 나누어 구성되어, 상기 플런저들에 상하 직렬로 탑재되는 데스트 핀에 관한 것으로, 더욱 자세하게는 3개의 플런저를 개별적으로 동작시키는데 이중 코일 스프링이 가장 적합하지만, 이중 코일 스프링은 부품수가 증가하고 공정수가 많아지는 단점이 있기 때문에, 단일 코일 스프링이지만 상/하부 영역으로 구분하여 제공함으로써, 부품수와 공정수가 단축되면서도 0.4㎜ 이하의 파인 피치를 구현할 수 있는 테스트 핀에 관한 것이다.The present invention relates to a test socket in which three plungers independently slide by a single coil spring, wherein the single coil spring is divided into an upper region and a lower region, and is mounted on the plungers vertically and vertically. In particular, the double coil spring is most suitable for operating the three plungers individually, but the double coil spring is a single coil spring, but it is divided into upper and lower regions because it has the disadvantage of increasing the number of parts and increasing the number of processes. By doing so, it relates to a test pin capable of realizing a fine pitch of 0.4 mm or less while reducing the number of parts and processes.

일반적으로 BGA(ball grid array) 타입의 반도체 기기는 최종적으로 검사 장치에 의해 각종 전기 시험을 통한 특성 측정 또는 불량 검사를 받게 된다. 이때, 검사 장치에 설치된 검사용 인쇄회로기판의 회로 패턴과 BGA 타입 반도체 기기의 콘택 볼을 전기적으로 연결하기 위해 테스트 소켓이 사용된다.In general, semiconductor devices of the BGA (ball grid array) type are finally subjected to characteristic measurement or defect inspection through various electrical tests by an inspection device. At this time, a test socket is used to electrically connect the circuit pattern of the printed circuit board for inspection installed in the inspection device and the contact ball of the BGA type semiconductor device.

도 1을 참조하면, 이러한 테스트 소켓의 접속핀(2)은, 3개의 플런저(가령, 제1플런저(10), 제2플런저(20) 및 제3플런저(30))로 구성되고, 3개 플런저는 이중 코일 스프링, 즉, 내측 코일 스프링(40)과 외측 코일 스프링(50)에 의하여 일체로 결합되어 사용된다.Referring to FIG. 1, the connection pin 2 of the test socket is composed of three plungers (eg, a first plunger 10, a second plunger 20 and a third plunger 30), and three The plunger is used by being integrally coupled by a double coil spring, that is, an inner coil spring 40 and an outer coil spring 50.

제1플런저(10)는 내측 코일 스프링(40)에 의하여 지지되는 부분이 제2플런저(20)보다 하부에 위치하고, 제2플런저(20)는 외측 코일 스프링(50)에 의하여 지지되는 부분이 제1플런저(10)보다 상부에 위치하는 점을 제외하면 양 플런저는 대체로 합동이다. 제1플런저(10)의 접촉팁과 제2플런저(20)의 접촉팁은 같은 방향이 되도록 대향 배치되고, 제3플런저(30)의 접촉팁은 제1플런저(10)의 접촉팁 및 제2플런저(20)의 접촉팁과 반대 방향이 되며, 제3플런저(30)는 제1 및 제2플런저(10, 20) 사이에 배치된다.The first plunger 10 has a portion supported by the inner coil spring 40 located below the second plunger 20, and the second plunger 20 includes a portion supported by the outer coil spring 50. Both plungers are generally congruent, except that they are located above the one plunger 10. The contact tip of the first plunger 10 and the contact tip of the second plunger 20 are disposed to face in the same direction, and the contact tip of the third plunger 30 is the contact tip of the first plunger 10 and the second In the opposite direction to the contact tip of the plunger 20, the third plunger 30 is disposed between the first and second plungers 10, 20.

특히, 내측 코일 스프링(40)은 제1플런저(10) 및 제2플런저(20)가 대향하는 각 결합부의 외측 둘레에 탄성 배치됨으로써, 제1플런저(10) 및 제2플런저(20)가 제3플런저(30)와 밀착 상태에서 서로 독립적으로 슬라이드 동작되며, 내경을 통하여 내측 코일 스프링(40)은 제1 내지 제3플런저(10, 20, 30)를 각각 측면에서 지지한다.Particularly, the inner coil spring 40 is elastically disposed around the outer circumference of each coupling portion in which the first plunger 10 and the second plunger 20 are opposed, so that the first plunger 10 and the second plunger 20 are made. The three plungers 30 slide independently of each other in close contact with each other, and the inner coil spring 40 supports the first to third plungers 10, 20, and 30 from the side surfaces through the inner diameter.

그런데, 전술한 종래 기술의 접속핀(2)은 아래와 같은 문제점이 있다.However, the above-described prior art connection pin 2 has the following problems.

이하, 전술한 종래 기술의 접속핀은 아래와 같은 문제점이 있다.Hereinafter, the above-described prior art connection pin has the following problems.

첫째, 조립 수율이 저하된다.First, the assembly yield is lowered.

직경이 다른 코일 스프링이 일정한 거리를 두고, 내측과 외측에 각각 설치되기 때문에, 조립이 매우 곤란하고, 슬라이드 동작이 원활하지 않은 문제점이 있다.Since coil springs having different diameters are provided at a certain distance and are respectively installed inside and outside, there is a problem in that assembly is very difficult and slide operation is not smooth.

둘째, 파인 피치를 구현하기에 적합하지 않다. Second, it is not suitable for realizing fine pitch.

