CN115728693A - 一种功率器件测试装置及其校准设备与方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种功率器件测试装置及其校准设备与方法，控制电路通过控制测试电路生成测试电流，测试电流通过接口模块施加至功率器件等效电路；控制电路控制测试电路测得不同增益下的功率器件等效电路的电流及电压，控制电路将不同增益下的功率器件等效电路的电流及电压作为校准数据；校准数据用于当测试电路对功率器件进行测试时，根据当前增益对应的校准数据，对所测量的数据进行修正，从而消除环境温湿度、机器差异以及设备接插件、连接线等的分布参数对测试数据的影响，提高测试数据精确度，提升该测试装置的市场竞争力。

Description

一种功率器件测试装置及其校准设备与方法

技术领域

本发明涉及功率器件自动测试仪器领域，具体涉及一种功率器件测试装置及其校准设备与方法。

背景技术

目前市面上的第三代半导体材料GaN(氮化镓)电子器件测试仪，在动态Rdson参数测试中，由于会受到环境温湿度、机器差异以及设备接插件、连接线等的分布参数的影响，会对动态Rdson参数的测试结果有干扰，偏大或偏小，使测试结果不准确。

发明内容

因此，本发明要解决的技术问题在于克服现有技术中的对功率器件进行动态测试时，测试结果不准确的缺陷，从而提供一种功率器件测试装置及其校准设备与方法。

为达到上述目的，本发明提供如下技术方案：

第一方面，本发明实施例提供一种功率器件测试装置的校准设备，测试装置包括测试电路，测试电路用于检测功率器件的动态导通电阻，校准设备包括：接口模块、功率器件等效电路、控制电路，其中，测试电路通过接口模块与功率器件等效电路的测试线连接，控制电路与测试电路的测试线连接；控制电路通过控制测试电路生成测试电流，测试电流通过接口模块施加至功率器件等效电路；控制电路控制测试电路测得不同增益下的功率器件等效电路的电流及电压，控制电路将不同增益下的功率器件等效电路的电流及电压作为校准数据；校准数据用于当测试电路对功率器件进行测试时，根据当前增益对应的校准数据，对所测量的数据进行修正。

在一实施例中，接口模块包括：第一接口单元及第二接口单元，其中，第一接口单元连接于测试电路与第二接口单元之间；第二接口单元连接于第一接口单元与功率器件等效电路之间。

在一实施例中，第一接口单元及第二接口单元均包括：多个接口，其中，第一接口单元的每个接口与对应的测试电路的测试线连接；第二接口单元的每个接口与对应的功率器件等效电路的测试线连接；第一接口单元的每个接口将对应的测试电路的测试线，通过第二接口单元的接口与对应的功率器件等效电路的测试线连接。

在一实施例中，功率器件等效电路包括：MOS管及精密电阻，其中，MOS管的漏极、栅极均通过测试线与接口模块连接，MOS管的源极与精密电阻的第一端连接；精密电阻的第一端、第二端均通过测试线与接口模块连接。

在一实施例中，当测试装置用于对多个功率器件进行测试时，校准设备还包括：继电器电路及多个开关电路，其中，一个功率器件等效电路依次通过一个开关电路、一个接口模块、一个开关电路与测试电路连接；每个开关电路还通过继电器电路与控制电路连接；控制电路通过切换继电器电路的运行状态，控制开关电路的开断状态，从而实现测试电路与指定的功率器件等效电路连接。

第二方面，本发明实施例提供一种功率器件测试装置的校准方法，基于第一方面的功率器件测试装置的校准设备，方法包括：控制电路设置当前测试环境参数；当前测试环境参数包括：当前测试所需的测试电流值及测试电压值，以及测试增益及其对应的测试标志位；测试电路将增益切换至测试增益后，根据测试电流值及测试电压值，对功率器件等效电路进行预设次数的测试；测试电路采集每次测试测得的功率器件等效电路的电压及电流；控制电路基于每次测试测得的功率器件等效电路的电压及电流的平均值，作为当前测试的校准数据，并将校准数据与测试标志位对应后保存；返回“控制电路设置当前测试环境参数”的步骤，直到在全部的测试电路的增益下测试完为止。

