JP2008108964A - 半導体発光装置およびその製造方法 - Google Patents
半導体発光装置およびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008108964A JP2008108964A JP2006291394A JP2006291394A JP2008108964A JP 2008108964 A JP2008108964 A JP 2008108964A JP 2006291394 A JP2006291394 A JP 2006291394A JP 2006291394 A JP2006291394 A JP 2006291394A JP 2008108964 A JP2008108964 A JP 2008108964A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- emitting device
- semiconductor light
- cladding layer
- light emitting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Led Devices (AREA)
- Semiconductor Lasers (AREA)
Abstract
【課題】 発光効率が高い半導体発光装置を安定して得ることが出来るようにする。
【解決手段】
基板と、基板上方に形成され、第1導電型の、発光色に対し透明な第1のクラッド層と、第1のクラッド層上に積層され、所望の波長の光を発光する活性層と、活性層上に積層され、第2導電型の、発光色に対し透明な第2のクラッド層とを有するAlGaInP系の半導体発光装置であって、第1のクラッド層、活性層および第2のクラッド層の3層の平均炭素濃度が7×1016atoms/cm3以下である半導体発光装置を作製する。
【選択図】図8
【解決手段】
基板と、基板上方に形成され、第1導電型の、発光色に対し透明な第1のクラッド層と、第1のクラッド層上に積層され、所望の波長の光を発光する活性層と、活性層上に積層され、第2導電型の、発光色に対し透明な第2のクラッド層とを有するAlGaInP系の半導体発光装置であって、第1のクラッド層、活性層および第2のクラッド層の3層の平均炭素濃度が7×1016atoms/cm3以下である半導体発光装置を作製する。
【選択図】図8
Description
本発明は、半導体発光装置に関し、特にAlGaInP系の半導体発光装置に関する。ここでいうAlGaInP系の半導体発光装置とは、半導体層に組成の異なるAlGaInPを主成分として用いた半導体発光装置を指す。
一般的に、半導体発光装置(LED)は、化合物半導体基板上に所望の結晶をエピタキシャル成長させ製造する。基板にはガリウム砒素(GaAs)結晶が用いられることが多い。
基本的なLEDとして、GaAs基板にアルミガリウムインジウムリン(AlGaInP)系結晶を積層した例を挙げる。GaAs基板上にMOCVD法にて、第1の導電型を有し、発光層よりもバンドギャップの大きい下部クラッド層、所望の波長を発光する発光層、第2の導電型を有し、発光層よりもバンドギャップの大きい上部クラッド層と、いわゆるダブルへテロ構造を構成し、必要であれば電流拡散層をさらに積層したLEDである。このようなLEDは、特開平11−121796号公報や、特開2004−304090号公報などに記載の提案である。
上記特許文献に記載の半導体発光装置を製造すると、半導体発光装置の発光特性に完成品毎に大きなばらつきが生じ、性能が不安定である。このような性能のばらつきは、意図的でない残留不純物の影響が大きいと考えられている。
本発明の目的は、発光効率が高い半導体発光装置を安定して提供することである。
本発明の一観点によれば、基板上方に第1導電型の第1のクラッド層を成長させる工程と、前記第1のクラッド層の上に活性層を成長させる工程と、前記活性層の上に第2導電型の第2のクラッド層を成長させる工程とを含むAlGaInP系の半導体発光装置の製造方法であって、MOCVD装置に供給する、V族原料のIII族原料に対する比(V/III)を60以上に調整することにより、前記第1のクラッド層、前記活性層および前記第2のクラッド層の3層の平均炭素濃度を7×1016atoms/cm3以下に調整する半導体発光装置の製造方法が提供される。
本発明の他の観点によれば、基板と、前記基板上方に形成され、第1導電型の、発光色に対し透明な第1のクラッド層と、前記第1のクラッド層上に積層され、所望の波長の光を発光する活性層と、前記活性層上に積層され、第2導電型の、発光色に対し透明な第2のクラッド層と、を有するAlGaInP系の半導体発光装置であって、前記第1のクラッド層、前記活性層および前記第2のクラッド層の3層の平均炭素濃度が7×1016atoms/cm3以下である半導体発光装置が提供される。
発光効率が高い半導体発光装置を安定して得ることが出来る。