가령, 0.4㎜ 이하의 파인 피치를 구현하는 경우, 도 2를 참조하면, 내측 코일 스프링(40)의 직경(x1)이 외측 코일 스프링(50)의 직경(x2)보다 더 작아져야 하는데, 커넥터 사이의 피치(커넥터 중심선과 중심선 사이의 간격)가 작아질수록 내측 직경(x1)이 외측 직경(x2)보다 감소 비율이 더 커지기 때문에, 스프링 자체의 제작이 곤란하고, 설사 가능하더라도, 조립 불량의 원인이 된다.For example, when implementing a fine pitch of 0.4 mm or less, referring to FIG. 2, the diameter (x1) of the inner coil spring (40) should be smaller than the diameter (x2) of the outer coil spring (50). The smaller the pitch (the distance between the centerline and centerline of the connector) is, the larger the reduction ratio of the inner diameter (x1) is than the outer diameter (x2). It becomes.

한편, 이중 코일 스프링을 직렬로 사용하는 경우에는 부품수와 공정수가 많아지는 문제점이 있다.On the other hand, when using a double coil spring in series, there is a problem that the number of parts and the number of processes increases.

JP 특개 2012-181096JP Special 2012-181096

따라서 본 발명의 목적은 이중 코일 스프링을 사용하더라도 부품수 및 공정수가 단축되고, 조립이 용이한 테스트 핀을 제공하는 것이다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a test pin that is easy to assemble and reduces the number of parts and processes even when a double coil spring is used.

본 발명의 다른 목적은 압축 코일 스프링이 직렬로 배치되어 파인 피치 구현이 가능한 테스트 핀을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a test pin capable of realizing a fine pitch by arranging compression coil springs in series.

전술한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 따르면, 본 발명의 테스트 핀은, 반도체 기기와 테스트 장치 사이에서 상하 슬라이드 되고, 상기 반도체 기기의 도전 볼 일측에 접촉하는 제1볼 플런저, 상기 제1볼 플런저와 개별적으로 동작하고, 상기 도전 볼의 타측에 접촉하는 제2볼 플런저, 한 쌍의 상기 볼 플런저 사이에서 독립적으로 슬라이드 되고, 상기 테스트 장치의 콘택 패드와 접촉하는 패드 플런저, 및 상기 제1볼, 제2볼, 및 패드 플런저의 외측에 탑재되고, 일체로 형성되나 직경이 상이한 다수 구간으로 구성되는 단일 코일 스프링를 포함한다. According to a feature of the present invention for achieving the above object, the test pin of the present invention is a first ball plunger that slides up and down between a semiconductor device and a test device, and contacts one side of the conductive ball of the semiconductor device, the A second ball plunger which operates separately from the first ball plunger and contacts the other side of the conductive ball, a pad plunger that slides independently between a pair of the ball plungers and contacts the contact pad of the test device, and The first ball, the second ball, and mounted on the outside of the pad plunger, and includes a single coil spring formed integrally but composed of multiple sections having different diameters.

위에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 구성에 의하면 다음과 같은 효과를 기대할 수 있다.As described above, according to the configuration of the present invention, the following effects can be expected.

단일 코일 스프링이지만, 2개의 상/하부 영역으로 구분함으로써 3개의 플런저가 독립적으로 슬라이드 동작하는데 최적의 환경을 제공할뿐더러, 1개의 압축 코일 스프링으로 제작하기 때문에, 부품수와 공정수가 단축되는 효과가 기대된다.Although it is a single coil spring, it is divided into two upper/lower regions, providing the optimal environment for the three plungers to slide independently, and it is made of one compression coil spring, which reduces the number of parts and the number of processes. It is expected.

도 1은 종래 기술에 의한 테스트 소켓용 테스트 핀의 구성을 나타내는 사시도.
도 2는 본 발명에 의한 테스트 소켓의 구성을 나타내는 개념도.
도 3은 본 발명에 의한 테스트 소켓의 구성을 나타내는 사시도.
도 4는 본 발명에 의한 테스트 핀의 구성을 나타내는 분해사시도.
도 5는 본 발명에 의한 테스트 핀의 구성을 나타내는 측단면도.
도 6은 본 발명에 의한 테스트 핀의 구성을 나타내는 정단면도 및 배단면도.
도 7은 본 발명에 의한 테스트 핀의 조립을 나타내는 측단면도.
도 8은 본 발명에 의한 테스트 핀의 사용 상태를 나타내는 구성도.
1 is a perspective view showing the configuration of a test pin for a test socket according to the prior art.
2 is a conceptual diagram showing the configuration of a test socket according to the present invention.
3 is a perspective view showing the configuration of a test socket according to the present invention.
Figure 4 is an exploded perspective view showing the configuration of a test pin according to the present invention.
5 is a side cross-sectional view showing the configuration of a test pin according to the present invention.
6 is a front sectional view and a back sectional view showing the configuration of a test pin according to the present invention.
7 is a side cross-sectional view showing the assembly of the test pin according to the present invention.
8 is a block diagram showing the use state of the test pin according to the present invention.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해 질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려 주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 도면에서 층 및 영역들의 크기 및 상대적인 크기는 설명의 명료성을 위해 과장된 것일 수 있다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.Advantages and features of the present invention, and methods for achieving them will be clarified with reference to embodiments described below in detail together with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but will be implemented in various different forms, and only the embodiments allow the disclosure of the present invention to be complete, and the ordinary knowledge in the technical field to which the present invention pertains. It is provided to fully inform the holder of the scope of the invention, and the invention is only defined by the scope of the claims. In the drawings, the sizes and relative sizes of layers and regions may be exaggerated for clarity of explanation. The same reference numerals refer to the same components throughout the specification.