在一实施例中，测试电路采集每次测试测得的功率器件等效电路的电压为精密电阻电压；测试电路采集每次测试测得的功率器件等效电路的电流为MOS管的漏极电流。

在一实施例中，测试标志位用于当测试电路为功率器件进行测试时，测试装置根据测试增益、测试增益对应的测试标志位、测试标志位对应的校准数据，对实际测得的功率器件的电压及电流进行校准，得到功率器件的导通电阻。

第三方面，本发明实施例提供一种功率器件测试装置，包括：测试电路、第一方面的接口模块、第一方面的控制电路，其中，测试电路通过接口模块与功率器件的测试线连接，控制电路与测试电路的测试线连接；控制电路通过控制测试电路生成测试电流，测试电流通过接口模块施加至功率器件；控制电路控制测试电路测量功率器件的电压及电流，控制电路根据测试电路的测试增益、测试增益对应的测试标志位、测试标志位对应的校准数据，对实际测得的功率器件的电压及电流进行校准后，得到功率器件的导通电阻。

在一实施例中，当对多个功率器件进行测试时，测试装置还包括：第一方面的继电器电路及多个开关电路。

本发明技术方案，具有如下优点：

本发明提供的功率器件测试装置的校准设备，控制电路通过控制测试电路生成测试电流，测试电流通过接口模块施加至功率器件等效电路；控制电路控制测试电路测得不同增益下的功率器件等效电路的电流及电压，控制电路将不同增益下的功率器件等效电路的电流及电压作为校准数据；校准数据用于当测试电路对功率器件进行测试时，根据当前增益对应的校准数据，对所测量的数据进行修正，从而消除环境温湿度、机器差异以及设备接插件、连接线等的分布参数对测试数据的影响，提高测试数据精确度，提升该测试装置的市场竞争力。

附图说明

为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例提供的测试电路的电路拓扑图；

图2为本发明实施例提供的校准设备的一个具体示例的组成图；

图3为本发明实施例提供的校准设备的一个具体示例的结构图；

图4为本发明实施例提供的校准设备的另一个具体示例的组成图；

图5为本发明实施例提供的校准设备的另一个具体示例的结构图；

图6为本发明实施例提供的校准流程图；

图7为本发明实施例提供的测试装置的一个具体示例的组成图；

图8为本发明实施例提供的测试流程图；

图9为本发明实施例提供的测试装置的另一个具体示例的组成图；

图10为本发明实施例提供的测试装置的一个具体示例的结构图。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，还可以是两个元件内部的连通，可以是无线连接，也可以是有线连接。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

此外，下面所描述的本发明不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

实施例1

本发明实施例提供一种功率器件测试装置的校准设备，测试装置包括测试电路，测试电路用于检测功率器件的动态导通电阻，测试电路如图1所示，其中功率器件以GaN为例。

图1中，测试电路包括两路高速ADC电路，一路用于I_D电流采样；另一路用于GaN器件D、S端的V_DS电压采样，在电压采样中设置有可调增益放大器，根据V_DS值来设置放大增益。精密电源DC、开关S1控制的MOS大功率管，可控制高压施加到被测器件的DS端。可调电阻R，用于控制流过GaN器件的I_D电流的大小。两路VG驱动信号源，DriverP和DriverN，驱动GaN器件开通和关闭。

从图1来看，GaN DUT(待测器件)在测量电路的中心位置，如图1虚线部分，此时6根测试线(GF、GS、DF、DS、SF、SS)很短，驱动源信号和采样电路离待测器件很近，线路的分布参数不会对测试结果的准确性有影响。

但实际上，GaN DUT(待测器件)并不是在测量电路之中，而是在GaN动态Rdson测试模组以外的负载板上。测试模组和负载板是通过测试线连接。测试线经过测试模组内部线路、转接头以及外部连接线后，与DUT相连，连接回路较长，系统的分布参数较大；另外由于还会受到环境温湿度、机器差异等的分影响，叠加了各部分的分布参数、杂散参数后，此时实际测试的动态Rdson参数结果值误差偏大的。再加上可调增益放大器的非线性失真的影响，每个挡位标注的放大倍数并不是真实的放大倍数，如此前后互相叠加后，误差会越来越大。