発明者らは、予備段階として、従来技術に従って半導体発光装置を作製した。
図1に、作製した半導体発光装置の基本構造を示した概略断面図を示す。図1に示した、半導体発光装置の基本構成は次の通りである:
・n型GaAs基板からなる半導体基板1、
・基板1上に配置されたn型の(Al0.7Ga0.3)0.5In0.5P層からなる下部クラッド層2、
・下部クラッド層2上に形成された、AlGaInPで構成される活性層3。例えば、井戸層が(Al0.2Ga0.8)0.5In0.5P、障壁層が(Al0.5Ga0.5)0.5In0.5Pからなる量子井戸もしくは多重量子井戸(QWもしくはMQW)や、(Al0.2Ga0.8)0.5In0.5Pからなるバルク活性層、
・活性層3上に形成される、p型の(Al0.7Ga0.3)0.5In0.5P層からなる上部クラッド層4、
・上部クラッド層4上に形成される、p型のGaPからなる電流拡散層5、および
・基板1下部に形成される、下部電極6および電流拡散層6上部に形成される上部電極7。
・n型GaAs基板からなる半導体基板1、
・基板1上に配置されたn型の(Al0.7Ga0.3)0.5In0.5P層からなる下部クラッド層2、
・下部クラッド層2上に形成された、AlGaInPで構成される活性層3。例えば、井戸層が(Al0.2Ga0.8)0.5In0.5P、障壁層が(Al0.5Ga0.5)0.5In0.5Pからなる量子井戸もしくは多重量子井戸(QWもしくはMQW)や、(Al0.2Ga0.8)0.5In0.5Pからなるバルク活性層、
・活性層3上に形成される、p型の(Al0.7Ga0.3)0.5In0.5P層からなる上部クラッド層4、
・上部クラッド層4上に形成される、p型のGaPからなる電流拡散層5、および
・基板1下部に形成される、下部電極6および電流拡散層6上部に形成される上部電極7。
半導体発光装置の作製には、MOCVD装置を使用し、V族原料としてホスフィン(PH3)、III族原料として有機金属材料のトリメチルガリウム(TMG)、トリメチルアルミニウム(TMA)、トリメチルインジウム(TMI)を用いた。n型クラッド層の形成のためのドーパントとして、シラン(SiH4)、ジエチルテルル(DeTe)もしくはセレン化水素(H2Se)、p型クラッド層およびp型電流拡散層形成のためのドーパントとして、ジメチルジンク(DMZn)、もしくはビスシクロペンタディエニルマグネシウム(CP2Mg)を用いた。キャリアガスとして水素を用い、成長温度600℃〜900℃、10kPaの減圧下で上記半導体発光装置を作製した。
発明者らは、上記構成の半導体発光装置のサンプルX1、X2を作製し、二次イオン質量分析(SIMS)装置によりエピタキシャル膜(ここではAlGaInP系半導体層)中の組成分析を行った結果、エピタキシャル膜中の炭素濃度が発光効率に相関があることを見出した。炭素は、III族原料として有機金属材料を用いることにより、取り込まれるものと考えられる。
なお、各サンプルは、下部電極としてAu−Ge−Ni、上部電極としてAu−Znを適切な厚さで真空蒸着し、500℃で合金化を行った。その後、250μm角にダイシングし、ステム上に搭載し、ワイヤを装着させた。そうしてデバイス化した半導体発光装置の発光効率を積分球にて測定した。以下で述べる各サンプルの測定方法も同様である。
図2A、図2Bに、サンプルX1、X2のSIMSプロファイルを示し、図3に、サンプルX1、X2の解析結果の表を示す。
なお、図3に示す3層平均炭素濃度は、AlGaInP系半導体層である3層(n型クラッド層、活性層、p型クラッド層)に含まれる炭素濃度の平均を算出したものである。SIMSプロファイルで3層から検出した炭素を積分し、測定深さと面積から算出した。本件に関わる他のサンプルにおいても上記と同様の方法で行った。
図2において、炭素濃度の低い値が飽和しているように見えるが、その領域に関しては測定装置の検出限界である。
図2、3に示すように、サンプルX1は、3層平均炭素濃度が1.3E+17(Enとは×10nを指す。ここでは1.3×1017)atoms/cm3であり、発光効率は1.7%である。一方、サンプルX2は、3層平均炭素濃度が2.1E+16(2.1×1016)atoms/cm3であり、発光効率は3.1%である。
さらに解析を進めた結果、AlGaInP系半導体層の3層に含まれる炭素分布には、3種類のパターンがあることが分かった。以下にその3パターンを示す。
(1)3層全ての炭素濃度が高い。
(2)p型クラッド層に炭素濃度が高い領域(3×1017atoms/cm3以上)が存在する。
(3)n型クラッド層に炭素濃度が高い領域(3×1017atoms/cm3以上)が存在する。
図4A、図4B、図4Cに、上記3パターンの半導体発光装置サンプルY1、Y2、Y3(それぞれがパターン(1)、(2)、(3)に対応)のSIMSプロファイルを示す。なお、サンプルY1はサンプルX1と同じものである。