본 명세서에서 기술하는 실시예들은 본 발명의 이상적인 개략도인 평면도 및 단면도를 참고하여 설명될 것이다. 따라서 제조 기술 및/또는 허용 오차 등에 의해 예시도의 형태가 변형될 수 있다. 따라서 본 발명의 실시예들은 도시된 특정 형태로 제한되는 것이 아니라 제조 공정에 따라 생성되는 형태의 변화도 포함하는 것이다. 따라서 도면에서 예시된 영역들은 개략적인 속성을 가지며, 도면에서 예시된 영역들의 모양은 소자의 영역의 특정 형태를 예시하기 위한 것이고, 발명의 범주를 제한하기 위한 것은 아니다.Embodiments described herein will be described with reference to plan and cross-sectional views, which are ideal schematic views of the present invention. Therefore, the shape of the exemplary diagram may be modified by manufacturing technology and/or tolerance. Therefore, the embodiments of the present invention are not limited to the specific shapes shown, but also include changes in shapes generated according to the manufacturing process. Therefore, the regions illustrated in the drawings have schematic properties, and the shapes of the regions illustrated in the drawings are for illustrating a specific shape of a region of the device and are not intended to limit the scope of the invention.

이하, 상기한 바와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의한 테스트 핀의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참고하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, a preferred embodiment of the test pin according to the present invention having the configuration as described above will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

테스트 핀은 설명의 편의를 위하여 최종(final) 테스트 소켓에 사용되는 것으로 설명하겠지만, 여기에 제한되는 것은 아니고 번인(burn-in) 테스트 소켓에도 사용될 수 있다.The test pin will be described as being used for a final test socket for convenience of description, but is not limited to this, and may also be used for a burn-in test socket.

테스트 소켓(Test socket)은 패키지 IC, MCM 등의 반도체 집적 회로 장치, 집적 회로가 형성된 웨이퍼 등의 반도체 기기의 전기적 검사에서, 검사 대상인 반도체 기기의 접속 단자(가령, 도전 볼)와, 테스트 장치의 접속 단자(가령, 콘택 패드)를 서로 전기적으로 접속하기 위하여, 반도체 기기와 테스트 장치 사이에 배치되는 것으로 한다.Test sockets are used for electrical inspection of semiconductor devices such as package ICs, MCMs, semiconductor devices such as wafers on which integrated circuits are formed, and the connection terminals (eg, conductive balls) of semiconductor devices to be inspected. It is assumed that the connection terminals (for example, contact pads) are disposed between the semiconductor device and the test device in order to electrically connect each other.

도 2를 참조하면, 테스트 소켓의 PION 핀(100)은, 외부 기기 가령, 반도체 기기의 도전 볼(B)과 테스트 장치의 콘택 패드(P)를 전기적으로 연결하여, 반도체 기기와 테스트 장치 사이에서 전기적 검사를 수행한다.Referring to FIG. 2, the PION pin 100 of the test socket electrically connects an external device, such as a conductive ball B of the semiconductor device and a contact pad P of the test device, between the semiconductor device and the test device. Conduct electrical inspection.

도 3 내지 도 6을 참조하면, 핀(100)은, 반도체 기기와 테스트 장치 사이에서 상하 슬라이드 되고, 반도체 기기의 도전 볼(B) 일측에 접촉하는 제1볼 플런저(110), 제1볼 플런저(110)와 개별적으로 동작하고, 도전 볼(B)의 타측에 접촉하는 제2볼 플런저(120), 한 쌍의 볼 플런저(110, 120) 사이에서 독립적으로 슬라이드 되고, 테스트 장치의 콘택 패드(P)와 접촉하는 패드 플런저(130), 및 상기 제1볼 플런저(110), 제2볼 플런저(120), 및 패드 플런저(130)의 외측에 탑재되고, 일체로 형성되나 직경이 상이한 다수 구간으로 구성되는 단일 코일 스프링(140)을 포함한다.3 to 6, the pin 100 slides up and down between the semiconductor device and the test device, and the first ball plunger 110 and the first ball plunger contacting one side of the conductive ball B of the semiconductor device The second ball plunger 120, which operates separately from 110 and contacts the other side of the conductive ball B, slides independently between the pair of ball plungers 110, 120, and the contact pad ( P) in contact with the pad plunger 130, and the first ball plunger 110, the second ball plunger 120, and mounted on the outside of the pad plunger 130, integrally formed, but a plurality of different diameter sections It comprises a single coil spring 140 consisting of.

단일 코일 스프링(140)은, 제1원통형의 상부 코일 영역(140a), 상부 코일 영역(140a)의 하부로 연장되고, 테이퍼형의 중간 코일 영역(140b), 및 중간 코일 영역(140b)의 하부로 연장되고, 제1원통형의 직경보다 작은 제2원통형의 하부 코일 영역(140c)을 포함한다.The single coil spring 140 extends to the lower portion of the first cylindrical upper coil region 140a, the upper coil region 140a, the tapered intermediate coil region 140b, and the lower portion of the intermediate coil region 140b. And a second cylindrical lower coil region 140c that extends to and is smaller than the diameter of the first cylindrical shape.

단일 코일 스프링(140)은, 각 영역의 경계 부분에서 마무리 영역이 존재한다. 마무리 영역은 스프링의 변형을 방지하여 원통형 등의 형상을 유지하는 부분으로서 압축 기능을 수행하지 않는다. 특히 본 발명에서는 마무리 영역이 스토퍼에 걸리거나 확장부를 통과하여 지지하는 기능을 수행한다.The single coil spring 140 has a finishing region at the boundary of each region. The finishing area is a part that maintains a shape such as a cylinder by preventing deformation of the spring, and does not perform a compression function. Particularly, in the present invention, the finishing region is supported by the stopper or passes through the extension portion.

