JP2008087284A - ノズルプレートの製造方法、液体吐出ヘッド及び画像形成装置 - Google Patents

Abstract

【課題】広角のテーパ形状を有するノズルを形成でき、且つ、吐出安定性を向上できること。
【解決手段】（Ｂ）透光性基板２２の一方の面に、Ｒ形状の開口部５１ｂを有する非透光性のＲ形状開口層３２を形成し、（Ｃ）透光性基板２２のＲ形状開口層３２が形成されている面に、感光性材料２４を付着させ、（Ｄ）透光性基板２２上のＲ形状開口層３２をマスクとして用いて、透光性基板２２の裏面に対して斜め方向から光を入射させつつ、透光性基板２２を回転させて、感光性材料２４を露光することにより、感光性材料２４中にテーパ形状の感光部２５を形成する。その後、感光性材料２４を現像して、テーパ形状の感光部２５を残し非感光部を除去し、テーパ形状の感光部２５を型として用いて、Ｒ形状開口層３２上に、Ｒ形状の開口部５１ｂに連結したテーパ形状の開口部を有するテーパ形状開口層を形成し、テーパ形状の感光部２５および透光性基板２２を除去する。
【選択図】 図８

Description

本発明はノズルプレートの製造方法に係り、特に、インクジェットヘッドに代表される液体吐出ヘッドに用いられるノズルプレートの製造方法、及びこれにより製造されるノズルプレートを備える液体吐出ヘッド並びに画像形成装置に関する。

インクジェット記録装置は、液体吐出ヘッドの微細なノズル（液体吐出口）からインクを吐出して記録媒体上に情報を記録する方式を用いているため、ノズルが形成されるノズルプレートは、インクの吐出性能を決める非常に重要な部材の一つである。ノズルの形状等によりインクの吐出性能が大きく異なるとともに、多数のノズルについて吐出性能の均一化のために高い寸法精度が要求される。

特に、近年インクジェット記録の分野においては、高速高画質化の必要性が一段と高まり、高粘度インクを用いたワンパス記録（ページワイドの液体吐出ヘッドによる１副走査送りの記録）のシステムが開発されているが、液体吐出ヘッドのノズル部分には、流路抵抗を下げるための薄肉広角化が求められ、また、濃度ムラを低減するための高精度化、ページワイドの広幅記録を実現するための多ノズル化、安定稼働のための高信頼化が求められている。

ノズルプレートの製造技術に関し、特許文献１には、レジストが塗布された透明基板の裏面から露光して、テーパ形状のノズルを形成する方法が開示されている。

特許文献２には、基板の表裏から両面露光を行うことにより、高アスペクト比のザグリ付き金属テーパノズルを形成する方法が開示されている。また、テーパ形状の開口部の形成には、拡散板を用いて拡散光による露光を行う例のほか、基板を傾斜回転させて露光を行う例が記載されている。

特許文献３には、順テーパ部と逆テーパ部を有する「くびれ」形状を形成し、吐出液滴の着弾誤差を改善する技術が開示されている。
特開平１０−２９６９８２号公報 特開平７−３２９３０４号公報 特開２００１−１８７４５１号公報

液体流入側にテーパ形状で開口したノズルが求められているが、ノズルの液体吐出側の端部、または、ノズルの内壁に、鋭角の屈曲点が存在することになるので、液体の飛翔が不安定になる、または、液体の流れが不安定になるといった問題がある。

具体的には、図３１（Ａ）に示すテーパ形状のノズル９０１を有するノズルプレート９００ａでは、液体吐出側の端部９０２が鋭角なので、液体の飛翔曲がりが生じ易い。図３１（Ｂ）に示すテーパ形状部９０３およびストレート形状部９０４からなるノズル９０５を有するノズルプレート９００ｂでは、テーパ形状部９０３とストレート形状部９０４との繋がりが不連続であって、テーパ形状部９０３とストレート形状部９０４との境界９０６が鋭角なので、液体の流れが不安定となり、メニスカスの挙動も不安定となり易い。

特に、テーパ形状を広角とした場合には、鋭角の角度がシャープとなるので、前述の液体の飛翔の乱れや液体の流れの乱れが顕著となってしまう。

なお、特許文献１に開示された発明では、平行光により自ずとテーパ形状のノズルを形成する方式であるため、広角化が困難である。

また、特許文献２に開示された、拡散光による露光では、形状制御が困難であり、ノズルの形状バラツキが生じやすいので、液体の吐出に悪影響を与える。また、基板を傾斜回転させて露光を行っても、前述のようにテーパ形状部とストレート形状部との繋がりが不連続となるので、液体の吐出に悪影響を与える。

また、特許文献３に開示された発明では、ケラー照明系を利用した比較的ＮＡ（開口数）の大きな露光により、１２°程度のテーパを形成しているが、ＮＡを大きくするには限界があり、例えば、粘度１０〜２０ｍＰａ・ｓの高粘度液を２０〜４０ｋＨｚの高吐出周波数で高速吐出するために必要と見込まれる２０〜４０°の広角テーパの形成は難しい。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、広角のテーパ形状を有するノズルを形成することができ、且つ、吐出安定性を向上できるノズルプレートの製造方法を提供することを目的とし、併せて、かかる製造方法により製造されるノズルプレートを用いた液体吐出ヘッド、並びにこれを用いた画像形成装置を提供することを目的とする。

前記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、露光用の光を透過する透光性基板の一方の面に、少なくとも一方の周縁が曲面状である曲面付きの開口部を有する非透光性の曲面付き開口層を形成する曲面付き開口層形成工程と、前記透光性基板の前記曲面付き開口層が形成されている面に、感光性材料を付着させる感光性材料付着工程と、前記曲面付き開口層をマスクとして用いて、前記透光性基板の前記感光性材料を付着させた面とは反対側の面に対して斜め方向から前記露光用の光を入射させつつ、前記透光性基板を回転させて、前記感光性材料を露光することにより、前記感光性材料中にテーパ形状の感光部を形成する露光工程と、前記感光性材料を現像して、前記感光性材料のうちで前記テーパ形状の感光部を残し非感光部を除去する現像工程と、前記テーパ形状の感光部を型として用いて、前記曲面付き開口層上に、前記曲面付きの開口部に連結したテーパ形状の開口部を有するテーパ形状開口層を形成するテーパ形状開口層形成工程と、前記テーパ形状の感光部および前記透光性基板を除去する工程と、を含むことを特徴とするノズルプレートの製造方法を提供する。

この発明によれば、透光性基板の一方の面に曲面付きの開口部を有する非透光性の曲面付き開口層を形成し、この曲面付き開口層をマスクとして用い、透光性基板の裏面に対して斜め方向から光を入射させつつ透光性基板を回転させる露光（いわゆる裏面傾斜回転露光）を行うことにより、テーパ形状の開口部の型としてのテーパ形状の感光部を形成するので、液体流入側がテーパ形状のノズルを形成することができ、且つ、ノズルの内面に鋭角（０度よりも大きく以上且つ９０度よりも小さい角度である）の屈曲点を生じさせることなく、テーパ形状の部分と曲面状の部分とを連続状に一体化できるので、液体の流れおよび液体の飛翔を安定にできるノズルプレートが得られる。また、裏面傾斜回転露光なので、テーパ形状の開口部を広角にすることができる。

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記曲面付き開口層形成工程は、非導電性の前記透光性基板の一方の面に、開口パターンを有する第１の導電膜を形成するパターニング工程と、前記第１の導電膜を電極として用いて電鋳を行い、前記第１の導電膜上を覆うとともに前記第１の導電膜の開口縁からオーバハングした非透光性の第２の導電膜を形成するオーバハング電鋳工程と、を含むことを特徴とする請求項１に記載のノズルプレートの製造方法を提供する。

この発明によれば、非導電性の透光性基板上に形成した開口パターンを有する第１の導電膜を電極として電鋳を行い、該第１の導電膜の開口縁からその内壁へ向けてオーバハングした非透光性の第２の導電膜（オーバハング金属膜）を形成するので、第２の導電膜を薄膜にして曲率の高い高精細なＲ形状（曲面状）を容易に形成できる。

請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の発明において、前記オーバハング電鋳工程は、導電材料とともに撥液性材料を含む電鋳液を用い、該電鋳液中の撥液性材料を導電材料とともに前記第２の導電膜として共析させることを特徴とするノズルプレートの製造方法を提供する。