図5に、これら3パターンの発光装置の解析結果の表を示す。図6に示すように、3層の平均炭素濃度はいずれのサンプルも高く(1×1017atoms/cm3以上)、発光装置の発光効率は、いずれも2%以下と低いことが分かった。また、活性層の炭素濃度は低い値を示しているが、これは、従来技術においても活性層の炭素濃度は低くなるように作られているからであり、それが必ずしも高い発光効率を得るのに寄与していないことが分かった。
以上の解析結果から発明者らは、高い発光効率を得るためには、1層の炭素濃度ではなく、3層の平均炭素濃度が低くなるように半導体発光装置を作製する必要があるという仮説を立てた。
そこで、上記構成の半導体発光装置のサンプル群Aを作製し、サンプルX1、X2と同様に、二次イオン質量分析(SIMS)装置によりエピタキシャル膜(ここではAlGaInP系半導体層)中の組成分析を行った。
図6に、サンプル群Aの、各サンプルのAlGaInP層における平均炭素濃度と発光効率を表したグラフを示す。図6に示すように、サンプル間で発光特性に大きなばらつき(30%)がある。ここでいうばらつきとは、グラフにおける発光効率の最大値と最小値から、計算式「(最大値−最小値)/最大値」を用いて算出したものである。
図6から、発光効率の高い半導体発光装置では炭素濃度が低いのに対し、発光効率の低い半導体発光装置ではAlGaInP中に多量の炭素が存在していることが分かった。良好な発光効率を約2.5%以上とすると、サンプル2およびサンプル8の発光効率が約2.0程度であり、他のサンプルに比べ発光効率が劣っていることが分かる。発光効率が劣っている2つのサンプルの平均炭素濃度はともに7×1016(7E+16)atoms/cm3より大きいことがグラフから分かる。
発光効率のばらつきに関しては、各層の膜厚、結晶性やキャリア濃度にも要因があると思われるが、発明者らは、AlGaInP系半導体層である3層の平均炭素濃度に着目した。
不純物の混入には、使用する原材料の純度も関係するため、使用する原材料の選定に注意することは当然であるが、炭素の混入は、有機金属材料に含まれるメチル基やエチル基などの分解により起こるものと考えられる。この分解により生成した炭素を如何にAlGaInP中に取り込まれないようにするかが重要となる。そのため、成長圧力、成長温度、V族およびIII族原料のガスバランスなどの成長条件を最適化する必要がある。
発明者らは、AlGaInP中に含まれる炭素濃度とV族材料であるホスフィンの反応場への供給量に相関があることを見出した。
そこで、ホスフィン流量を変えて上記構成と同様のLEDサンプル群Bを作製し、それぞれのLEDにおけるn型クラッド層、p型クラッド層および活性層のAlGaInPに含まれる平均炭素濃度を測定した。この実験では、成長温度は770℃、成長圧力は10kPa、III族有機金属化合物の反応場への供給量は、200μmol/minと一定とした。
図7Aに、ホスフィン流量と上記AlGaInP層の平均炭素濃度との関係を表したグラフを示し、図7Bに、V族原料(ホスフィン)のIII族原料に対する比と、上記AlGaInP層の平均炭素濃度との関係を表したグラフを示す。V族原料(ホスフィン)のIII族原料に対する比は、ホスフィン流量から簡単に算出できる。
図7A、図7Bに示すように、ホスフィン流量(V族原料の、III族原料に対するモル比)を大きくするに従って、AlGaInP中の平均炭素濃度が減少していることが分かる。
次に、上記成長条件下でホスフィン流量を変化させて上記構成と同様のLEDサンプル群Cを作製した。
図8に、サンプル群CにおけるAlGaInP層中の平均炭素濃度と発光効率との関係を表したグラフを示す。横軸に平均炭素濃度をとる。縦軸に発光効率をとる。図8に示すように、AlGaInP中の平均炭素濃度を減少させることにより、発光効率が向上することが分かる。また、この図から、デバイスの効率が急激に減少するポイント(平均炭素濃度7×1016atoms/cm3)が存在することが分かる。LEDが高い発光特性を得るためには、平均炭素濃度を7×1016atoms/cm3以下に抑える必要があることが分かった。
上記の結果から考察すると、発光効率の高いLEDを得るためには、供給するV族原料の、III族原料に対するモル比を60以上にする必要があると考えられる。
上記実験結果を踏まえ、発明者らは、上述の半導体発光装置と同様の構成で、AlGaInP層中の平均炭素濃度を7×1016atoms/cm3以下に抑えたLEDサンプル群Dを新たに作製し、それぞれのサンプルにおける発光効率を調べた。
図9に、サンプル群Dにおける各サンプルの発光効率を表したグラフを示す。図9に示すように、AlGaInP層中の平均炭素濃度を7×1016atoms/cm3以下(ここでは4×1016atoms/cm3以下)に抑えることにより、全てのサンプルが良好な発光効率(2.5%以上を良好とした。ここでは全てのサンプルが2.8%以上)を示し、発光効率のばらつきも10%に低減した。