상부 코일 영역 및 하부 코일 영역(140a, 140c)은 직접 접촉하거나 상호 작용하지 않고 각각 독립적으로 동작하며, 다만 간접적으로 영향을 줄뿐이다. 따라서, 단일 코일 스프링(140)에 의하여 동작하는 제1볼, 제2볼, 및 패드 플런저(110, 120, 130)가 상호 독립적으로 슬라이드 될 수 있다.The upper coil region and the lower coil regions 140a and 140c operate independently without directly contacting or interacting with each other, but only indirectly. Therefore, the first ball, the second ball, and the pad plungers 110, 120, 130 operated by the single coil spring 140 can slide independently of each other.

가령, 상부 코일 영역(140a)은, 상측에서 제1볼 플런저(110), 및 패드 플런저(130)에 각각 지지되고, 하측에서 제2볼 플런저(120)에 지지된다.For example, the upper coil region 140a is supported by the first ball plunger 110 and the pad plunger 130 from the upper side, and is supported by the second ball plunger 120 from the lower side.

하부 코일 영역(140c)은, 상측에서 제2볼 플런저(120)에 지지되고, 하측에서 제1, 제2볼 플런저(110, 120), 및 패드 플런저(130)에 각각 지지된다.The lower coil region 140c is supported by the second ball plunger 120 on the upper side, and supported by the first and second ball plungers 110 and 120 and the pad plunger 130 on the lower side, respectively.

상부 코일 영역(140a)과 하부 코일 영역(140c)은 탄성 정도 및 직경이 상이할 수 있다. The upper coil region 140a and the lower coil region 140c may have different elasticities and diameters.

하부 코일 영역(140c)은 상부 코일 영역(140a)보다 직경이 작다. 상부 코일 영역(140a)은 제2스토퍼(124)를 통과하고, 하부 코일 영역(140c)은 제2스토퍼(124)를 통과할 이유가 없고 지지될 뿐이기 때문에, 상부 코일 영역(140a)의 직경(d1)이 하부 코일 영역(140c)의 직경(d2)보다 크다(d1>d2).The lower coil region 140c is smaller in diameter than the upper coil region 140a. The upper coil region 140a passes through the second stopper 124, and the lower coil region 140c has no reason to pass through the second stopper 124 and is only supported, so the diameter of the upper coil region 140a (d1) is larger than the diameter d2 of the lower coil region 140c (d1>d2).

이를 위하여, 제2스토퍼(124)는 상부 코일 영역(140a)의 삽입은 용이하고, 삽입 후에는 임의로 분리되지 않도록 저면이 라운드(round) 되는 형상을 제공할 수 있다.To this end, the second stopper 124 is easy to insert the upper coil region 140a, and may provide a shape in which the bottom surface is rounded so that it is not separated after insertion.

상부 코일 영역(140a)은 하부 코일 영역(140c)보다 탄성 계수보다 작다. 이니셜 상태에서 하부 코일 영역(140c)의 팽창 정도가 상부 코일 영역(140a)의 팽창 정도보다 커야, 제1 및 제2볼 플런저(110, 120)가 도전 볼(B)과 접촉 시 먼저 슬라이드 동작된다. 상부 코일 영역(140a)의 탄성 계수(k1)는 하부 코일 영역(140c)의 탄성 계수(k2)에 비하여 작다(k1<k2).The upper coil region 140a is smaller than the elastic modulus than the lower coil region 140c. In the initial state, when the degree of expansion of the lower coil region 140c is greater than that of the upper coil region 140a, the first and second ball plungers 110 and 120 slide first when contacting the conductive ball B. . The elastic modulus k1 of the upper coil region 140a is smaller than the elastic modulus k2 of the lower coil region 140c (k1<k2).

특히, 제1 및 제2볼 플런저(110, 120)가 개별적으로 동작할 수 있어야 하고, 상부 코일 영역(140a)에 의하여 지지되는 제2볼 플런저(120)가 먼저 동작하고, 이어서 제1볼 플런저(110)가 동작할 수 있도록 하기 위하여, 상부 코일 영역(140a)은 80% 정도 수축된 상태의 이니셜로 플런저(110, 120, 130)의 조립이 이루어질 수 있다. 가령, 도전 볼(B)의 사이즈가 400㎛ 라고 가정할 때, 제2접속팁(122)과의 접속 시 제2볼 플런저(120)가 수축된 상부 코일 영역(140a)의 탄성을 이기고 하강한다. In particular, the first and second ball plungers 110 and 120 must be able to operate individually, and the second ball plunger 120 supported by the upper coil region 140a first operates, followed by the first ball plunger In order to allow the 110 to operate, the upper coil region 140a may be assembled with the plungers 110, 120, and 130 with initials in a contracted state of about 80%. For example, assuming that the size of the conductive ball B is 400 μm, when connecting with the second connection tip 122, the second ball plunger 120 overcomes the elasticity of the contracted upper coil region 140a and descends. .

이어서 제1접속팁(112)과의 접속으로 제1볼 플런저(110)가 수축되고, 대략 상부 코일 영역(140a)의 탄성력과 하부 코일 영역(140b)의 탄성력이 동일하게 되고, 상부 코일 영역(140a)이 압축되는 만큼 하부 코일 영역(140c)도 압축되면서, 패드 플런저(130)도 하강한다.Subsequently, the first ball plunger 110 is contracted by the connection with the first connection tip 112, the elastic force of the upper coil region 140a and the elastic force of the lower coil region 140b are approximately equal, and the upper coil region ( As the lower coil region 140c is compressed as 140a) is compressed, the pad plunger 130 also descends.