この発明によれば、共析電鋳によりＲ形状の開口部に撥液性が付与されるので、吐出安定性をさらに向上させることができる。

請求項４に記載の発明は、露光用の光を透過する透光性基板の一方の面に、透光性導電膜を形成する透光性導電膜形成工程と、前記透光性導電膜上に、透光性非導電材料からなり、形成しようとする曲面付きの開口部の液体吐出側端部の開口面積よりも大きな面積を有するランドパターンを形成するパターニング工程と、前記透光性導電膜を電極として用いて電鋳を行い、前記透光性導電膜の前記ランドパターン形成領域以外の露出部分を覆うとともに前記ランドパターンの縁へオーバハングした、曲面付きの開口部を有する非透光性の曲面付き開口層を形成するオーバハング電鋳工程と、前記透光性基板の前記曲面付き開口層が形成されている面に、感光性材料を付着させる感光性材料付着工程と、前記曲面付き開口層をマスクとして用いて、前記透光性基板の前記感光性材料を付着させた面とは反対側の面に対して斜め方向から前記露光用の光を入射させつつ、前記透光性基板を回転させて、前記感光性材料を露光することにより、前記感光性材料中にテーパ形状の感光部を形成する露光工程と、前記感光性材料を現像して、前記感光性材料のうちで前記テーパ形状の感光部を残し非感光部を除去する現像工程と、前記テーパ形状の感光部を型として用いて、前記曲面付き開口層上に、前記Ｒ形状の開口部に連結したテーパ形状の開口部を有するテーパ形状開口層を形成するテーパ形状開口層形成工程と、前記テーパ形状の感光部、前記透光性基板、前記透光性導電膜および前記ランドパターンを除去する工程と、を含むことを特徴とするノズルプレートの製造方法を提供する。

この発明によれば、非導電性の透光性基板上に、透光性導電膜と、曲面付きの開口部およびザグリ部に対応するランドパターンとを形成し、透光性導電膜を電極として電鋳を行い、ランドパターンの縁へその周囲からオーバハングした曲面付き開口層（オーバハング金属膜）を形成するので、曲面付き開口層を薄膜にして曲率の高い高精細なＲ形状（曲面状）を容易に形成できる。また、液体吐出側に凹形状のザグリ部が形成されるので、ジャミング時やワイピング時にノズルを保護し、液体吐出の信頼性を向上させることができる。

また、曲面付き開口層をマスクとして用い、透光性基板の裏面に対して斜め方向から光を入射させつつ透光性基板を回転させる露光（いわゆる裏面傾斜回転露光）を行うことにより、テーパ形状の開口部の型としてのテーパ形状の開口部を形成するので、液体流入側がテーパ形状のノズルを形成することができ、且つ、ノズルの内面に鋭角（０度よりも大きく且つ９０度よりも小さい角度である）の屈曲を生じさせることなく、テーパ形状の部分と曲面状の部分とを連続状に一体化できるので、液体の流れおよび液体の飛翔を安定にできるノズルプレートが得られる。また、裏面傾斜回転露光なので、テーパ形状の開口部を広角にすることができる。

請求項５に記載の発明は、露光用の光を透過する透光性基板と、該透光性基板上に配置されている透光性導電膜と、該透光性導電膜上に配置され、透光性非導電材料からなり、形成しようとする曲面付きの開口部の液体吐出側端部の開口面積よりも大きな面積を有するランドパターンと、を備えた透光性構造体を用意し、前記透光性導電膜を電極として用いて電鋳を行い、前記透光性導電膜の露出部分を覆うとともに前記ランドパターンの縁へオーバハングした、曲面付きの開口部を有する非透光性の曲面付き開口層を形成するオーバハング電鋳工程と、前記透光性基板の前記曲面付き開口層が形成されている面に、感光性材料を付着させる感光性材料付着工程と、前記曲面付き開口層をマスクとして用いて、前記透光性基板の前記感光性材料を付着させた面とは反対側の面に対して斜め方向から前記露光用の光を入射させつつ、前記透光性基板を回転させて、前記感光性材料を露光することにより、前記感光性材料中にテーパ形状の感光部を形成する露光工程と、前記感光性材料を現像して、前記感光性材料のうちで前記テーパ形状の感光部を残し非感光部を除去する現像工程と、前記テーパ形状の感光部を型として用いて、前記曲面付き開口層上に、前記曲面付きの開口部に連結したテーパ形状の開口部を有するテーパ形状開口層を形成するテーパ形状開口層形成工程と、前記テーパ形状の感光部および前記透光性構造体を除去する工程と、を含むことを特徴とするノズルプレートの製造方法を提供する。

この発明によれば、非導電性の透光性基板と、電鋳の電極に用いる透光性導電膜と、曲面付きの開口部およびザグリ部に対応するランドパターンとを備えた透光性構造体（電極付き且つパターン付きの基板）を何度も再利用することにより、製造コストの低減および製造時間の短縮を行うことができる。

請求項６に記載の発明は、請求項４または５に記載の発明において、前記オーバハング電鋳工程は、導電材料とともに撥液性材料を含む電鋳液を用い、該電鋳液中の撥液性材料を導電材料とともに前記曲面付き開口層として共析させることを特徴とするノズルプレートの製造方法を提供する。

この発明によれば、共析電鋳により曲面付きの開口部に撥液性が付与されるので、吐出安定性をさらに向上させることができる。

請求項７に記載の発明は、請求項４乃至６の何れか１項に記載のノズルプレートの製造方法によって製造されたノズルプレートを用意し、感光性材料を付着させた前記透光性基板を前記ノズルプレートの前記テーパ形状の開口部が形成されている液体流入側の面に密着させるとともに、前記ノズルプレートの液体吐出側の面に感光性材料を付着させて、前記ノズルプレートの両面の感光性材料を前記テーパ形状の開口部および前記曲面付きの開口部を介して結合させる感光性材料付着工程と、前記曲面付き開口層をマスクとして用いて、前記透光性基板の前記感光性材料を付着させた面とは反対側の面に対して露光用の光を入射させて、前記感光性材料を露光する露光工程と、前記感光性材料を現像して、前記感光性材料の非感光部を除去する現像工程と、前記感光性材料の感光部を型として用いて前記曲面付きの開口部に連結した逆テーパ形状の開口部を有する逆テーパ形状開口層を形成する逆テーパ形状開口層形成工程と、を含むことを特徴とするノズルプレートの製造方法を提供する。

この発明によれば、ノズルに「くびれ」を形成することができるので、液体吐出面の液体吐出に対する影響が緩和され、広角テーパでも飛翔曲がりの少ない安定した高粘度高速吐出が可能となる。

請求項８に記載の発明は、請求項７に記載の発明において、前記逆テーパ形状開口層形成工程は、導電材料とともに撥液性材料を含む電鋳液を用い、該電鋳液中の撥液性材料を導電材料とともに前記逆テーパ形状開口層として共析させることを特徴とするノズルプレートの製造方法を提供する。

この発明によれば、共析電鋳により逆テーパ形状の開口部に撥液性が付与されるので、吐出安定性を容易に向上させることができる。

請求項９に記載の発明は、請求項１乃至８の何れか１項に記載の発明において、液体流入側の面に、前記テーパ形状の開口部の液体流入側の開口幅よりも小さな幅を有する溝を形成することを特徴とするノズルプレートの製造方法を提供する。

この発明によれば、ノズルプレートの液体流入側の面を他のプレート（例えば圧力室が形成されている圧力室形成プレート）に接着する際に、余剰接着材を溝に逃がすことができるので、接着時のノズルの目詰まりを回避でき、広角のテーパ形状であっても安定した接着が可能となる。

請求項１０に記載の発明は、請求項１乃至９の何れか１項に記載の発明において、液体吐出側の面に、前記曲面付きの開口部の液体吐出側の開口幅よりも小さな幅を有する溝を形成することを特徴とするノズルプレートの製造方法を提供する。