なお、平均炭素濃度が7×1016atoms/cm3以下の半導体発光装置においては、必ずしも平均炭素濃度が低ければ低いほど発光効率が高くなるというわけではない。先述のように、発光効率には各層の膜厚、結晶性やキャリア濃度などの要因があるためと考えられる。
SIMSの検出限界は1×1016atoms/cm3程度であるが、V/III比を120以上に調整して、SIMSによる炭素濃度がバックグラウンド以下である発光装置を作製した場合、発光装置の発光効率は低くなってしまう。従って、高発光効率が安定して得られる平均炭素濃度は、1×1016atoms/cm3〜7×1016atoms/cm3となる。
なお、上記の作製例に限らず、他の方法や形態により作製した半導体発光装置であっても、AlGaInP層中の平均炭素濃度を1×1016atoms/cm3〜7×1016atoms/cm3に調整すれば、発光効率が高い半導体発光装置を安定して得ることが出来るであろう。
発明者らは、特開2006−86361号公報に記載の方法で、例えば導電性基板を有する支持体の接続層と、成長基板上に上記構成の積層構造体を成長させた積層体の金属層とを接続して接続体を得た後、成長基板を除去して電極を取り付けた半導体発光装置のサンプルZ1、Z2(サンプルZ1の平均炭素濃度は1×1017atoms/cm3、サンプルZ2の平均炭素濃度は3×1016atoms/cm3)を作製した。サンプルZ1およびZ2の導電性基板にはSi基板を用い、成長基板にはGaAs基板を用いた。また、上記サンプル群と同様に、下部電極としてPt(白金)、上部電極としてAu−Ge−Niを適切な厚さで真空蒸着し、500℃で合金化を行った。その後、350μm角にダイシングし、デバイス化した半導体発光装置の発光効率を上記と同様の方法で測定した。
サンプルZ1、Z2の発光効率を測定ところ、サンプルZ1の発光効率は4%であったのに対し、サンプルZ2の発光効率は6.5%であり、上記製造方法により作製したサンプルZ2の方が高い発光効率を示した。このように、本発明の実施例による製造方法は半導体基板に直接成長させるタイプの半導体発光装置だけでなく、他の基板に貼り合せるタイプの半導体発光装置にも有効である。
図10にLEDの他の構成を表した概略断面図を示す。上記実施例では、上部と下部に電極を有したLEDを示したが、図10に示すように、上部の第1のクラッド層4および活性層3をエッチングにより部分的に除去し、上部から2つの電極(クラッド層2上の電極8と、クラッド層4上の電極9)をとるタイプのLEDの構成でも良い。この場合、基板1は導電性がないものでも構わない。また、永久基板として、活性層に対して透明な材料を選択すれば、図10の構造を上下逆転させ、基板側から光を取り出すことも可能である。また、第1または第2の少なくとも一方に電流拡散層を設け、電流を拡散させる機能を具備したLEDであっても、本件実施例による効果は有効である。
以上実施例に沿って本発明を説明したが、本発明はこれらに制限されるものではない。例えば、n型クラッド層とp型クラッド層の位置を入れ替え、それらに対応して基板や電流拡散層の材料を変更することは当業者であれば容易であると考えられる。
その他、種々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者に自明であろう。
1 基板
2 下部クラッド層
3 活性層
4 上部クラッド層
5 電流拡散層
6 下部電極
7 上部電極
8、9 電極
2 下部クラッド層
3 活性層
4 上部クラッド層
5 電流拡散層
6 下部電極
7 上部電極
8、9 電極
Claims (3)
- 基板上方に第1導電型の第1のクラッド層を成長させる工程と、
前記第1のクラッド層の上に活性層を成長させる工程と、
前記活性層の上に第2導電型の第2のクラッド層を成長させる工程と
を含むAlGaInP系の半導体発光装置の製造方法であって、
MOCVD装置に供給する、V族原料のIII族原料に対する比(V/III)を60以上に調整することにより、前記第1のクラッド層、前記活性層および前記第2のクラッド層の3層の平均炭素濃度を7×1016atoms/cm3以下に調整する半導体発光装置の製造方法。 - 前記V族原料としてホスフィン(PH3)を用い、前記III族原料として有機金属材料トリメチルガリウム(TMG)、トリメチルアルミニウム(TMA)、トリメチルインジウム(TMI)を用いる請求項1記載の半導体発光装置の製造方法。
- 基板と、
前記基板上方に形成され、第1導電型の、発光色に対し透明な第1のクラッド層と、
前記第1のクラッド層上に積層され、所望の波長の光を発光する活性層と、
前記活性層上に積層され、第2導電型の、発光色に対し透明な第2のクラッド層と、
を有するAlGaInP系の半導体発光装置であって、