如果动态Rdson参数测量结果值误差偏大，就不能够反映出GaN器件的真实性能。鉴于此，如图2所示，本发明实施例校准设备包括：接口模块1、功率器件等效电路2、控制电路3，测试电路通过接口模块1与功率器件等效电路2的测试线连接，控制电路3与测试电路的测试线连接。

具体地，本发明实施例将图1中测试电路中与功率器件之间的连接线称为测试线，测试电路与功率器件之间的连接通过接口模块1实现。

具体地，如图3所示，本发明实施例利用功率器件等效电路2代替负载板，该功率器件等效电路2内部电阻阻值为定值，不会像GaN器件的特性那样受高压加持的影响后改变Rdson值，而是使得回路上的电流I_D各处电流均相等。

进一步地，控制电路3通过控制测试电路生成测试电流，测试电流通过接口模块1施加至功率器件等效电路2。

具体地，测试电路内部包含精密电源，控制电路3可以控制精密电源输出预设幅值的测试电流及测试电压，测试电流经由接口模块1施加至功率器件等效电路2上。

进一步地，控制电路3控制测试电路测得不同增益下的功率器件等效电路2的电流及电压，控制电路3将不同增益下的功率器件等效电路2的电流及电压作为校准数据。校准数据用于当测试电路对功率器件进行测试时，根据当前增益对应的校准数据，对所测量的数据进行修正。

具体地，测试电路包含可调增益放大器，在实际测试时，可调增益放大器的增益需要根据功率器件的漏源电压设定，但是由于像GaN器件的功率器件的特性易受高压加持的影响后改变Rdson值，从而使得实际测试的动态Rdson参数结果值误差偏大的。再加上可调增益放大器的非线性失真的影响，每个挡位标注的放大倍数并不是真实的放大倍数，如此前后互相叠加后，误差会越来越大。因此，本发明实施例的控制电路3调整可调增益放大器的增益(即档位)，在当前档位下，测试电路测得功率器件等效电路2的电流及电压，控制电路3将当前档位与测得功率器件等效电路2的电流及电压一一对应后，进行存储。或者，控制电路3将校准数据存储在Flash上。

在一具体实施例中，如图3所示，接口模块1包括：第一接口单元SITE1及第二接口单元SITE2，其中，第一接口单元SITE1连接于测试电路与第二接口单元SITE2之间；第二接口单元SITE2连接于第一接口单元SITE1与功率器件等效电路2之间。

进一步地，如图3所示，第一接口单元SITE1及第二接口单元SITE2均包括：多个接口，其中，第一接口单元SITE1的每个接口与对应的测试电路的测试线连接；第二接口单元SITE2的每个接口与对应的功率器件等效电路2的测试线连接；第一接口单元SITE1的每个接口将对应的测试电路的测试线，通过第二接口单元SITE2的接口与对应的功率器件等效电路2的测试线连接。

具体地，图3中的测试线接口与图1中的测试线(GF、GS、DF、DS、SF、SS)一一对应连接，测试电路的测试线、功率器件等效电路2的测试线通过第一接口单元SITE1、第二接口单元SITE2一一对应连接，从而实现测试电路与功率器件等效电路2的连接。

在一具体实施例中，如图3所示，功率器件等效电路2包括：MOS管及精密电阻R，其中，MOS管的漏极、栅极均通过测试线与接口模块1连接，MOS管的源极与精密电阻的第一端连接；精密电阻的第一端、第二端均通过测试线与接口模块1连接。