この発明によれば、ノズルプレートの液体吐出側の面におけるインク汚れが軽減され、また、クリーニング時のワイピング性が向上する。

請求項１１に記載の発明は、請求項１乃至１０の何れか１項に記載の発明において、前記露光工程は、純水中で行われることを特徴とするノズルプレートの製造方法を提供する。

脱イオン化された純水の屈折率は約１．４と一般の透光性基板（石英ガラスなど）や一般の感光性材料（レジスト）に近いので、純水中で露光を行うことにより、レジスト裏面反射を効果的に抑制でき、また、蒸留水やろ過水の中で露光を行うよりも、一層広角なテーパ形成が可能となる。

請求項１２に記載の発明は、請求項１乃至１１の何れか１項に記載の発明において、ノズルプレートの製造方法により製造されたノズルプレートを有することを特徴とする液体吐出ヘッドを提供する。

請求項１３に記載の発明は、請求項１２に記載の液体吐出ヘッドを有することを特徴とする画像形成装置を提供する。

請求項１３に記載の画像形成装置の一態様としてのインクジェット記録装置は、ドットを形成するためのインク液滴を吐出するためのノズル及び吐出圧を発生させる圧力発生素子（圧電アクチュエータ）を含む液滴吐出素子（インク液室ユニット）を高密度に多数配置した液体吐出ヘッド（記録ヘッド）を備えるとともに、入力画像から生成されたインク吐出用データ（ドット画像データ）に基づいて前記液体吐出ヘッドからの液滴の吐出を制御する吐出制御手段とを備え、ノズルから吐出した液滴によって記録媒体上に画像を形成する。

例えば、画像入力手段を介して入力された画像データ（印字データ）に基づいて色変換やハーフトーニング処理が行われ、インク色に応じたインク吐出データが生成される。このインク吐出データに基づいて、液体吐出ヘッドの各ノズルに対応する圧力発生素子の駆動が制御され、ノズルからインク滴が吐出される。

高解像度の画像出力を実現するためには、インク液を吐出するノズル（吐出口）と、該ノズルに対応した圧力室及び圧力発生素子とを含んで構成される液滴吐出素子（インク室ユニット）を高密度に多数配置した液体吐出ヘッドを用いる態様が好ましい。

かかる印字用の液体吐出ヘッドの構成例として、記録媒体の全幅に対応する長さにわたって複数の吐出口（ノズル）を配列させたノズル列を有するフルライン型のヘッドを用いることができる。この場合、記録媒体の全幅に対応する長さに満たないノズル列を有する比較的短尺の吐出ヘッドモジュールを複数個組み合わせ、これらを繋ぎ合わせることで全体として記録媒体の全幅に対応する長さのノズル列を構成する態様がある。

フルライン型のヘッドは、通常、記録媒体の相対的な送り方向（相対的搬送方向）と直交する方向に沿って配置されるが、搬送方向と直交する方向に対して、ある所定の角度を持たせた斜め方向に沿ってヘッドを配置する態様もあり得る。

「記録媒体」は、液体吐出ヘッドの吐出口から吐出されるインクの付着を受ける媒体（印字媒体、被画像形成媒体、被記録媒体、受像媒体、被吐出媒体など呼ばれ得るもの）であり、連続用紙、カット紙、シール用紙、ＯＨＰシート等の樹脂シート、フイルム、布、配線パターン等が形成されるプリント基板、中間転写媒体、その他材質や形状を問わず、様々な媒体を含む。

記録媒体と液体吐出ヘッドを相対的に移動させる搬送手段は、停止した（固定された）ヘッドに対して記録媒体を搬送する態様、停止した記録媒体に対してヘッドを移動させる態様、或いは、ヘッドと記録媒体の両方を移動させる態様の何れをも含む。なお、インクジェット方式の印字ヘッドを用いてカラー画像を形成する場合は、複数色のインク（記録液）の色別に印字ヘッドを配置してもよいし、１つの印字ヘッドから複数色のインクを吐出可能な構成としてもよい。

本発明によれば、広角のテーパ形状を有するノズルを形成することができ、且つ、吐出安定性を向上させることができる。

以下、添付図面に従って、本発明の実施形態について、詳細に説明する。

［露光装置］
まず、本発明の実施形態に係るノズルプレートの製造方法に用いられる傾斜回転型露光装置の構成例について概説する。

図１は露光装置の一例を示す構成図である。この露光装置１０は、主として、光源１２、照射光学系１４、液浸容器１６、透過補正板１８及びステージ２０から構成され、光源１２から出た光を、照射光学系１４によって図の下方に平行光として導き、傾斜回転しているステージ２０上の透光性基板２２を介してレジスト（感光性材料）２４に照射して、レジスト２４を感光させる構成となっている。

ステージ２０は、液浸容器１６の中に配設されており、液浸容器１６に液体（例えば、純水）を導入して液体中で露光を行う液浸露光と、気体中で露光を行う通常（ドライ）露光とを切り替えることが可能である。

また、ステージ２０は、テーブル面２０ａの面内回転が可能な回転機構と、テーブル面２０ａの傾斜角（水平面に対する傾斜角、つまり、照射光の入射角）の調節が可能な傾斜（揺動）機構とを備えた傾斜回転ステージとなっている。

すなわち、ステージ２０は、テーブル面２０ａに垂直な回転軸２１（第１回転軸）に取り付けられており、該回転軸２１を中心に回転可能である。また、ステージ２０の回転軸２１は、テーブル面２０ａに直交する鉛直面内で揺動し得る機構となっており、ステージ２０の回転軸２１の揺動位置によってテーブル面２０ａの傾斜角を可変できる。さらに、ステージ２０の回転軸２１、ステージ２０および液浸容器１６の全体は、鉛直軸Ａ（第２回転軸）を中心に、鉛直軸Ａと平行な水平面内の回転が可能となっている。なお、ステージ２０を傾斜回転させる機構の具体的構造については後述する。

図２は、露光部の拡大図である。図示のように、透光性基板２２とレジスト２４との間には、形成しようとするノズルプレートの一部としてのマスク３２が形成されており、このマスク３２を介してレジスト２４に露光用の光が照射される。

レジスト２４、マスク３２および透光性基板２２をステージ２０上に固定した状態でレジスト２４の裏面側に空隙部４３が形成されるように、ステージ２０のテーブル面２０ａには凹部４４が形成されている。ドライ露光時には、この空隙部４３が気体で満たされて気体層が形成される。一方、液浸露光時にはこの空隙部４３が液体で満たされて液体層が形成される。また、凹部４４には、反射防止膜４６が形成されている。

一般的に、レジスト２４の屈折率は約１．６、ドライ露光時の周囲気体（空気又は二酸化炭素）の屈折率は１、液浸露光時に導入する液体（例えば、純水）の屈折率は約１．４、液浸用の専用液の屈折率は約１．６、透明基板３２としてのガラス（例えば、石英ガラス）の屈折率が１．４７であることから、レジスト２４の裏面反射は、気体中（気体層との界面）では大きく、液体中（液体層との界面）では小さい。

液体中で露光を行う場合（液浸露光時）には、レジスト２４の裏面反射（空隙部４３の液体層との界面での反射）が抑制されるため、当該裏面反射光によるレジスト感光はほとんどなく、透光性基板２２側から入射した光によって、当該光の入射角に対応した円錐台形の範囲のレジスト２４を感光させることができる。

更に、気体中で露光を行う場合（ドライ露光時）には、透光性基板２２の周辺は気体（屈折率がほぼ１の媒質）と接していることから全反射により入射角の上限が約３８度であるのに対し、液体中で露光を行う場合（液浸露光時）は、透光性基板２２の屈折率（石英ガラスの場合、約１．４７）と周辺環境の屈折率（純水の場合、約１．４４）とを近づけることができるため、全反射による入射角の上限がドライ露光時よりも大きくなる。このため、液体中での傾斜露光は、広角テーパを形成するために適している。

また、図２に示したとおり、このステージ２０には、レジスト２４を透過する光を受光可能な受光センサ４８が埋設されており、該受光センサ４８によって透過光をモニタしながら露光量（すなわち、光の照射時間、または照射強度、もしくはこれらの組み合わせ）が制御される。

図３は、図１のステージに埋設されている受光センサ４８の配置例を示す平面透視図である。なお、図３では、ステージ２０上に（具体的には図１の透光性基板２２とステージ２０との間に）、４つのノズルプレート形成部５０が設けられた例が示されている。

