JP2008103450A - モジュールの製造方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】モジュールを親基板へ半田付け時に、チップ部品の半田の溶融膨張でチップと基板との隙間でショートする。
【解決手段】半導体素子の側面の中央部において第1の樹脂が前記半導体素子側面に付着するように、前記半導体素子と前記基板との間の隙間に前記第1の樹脂を注入する工程と、この工程の後で前記半導体素子の角部近傍に第2の樹脂を塗布する工程と、この工程の後で少なくとも前記第2の樹脂を硬化させる工程とを有し、前記第2の樹脂を塗布する工程における前記第2の樹脂の粘度は、前記第1の樹脂を注入する工程における前記第1の樹脂の粘度より大きくしたものである。これにより第1の樹脂でチップ部品や半田が覆われ難くなり、半田が溶融膨張しても、チップと基板との隙間へ噴出することはない。
【選択図】図1

Description

本発明は、半導体素子が半田バンプによってフリップチップ実装された半導体素子実装基板の製造方法に関するものである。
以下、従来のモジュールの製造方法について、図面を用いて説明する。図7は、従来のモジュールの製造フローチャートであり、図8(a)は同、注入工程におけるモジュールの上面図、図8(b)は同、注入工程におけるモジュールの側面図である。では従来のモジュールの製造方法について、図7に示した工程の順に説明していく。
塗布工程1では、基板2に対して半田3とフラックス4とを供給する工程である。なお半田3にはクリーム半田が用いられる。実装工程7は塗布工程1の後で、チップ部品5や半導体素子6を基板へ装着する工程であり、チップ部品5と半導体素子6とは約0.15mmの間隔で装着される。なお、半導体素子には、半田バンプが設けられているものを用いている。リフロー工程8は実装工程7の後で、半田3や半田バンプを溶融させて、チップ部品5や半導体素子6を基板2へ接続する工程である。
注入工程9はリフロー工程8の後で、半導体素子6と基板2との間の隙間へ樹脂10を注入する工程である。そして、この注入工程9の後の硬化工程11において、樹脂10を硬化させることによって、モジュール12が完成する。
なお、この出願の発明に関連する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献1が知られている。
特開平11−214586号公報
以下本発明が解決しようとする課題について以下図面を用いて説明する。図9(a)は従来のモジュールにおけるチップ部品の断面図であり、図9(b)は同、チップ部品の半田付け箇所の要部断面図である。
このような従来のモジュールの製造方法においては、隣接するチップ部品5との間の距離が近いと、樹脂10の注入時に隣接したチップ部品5や半田3までを樹脂10で覆ってしまうこととなる。ここで、チップ部品5と基板2との間の隙間は半導体素子6と基板2との間の隙間に比べて狭い。これによりチップ部品5と基板2との間の隙間には樹脂10が入り込み難い。従って、図9(a)、図9(b)に示すように、チップ部品5と基板2との間には、樹脂が未充填のボイド15が形成された状態で、チップ部品5や半田3が樹脂10で覆われてしまうこととなる。
そしてこのようなモジュールが親基板へリフロー半田付けされる場合、加熱によって半田3が溶融する。このとき半田3はボイド15を除き樹脂10で覆われているので、溶融時の体積膨張で半田3はボイド15(図9の矢印方向)へと流れ出し、チップ部品5下で半田3同士がショートする。従って、従来の半導体素子実装基板においては、チップ部品5と半導体素子6との間の距離を小さくできないという問題を有していた。
そこで本発明は、この問題を解決したもので、樹脂10がチップ部品5を覆うことを防ぎ、チップ部品や半導体素子を高密度に実装することができる半導体素子実装基板の製造方法を提供することを目的としたものである。
この目的を達成するために本発明の半導体素子実装基板の製造方法は、半導体素子の側面の中央部において第1の樹脂が前記半導体素子側面に付着するように、前記半導体素子と前記基板との間の隙間に前記第1の樹脂を注入する工程と、この工程の後で前記半導体素子の角部近傍に第2の樹脂を塗布する工程と、この工程の後で少なくとも前記第2の樹脂を硬化させる工程とを有し、前記第2の樹脂を塗布する工程における前記第2の樹脂の粘度は、前記第1の樹脂を注入する工程における前記第1の樹脂の粘度より大きくしたものである。
