JP2006173646A5 - - Google Patents
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Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2006020875A JP4689482B2 (ja) | 2003-02-07 | 2006-01-30 | 圧電アクチュエーター、圧電アクチュエーターの製造方法、液体吐出ヘッド |
Applications Claiming Priority (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003031669 | 2003-02-07 | ||
| JP2003031669 | 2003-02-07 | ||
| JP2003031680 | 2003-02-07 | ||
| JP2003031680 | 2003-02-07 | ||
| JP2006020875A JP4689482B2 (ja) | 2003-02-07 | 2006-01-30 | 圧電アクチュエーター、圧電アクチュエーターの製造方法、液体吐出ヘッド |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2004032068A Division JP3907628B2 (ja) | 2003-02-07 | 2004-02-09 | 圧電アクチュエーターおよびその製造方法ならびに液体吐出ヘッド |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2006173646A JP2006173646A (ja) | 2006-06-29 |
| JP2006173646A5 true JP2006173646A5 (enExample) | 2007-05-31 |
| JP4689482B2 JP4689482B2 (ja) | 2011-05-25 |
Family
ID=36673971
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2006020875A Expired - Fee Related JP4689482B2 (ja) | 2003-02-07 | 2006-01-30 | 圧電アクチュエーター、圧電アクチュエーターの製造方法、液体吐出ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4689482B2 (enExample) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5710153B2 (ja) * | 2010-05-11 | 2015-04-30 | 日本信号株式会社 | 圧電素子の製造方法 |
| JP6332895B2 (ja) * | 2011-12-21 | 2018-05-30 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
| JP7263898B2 (ja) | 2019-04-19 | 2023-04-25 | セイコーエプソン株式会社 | 液体吐出ヘッドおよびプリンター |
| WO2025183176A1 (ja) * | 2024-02-29 | 2025-09-04 | 公立大学法人大阪 | 強誘電体デバイスおよびその製造方法 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3357227B2 (ja) * | 1995-07-21 | 2002-12-16 | 日立建機株式会社 | 圧電素子およびその製造方法 |
| JP3999300B2 (ja) * | 1997-02-07 | 2007-10-31 | Tdk株式会社 | 強誘電体薄膜およびその製造方法 |
| JP3669860B2 (ja) * | 1999-03-10 | 2005-07-13 | Tdk株式会社 | 積層薄膜 |
| JP4516166B2 (ja) * | 1999-09-07 | 2010-08-04 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット式記録ヘッドの製造方法 |
| JP2001313429A (ja) * | 2000-04-27 | 2001-11-09 | Tdk Corp | 積層薄膜その製造方法および電子デバイス |
-
2006
- 2006-01-30 JP JP2006020875A patent/JP4689482B2/ja not_active Expired - Fee Related
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