具体地，在本发明实施例中，MOS管为1000V、10A以上能力的场效应管，精密电阻为阻值0.1Ω，误差范围±0.25％的电阻器件。在校准过程中，由程序设置的精密电源DC和可调电阻R，组合产生电流I_D(测试电流)，当VG驱动信号驱动使MOS管开通，电流I_D就会流过MOS管和精密电阻，从DF端流到SF端。DS和SS两根采样信号线连接到精密电阻，实际上是采样的是精密电阻上的电压降Vr。由于电阻阻值是固定的，且不会像GaN器件的特性那样受高压加持的影响后改变Rdson值，所以采样到的Vr也是固定的，与I_D成正比，I_D越大Vr越大。回路上的电流I_D各处都是相等的，所以在电流传感器采样到的I_D电流值就为精密电阻上的电流值。

在一具体实施例中，如图4所示，当测试装置用于对多个功率器件进行测试时，校准设备还包括：继电器电路4及多个开关电路5，其中，一个功率器件等效电路2依次通过一个开关电路5、一个接口模块1、一个开关电路5与测试电路连接；每个开关电路5还通过继电器电路4与控制电路3连接；控制电路3通过切换继电器电路4的运行状态，控制开关电路5的开断状态，从而实现测试电路与指定的功率器件等效电路2连接。

具体地，如图4所示，当测试装置用于对多个功率器件进行测试时，由于每个通道的分布参数、杂散参数各有不同，需要对每个通道单独校准。本发明实施例利用一个功率器件等效电路2实现对每个通道的校准。具体地，本发明实施例的控制电路3通过控制继电器电路4内部电路的连接状态，以实现控制需要进行校准的通道中的开关电路5的通断状态，从而实现对通道的选通。

示例性地，如图5所示，校准设备为8通道，有8个测试口，最多可以对8个通道进行校准。内部的测量和控制电路3与单通道测试模组架构一致，增加了继电器电路4，可以按需要通过控制电路3切换测试通道，达到串行测试的目的。

实施例2

本发明实施例提供一种功率器件测试装置的校准方法，基于实施例2的功率器件测试装置的校准设备，方法包括：

(1)控制电路设置当前测试环境参数；当前测试环境参数包括：当前测试所需的测试电流值及测试电压值，以及测试增益及其对应的测试标志位；

(2)测试电路将增益切换至测试增益后，根据测试电流值及测试电压值，对功率器件等效电路进行预设次数的测试；

(3)测试电路采集每次测试测得的功率器件等效电路的电压及电流；

(4)控制电路基于每次测试测得的功率器件等效电路的电压及电流的平均值，作为当前测试的校准数据，并将校准数据与测试标志位对应后保存；

(5)返回“控制电路设置当前测试环境参数”的步骤，直到在全部的测试电路的增益下测试完为止。

进一步地，本发明实施例中，测试电路采集每次测试测得的功率器件等效电路的电压为精密电阻电压；测试电路采集每次测试测得的功率器件等效电路的电流为MOS管的漏极电流。

具体地，基于图4所示拓扑，本发明实施例使用功率器件等效电路代替功率器件，在校准过程中，由程序设置的精密电源DC和可调电阻R，组合产生电流I_D(测试电流)，当VG驱动信号驱动使MOS管开通，电流I_D就会流过MOS管和精密电阻，从DF端流到SF端。DS和SS两根采样信号线连接到精密电阻，实际上是采样的是精密电阻上的电压降Vr。由于电阻阻值是固定的，且不会像GaN器件的特性那样受高压加持的影响后改变Rdson值，所以采样到的Vr也是固定的，与I_D成正比，I_D越大Vr越大。回路上的电流I_D各处都是相等的，所以在电流传感器采样到的I_D电流值就为精密电阻上的电流值。

在一具体实施例中，测试标志位用于当测试电路为功率器件进行测试时，测试装置根据测试增益、测试增益对应的测试标志位、测试标志位对应的校准数据，对实际测得的功率器件的电压及电流进行校准，得到功率器件的导通电阻。

具体地，本发明实施例为每个增益均设置测试标志位，并将测试标志位与得到的校准数据一一对应，从而使得在测试过程中，根据当前增益对应的测试标志位直接调取对应的校准数据，利用校准数据对得到的电压及电流进行校准。