これにより所期の目的を達成できる。
以上のように本発明によれば、基板に半田バンプによってフリップチップ実装された半導体素子と、この半導体素子に近接して前記基板に半田付け接続されたチップ部品と、前記半導体素子と前記基板との間の隙間に第1の樹脂が注入されたモジュールの製造方法において、前記基板にチップ部品と前記半導体素子とを実装する工程と、この工程の後で前記半導体素子の側面の中央部において前記第1の樹脂が前記半導体素子側面に付着するように、前記半導体素子と前記基板との間の隙間に前記第1の樹脂を注入する工程と、この工程の後で前記半導体素子の角部近傍に第2の樹脂を塗布する工程と、この工程の後で少なくとも前記第2の樹脂を硬化させる工程とを有し、前記半導体素子は半田バンプによって前記基板へフリップチップ実装されるとともに、前記第1と第2の樹脂には熱硬化性樹脂を用い、前記第2の樹脂を塗布する工程における前記第2の樹脂の粘度は、前記第1の樹脂を注入する工程における前記第1の樹脂の粘度より大きくしたモジュールの製造方法であり、これにより第2の樹脂を塗布する工程で半導体素子の角部近傍に樹脂が塗布されるので、第1の樹脂を塗布する工程において半導体素子の角部まで第1の樹脂が回っていずとも良い。つまり第1の樹脂の注入量を少なくできるので、半導体素子とチップ部品との間の距離を小さくしても第1の樹脂でチップ部品や半田が覆われ難くなる。従って、半導体素子とチップ部品との間の距離を近くでき、高密度な実装が可能となる。
また、第2の樹脂は第1の樹脂より高い粘度であるので、第2の樹脂によってもチップ部品や半田が覆われ難くなる。従って、半導体素子とチップ部品との間の距離を近くできるので、高密度な実装が可能となる。
(実施の形態1)
以下、本実施の形態について図面を用いて説明する。図6(a)は本実施の形態におけるモジュール21の上面図であり、図6(b)は同、モジュール21の側面図である。図6(a)、図6(b)において、モジュール21は、基板2の一方の面側にチップ部品5や半導体素子6が実装されたものである。ここでチップ部品5は半田3を介して基板2へ接続固定され、半導体素子6は半田バンプ23を介して基板2へフリップチップ実装されている。そして半導体素子6と基板2との間の隙間には、熱硬化性の樹脂22が介在し、これによって半導体素子6と基板2との間の接続強度を維持させている。
図1は本発明の実施の形態におけるモジュール21の製造フローチャートである。なお図1において、図7と同じものは同じ番号を用いて、その説明は簡略化している。では、この図1において示した工程の順に従って、本発明の実施の形態におけるモジュールの製造工程を説明する。
図1において、塗布工程1では、基板2に対して半田3とフラックス4とを供給する工程である。なお半田3にはクリーム半田が用いられ、チップ部品5の実装位置にスクリーン印刷によって印刷される。一方フラックス4は、半導体素子6の実装位置に転写などで塗布される。
次に、実装工程7は塗布工程1の後で、チップ部品5や半導体素子6を基板へ装着する工程であり、チップ部品5と半導体素子6とは、約0.15mmの間隔で装着される。なお、半導体素子6の下面側には、半田バンプ23が設けられている。図2(a)は本実施の形態におけるリフロー工程でのモジュールの上面図であり、図2(b)は同、リフロー工程におけるモジュールの側面図である。図1、図2(a)、図2(b)においてリフロー工程8では、実装工程7の後に半田3や半田バンプ23を溶融させて、チップ部品5や半導体素子6を基板2へ接続する。
ここで半導体素子6は、シリコン基板とこのシリコン基板上に設けられた再配線層とからなり、この再配線層にはパッド端子が形成され、このパッド端子に半田バンプ23が接続されている。なお本実施の形態における再配線層には、ポリイミド樹脂が用いられている。
図3(a)は本実施の形態の注入工程におけるモジュールの上面図であり、図3(b)は同、注入工程におけるモジュールの側面図である。図1および図3において、注入工程31はリフロー工程8の後で、半導体素子6と基板2との間の隙間へ樹脂22aを注入する工程である。この注入工程31では、ディスペンサ41によって半導体素子6の一方の側面6aの中央近傍から樹脂22aが注入される。ただし注入工程31では、樹脂22aが隣接したチップ部品5やその半田3に接触しない程度に樹脂22aを注入する。つまり、注入工程31において、チップ部品5あるいは半田3と樹脂22aとの間に隙間42を有するようにする訳である。このようにすることにより、モジュール21を親基板へ半田付けする場合において、半田3がチップ部品5と基板2との間の隙間へ流れ込み難くできる。したがって、チップ部品5の下での半田3によるショートが発生し難くできる。