また、図３に示すように、ステージ２０には、上記のいずれのノズルプレート形成部５０とも重ならない領域に、受光モニタ用のダミーマスクパターンが形成された受光モニタ部５２が形成されており、この受光モニタ部５２の真下の対応位置に受光センサ４８が配置される。すなわち、ステージ２０中の受光センサ４８はステージ２０上のいずれのノズルプレート形成部５０とも重ならない領域（ノズルプレート形成部以外の領域）に配置される。

なお、ノズルプレート形成部５０や受光モニタ部５２の形状、配置数、配置位置については、多様な形態が可能であり、図３の例に限定されない。

図４は、図１に示した露光装置１０に用いられる光源１２及び照射光学系１４の構成図である。図４に示すように、本例の露光装置１０に用いられる照明ユニット６０は、超高圧水銀ランプ６１を光源とするものである。超高圧水銀ランプ６１より発せられた光は、楕円集光ミラー６２により集光され、平面反射ミラー６３によって水平方向に光路を曲げられた後、インテグレーターレンズ６４に入射する。

インテグレーターレンズ６４によって照度分布が均一化された光は、光源フィルタ６５によって透過波長域が選択された後、平面反射ミラー６６によって鉛直方向に光路が曲げられ、コリメーターレンズ６７に入射する。コリメーターレンズ６７により平行光とされた光は、照度分布が均一な平行照射光として照射面６８に向けて照射される。

使用する光源の種類や波長は、使用するフォトレジストの感光特性との関係で適切な光源（波長）が選択される。本発明の実施に際し、照明用の光源として、固体レーザや半導体レーザ（例えば、波長：３５５ｎｍ、３７５ｎｍ、４０５ｎｍ）などを用いる態様も可能である。

次に、入射角度を可変する手段の構成について説明する。

図５は、本例の露光装置１０におけるステージの傾斜回転機構及びその周辺の構成図である。ステージ２０の回転軸２１は、液浸容器１６の底面を貫通する状態で取り付けられるが、この液浸容器１６を貫く接続部分には、液浸容器１６内の液体（例えば、純水７０）がこの部分より漏れないように、防水加工が施されており、また、回転軸２１の回転及び傾き角の調節（揺動）が可能なように、球面軸受７２が設けられている。

すなわち、ステージ２０の回転軸２１は、液浸容器１６の底面に取り付けられた球面軸受７２を介して液浸容器１６を貫いた状態で支持されており、回転軸２１の下端は自由継手７４を介してモータ７６（「ステージ回転モータ」という。）の出力軸７８と連結されている。このステージ回転モータ７６は、直動ガイド８０に沿って摺動するスライダ８２に固定されており、モータ（「傾斜揺動モータ」という。）８４の駆動によりスライダ８２と共にステージ回転モータ７６を直動ガイド８０に沿って移動させることができる。

傾斜揺動モータ８４の駆動によってスライダ８２上のステージ回転モータ７６を図５の左右方向に移動させることにより、ステージ２０の回転軸２１を球面軸受７２における固定点８６を中心に揺動させることが可能であり、その揺動位置によって回転軸２１の傾斜角（すなわち、テーブル面の傾斜角）を調節できる。これにより、透光性基板２２に対する光の入射角を変更できる。

また、ステージ回転モータ７６の駆動によって出力軸７８が回転することで、その回転力は自在継手７４を介して回転軸２１に伝達され、ステージ２０が回転する。

ステージ２０が収容される液浸容器１６には、液体ポンプ８８が設けられており、この液体ポンプ８８により液浸用液体（ここでは純水７０）の供給、排出が可能となっている。

液浸露光時には液体ポンプ８８を介して液浸容器１６内に純水７０が導入され、液浸容器１６内が純水７０で満たされる。通常露光（ドライ露光時）には液浸容器１６内から純水７０が排出され、液浸容器１６内が気体（例えば、空気）で置換される。

なお、液浸用の液体としては、純水７０の他にも露光装置に用いることを意図して調合されてなる専用の液浸用液体があり、場合によっては、このような専用液を用いることも可能である。

液浸露光を行う場合、透光性基板２２の周囲を覆う液体による露光光の吸収が生じる。液面に対して光を垂直に入射させ、かつ透光性基板２２に対し略垂直に光を照射する場合（垂直露光又は狭角入射露光の場合）は、液体中を進む光について透光性基板２２に到達するまでの距離（光路長）が透光性基板２２の各位置において概ね一定であるため、液体による露光光の吸収は、透光性基板２２上の各位置について光量が均一（実質的に均一と見做せる範囲の分布を有する略均一も含む）に減衰する等の問題が生じるのみである。

しかしながら、液面に対して光を垂直に入射させ、かつ透光性基板２２に対して入射角が比較的大きい傾斜露光を行う場合では、露光光が液面に対し垂直に入射するため、液体中を進む光について透光性基板２２に到達するまでの距離（光路長）が透光性基板２２の各々の位置において場所によって異なる。この光路長の違いによる光吸収量の差によって透光性基板２２上では光量分布が生じ、これによりレジスト２４の露光が不均一となる。

具体的には、露光光が液体に入射した後、透光性基板２２の表面に到達するまでの距離（光路長）が短い領域では、露光光の減衰は少ないため、透光性基板２２の表面に到達する露光光の光量は比較的多く、透光性基板２２裏面に塗布されたフォトレジストを充分感光することができるが、露光光が液体に入射した後、透光性基板２２の表面に到達するまでの距離（光路長）が長い領域では、露光光の減衰は大きいため、透光性基板２２の表面に到達する露光光の光量は光路長が短い場合に比べ少なく、同じ露光時間ではフォトレジストを充分感光することができない。一方、光路長の長い領域において、充分に露光が行われるような露光時間で露光を行うならば、光路長の短い領域において露光オーバーとなり、光路長の長い領域と同じ状態でフォトレジストが感光しないため、フォトレジストの感光が不均一となる。

このため、本実施形態では、液体中の傾斜露光時に透光性基板２２上で均一な光量分布が得られるように、透過率分布を補正するための透過補正板１８が用いられる。この透過補正板１８は、液体に入射した光が透光性基板２２に到達するまでの距離（光路長）に対応させた透過率分布を有する透過率傾斜基板であり、液体に入射した後、透光性基板２２に到達するまでの距離（光路長）が長い領域では透過率が高く、液体に入射した後、透光性基板２２に到達するまでの距離（光路長）が短い領域では透過率が低くなるように構成されている。

この透過補正板１８は、液浸容器１６の上部に開閉ヒンジ９０を介して取り付けられており、当該透過補正板１８は開閉ヒンジ９０によって液浸容器１６の天面を封止する位置及び天面から退避した露光領域外の位置に移動可能である。

本実施の形態では、垂直露光の際、又は入射角が比較的小さい傾斜露光（「狭角傾斜回転露光工程」という。）の際には、透過補正板１８を露光領域外に移動させ、入射角が比較的大きい傾斜露光（「広角傾斜回転露光工程」という。）の際には透過補正板１８を露光領域内である液浸容器１６上の上部（天面を封止する位置）に移動させる。

厳密に言えば、垂直露光時又は狭角傾斜回転露光工程のときには、照度分布を生じることになるが、狭角テーパ状には、殆ど影響を与えず、実用上支障がない。なお、狭角傾斜露光工程のときも含めて、傾斜露光時の光の入射角度に対応して、それぞれ適切な透過補正板を複数種類用意しておき、傾斜露光時の光の入射角度に応じて、透過補正板を切り替えて使用する態様も可能である。

このような透過補正板１８を用いることにより、照明ユニット６０から入射した露光光が当該透過補正板１８及び液浸用の液体である純水７０を介し、透光性基板２２に到達した際、透光性基板２２上で露光光の光量が全面にわたり均一になる。こうして、傾斜回転中の光軸距離に応じた照度変化や、面内での照度分布も補正可能なため、比較的大きなサイズ（長尺）のノズルプレートを作製する場合でも、バラツキの少ない安定したノズル形成が可能となる。

また、液浸用液体である純水７０の表面、即ち空気と接する境界の面と接するように透過補正板１８を配置し、液体を充満した状態で露光を行うことにより、液体の波打ちや気泡の巻き込みなど液浸露光に特有の弊害を防止することができる。