前記第1のクラッド層、前記活性層および前記第2のクラッド層の3層の平均炭素濃度が7×1016atoms/cm3以下である半導体発光装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006291394A JP2008108964A (ja) | 2006-10-26 | 2006-10-26 | 半導体発光装置およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006291394A JP2008108964A (ja) | 2006-10-26 | 2006-10-26 | 半導体発光装置およびその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008108964A true JP2008108964A (ja) | 2008-05-08 |
Family
ID=39442061
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006291394A Pending JP2008108964A (ja) | 2006-10-26 | 2006-10-26 | 半導体発光装置およびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008108964A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019091846A (ja) * | 2017-11-16 | 2019-06-13 | 住友電気工業株式会社 | 垂直共振型面発光レーザ、垂直共振型面発光レーザを作製する方法 |
JP2020035964A (ja) * | 2018-08-31 | 2020-03-05 | 住友電気工業株式会社 | 垂直共振型面発光レーザ、垂直共振型面発光レーザを作製する方法 |
DE102021100534A1 (de) | 2021-01-13 | 2022-07-14 | OSRAM Opto Semiconductors Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Optoelektronisches halbleiterbauelement und verfahren zur herstellung eines optoelektronischen halbleiterbauelements |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000164924A (ja) * | 1998-11-25 | 2000-06-16 | Hitachi Cable Ltd | AlGaInP系発光ダイオード及びその製造方法 |
JP2006032667A (ja) * | 2004-07-16 | 2006-02-02 | Hitachi Cable Ltd | 半導体発光素子の製造方法 |
JP2008091789A (ja) * | 2006-10-04 | 2008-04-17 | Hitachi Cable Ltd | 発光ダイオード |
-
2006
- 2006-10-26 JP JP2006291394A patent/JP2008108964A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000164924A (ja) * | 1998-11-25 | 2000-06-16 | Hitachi Cable Ltd | AlGaInP系発光ダイオード及びその製造方法 |
JP2006032667A (ja) * | 2004-07-16 | 2006-02-02 | Hitachi Cable Ltd | 半導体発光素子の製造方法 |
JP2008091789A (ja) * | 2006-10-04 | 2008-04-17 | Hitachi Cable Ltd | 発光ダイオード |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019091846A (ja) * | 2017-11-16 | 2019-06-13 | 住友電気工業株式会社 | 垂直共振型面発光レーザ、垂直共振型面発光レーザを作製する方法 |
US10594110B2 (en) | 2017-11-16 | 2020-03-17 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Vertical cavity surface emitting laser, method for fabricating vertical cavity surface emitting laser |
JP7043802B2 (ja) | 2017-11-16 | 2022-03-30 | 住友電気工業株式会社 | 垂直共振型面発光レーザ、垂直共振型面発光レーザを作製する方法 |
JP2020035964A (ja) * | 2018-08-31 | 2020-03-05 | 住友電気工業株式会社 | 垂直共振型面発光レーザ、垂直共振型面発光レーザを作製する方法 |