따라서, 제2접속팁(122)이 200㎛ 정도 도전 볼(B)에 의하여 하강하고 나서, 제1접속팁(112)이 도전 볼(B)과 접촉하게 되고, 양측에서 개별 접촉이 가능하게 된다. 양 접속팁(112, 122)은 소정 간격 범위(α) 내에서 거리를 두고 도전 볼(B)과 접속됨으로써, 순차적으로 도전 볼(B)과의 안정적인 접속을 실현하게 되고, 접속 불량이 원천적으로 방지될 수 있다. Therefore, after the second connection tip 122 descends by the conductive ball B about 200 μm, the first connection tip 112 comes into contact with the conductive ball B, and individual contact is possible on both sides. . Both the connection tips 112 and 122 are connected to the conductive ball B at a distance within a predetermined interval range α, thereby sequentially realizing a stable connection with the conductive ball B, and connection defects are inherently Can be prevented.

패드 플런저(130)와 제1 및 제2볼 플런저(110, 120)는 판재의 스트립 형태로 제공될 수 있다. 이와 같이 전술한 스트립은 소정 넓이와 소정 두께를 가지는 판재 형태로 성형하기 때문에, MEMS 공정을 이용하여 제작 가능하다. The pad plunger 130 and the first and second ball plungers 110 and 120 may be provided in the form of a strip of plate material. As described above, since the above-described strip is molded into a plate material having a predetermined width and thickness, it can be manufactured using a MEMS process.

제1볼 플런저(110)는, 상측의 제1접속팁(112), 상부 코일 영역(140a)의 상단이 지지되는 제1스토퍼(114), 상부 및 하부 코일 영역(140a, 140c)이 각각 상부 및 하부 둘레에 탑재되는 제1연장부(116), 및 하부 코일 영역(140c)이 통과하거나 지지되는 제1확장부(118)를 포함한다.The first ball plunger 110 has an upper first connection tip 112, a first stopper 114 at which an upper end of the upper coil region 140a is supported, and upper and lower coil regions 140a and 140c, respectively. And a first extension portion 118 mounted around the lower circumference, and a first extension portion 118 through which the lower coil region 140c passes or is supported.

제2볼 플런저(120)는, 상측의 제2접속팁(122), 상부 코일 영역(140a)의 하단이 지지되고, 하부 코일 영역(140c)의 상단이 각각 지지되는 제2스토퍼(124), 제1스토퍼(124)를 사이에 두고 상부에는 상부 코일 영역(140a)이 탑재되고, 하부에는 하부 코일 영역(140c)이 탑재되는 제2연장부(126), 및 하부 코일 영역(140c)이 통과하거나 지지되는 제2확장부(128)를 포함한다.The second ball plunger 120, the second connection tip 122 on the upper side, the lower end of the upper coil region 140a is supported, and the second stopper 124 on which the upper end of the lower coil region 140c is respectively supported, With the first stopper 124 interposed therebetween, the upper coil region 140a is mounted on the upper portion, and the second extension portion 126 on which the lower coil region 140c is mounted and the lower coil region 140c pass through. Or a second extension 128 supported.

패드 플런저(130)는, 하측의 제3접속팁(132), 하부 코일 영역(140c)의 하단이 지지되는 제3스토퍼(134), 하부 및 상부 코일 영역(140a, 140c)이 각각 하부 및 상부 둘레에 탑재되는 제3연장부(136), 및 상부 코일 영역(140)이 통과하거나 지지되는 제3확장부(138)를 포함한다.The pad plunger 130 includes a lower third connection tip 132, a third stopper 134 on which a lower end of the lower coil region 140c is supported, and lower and upper coil regions 140a and 140c, respectively. A third extension portion 136 mounted on the periphery, and a third extension portion 138 through which the upper coil region 140 passes or is supported.

이하, 본 발명에 의한 테스트 핀의 조립 방법을 설명한다.Hereinafter, a method for assembling a test pin according to the present invention will be described.

먼저, 하부 코일 영역(140c)을 이용하여 제3볼 플런저(130)를 조립한다. 하부 코일 영역(140c)의 내경 하단을 통하여 제3확장부(138)가 강제 삽입되고, 제3스토퍼(134)에 걸려 고정된다. 이때, 하부 코일 영역(140c)의 마무리 부분이 소정의 압력을 이용하여 통과할 수 있다. First, the third ball plunger 130 is assembled using the lower coil region 140c. The third extension portion 138 is forcibly inserted through the lower end of the inner diameter of the lower coil region 140c, and is caught and fixed by the third stopper 134. At this time, the finishing portion of the lower coil region 140c may pass using a predetermined pressure.

상부 코일 영역(140a)을 통하여 제1확장부(118), 및 제2확장부(128)가 통과하고, 상기 확장부들은 중간 코일 영역(140b)을 경유하고 하부 코일 영역(140c)의 하단을 통과하여 체결된다. The first extension portion 118 and the second extension portion 128 pass through the upper coil region 140a, and the extension portions pass through the middle coil region 140b and the lower end of the lower coil region 140c. It is fastened through.