液浸傾斜露光時に透光性基板２２上での光量を均一化するための他の方法として、透光性基板２２と液浸に用いられる液体の液面とを平行にする方法も考えられるが、液面と透光性基板２２とを常に平行の状態に保つことは、そのための装置等が必要となりコストアップに繋がる。さらに、液面に対して大きな入射角度で光を入射させると（透光性基板２２に対する露光光の入射角度が大きい場合）、露光光が液面で全反射してしまい、露光マスクに露光光が到達しないという問題もある。

具体的には、屈折率１．４４の純水の場合、液面に対し４５度前後の角度で光を入射させた場合、全反射してしまうため、これより大きな入射角度で光を入射させることはできない。よって、露光装置の構成上からも液面に対し垂直に露光光を入射させることが望ましく、液浸露光装置により傾斜露光により広角のテーパを形成する場合には、上記のような透過補正板を用いる態様が好ましい。

また、液浸容器１６内には受光センサ９２が設けられており、露光光が透光性基板２２により反射された光の光量を測定することができる構成となっている。これにより、透光性基板２２の取り付け位置やステージ２０の傾斜角が所定の位置や角度に設置されているか否かを確認することができる。透光性基板２２がステージ２０に対して浮いている場合には、ステージ２０の回転により反射光の照射の方向が変動するため、受光センサ９２が検出する透光性基板２２からの反射光量は、ステージ２０の回転に伴い変化する。よって、この反射光量の変動により、透光性基板２２がステージ２０に確実に固定されているか否かを検出することができる。また、ステージ２０の傾斜角度が所定の傾斜角度で設置されていない場合には、所定の傾斜角度となるように、受光センサ９２における反射光量に基づき、ステージ２０の傾斜角を調整することが可能である。

更に、本例では、上述のとおり、ステージ２０の回転軸２１、自在継手７４、ステージ回転モータ７６、直動ガイド８０、スライダ８２、及び傾斜揺動モータ８４等によって傾斜機構部９４が構成されているが、この傾斜機構部９４とこれに支持されている液浸容器１６及びステージ２０を含む全体を露光光の光軸に平行な軸を中心として、水平面内で回転させることが可能な光軸回転モータ９６が設けられている。光軸回転モータ９６により、全体が光軸回りに回転する構成になっているため、光量分布の均一性をより一層高めることができる。

［ノズルプレートおよびノズルプレートの製造方法］
次に、本発明に係るノズルプレートの製造方法によって製造される各種のノズルプレートについて、その製造方法とともに、各実施形態に分けて、詳細に説明する。

（第１実施形態）
図６（Ａ）は、第１実施形態に係るノズルプレートの一例を示す断面図である。図面中の矢印Ｅは液体の吐出方向を示す。図６（Ａ）では、図示の便宜上、ノズル５１を２つのみ描いてあるが、ノズル５１の数は特に限定されない。

図６（Ａ）において、ノズルプレート３０ａは、液体流入側（図中の上側である）の面に開口したテーパ形状の複数のテーパ形状開口部５１ａを有するテーパ形状開口層３１と、液体吐出側（図中の下側である）の面に開口したＲ形状（曲面状）の複数のＲ形状開口部５１ｂを有するＲ形状開口層３２とを備える。

ここで、Ｒ形状開口部５１ｂは、少なくとも液体流入側の周縁（エッジ）が曲面状となっている。言い換えると、Ｒ形状開口部５１ｂは、テーパ形状開口部５１ａに連続する部分が丸みを有する形状となっている。

Ｒ形状開口層３２は、開口パターンが形成されている金属の薄膜からなる金属パターン膜３２１（第１の導電膜）と、金属パターン膜３２１の上面を覆うとともに、金属パターン膜３２１の開口パターン３２０の縁から開口パターン３２０の内壁面へオーバハングした金属の薄膜からなるオーバハング金属膜３２２（第２の導電膜）とによって構成されている。

このようなＲ形状開口層３２のうちで少なくともオーバハング金属膜３２２は、露光用の光を透過しない非透光性を有している。

また、オーバハング金属膜３２２は、吐出液体に対して撥液性の材料を含む一方で、テーパ形状開口層３１は、オーバハング金属膜３２２より撥液性を低く設定する。すなわち、オーバハング金属膜３２２に対する液体の接触角は、テーパ形状開口層３１に対する液体の接触角よりも、大きい。

テーパ形状開口部５１ａにＲ形状開口部５１ｂが連続しており、これらのテーパ形状開口部５１ａおよびＲ形状開口部５１ｂによって、鋭角（０度より大きく９０度より小さい角度である）の変曲点なしで、液体流入側へ向けて広角で開口したノズル５１が構成されている。また、液体吐出側へ向けて液体吐出方向Ｅに沿って（すなわち液体吐出面３０ａに略直交して）開口したノズル５１が構成されている。

図６（Ｂ）は、図６（Ａ）のノズル５１の部分を拡大して示す拡大断面図である。図６（Ｂ）において、テーパ形状開口部５１ａは、液体流入側から液体吐出側に向けて流路幅が直線状に小さくなるテーパ形状（円錐台形状）を有している。Ｒ形状開口部５１ｂは、液体流入側から液体吐出側に向けて流路幅が曲線状に小さくなるＲ形状を有している。

詳細には、Ｒ形状開口部５１ｂのテーパ形状開口部５１ａに連続する部分は、オーバハング金属膜３２２の厚みに相当する半径を有する円弧形状となっており、Ｒ形状開口部５１ｂの液体吐出面３０ａに連続する部分は、液体吐出方向Ｅに沿ったストレート形状となっており、このストレート形状部分は液体吐出面３０に対して略垂直になっている。ただし、金属パターン膜３２１の厚みや、オーバハング金属膜３２２の形成（電鋳）の条件等によって、Ｒ形状開口部５１ｂの形状は、このような図６（Ｂ）に示す形状とは若干異なってくる場合がある。本発明において、Ｒ形状開口部５１ｂの液体流入側の部分が正確な円弧である場合や、Ｒ形状開口部５１ｂの液体吐出側の部分がストレート形状である場合に、限定されない。

なお、図６（Ｂ）に示すテーパ形状開口部５１ａは、液体流入側から液体吐出側に向けて、直線状に流路幅が小さくなる形状となっているが、図６（Ｃ）に示すテーパ形状開口部５１ａ’は、液体流入側から液体吐出側に向けて、曲線状に流路幅が小さくなる形状となっている。このようなテーパ形状開口部５１ａ’は、そのテーパ形状開口部５１ａ’を形成するときの露光光の波長を短波化（例えば３００ｎｍ以下）することにより得られる。

図６（Ｂ）に示すノズル５１は、液体流入側に向けてテーパ形状開口部５１ａを広角化でき且つテーパ形状開口部５１ａが液体流入側において直線状なので、液体の流入性能及び吐出性能において優れている。一方で、図６（Ｃ）に示すノズル５１は、液体流入側の断面積を極小化する際に有利である。

金属パターン膜３２１の一例の平面図を図７に示す。図７において、金属パターン膜３２１の開口３２０（以下「開口パターン」と称する）は、ノズル５１の配置パターン（例えば図２８に示すような２次元配列）と同じ配置パターンで形成されている。本例の金属パターン膜３２１の開口パターン３２０は略円形状であり、開口パターン３２０の半径は、Ｒ形状開口部５１ｂの液体吐出側端部の開口半径よりも、オーバハング金属膜３２２の厚み分だけ大きい。すなわち、ノズル５１の液体吐出側端部の開口幅は、金属パターン膜３２１の開口パターン３２０の開口幅よりも、オーバハング金属膜３２２が開口パターン３２０の内壁面に成膜している分だけ、小さい。なお、ノズル５１の液体吐出側端部の開口および金属パターン膜３２１の開口パターン３２０の形状は、本発明において、円形状に特に限定されない。

図８（Ａ）〜（Ｄ）および図９（Ｅ）〜（Ｈ）は、図６（Ａ）のノズルプレート３０ａの製造処理例の説明に用いる工程図である。

まず、図８（Ａ）に示すように、石英ガラスからなる透光性基板２２の上面の全面に、リフトオフ法あるいはエッチング法を用いて、ニッケル（Ｎｉ）の薄膜からなる金属パターン膜３２１を形成する。