さらに本実施の形態における注入工程31において樹脂22aは、基板2と半導体素子6の間の隙間だけでなく、半導体素子6の側面6aにも付着させている。このとき、半導体素子6の外周側面部において、樹脂22aの高さが半導体素子6のシリコン基板と再配線層との界面の高さ以上にまで接着されていることが重要である。このようにすることにより、落下衝撃や熱衝撃などによって、半導体素子6のシリコン基板と再配線層との界面においてクラックが発生し難くなる。
ここで、樹脂22aには熱硬化性の樹脂が用いられ、注入工程31の後の硬化工程11で加熱することにより樹脂22aが硬化する。本実施の形態では硬化工程11は、半導体素子6搭載面側が上になる向きで加熱される。ここで、硬化工程11の温度は半田3や半田バンプ23の融点より低い温度で硬化する。なお、本実施の形態における硬化工程11では、半導体素子6搭載面側が上になる向きで加熱したが、これは半導体素子6搭載面側が下になる向きで加熱しても良い。このようにすれば、樹脂22aが、半導体素子6のシリコン基板と再配線層との界面の高さ以上にまで接着され易くできる。従って、さらに落下衝撃や熱衝撃などによって、半導体素子6のシリコン基板と再配線層との界面においてクラックが発生し難くなる。
図4(a)は、本実施の形態における樹脂塗布工程でのモジュールの上面図であり、図4(b)は同、樹脂塗布工程32におけるモジュールの側面図である。注入工程31において、隣接するチップ部品5に対して樹脂22aが付着しないように、注入する樹脂量を少なくしたために、半導体素子6側面における角部6b近傍では樹脂22aが不塗布であり、半導体素子6の側面が露出した領域が発生する。そこで、この樹脂塗布工程32では、この半導体素子6の露出部分へ樹脂22bをディスペンサで塗布するものである。なおこの樹脂塗布工程32は、半導体素子6が上側を向く方向で樹脂22bが塗布される。これにより、樹脂22bが基板2方向へ流れ、半導体素子の側面露出部分と基板2とへ樹脂22bが付着することとなる。なお本実施の形態では各角部に対して2箇所ずつ樹脂22bを塗布している。
なお樹脂塗布工程32での樹脂22bの粘度は、注入工程31における樹脂22aの粘度よりも高い粘度の樹脂を用いる。従って樹脂塗布工程32において、樹脂22bがだれ難くなるので、樹脂22bがチップ部品5へ付着し難くできる。なお樹脂22aと樹脂22bとは同じ樹脂を用い、塗布時の温度を変えることで粘度を変えている。本実施の形態における注入工程31において、樹脂22aを注入する時の樹脂22aの温度は約60℃とし、樹脂塗布工程32における樹脂22bの温度は、常温で塗布している。
この樹脂塗布工程32の後の反転工程33では、半導体素子6の搭載面側が下となる方向へ反転する。そして図5に示すように、反転工程33で反転された状態のままで、硬化工程34が行われる。このように硬化工程34では半導体素子6の搭載面側が下となる方向で加熱される。従って樹脂22bは温度の上昇に伴う粘度低下によって、樹脂22bは樹脂22aの不塗布となる領域へ広がる。また樹脂22bは側面6aにおいて、天面側6cに垂れて来るので、半導体素子6のシリコン基板と再配線層との界面位置における樹脂22bの厚みを大きくできる。従ってさらにこの界面でのクラックなどを起こし難くできる。なお、硬化工程34の温度は半田3や半田バンプ23の融点より低い温度で硬化する。
そしてこの硬化工程34で樹脂22bが硬化されることで、半導体素子6と基板2との間の樹脂22の充填が完了し、モジュール21が完成する。本実施の形態では、樹脂22aは硬化工程11で硬化し、樹脂22bは硬化工程34で硬化させている。これにより反転工程33での反転作業中に樹脂22aがチップ部品5に接触することを防ぐことができるので、確実に樹脂22aとチップ部品5あるいは半田3との間に隙間を設けることができる。
なお硬化工程11に代えて、硬化工程34で樹脂22aと樹脂22bとを同時に硬化させても良い。このようにすることによって、半導体素子6やチップ部品5に加えられる加熱回数を少なくできるので、半導体素子6やチップ部品5の特性の熱による変化などは発生し難くなる。また、樹脂22aも半導体素子6搭載側が下となる方向で硬化させるので、さらに樹脂22aが半導体素子6の側面6a側に流れ、従って、よりシリコン基板と再配線層との間の界面近傍での樹脂22aの厚みを大きくできるので、さらにシリコン基板と再配線層との間の界面近傍でのクラックが発生し難くなる。