US10938181B2 (en) | 2018-08-31 | 2021-03-02 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Vertical cavity surface emitting laser and method for manufacturing vertical cavity surface emitting laser |
JP7095498B2 (ja) | 2018-08-31 | 2022-07-05 | 住友電気工業株式会社 | 垂直共振型面発光レーザ、垂直共振型面発光レーザを作製する方法 |
DE102021100534A1 (de) | 2021-01-13 | 2022-07-14 | OSRAM Opto Semiconductors Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Optoelektronisches halbleiterbauelement und verfahren zur herstellung eines optoelektronischen halbleiterbauelements |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2006114886A (ja) | n型III族窒化物半導体積層構造体 | |
JP2007281257A (ja) | Iii族窒化物半導体発光素子 | |
JP5383880B1 (ja) | 窒化物半導体層の製造方法及び半導体発光素子の製造方法 | |
US9209361B2 (en) | Nitride semiconductor light-emitting element | |
US8093579B2 (en) | Semiconductor chip having a reduced band offset in its p-doped region and method for producing the semiconductor chip | |
JP4424680B2 (ja) | 3族窒化物半導体の積層構造、及びその製造方法、並びに、半導体発光素子、及びその製造方法 | |
JP4781028B2 (ja) | Iii族窒化物半導体積層体及びiii族窒化物半導体発光素子の製造方法 | |
JP2008108964A (ja) | 半導体発光装置およびその製造方法 | |
JP2006237539A (ja) | Iii族窒化物系化合物半導体素子の製造方法 | |
WO2007114033A1 (ja) | 発光素子の製造方法、化合物半導体ウェーハ及び発光素子 | |
JP2013207046A (ja) | Iii族窒化物系化合物半導体発光素子およびその製造方法 | |
JP4705384B2 (ja) | 窒化ガリウム系半導体素子 | |
JP2008066514A (ja) | 半導体発光素子用エピタキシャルウェハ及び半導体発光素子 | |
JP2007096162A (ja) | 半導体発光素子 | |
JP2011171431A (ja) | 半導体発光装置及びその製造方法 | |
JP2006128653A (ja) | 3−5族化合物半導体、その製造方法及びその用途 | |
JP2006186005A (ja) | 窒化物系化合物半導体、その製造方法及びその用途 | |
JP5251185B2 (ja) | 化合物半導体基板及びそれを用いた発光素子並びに化合物半導体基板の製造方法 | |
JP3874779B2 (ja) | Geドープn型III族窒化物半導体層状物及びその製造方法、ならびにそれを用いたIII族窒化物半導体発光素子 | |
JP2004356600A (ja) | 半導体発光素子 | |
JP2012174876A (ja) | 半導体発光素子及び半導体発光素子の製造方法 | |
JP5355768B2 (ja) | 半導体積層構造の製造方法 | |
JP2004356601A (ja) | 発光ダイオード | |
JP2010245435A (ja) | 発光素子用エピタキシャルウェハおよびその製造方法 | |
JP2006049848A (ja) | n型III族窒化物半導体積層構造体 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090811 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20111109 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111115 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20120403 |