透光性基板２２の材料は、後述の露光に用いる光を透過させる性質（透光性）を有する非導電性材料であれば、石英ガラスに特に限定されない。例えばｇ線（波長４３６ｎｍ）やｉ線（波長３６５ｎｍ）などの紫外線を露光に用いる場合には、その露光用の紫外線を透過させる非導電性材料を用いる。また、後述の共析電鋳で共析電鋳液中の導電性材料をほとんど析出させない程度の抵抗を有する非導電性材料であればよい。

金属パターン膜３２１の材料は、後述の共析電鋳の電極として使用可能な導電性材料であれば、ニッケルに特に限定されない。

金属パターン膜３２１の開口パターン３２０の開口幅は、形成しようとするノズル５１の液体吐出側端部の開口幅（すなわちＲ形状開口部５１ｂの液体吐出側端部の開口幅）よりも、オーバハング金属膜３２２の膜厚（例えば１〜５μｍ）の略２倍だけ、大きい。

金属パターン膜３２１の形成は、リフトオフ法やエッチング法に特に限定されず、例えばスクリーン印刷により行ってもよい。

次に、図８（Ｂ）に示すように、透光性基板２２の金属パターン膜３２１が形成されている面に、ニッケル（Ｎｉ）およびＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）を含有する電鋳液（メッキ液）を用いて共析電鋳を行い、金属パターン膜３２１の上面を覆うとともに、金属パターン膜３２１の開口パターン３２０の縁からその開口パターン３２０の内壁へオーバハングしたオーバハング金属膜３２２を形成する。ここで、共析電鋳は、オーバハング金属膜３２２が所定の膜厚（例えば１〜５μｍ）になるまで行う。

電鋳では、導電性材料である金属部分のみ析出が生じるので、金属パターン膜３２１の上面および開口パターン３２０の内壁が、ニッケルおよび撥液性材料のＰＴＦＥを含有する薄膜のオーバハング金属膜３２２によって均一の膜厚で覆われ、開口パターン３２０の縁ではＲ形状（曲面形状）となる。Ｒ形状の曲率は、薄膜のオーバハング金属膜３２２の膜厚によって決まる。すなわち、高精細なＲ形状を有するオーバハング金属膜３２２が形成される。

また、共析電鋳により、撥液性材料のＰＴＦＥがニッケルとともにオーバハング金属膜３２２として共に析出するので、オーバハング金属膜３２２が導電性だけでなく撥液性を有することになる。

なお、共析電鋳用の電鋳液は、ニッケルおよびＰＴＦＥを含有する場合に特に限定されず、次の電鋳の電極として使用可能であるとともに後述の露光でマスクとして使用可能であるように非透光性の導電性材料と、吐出液体に対して撥液性を有する撥液性材料とを含有し、これらの導電性材料および撥液性材料が共析される液体であればよい。

次に、図８（Ｃ）に示すように、透光性基板２２のオーバハング金属膜３２２が形成されている面の全面に、スピンコートやスキージ塗布により、ネガタイプのレジスト２４を付着させる。レジスト２４の膜厚は、例えば２０〜６０μｍとする。

なお、塗布による付着に代えて、ドライフイルムレジスト（ＤＦＲ）でラミネートするようにしてもよい。

次に、透光性基板２２に付着させたレジスト２４について、プリベークを行う。

次に、図８（Ｄ）に示すように、透光性基板２２のレジスト２４を付着させた面とは反対側の面に対して斜め方向から光を照射しつつ、透光性基板２２を回転させて、レジスト２４を感光させる露光（以下「裏面傾斜回転露光」という）を行うことにより、オーバハング金属膜３２２をマスクとして用いてＲ形状開口部５１ｂのみに光を透過させて、レジスト２４中にテーパ形状の感光部２５を形成する。

このような裏面傾斜回転露光は、図１の露光装置１０のステージ２０上に、図２に示すように、透光性基板２２、マスクとしてのＲ形状開口層３２（金属パターン膜３２１およびオーバハング金属膜３２２）、および、レジスト２４からなる構造体を載置して行う。ここで、広角のテーパ形状を形成するには、純水中で裏面傾斜回転露光を行うことが、好ましい。

次に、露光後のレジスト２４について現像を行う。そうすると、図９（Ｅ）に示すように、テーパ形状の感光部２５を残して、非感光部が除去される。

次に、図９（Ｆ）に示すように、テーパ形状の感光部２５を型として用い、オーバハング金属膜３２２を電極として用いて、ニッケルを含有する電鋳液で電鋳（ニッケル電鋳）を行って、オーバハング金属膜３２２上に、テーパ形状開口部５１ａを有するテーパ形状開口層３１を堆積する。そうすると、鋭角（０度より大きく９０度より小さい角度である）の変曲点がなく、Ｒ形状開口部５１ｂとこれに連続したテーパ形状開口部５１ａからなるノズル５１が形成される。テーパ形状開口層３１の厚みは、例えば１０〜５０μｍとする。

次に、図９（Ｇ）に示すように、ニッケル電鋳の型として用いた感光部２５を、有機溶媒により、除去する。

そして、図９（Ｈ）に示すように、金属パターン膜３２１、オーバハング金属膜３２２およびテーパ形状開口層３１からなるノズルプレート３０ａを、透光性基板２２から剥離する。ここで、金属パターン膜３２１は、オーバハング金属膜３２２に密着したまま、透光性基板２２から剥離される。

なお、図６（Ａ）に本実施形態の一例として示すノズルプレート３０ａは、液体流入側の面（テーパ形状開口層３１の上面である）のテーパ形状開口部５１ａの周辺が平面となっているが、図１０に本実施形態の他の例として示すノズルプレート３０ｂのように、ノズル５１の液体吐出側にストレート形状開口部５１ｓを付与するとともに、液体流入側の面のテーパ形状開口部５１ａの周辺に、溝３３を設けてもよい。

ノズル５１のストレート形状開口部５１ｓは、ノズル５１のＲ形状開口部５１ｂに連続して形成される。詳細には、Ｒ形状開口部５１ｂの液体吐出側端部は第１段の金属パターン膜３２１１の厚みに相当する長さのストレート形状を有するが、更に、第２段の金属パターン膜３２１２の厚みに相当する長さを有するストレート形状開口部５１ｓが、Ｒ形状開口部５１ｂの液体吐出側端部に連続して形成されている。

このようなストレート部５１ｓは、吐出安定性を一層向上させる。また、溝３３は、接着剤を用いてノズルプレート３０ｃを他の流路構造体（例えば図２９の連通板１５６）と接着する際に、余剰接着剤を溝３３内へ逃がす機能を有する。

図１１（Ａ）〜（Ｃ）は、図１０のノズルプレート３０ｂの製造処理例の説明に用いる工程図である。

図１１（Ａ）に示すように、透光性基板２２上に、開口パターン３２０を有する第１段の金属パターン膜３２１１を形成した後、図１１（Ｂ）に示すように、第１段の金属パターン膜３２１１上に、開口パターン３２０とともに溝パターン３２１３を有する第２段の金属パターン膜３２１２を形成し、図１１（Ｃ）に示すように、第１段の金属パターン膜３２１１および第２段の金属パターン環状膜３２１２を覆うようにオーバハング金属膜３２２を形成する。その後の工程は、図８（Ｃ）から（Ｄ）および図９（Ｅ）〜（Ｈ）を用いて説明した前述の工程と同様であり、ここでは説明を省略する。そうすると、図１０に示すような、液体吐出側にストレート形状開口部５１ｓを有するとともに、液体流入側の面のテーパ形状開口部５１ａの周辺に溝３３が配置されたノズルプレート３０ｂが得られる。なお、溝３３の幅が、ノズル５１の液体流入側の面における開口幅（すなわちテーパ形状開口部５１ａの液体流入側端部の開口幅）よりも、小さくなるように、溝パターン３２１３の幅およびテーパ形状開口層３１の厚みを設定する。

（第２実施形態）
図１２は、第２実施形態に係るノズルプレートの一例を示す断面図である。図面中の矢印Ｅは液体の吐出方向を示す。図１２では、図示の便宜上、ノズル５１を２つのみ描いてあるが、ノズル５１の数は特に限定されない。なお、図１２において、図６（Ａ）に示した第１実施形態のノズルプレート３０ａと同じ構成要素には、同じ符号を付してあり、既に説明した内容については、ここではその説明を省略する。