また、本実施の形態では、落下衝撃に耐えるために樹脂22aを半導体素子6のシリコン基板と再配線層との界面よりも高い高さまで接着するようにした。しかしながら、携帯用途などでなく耐落下衝撃が必要でない場合、注入工程31において樹脂22aを半導体素子6の外形よりはみ出さない程度に注入し、樹脂塗布工程32において、樹脂22aが不足し不塗布となる領域(角部6bの近傍)に対して樹脂22bを塗布しても良い。この場合、樹脂22aが半導体素子6よりはみ出す量が少なくできるので、さらに半導体素子6とチップ部品5との間の距離を小さくできる。従ってさらに、高密度に実装が可能となる。
本発明にかかるモジュールの製造方法は、チップ部品と半導体素子との間の距離を小さくできるという効果を有し、小型のモジュール商品等に用いると有用である。
本発明の実施の形態1におけるモジュールの製造フローチャート (a)同、実装工程におけるモジュールの上面図、(b)同、実装工程におけるモジュールの側面図 (a)同、注入工程におけるモジュールの上面図、(b)同、注入工程におけるモジュールの側面図 (a)同、塗布工程におけるモジュールの上面図、(b)同、塗布工程におけるモジュールの側面図 同、硬化工程におけるモジュールの側面図、 (a)同、モジュールの上面図、(b)同、モジュールの側面図 従来のモジュールの製造フローチャート (a)同、注入工程におけるモジュールの上面図、(b)同、注入工程におけるモジュールの側面図 (a)同、チップ部品の断面図、(b)同、チップ部品の半田付け箇所の要部断面図
符号の説明
2 基板
5 チップ部品
6 半導体素子
7 実装工程
22a 樹脂
22b 樹脂
23 半田バンプ
31 注入工程
32 樹脂塗布工程
34 硬化工程

Claims (9)

  1. 基板と、この基板に半田バンプによってフリップチップ実装された半導体素子と、この半導体素子に近接して前記基板に半田付け接続されたチップ部品とを有し、前記半導体素子と前記基板との間の隙間に第1の樹脂が注入されたモジュールの製造方法において、前記基板にチップ部品と前記半導体素子とを実装する工程と、この工程の後で前記半導体素子の側面の中央部から前記半導体素子と前記基板との間の隙間に前記第1の樹脂を注入する工程と、この工程の後で前記半導体素子の角部近傍に第2の樹脂を塗布する工程と、この工程の後で少なくとも前記第2の樹脂を硬化させる工程とを有し、前記第1と第2の樹脂には熱硬化性樹脂を用い、前記第2の樹脂を塗布する工程における前記第2の樹脂の粘度は、前記第1の樹脂を注入する工程における前記第1の樹脂の粘度より大きくしたモジュールの製造方法。
  2. 第2の樹脂の硬化は、半導体素子が搭載された側を下方に向けて硬化する請求項1に記載のモジュールの製造方法。
  3. 第2の樹脂を塗布する工程における第2の樹脂の温度は、第1の樹脂を塗布する工程における第1の樹脂の温度より低くした請求項1に記載のモジュールの製造方法。
  4. 第1と第2の樹脂とは同じ樹脂とした請求項3に記載のモジュールの製造方法。
  5. 第1の樹脂は、第2の樹脂が塗布される工程の前に硬化される請求項1に記載のモジュールの製造方法。
  6. 第1の樹脂の硬化は、半導体素子が搭載された側を下方に向けて硬化する請求項5に記載のモジュールの製造方法。
  7. 第1の樹脂は、第2の樹脂と同時に硬化される請求項1に記載のモジュールの製造方法。
  8. 第1の樹脂を注入する工程では、チップ半導体素子と前記基板の隙間から流れ出た前記第1の樹脂と前記チップ部品の半田との間に隙間を設けるように前記第1の樹脂を注入する請求項1に記載のモジュールの製造方法。
  9. 半導体素子は、シリコン基板と、このシリコン基板上に形成された樹脂層とを有し、第1の樹脂の硬化は第2の樹脂が塗布される工程の前に硬化するとともに、半導体素子が搭載された側を下方に向けて硬化し、第2の樹脂を塗布する工程では、前記半導体素子の側面において前記半導体素子の側面の露出部分へ前記第2の樹脂を塗布する請求項1に記載のモジュールの製造方法。
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