도면에는 도시되어 있지 않지만, 상부 코일 영역(140a)을 이용하여 제1 및 제2볼 플런저(110, 120)를 조립할 수 있다. 상부 코일 영역(140a)의 내경 상단을 통하여 제1확장부(118)가 강제 삽입되고, 또한 제2확장부(128)가 삽입되며, 제2스토퍼(124)를 통과한다. 여기서, 제2스토퍼(124)는 저면이 라운드 되는 형상을 하고 있기 때문에, 상부 코일 영역(140a)의 후단 마무리 부분이 소정의 압력을 이용하여 통과할 수 있고, 상부 코일 영역(140a)은 제2스토퍼(124)의 상면 단턱에 지지되어 상부 코일 영역(140a)은 제1스토퍼(114)와 제2스토퍼(124) 사이에 위치하게 된다.Although not shown in the drawing, the first and second ball plungers 110 and 120 may be assembled using the upper coil region 140a. The first extension portion 118 is forcibly inserted through the upper end of the inner diameter of the upper coil region 140a, and the second extension portion 128 is inserted, and passes through the second stopper 124. Here, since the second stopper 124 has a shape in which the bottom surface is rounded, the rear end finishing portion of the upper coil region 140a can pass using a predetermined pressure, and the upper coil region 140a is the second. The upper coil region 140a is supported between the first stopper 114 and the second stopper 124 by being supported on the upper stepped end of the stopper 124.

그리고, 중간 코일 영역(140b)은 직경이 점차 작아지는 테이퍼형으로 제공되기 때문에, 제2스토퍼(124)의 저면 라운드 경사면에 위치하게 된다.In addition, since the intermediate coil region 140b is provided in a tapered shape in which the diameter gradually decreases, the intermediate coil region 140b is positioned on the bottom round inclined surface of the second stopper 124.

계속해서, 하부 코일 영역(140c)은 제1 및 제2확장부(118, 128)를 통과하고, 그 직경(d2)이 제2스토퍼(124)보다 작기 때문에 더 이상 진행하지 않고, 하부 코일 영역(140c)은 제3확장부(138)와 제3스토퍼(134) 사이에 탑재된다.Subsequently, the lower coil region 140c passes through the first and second extensions 118 and 128, and does not proceed further because the diameter d2 is smaller than the second stopper 124, and the lower coil region 140c is mounted between the third extension 138 and the third stopper 134.

다음, 제3확장부(138)를 하부 코일 영역(140c)과 상단 코일 영역(140a)의 하단으로 삽입하면, 테스트 핀(100)의 조립이 완성된다. Next, when the third extension portion 138 is inserted into the lower ends of the lower coil region 140c and the upper coil region 140a, assembly of the test pin 100 is completed.

이와 같이 단일 코일 스프링(140)을 이용하여 조립하면 상부에서 혹은 하부에서 단일 코일 스프링의 조립이 가능하기 때문에 매우 편리하다.When assembled using the single coil spring 140 as described above, it is very convenient to assemble the single coil spring from the top or the bottom.

이하, 본 발명에 의한 테스트 핀의 동작 방법을 설명한다.Hereinafter, an operation method of the test pin according to the present invention will be described.

도 8을 참조하면, 제1 및 제2접속팁(112, 122) 중 하나만이 도전 볼(B)과 접촉할 수 있다. 제1 및 제2접속팁(112, 122)이 도전 볼(B)과 접속 시, 상부 코일 스프링(140)은 이니셜 상태에서 소정 수축율로 압축되어 있고, 상부 코일 스프링(140)은 수축된 상태에서 팽창하는 경향이 있기 때문에, 제2접속팁(122)이 하강하기 쉽다. 따라서 제1접속팁(112)과의 접속이 더 유력해진다. Referring to FIG. 8, only one of the first and second connection tips 112 and 122 may contact the conductive ball B. When the first and second connection tips 112 and 122 are connected to the conductive ball B, the upper coil spring 140 is compressed at a predetermined shrinkage rate in an initial state, and the upper coil spring 140 is contracted. Since the tendency to expand, the second connection tip 122 is easy to descend. Therefore, the connection with the first connection tip 112 becomes more prominent.

계속해서 도전 볼(B)의 압박이 진행되고, 제2접속팁(122)의 하강에 의하여 상부 코일 스프링(140)의 수축이 해제되면, 제1접속팁(112)이 하강하면서 제2접속팁(122)과의 접속이 이루어지면서 양측에서 제1 및 제2접속팁(112, 122)과의 안정적인 접속이 이루어진다.When the pressing of the conductive ball B continues, and when the contraction of the upper coil spring 140 is released by the lowering of the second connecting tip 122, the second connecting tip while the first connecting tip 112 descends As the connection with 122 is made, stable connection with the first and second connection tips 112 and 122 is made at both sides.

제2접속팁(122)의 하강이 이루어지면, 하부 코일 스프링(150)이 압축되면서 패드 플런저(130)의 하강이 진행되고, 제3접속팁(132)이 콘택 패드(P)에 접속된다.When the second connection tip 122 is lowered, the lower coil spring 150 is compressed, the pad plunger 130 is lowered, and the third connection tip 132 is connected to the contact pad P.

이와 같은 하강이 진행되는 동안 제1접속팁(112) 혹은 제2접속팁(122)의 개별적 접촉으로 인하여 전기적 접속이 안정적으로 수행되고, 일방 접속팁은 접촉하고 타방 접속팁은 이격되는 불량 접촉을 발생하지 않으며, 이로써 검사의 정밀도가 개선된다.During this descent, electrical connection is stably performed due to the individual contact of the first connection tip 112 or the second connection tip 122, and one connection tip is in contact and the other connection tip is in bad contact. It does not occur, thereby improving the precision of the inspection.

