JP2008066514A - 半導体発光素子用エピタキシャルウェハ及び半導体発光素子 - Google Patents
半導体発光素子用エピタキシャルウェハ及び半導体発光素子 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】Siドープn型GaAs基板11上に、Siドープn型GaAsバッファ層12、Siドープn型AlGaInPクラッド層13、アンドープAlGaInP活性層14、Mgドープp型AlGaInPクラッド層15、第一のGaP電流分散層17a(膜厚4μm、キャリア濃度4.0×1018/cm3、炭素濃度1.0×1017cm−3)、第二のGaP電流分散層17b(膜厚8μm、キャリア濃度4.0×1018/cm3、炭素濃度1.0×1018cm−3) を順次積層成長させた。
【選択図】図1
Description
この赤色AlGaInP系半導体発光素子は、Siドープn型GaAs基板11上に、MOVPE法により、膜厚200nmのSiドープn型GaAsバッファ層12、膜厚400nmのSiドープn型(Al0.7Ga0.3)0.5In0.5Pクラッド層13、膜厚900nmのアンドープ(Al0.1Ga0.9)0.5In0.5P活性層14、膜厚400nmのMgドープp型(Al0.7Ga0.3)0.5In0.5Pクラッド層15、膜厚12μmのMgドープp型GaP電流分散層16を順次積層成長させ、Mgドープp型GaP電流分散層16の表面に表面電極21を、n型GaAs基板11の裏面に裏面電極22をそれぞれ形成したものである。また、Siドープn型GaAsバッファ層12、Siドープn型(Al0.7Ga0.3)0.5In0.5Pクラッド層13、Mgドープp型(Al0.7Ga0.3)0.5In0.5Pクラッド層15、Mgドープp型GaP電流分散層16のキャリア濃度を、それぞれ1×1018/cm3、1×1018/cm3、1.5×1017/cm3、4.0×1018/cm3としている。更に、Mgドープp型GaP電流分散層16の炭素濃度は、1.0×1018cm−3程度とされる。
図1に、第1の実施の形態に係る、発光波長が630nm付近の赤色AlGaInP系半導体発光素子の断面構造を示す。
図2に、第2の実施の形態に係るAlGaInP系半導体発光素子の断面構造を示す。
このAlGaInP系半導体発光素子は、図1に示す第1の実施形態に係るAlGaInP系半導体発光素子のAlGaInP活性層14のアンドープバルク層を多重量子井戸24とした以外は、第1の実施形態に係るAlGaInP系半導体発光素子と同様に形成されている。多重量子井戸24は、歪み多重量子井戸としてもよい。
図3に、第3の実施の形態に係るAlGaInP系半導体発光素子の断面構造を示す。
このAlGaInP系半導体発光素子は、図1に示す構造の第1の実施形態に係るAlGaInP系半導体発光素子のSiドープn型GaAsバッファ層12とSiドープn型AlGaInPクラッド層13との間に、屈折率の異なる半導体層の対から成る半導体反射膜31を設けた以外は、第1の実施形態に係るAlGaInP系半導体発光素子と同様に形成されている。この半導体反射膜31を構成する半導体材料は、(AlXGa1−X)YIn1−YP(但し、0≦X≦1、0.4≦Y≦0.6)及びAlZGa1−ZAs(但し、0≦Z≦1)等から選択することができる。
第1〜第3の実施形態に係るAlGaInP系半導体発光素子では、発光波長630nmの赤色LED素子としたが、同じAlGaInP系の材料を用いて製作されるそれ以外のLED素子、例えば発光波長560nm〜660nmのLED素子としても、同様な効果を得ることができる。
(GaP電流分散層の炭素濃度が1.0×1018cm−3である場合)
図4に示した構造の発光波長630nm付近の赤色LED用エピタキシャルウェハを作製した後、半導体発光素子(LED素子)とした。エピタキシャル成長方法、エピタキシャル層膜厚、エピタキシャル構造や電極形成方法及びLED素子製作方法は、以下の通りである。
