JP2008103450A - モジュールの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体素子の側面の中央部において第1の樹脂が前記半導体素子側面に付着するように、前記半導体素子と前記基板との間の隙間に前記第1の樹脂を注入する工程と、この工程の後で前記半導体素子の角部近傍に第2の樹脂を塗布する工程と、この工程の後で少なくとも前記第2の樹脂を硬化させる工程とを有し、前記第2の樹脂を塗布する工程における前記第2の樹脂の粘度は、前記第1の樹脂を注入する工程における前記第1の樹脂の粘度より大きくしたものである。これにより第1の樹脂でチップ部品や半田が覆われ難くなり、半田が溶融膨張しても、チップと基板との隙間へ噴出することはない。
【選択図】図1
Description
以下、本実施の形態について図面を用いて説明する。図6(a)は本実施の形態におけるモジュール21の上面図であり、図6(b)は同、モジュール21の側面図である。図6(a)、図6(b)において、モジュール21は、基板2の一方の面側にチップ部品5や半導体素子6が実装されたものである。ここでチップ部品5は半田3を介して基板2へ接続固定され、半導体素子6は半田バンプ23を介して基板2へフリップチップ実装されている。そして半導体素子6と基板2との間の隙間には、熱硬化性の樹脂22が介在し、これによって半導体素子6と基板2との間の接続強度を維持させている。
5 チップ部品
6 半導体素子
7 実装工程
22a 樹脂
22b 樹脂
23 半田バンプ
31 注入工程
32 樹脂塗布工程
34 硬化工程
Claims (9)
- 基板と、この基板に半田バンプによってフリップチップ実装された半導体素子と、この半導体素子に近接して前記基板に半田付け接続されたチップ部品とを有し、前記半導体素子と前記基板との間の隙間に第1の樹脂が注入されたモジュールの製造方法において、前記基板にチップ部品と前記半導体素子とを実装する工程と、この工程の後で前記半導体素子の側面の中央部から前記半導体素子と前記基板との間の隙間に前記第1の樹脂を注入する工程と、この工程の後で前記半導体素子の角部近傍に第2の樹脂を塗布する工程と、この工程の後で少なくとも前記第2の樹脂を硬化させる工程とを有し、前記第1と第2の樹脂には熱硬化性樹脂を用い、前記第2の樹脂を塗布する工程における前記第2の樹脂の粘度は、前記第1の樹脂を注入する工程における前記第1の樹脂の粘度より大きくしたモジュールの製造方法。
- 第2の樹脂の硬化は、半導体素子が搭載された側を下方に向けて硬化する請求項1に記載のモジュールの製造方法。
- 第2の樹脂を塗布する工程における第2の樹脂の温度は、第1の樹脂を塗布する工程における第1の樹脂の温度より低くした請求項1に記載のモジュールの製造方法。
- 第1と第2の樹脂とは同じ樹脂とした請求項3に記載のモジュールの製造方法。
- 第1の樹脂は、第2の樹脂が塗布される工程の前に硬化される請求項1に記載のモジュールの製造方法。
- 第1の樹脂の硬化は、半導体素子が搭載された側を下方に向けて硬化する請求項5に記載のモジュールの製造方法。
- 第1の樹脂は、第2の樹脂と同時に硬化される請求項1に記載のモジュールの製造方法。
- 第1の樹脂を注入する工程では、チップ半導体素子と前記基板の隙間から流れ出た前記第1の樹脂と前記チップ部品の半田との間に隙間を設けるように前記第1の樹脂を注入する請求項1に記載のモジュールの製造方法。
- 半導体素子は、シリコン基板と、このシリコン基板上に形成された樹脂層とを有し、第1の樹脂の硬化は第2の樹脂が塗布される工程の前に硬化するとともに、半導体素子が搭載された側を下方に向けて硬化し、第2の樹脂を塗布する工程では、前記半導体素子の側面において前記半導体素子の側面の露出部分へ前記第2の樹脂を塗布する請求項1に記載のモジュールの製造方法。
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