이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명은 3개의 플런저가 독립적으로 슬라이드 동작을 하기 위하여는, 2개의 코일 스프링이 각 플런저에 지지될 것이 요구되는데, 2개의 코일 스프링은 각 플런저를 안정적으로 동작하도록 하는 장점이 있지만, 부품수와 공정수가 증가되는 단점이 있는 바, 단일 코일 스프링을 상하 2개의 영역을 구분할 뿐 일체로 형성하여, 파인 피치를 구현하기 위하여 압축 코일 스프링의 직경이 작아지는 경우에도 적절하게 대응할 수 있게 되는 구성을 기술적 사상으로 하고 있음을 알 수 있다. 이와 같은 본 발명의 기본적인 기술적 사상의 범주 내에서, 당업계의 통상의 지식을 가진 자에게 있어서는 다른 많은 변형이 가능할 것이다.As described above, in the present invention, in order for the three plungers to slide independently, the two coil springs are required to be supported on each plunger, and the two coil springs have the advantage of stably operating each plunger. However, since there are disadvantages in that the number of parts and the number of processes are increased, a single coil spring is formed integrally only by dividing the upper and lower two regions, so that even if the diameter of the compressed coil spring is small to realize a fine pitch, it is appropriately supported. It can be seen that the configuration capable of being made is a technical idea. Within the scope of the basic technical idea of the present invention, many other modifications will be possible to those skilled in the art.

100: 테스트 핀 110: 제1볼 플런저
120: 제2볼 플런저 130: 패드 플런저
140: 단일 코일 스프링 140a: 상부 코일 영역
140b: 중간 코일 영역 140c: 하부 코일 영역
100: test pin 110: first ball plunger
120: second ball plunger 130: pad plunger
140: single coil spring 140a: upper coil area
140b: middle coil area 140c: lower coil area

Claims (10)

반도체 기기와 테스트 장치 사이에서 상하 슬라이드 되고, 상기 반도체 기기의 도전 볼 일측에 접촉하는 제1볼 플런저;
상기 제1볼 플런저와 개별적으로 동작하고, 상기 도전 볼의 타측에 접촉하는 제2볼 플런저;
한 쌍의 상기 볼 플런저 사이에서 독립적으로 슬라이드 되고, 상기 테스트 장치의 콘택 패드와 접촉하는 패드 플런저; 및
상기 제1볼, 제2볼, 및 패드 플런저의 외측에 탑재되고, 일체로 형성되나 직경이 상이한 다수 구간으로 구성되는 단일 코일 스프링;를 포함하고,
상기 단일 코일 스프링은,
제1원통형의 상부 코일 영역;
상기 상부 코일 영역의 하부로 연장되고, 테이퍼형의 중간 코일 영역; 및
상기 중간 코일 영역의 하부로 연장되고, 상기 제1원통형의 직경보다 작은 제2원통형의 하부 코일 영역을 포함하며,
상기 각 코일 영역은, 탄성 계수 및 직경이 상이하며,
상기 제1볼 플런저는,
상측의 제1접속팁;
상기 상부 코일 영역의 상단이 지지되는 제1스토퍼;
상기 상부 및 하부 코일 영역이 상부 및 하부 둘레에 각각 탑재되는 제1연장부; 및
상기 하부 코일 영역이 통과하거나 지지되는 제1확장부를 포함하며,
상기 제2볼 플런저는,
상측의 제2접속팁;
상기 상부 코일 영역의 하단이 지지되고, 상기 하부 코일 영역의 상단이 각각 지지되는 제2스토퍼;
상기 제1스토퍼를 사이에 두고 상부에는 상기 상부 코일 영역이 탑재되고, 하부에는 상기 하부 코일 영역이 탑재되는 제2연장부; 및
상기 하부 코일 영역이 통과하거나 지지되는 제2확장부를 포함함을 특징으로 하는 테스트 핀.
A first ball plunger that slides up and down between the semiconductor device and the test device and contacts one side of the conductive ball of the semiconductor device;
A second ball plunger which operates separately from the first ball plunger and contacts the other side of the conductive ball;
A pad plunger that slides independently between the pair of ball plungers and contacts the contact pads of the test device; And
It includes a single coil spring mounted on the outside of the first ball, the second ball, and the pad plunger, integrally formed, but composed of a plurality of sections having different diameters.
The single coil spring,
A first cylindrical upper coil region;
A tapered intermediate coil region extending below the upper coil region; And
A second cylindrical lower coil region extending to a lower portion of the intermediate coil region and smaller than a diameter of the first cylindrical shape,
Each of the coil regions, the elastic modulus and diameter are different,
The first ball plunger,
An upper first connection tip;
A first stopper on which an upper end of the upper coil region is supported;
A first extension portion in which the upper and lower coil regions are mounted around upper and lower portions, respectively; And
And a first extension portion through which the lower coil region passes or is supported.
The second ball plunger,
A second connection tip on the upper side;
A second stopper in which the lower ends of the upper coil regions are supported, and the upper ends of the lower coil regions are respectively supported;
A second extension portion in which the upper coil region is mounted on an upper portion and the lower coil region is mounted on a lower portion with the first stopper interposed therebetween; And
A test pin, characterized in that it comprises a second extension through which the lower coil region passes or is supported.
삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 단일 코일 스프링은,
상측에서 상기 제1볼 플런저, 및 상기 패드 플런저에 각각 지지되고, 하측에서 상기 제2볼 플런저에 지지되는 상부 코일 영역;
상측에서 상기 제2볼 플런저에 지지되고, 하측에서 상기 제1, 제2, 및 패드 플런저에 각각 지지되는 하부 코일 영역;
상기 상부 코일 영역과 상기 하부 코일 영역을 연결하는 중간 코일 영역을 포함함을 특징으로 하는 테스트 핀.
According to claim 1,
The single coil spring,
An upper coil region supported on the first ball plunger and the pad plunger on the upper side and supported on the second ball plunger on the lower side;
A lower coil region supported by the second ball plunger at the upper side and supported by the first, second, and pad plunger at the lower side;
And a middle coil region connecting the upper coil region and the lower coil region.
삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 하부 코일 영역의 직경은 상기 상부 코일 영역의 직경보다 작은 것을 특징으로 하는 테스트 핀.
According to claim 1,
A test pin, characterized in that the diameter of the lower coil region is smaller than the diameter of the upper coil region.
제 5 항에 있어서,
상기 상부 코일 영역의 탄성 계수는 상기 하부 코일 영역의 탄성 계수보다 작은 것을 특징으로 하는 테스트 핀.
The method of claim 5,
The test pin, characterized in that the elastic modulus of the upper coil region is smaller than the elastic modulus of the lower coil region.
삭제delete 삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 패드 플런저는,
하측의 제3접속팁;
상기 하부 코일 영역의 하단이 지지되는 제3스토퍼;
상기 하부 및 상부 코일 영역이 하부 및 상부 둘레에 각각 탑재되는 제3연장부; 및
상기 상부 코일 영역이 통과하거나 지지되는 제3확장부를 포함함을 특징으로 하는 테스트 핀.
According to claim 1,
The pad plunger,
A third connection tip on the lower side;
A third stopper on which a lower end of the lower coil region is supported;
A third extension portion in which the lower and upper coil regions are mounted around the lower and upper portions, respectively; And
And a third extension portion through which the upper coil region passes or is supported.
제 1 항에 있어서,
상기 제2스토퍼는 상기 상부 코일 영역의 삽입은 용이하고, 삽입 후에는 임의로 분리되지 않도록 하측면이 라운드(round) 되고,
상기 중간 코일 영역은 상기 제2스토퍼와 대응되며,
상기 중간 코일 영역은 상기 상부 코일 영역과 상기 하부 코일 영역으로 갈수록 점차 감소하고, 상기 탄성 계수는 상기 상부 코일 영역과 상기 하부 코일 영역보다 작은 것을 특징으로 하는 테스트 핀.
According to claim 1,
The second stopper is easy to insert the upper coil region, and the lower side is rounded so that it is not separated after insertion,
The intermediate coil region corresponds to the second stopper,
The intermediate coil region gradually decreases toward the upper coil region and the lower coil region, and the elastic modulus is smaller than the upper coil region and the lower coil region.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11802909B2 (en) 2020-10-06 2023-10-31 Johnstech International Corporation Compliant ground block and testing system having compliant ground block
US11821943B2 (en) 2020-10-06 2023-11-21 Johnstech International Corporation Compliant ground block and testing system having compliant ground block