[実施例1]
図1に示した構造の発光波長630nm付近の赤色LED用エピタキシャルウェハを作製した。図4に示すMgドープp型GaP電流分散層16(膜厚12μm、キャリア濃度4.0×1018/cm3)を、第一のGaP電流分散層17a(膜厚4μm、キャリア濃度4.0×1018/cm3)と第二のGaP電流分散層17b(膜厚8μm、キャリア濃度4.0×1018/cm3)に分割し、第一のGaP電流分散層成長中のV/III比を高くすることによって、炭素濃度を1.0×1017cm−3とした以外は、エピタキシャル成長の方法、エピタキシャル層膜厚、エピタキシャル層構造やLED素子製作方法を、基本的に従来例と同じとした。
[実施例2]
図1に示した構造の発光波長630nm付近の赤色LED用エピタキシャルウェハを作製した。図4に示すMgドープp型GaP電流分散層16(膜厚12μm、キャリア濃度4.0×1018/cm3)を、第一のGaP電流分散層17a(膜厚4μm、キャリア濃度5.0×1017/cm3)と第二のGaP電流分散層17b(膜厚8μm、キャリア濃度4.0×1018/cm3)に分割し、第一のGaP電流分散層成長中のV/III比を高くすることによって、炭素濃度を1.0×1017cm−3とした以外は、エピタキシャル成長の方法、エピタキシャル層膜厚、エピタキシャル層構造やLED素子製作方法を、基本的に従来例と同じとした。
12 Siドープn型GaAsバッファ層
13 Siドープn型AlGaInPクラッド層
14 AlGaInP活性層
15 Mgドープp型AlGaInPクラッド層
16 Mgドープp型GaP電流分散層
17 GaP電流分散層
17a 第一のGaP電流分散層
17b 第二のGaP電流分散層
21 表面電極
22 裏面電極
Claims (7)
- 半導体基板上に、少なくともn型クラッド層、活性層、p型クラッド層、第一のp型電流分散層、及び第二のp型電流分散層が順次積層されてなり、
前記第一のp型電流分散層の少なくとも一部の炭素濃度が5.0×1017cm−3以下であることを特徴とする半導体発光素子用エピタキシャルウェハ。 - 前記第一のp型電流分散層のp型ドーパント濃度を前記第二のp型電流分散層のp型ドーパント濃度よりも低くしたことを特徴とする請求項1記載の半導体発光素子用エピタキシャルウェハ。
- 半導体基板上に、少なくともn型AlGaInPクラッド層、AlGaInP活性層、p型AlGaInPクラッド層、第一のp型GaP電流分散層、及び第二のp型GaP電流分散層が順次積層されてなり、
前記第一のp型GaP電流分散層のp型ドーパント濃度が前記第二のp型GaP電流分散層のp型ドーパント濃度よりも低く、かつ前記第一のp型GaP電流分散層の少なくとも一部の炭素濃度が5.0×1017cm−3以下であることを特徴とする半導体発光素子用エピタキシャルウェハ。 - 前記第一のp型GaP電流分散層において、炭素濃度が5.0×1017cm−3以下の範囲の膜厚が50nm以上であることを特徴とする請求項3記載の半導体発光素子用エピタキシャルウェハ。
- 前記半導体基板と前記n型クラッド層との間に、屈折率の異なる半導体層の対から成る半導体反射膜を設けたことを特徴とする請求項1記載の半導体発光素子用エピタキシャルウェハ。
- 前記半導体反射膜を構成する半導体材料が、(AlXGa1−X)YIn1−YP(但し、0≦X≦1、0.4≦Y≦0.6)及びAlZGa1−ZAs(但し、0≦Z≦1)から選択されることを特徴とする請求項5記載の半導体発光素子用エピタキシャルウェハ。
- 請求項1〜6のいずれか1項記載の半導体発光素子用エピタキシャルウェハを用いて作製したことを特徴とする半導体発光素子。
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