JP2008087469A5 - - Google Patents

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH09327911A (ja) * 1996-06-10 1997-12-22 Seiko Epson Corp インクジェットプリンタヘッド
JP3442299B2 (ja) * 1997-11-25 2003-09-02 セイコーエプソン株式会社 インクジェット式記録ヘッド及びその製造方法
KR100540644B1 (ko) * 1998-02-19 2006-02-28 삼성전자주식회사 마이크로 엑츄에이터 제조방법
JP2004186574A (ja) * 2002-12-05 2004-07-02 Matsushita Electric Ind Co Ltd 圧電体薄膜素子およびインクジェット記録装置ならびにその製造方法

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