図１２に示すように、本実施形態のノズルプレート３０ｃは、液体流入側の面に第１の溝３３１が形成されており、液体吐出側の面に第２の溝３３２が形成されている。液体流入側の面における第１の溝３３１の幅は、ノズル５１の液体流入側端部の開口幅（すなわちテーパ形状開口部５１ａの液体流入側端部の開口幅）よりも、小さい。また、液体吐出側の面における第２の溝３３２の幅は、ノズル５１の液体吐出側端部の開口幅（すなわちＲ形状開口部５１ｂの液体吐出側端部の開口幅）よりも、小さい。

液体流入側の面に形成されている第１の溝３３１は、接着剤を用いてノズルプレート３０ｃを他の流路構造体（例えば図２９の連通板１５６）と接着する際に、余剰接着剤を第１の溝３３１内へ逃がす機能を有する。液体吐出側の面に形成されている第２の溝３３２は、インクトラップ、ワイピング性向上などの機能を有する。さらに、ノズルプレート３０ｃの表裏に溝２６、２７が形成されていることにより、接着時や環境温度変化時の熱応力の緩和が可能となる。

図１３（Ａ）〜（Ｅ）および図１４（Ｆ）〜（Ｈ）は、図１２のノズルプレート３０ｃの製造処理例の説明に用いる工程図である。

まず、図１３（Ａ）に示すように、石英ガラスからなる透光性基板２２の上面の全面に、リフトオフ法あるいはエッチング法を用いて、ニッケル（Ｎｉ）の薄膜からなる金属パターン膜３２１を形成する。

本実施形態における金属パターン膜３２１には、ノズル５１の配置パターンと同じ配置パターンでＲ形状開口部５１ｂの形成に寄与する第１の開口パターン３２０ａが形成されているとともに、溝３３１、３３２の配置パターンと同じ配置パターンで溝３３１、３３２の形成に寄与する第２の開口パターン３２０ｂが形成されている。第１の開口パターン３２０ａの開口幅は、形成しようとするノズル５１の液体吐出側端部の開口幅（すなわちＲ形状開口部５１ｂの液体吐出側端部の開口幅）よりも、オーバハング金属膜３２２の膜厚の略２倍だけ、大きい。また、第２の開口パターン３２０ｂの開口幅は、形成しようとする第１の溝３３１の液体吐出面における幅よりも、オーバハング金属膜３２２の膜厚の略２倍だけ、大きい。

透光性基板２２の材料、金属パターン膜３２１の材料、および、金属パターン膜３２１の形成法については、第１実際形態において説明したので、ここではその説明を省略する。

次に、図１３（Ｂ）に示すように、透光性基板２２の金属パターン膜３２１が形成されている面に、非透光性の金属（例えばＮｉ）および撥液性材料（例えばＰＴＦＥ）を含有する電鋳液を用いて共析電鋳を行い、金属パターン膜３２１の上面を覆うとともに、金属パターン膜３２１の第１の開口パターン３２０ａの縁および第２の開口パターン３２０ｂの縁を覆うようにオーバハングしたオーバハング金属膜３２２を形成する。ここで、共析電鋳は、オーバハング金属膜３２２が所定の膜厚（例えば１〜５μｍ）になるまで行う。

電鋳では、金属部分のみ析出が生じるので、金属パターン膜３２１の上面、第１の開口パターン３２０ａの内壁、および、第２の開口パターン３２０ｂの内壁が、薄膜のオーバハング金属膜３２２によって均一の膜厚で覆われ、また、第１の開口パターン３２０ａの縁および第２の開口パターン３２０ｂの縁ではＲ形状となる。すなわち、高精細なＲ形状を有するオーバハング金属膜３２２が形成される。また、共析電鋳により、撥液性材料が金属とともにオーバハング金属膜３２２として析出するので、オーバハング金属膜３２２が導電性だけでなく撥液性を有することになる。

次に、図１３（Ｃ）に示すように、透光性基板２２のオーバハング金属膜３２２が形成されている面の全面に、ネガタイプのレジスト２４を付着させる。レジスト２４の膜厚は、例えば２０〜６０μｍとする。

次に、図１３（Ｄ）に示すように、透光性基板２２のレジスト２４を付着させた面とは反対側の面に、透明部２３ａおよび半透過マスク２３ｂ（光学フィルタ）を有する光学シート２３を付着する。詳細には、ノズル５１の一部となるＲ形状開口部５１ｂを透明部２３ａで覆う一方で、第２の溝３３２の一部となる開口部３３２ｂを半透過マスク２３ｂで覆う。ここで、半透過マスク２３ｂは、露光用の光について、透明部２３ａよりも、光透過率が低い。

次に、図１３（Ｅ）に示すように、オーバハング金属膜３２２をマスクとして用い、透光性基板２２のレジスト２４を付着させた面とは反対側の面に対して斜め方向から光を照射しつつ透光性基板２２を回転させ、レジスト２４を感光させる裏面傾斜回転露光を行うことにより、レジスト２４中に、テーパ形状の第１の感光部２５ａ、および、第２の感光部２５ｂを形成する。

ここで、光学シート２３の透明部２３ａを介して露光された第１の感光部２５ａは、レジスト２４を厚み方向において貫通するまで成長させる。一方で、光学シート２３の半透過マスク２３ｂを介して露光された第２の感光部２５ｂは、透過光量の相違により、レジスト２４の厚み方向において途中まで成長する。

このような裏面傾斜回転露光は、図１の露光装置１０を用いて行う。また、広角のテーパ形状を形成するには、純水中で裏面傾斜回転露光を行うことが、好ましい。

次に、露光後のレジスト２４について現像を行う。そうすると、図１４（Ｆ）に示すように、第１の感光部２５ａおよび第２の感光部２５ｂを残して、非感光部が除去される。

次に、図１４（Ｇ）に示すように、第１の感光部２５ａおよび第２の感光部２５ｂを型として用い、オーバハング金属膜３２２を電極として用いて、ニッケル電鋳を行う。

ここで、テーパ形状の開口部５１ａと、第１の溝３３１と、第２の溝３３２の上半分と、を有するテーパ形状開口層３１が、オーバハング金属膜３２２上に形成される。テーパ形状開口層３１の厚みは、例えば１０〜５０μｍである。第１の溝３３１の幅は、テーパ形状開口部５１ａの液体流入側端部の開口幅よりも、小さい。

次に、図１４（Ｈ）に示すように、ノズルプレート３０ｃ（Ｒ形状開口層３１およびテーパ形状開口層３２）を透光性基板２２から剥離するとともに、型として用いた第１の感光部２５ａおよび第２の感光部２５ｂを、有機溶媒により、除去する。

ここで、第２の感光部２５ｂが除去されることにより、液体吐出側の面に第２の溝３３２が形成される。第２の溝３３２の液体吐出側の面における幅は、Ｒ形状開口部５１ｂの液体吐出側端部の開口幅よりも、小さい。

（第３実施形態）
図１５は、第３実施形態に係るノズルプレートの一例を示す断面図である。図面中の矢印Ｅは液体の吐出方向を示す。図１５では、図示の便宜上、ノズル５１を２つのみ描いてあるが、ノズル５１の数は特に限定されない。なお、図１５において、図６（Ａ）に示した第１実施形態のノズルプレート３０ａと同じ構成要素には、同じ符号を付してあり、既に説明した内容については、ここではその説明を省略する。

また、図１５のノズルプレート３０ｄを液体吐出側から見た平面図を図１６に示す。なお、図１６の１５―１５線に沿った断面図が図１５となっている。

図１５および図１６に示すように、本実施形態のノズルプレート３０ｄは、テーパ形状開口層３１とＲ形状開口層３２としてのオーバハング金属膜３２３とからなる。また、オーバハング金属膜３２３の液体吐出側の面に凹形状のザグリ部３４が形成されている。ザグリ部３４は、ノズルプレート３０ｄの液体吐出側の面に開口している一方で、ノズル５１のＲ形状開口部５１ｂに連結している。ザグリ部２８の開口幅は、ノズル５１の液体吐出側端部の開口幅（Ｒ形状開口部５１ｂの液体吐出側端部の開口幅である）よりも大きい。このようなザグリ部２８は、ワイピング時やジャミング時にノズル５１を保護する機能を有し、液体吐出の信頼性を向上させる。