示例性地，本发明实施例的一个校准过程流程图如图6所示，图6中，放大器档位及测试增益，且图中放大器有四个档位，在仅以此举例，并不以此为限制。

具体地，当测试装置用于对多个功率器件进行测试时，对测试装置与每个功率器件的连接通道校准后，控制电路将每个测试装置的校准数据储存在存储芯片的不同地址下。

实施例3

本发明实施例提供一种功率器件测试装置，如图7所示，包括：测试电路6、实施例1的接口模块1、实施例1的控制电路3，测试电路6通过接口模块1与功率器件的测试线连接，控制电路3与测试电路6的测试线连接。

具体地，本发明实施例将图1中测试电路6中与功率器件之间的连接线称为测试线，测试电路6与功率器件之间的连接通过接口模块1实现。控制电路3通过控制测试电路6生成测试电流，测试电流通过接口模块1施加至功率器件。

具体地，如图1所示，测试电路6包括两路高速ADC电路，一路用于I_D电流采样；另一路用于GaN器件D、S端的V_DS电压采样，在电压采样中设置有可调增益放大器，根据V_DS值来设置放大增益。精密电源DC、开关S1控制的MOS大功率管，可控制高压施加到被测器件的DS端。可调电阻R，用于控制流过GaN器件的I_D电流的大小。两路VG驱动信号源，DriverP和DriverN，驱动GaN器件开通和关闭。

具体地，控制电路3控制测试电路6测量功率器件的电压及电流，控制电路3根据测试电路6的测试增益、测试增益对应的测试标志位、测试标志位对应的校准数据，对实际测得的功率器件的电压及电流进行校准后，得到功率器件的导通电阻。

具体地，校准完成以后，可以将功率器件等效电路2取下，换回功率器件，以执行后续相应的测试。测试校准在有需要时才会执行操作，由用户根据需要自行选择操作，而测试数据修正在每一次测试时都会执行。具体的流程如图8所示。

图8中，在测试开始时，程序先从Flash中把已经校准好的校准数据提取出来，根据用户设置的测试条件，程序自动配置相应的VGS，I_D，V_DS，可调增益放大器的挡位以及外围电路的继电器等。同时，程序根据可调增益放大器的挡位，将标志位Range赋值为0、1、2或3。接下来程序自动执行测试时序，并采样出功率器件的I_D电流I`，和V<sub>DS</sub>电压V`，通过公式R_DS＝V`÷I`，计算功率器件的R_DS值，此时R_DS值为没有修正过的原始数据值。然后程序利用公式：R_DS`＝R<sub>DS</sub>×I[Range]`÷V[Range]`×RCAL，得到校准后的导通电阻阻值R<sub>DS</sub>`，其中，I[Range]`和V[Range]`为对应挡位的校准数据，如I0`、V0`。通过修正公式，将原始值R_DS校准为R_DS`，此时R<sub>DS</sub>`即为功率器件导通电阻的真实值，并用于后续数据显示等操作。

在一具体实施例中，如图9所示，当对多个功率器件进行测试时，测试装置还包括：实施例1的继电器电路4及多个开关电路5。

具体地，如图10所示，测试装置为8通道，有8个测试口，最多可以外接8个功率器件。内部的测量和控制电路3与单通道测试模组架构一致，增加了继电器电路4，可以按需要通过控制电路3切换测试通道，达到串行测试的目的。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引申出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。

Claims (10)

1.一种功率器件测试装置的校准设备，其特征在于，所述测试装置包括测试电路，所述测试电路用于检测所述功率器件的动态导通电阻，所述校准设备包括：接口模块、功率器件等效电路、控制电路，其中，

