JP2008102060A - 半導体試験装置のタイミング校正回路及びタイミング校正方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 複数のドライバ1から出力される試験信号の1つを、複数の半導体リレーを組み合わせた信号選択回路3により選択し、比較回路4で所定の基準電圧Vr2と比較することにより前記試験信号のタイミングを校正する半導体試験装置のタイミング校正回路において、電圧測定回路6はドライバ1から出力される直流電圧を信号選択回路3を介して測定し、基準電圧発生回路7は電圧測定回路6から出力される測定信号に対応する基準電圧Vr2を比較回路4に出力する。
【選択図】 図1
Description
複数のドライバから出力される試験信号の1つを、複数の半導体リレーを組み合わせた信号選択回路により選択し、比較回路で所定の基準電圧と比較することにより前記試験信号のタイミングを校正する半導体試験装置のタイミング校正回路において、
前記ドライバから出力される直流電圧を前記信号選択回路を介して測定する電圧測定回路と、
該電圧測定回路から出力される測定信号に対応する電圧を前記基準電圧として前記比較回路に出力する基準電圧発生回路と、
を備えたことを特徴とする。
複数のドライバから出力される試験信号の1つを複数の半導体リレーを組み合わせた信号選択回路により選択し、比較回路で所定の基準電圧と比較することにより前記試験信号のタイミングを校正する半導体試験装置のタイミング校正方法において、
前記ドライバから出力される直流電圧を前記信号選択回路を介して測定し、
測定した信号に対応する電圧を前記基準電圧とする
ことを特徴とする。
請求項1又は2記載の半導体試験装置のタイミング校正回路又はタイミング校正方法において、
前記直流電圧を前記試験信号のHレベル及びLレベルに設定し、
前記基準電圧を前記電圧測定回路から出力される各測定信号の間の所定の割合の電圧とする
ことを特徴とする。
請求項3記載の半導体試験装置のタイミング校正回路又はタイミング校正方法において、
前記所定の割合を50%とする
ことを特徴とする。
タイミング校正回路において、予め基準電圧校正モードで基準電圧を校正しておき、その後タイミング校正モードで試験信号のタイミング校正を行う。これらのモードで、出力リレー2はオフとなってドライバ1の出力端子はDUTから切り離される。
Vr2=(VH2−VL1)/2
2 出力リレー
3 信号選択回路
4 比較回路
5 判定回路
6 電圧測定回路
7 基準電圧発生回路
SR1,SR2,SR3,・・・SRn 半導体リレー
Vr2 基準電圧
VH2 信号選択回路出力信号のHレベル
VL1 信号選択回路出力信号のLレベル
Claims (4)
- 複数のドライバから出力される試験信号の1つを、複数の半導体リレーを組み合わせた信号選択回路により選択し、比較回路で所定の基準電圧と比較することにより前記試験信号のタイミングを校正する半導体試験装置のタイミング校正回路において、
前記ドライバから出力される直流電圧を前記信号選択回路を介して測定する電圧測定回路と、
該電圧測定回路から出力される測定信号に対応する電圧を前記基準電圧として前記比較回路に出力する基準電圧発生回路と、
を備えたことを特徴とする半導体試験装置のタイミング校正回路。 - 複数のドライバから出力される試験信号の1つを複数の半導体リレーを組み合わせた信号選択回路により選択し、比較回路で所定の基準電圧と比較することにより前記試験信号のタイミングを校正する半導体試験装置のタイミング校正方法において、
前記ドライバから出力される直流電圧を前記信号選択回路を介して測定し、
測定した信号に対応する電圧を前記基準電圧とする
ことを特徴とする半導体試験装置のタイミング校正方法。 - 前記直流電圧を前記試験信号のHレベル及びLレベルに設定し、
前記基準電圧を前記電圧測定回路から出力される各測定信号の間の所定の割合の電圧とする
ことを特徴とする請求項1又は2記載の半導体試験装置のタイミング校正回路又はタイミング校正方法。 - 前記所定の割合を50%とする
ことを特徴とする請求項3記載の半導体試験装置のタイミング校正回路又はタイミング校正方法。
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