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20100047279A (en) * 2007-09-18 2010-05-07 델라웨어 캐피탈 포메이션, 인코포레이티드 Spring contact assembly
KR20110065047A (en) * 2009-12-09 2011-06-15 이재학 Test socket, the fabrication method thereof and pogo pin
JP2012181096A (en) 2011-03-01 2012-09-20 Micronics Japan Co Ltd Contactor and electrical connection device
JP2013217862A (en) * 2012-04-11 2013-10-24 Japan Electronic Materials Corp Electrical contactor
JP2014021054A (en) * 2012-07-23 2014-02-03 Yamaichi Electronics Co Ltd Contact probe and semiconductor element socket including the same
KR101396377B1 (en) * 2014-02-03 2014-05-20 주식회사 아이에스시 Test contactor of plate type including socket for testing semiconductor device and upper flanger thereof
JP2016008904A (en) * 2014-06-25 2016-01-18 株式会社ミタカ Contact probe
KR101833970B1 (en) * 2015-11-25 2018-03-02 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스 Electrical Contactor and Electrical Connecting Apparatus
KR101852848B1 (en) * 2018-02-14 2018-04-27 주식회사 오킨스전자 Semiconductor test socket pin having temporary fixing stopper of coil spring and method of assembling same

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20100047279A (en) * 2007-09-18 2010-05-07 델라웨어 캐피탈 포메이션, 인코포레이티드 Spring contact assembly
KR20110065047A (en) * 2009-12-09 2011-06-15 이재학 Test socket, the fabrication method thereof and pogo pin
JP2012181096A (en) 2011-03-01 2012-09-20 Micronics Japan Co Ltd Contactor and electrical connection device
JP2013217862A (en) * 2012-04-11 2013-10-24 Japan Electronic Materials Corp Electrical contactor
JP2014021054A (en) * 2012-07-23 2014-02-03 Yamaichi Electronics Co Ltd Contact probe and semiconductor element socket including the same
KR101396377B1 (en) * 2014-02-03 2014-05-20 주식회사 아이에스시 Test contactor of plate type including socket for testing semiconductor device and upper flanger thereof
JP2016008904A (en) * 2014-06-25 2016-01-18 株式会社ミタカ Contact probe
KR101833970B1 (en) * 2015-11-25 2018-03-02 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스 Electrical Contactor and Electrical Connecting Apparatus
KR101852848B1 (en) * 2018-02-14 2018-04-27 주식회사 오킨스전자 Semiconductor test socket pin having temporary fixing stopper of coil spring and method of assembling same

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11802909B2 (en) 2020-10-06 2023-10-31 Johnstech International Corporation Compliant ground block and testing system having compliant ground block
US11821943B2 (en) 2020-10-06 2023-11-21 Johnstech International Corporation Compliant ground block and testing system having compliant ground block

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