所述测试电路通过所述接口模块与所述功率器件等效电路的测试线连接，所述控制电路与所述测试电路的测试线连接；

所述控制电路通过控制测试电路生成测试电流，所述测试电流通过所述接口模块施加至所述功率器件等效电路；

所述控制电路控制所述测试电路测得不同增益下的功率器件等效电路的电流及电压，所述控制电路将不同增益下的功率器件等效电路的电流及电压作为校准数据；

所述校准数据用于当所述测试电路对功率器件进行测试时，根据当前增益对应的所述校准数据，对所测量的数据进行修正。

2.根据权利要求1所述的功率器件测试装置的校准设备，其特征在于，所述接口模块包括：第一接口单元及第二接口单元，其中，

所述第一接口单元连接于所述测试电路与所述第二接口单元之间；

所述第二接口单元连接于所述第一接口单元与所述功率器件等效电路之间。

3.根据权利要求2所述的功率器件测试装置的校准设备，其特征在于，所述第一接口单元及第二接口单元均包括：多个接口，其中，

所述第一接口单元的每个接口与对应的所述测试电路的测试线连接；

所述第二接口单元的每个接口与对应的所述功率器件等效电路的测试线连接；

所述第一接口单元的每个接口将对应的所述测试电路的测试线，通过所述第二接口单元的接口与对应的所述功率器件等效电路的测试线连接。

4.根据权利要求1所述的功率器件测试装置的校准设备，其特征在于，所述功率器件等效电路包括：MOS管及精密电阻，其中，

所述MOS管的漏极、栅极均通过测试线与所述接口模块连接，所述MOS管的源极与所述精密电阻的第一端连接；

所述精密电阻的第一端、第二端均通过测试线与所述接口模块连接。

5.根据权利要求1所述的功率器件测试装置的校准设备，其特征在于，当测试装置用于对多个功率器件进行测试时，所述校准设备还包括：继电器电路及多个开关电路，其中，

一个功率器件等效电路依次通过一个开关电路、一个接口模块、一个开关电路与测试电路连接；

每个开关电路还通过所述继电器电路与控制电路连接；

所述控制电路通过切换所述继电器电路的运行状态，控制所述开关电路的开断状态，从而实现所述测试电路与指定的功率器件等效电路连接。

6.一种功率器件测试装置的校准方法，其特征在于，基于权利要求4-5任一项所述的功率器件测试装置的校准设备，所述方法包括：

控制电路设置当前测试环境参数；所述当前测试环境参数包括：当前测试所需的测试电流值及测试电压值，以及测试增益及其对应的测试标志位；

所述测试电路将增益切换至测试增益后，根据所述测试电流值及测试电压值，对所述功率器件等效电路进行预设次数的测试；

所述测试电路采集每次测试测得的功率器件等效电路的电压及电流；

所述控制电路基于每次测试测得的功率器件等效电路的电压及电流的平均值，作为当前测试的校准数据，并将校准数据与所述测试标志位对应后保存；

返回所述“控制电路设置当前测试环境参数”的步骤，直到在全部的测试电路的增益下测试完为止。

7.根据权利要求6所述的功率器件测试装置的校准方法，其特征在于，

所述测试电路采集每次测试测得的功率器件等效电路的电压为精密电阻电压；

所述测试电路采集每次测试测得的功率器件等效电路的电流为MOS管的漏极电流。

8.根据权利要求6所述的功率器件测试装置的校准方法，其特征在于，

所述测试标志位用于当所述测试电路为所述功率器件进行测试时，所述测试装置根据测试增益、测试增益对应的测试标志位、测试标志位对应的校准数据，对实际测得的功率器件的电压及电流进行校准，得到所述功率器件的导通电阻。

9.一种功率器件测试装置，其特征在于，包括：测试电路、权利要求1-5任一项所述的接口模块、权利要求1-5任一项所述的控制电路，其中，

所述测试电路通过所述接口模块与所述功率器件的测试线连接，所述控制电路与所述测试电路的测试线连接；

所述控制电路通过控制测试电路生成测试电流，所述测试电流通过所述接口模块施加至所述功率器件；

所述控制电路控制所述测试电路测量所述功率器件的电压及电流，所述控制电路根据所述测试电路的测试增益、测试增益对应的测试标志位、测试标志位对应的校准数据，对实际测得的功率器件的电压及电流进行校准后，得到所述功率器件的导通电阻。

10.根据权利要求9所述的功率器件测试装置，其特征在于，当对多个功率器件进行测试时，所述测试装置还包括：权利要求5的继电器电路及多个开关电路。

Images