図１７（Ａ）〜（Ｅ）および図１８（Ｆ）〜（Ｉ）は、図１５のノズルプレート３０ｄの製造処理例の説明に用いる工程図である。

まず、図１７（Ａ）に示すように、非導電性および透光性を有する石英ガラスからなる透光性基板２２の上面の全面に、真空蒸着法を用いて、導電性および透光性を有するＩＴＯ（酸化インジウム・スズ）からなる透光性導電膜２６を形成する。

ＩＴＯは、酸化インジウムに５〜１０重量％の酸化スズを添加して作製され、Ｉｎ^３＋に置換したＳｎ^４＋がキャリア電子を発生する。

透光性基板２２の材料は、後述の露光に用いる光を透過させる透光性を有する非導電材料であれば、石英ガラスに特に限定されない。

透光性導電膜２６の材料は、透光性および導電性を有する材料であれば、ＩＴＯに特に限定されない。例えば、酸化亜鉛、酸化スズ、酸化ガリウムなどを用いてもよい。

また、透光性導電膜２６の形成は、真空蒸着法に特に限定されない。例えば、スパッタリング法、ゾルゲル法、クラスタビーム法、ＰＬＤ法を用いて、透光性導電膜２６を形成してもよい。

次に、図１７（Ｂ）に示すように、透光性導電膜２６上に、スピンコート法あるいはマスク露光法により、レジスト（例えば樹脂材料）からなる凸部２７（以下「ランドパターン」という）を形成する。

ランドパターン２７は、形成しようとするザグリ部（図１５の３４）の型となる形状（例えば円盤形状）を有する。ランドパターン２７は、形成しようとするノズル５１の液体吐出側端部の開口面積（すなわちＲ形状開口部５１ｂの液体吐出側端部の開口面積）よりも大きな面積を有する。このようなランドパターン２７を、ノズル５１の配置パターンと同一の配置パターンで、透光性導電膜２６上に配置する。

ランドパターン２７の材料は、露光用の光を透過させる透光性を有し、且つ、非導電性の材料であれば、樹脂材料に特に限定されない。

次に、図１７（Ｃ）に示すように、透光性基板２２の透光性導電膜２６およびランドパターン２７が形成されている面に、非透光性の金属（例えばＮｉ）および撥液性材料（例えばＰＴＦＥ）を含有する電鋳液を用いて共析電鋳を行い、透光性導電膜２６上の露出部分（すなわちランドパターン２７の非形成領域）を覆うとともに、ランドパターン２７の縁へその周囲からオーバハングしたオーバハング金属膜３２３を形成する。ここで、共析電鋳は、オーバハング金属膜３２３が所定の膜厚（例えば１〜５μｍ）になるまで行う。

電鋳では、金属部分のみ析出が生じるので、透光性導電膜２６の露出部分、および、析出した金属が成長するランドパターン２７の縁が、オーバハング金属膜３２３によって均一の膜厚で覆われ、また、ランドパターン２７の縁ではＲ形状となる。すなわち、高精細なＲ形状を有するオーバハング金属膜３２３が形成される。また、共析電鋳により、撥液性材料が金属とともにオーバハング金属膜３２３として析出するので、オーバハング金属膜３２３が導電性だけでなく撥液性を有することになる。

次に、図１７（Ｄ）に示すように、透光性基板２２のオーバハング金属膜３２３が形成されている面の全面に、ネガタイプのレジスト２４を付着させる。レジスト２４の膜厚は、例えば２０〜６０μｍとする。

次に、図１７（Ｅ）に示すように、オーバハング金属膜３２３をマスクとして用い、透光性基板２２のレジスト２４を付着させた面とは反対側の面に対して斜め方向から光を照射しつつ透光性基板２２を回転させ、レジスト２４を感光させる露光を行うことにより、レジスト２４中に、テーパ形状の感光部２５を形成する。

次に、露光後のレジスト２４について現像を行う。そうすると、図１８（Ｆ）に示すように、感光部２５を残して、非感光部が除去される。

次に、図１８（Ｇ）に示すように、感光部２５を型として用い、ニッケル電鋳を行って、オーバハング金属膜３２３上に、テーパ形状の開口部５１ａを有するテーパ形状開口層３１が形成される。ここで、テーパ形状開口層３１の厚みは、１０〜５０μｍである。

次に、図１８（Ｈ）に示すように、感光部２５を、有機溶媒により、除去する。

次に、図１８（Ｉ）に示すように、オーバハング金属膜３２３（Ｒ形状開口層３２）およびテーパ形状開口層３１からなるノズルプレート３０ｄを、透光性基板２２、透光性導電膜２６、および、ランドパターン２７から剥離する。

ここで、透光性基板２２に透光性導電膜２６およびランドパターン２７を付着させたまま残し、透光性基板２２、透光性導電膜２６、および、ランドパターン２７からなる基板２２ｂ（電極およびパターン付きの基板）として再利用すれば、図１７（Ａ）の透光性導電膜２６の形成工程および図１７（Ｂ）のランドパターン２７の形成工程を省略し、図１７（Ｃ）に示すオーバハング金属膜３２３の形成工程から開始してノズルプレート３０ｄを再製造できるので、経済的なノズルパターンの製造が可能となる。

（第４実施形態）
図１９は、第４実施形態に係るノズルプレートの一例を示す断面図である。図面中の矢印Ｅは液体の吐出方向を示す。図１９では、図示の便宜上、ノズル５１を２つのみ描いてあるが、ノズル５１の数は特に限定されない。なお、図１９において、図１５に示した第３実施形態のノズルプレート３０ｄと同じ構成要素には、同じ符号を付してあり、既に説明した内容については、ここではその説明を省略する。

図１９に示すように、本実施形態のノズルプレート３０ｅは、液体流入側の面に第１の溝３３１が形成されており、液体吐出側の面に第２の溝３３２が形成されている。液体流入側の面に形成されている第１の溝３３１の幅は、ノズル５１の液体流入側端部の開口幅（すなわちテーパ形状開口部５１ａの液体流入側端部の開口幅）よりも、小さい。また、液体吐出側の面に形成されている第２の溝３３２の幅は、ノズル５１の液体吐出側端部の開口幅（すなわちＲ形状開口部５１ｂの液体吐出側端部の開口幅）よりも、小さい。

液体流入側の面に形成されている第１の溝３３１は、接着剤を用いてノズルプレート３０ｃを他の流路構造体（例えば図２９の連通板１５６）と接着する際に、余剰接着剤を第１の溝３３１内へ逃がす機能を有する。液体吐出側の面に形成されている第２の溝３３２は、インクトラップ、ワイピング性向上などの機能を有する。さらに、ノズルプレート３０ｃの表裏に溝２６、２７が形成されていることにより、接着時や環境温度変化時の熱応力の緩和が可能となる。

本実施形態のノズルプレート３０ｅは、図１７の（Ａ）〜（Ｅ）および図１８の（Ｆ）〜（Ｉ）に示す第３実施形態において説明した製造処理に、第２実施形態において説明した工程を応用し、製造することができる。

具体的には、図２０（Ａ）に示す透光性導電膜２６の形成工程（図１７（Ａ）に示す第３実施形態における透光性導電膜２６の形成工程と同じである）の後に、図２０（Ｂ）に示す工程（図１７（Ａ）に示す第３実施形態における透光性導電膜２６の形成工程に対応する）において、Ｒ形状開口部５１ｂの形成に寄与するランドパターン２７ａと第２の溝３３２の形成に寄与する凸形状のパターン２７ｂ（例えばストライプパターン）とを、透光性導電膜２６上に形成する。

また、図２０（Ｃ）に示すオーバハング金属膜３２３の形成工程（図１７（Ｃ）に示す第３実施形態におけるオーバハング金属膜３２３の形成工程と同じである）と、図２０（Ｄ）に示すレジスト２４の付着工程（図１７（Ｄ）に示す第３実施形態におけるレジスト２４の付着工程と同じである）の後に、図２０（Ｅ）に示す露光工程（図１７（Ｅ）に示す第３実施形態における露光工程に相当する）において、図１３（Ｅ）に示す第２実施形態の露光工程と同様に、透光性基板２２のレジスト２４を付着させた面とは反対側の面に、透明部２３ａおよび半透過マスク２３ｂ（光学フィルタ）を有する光学シート２３を付着した状態で露光を行う。

その後の工程は、図１８（Ｒ）〜（Ｉ）に示す第３実施形態の各工程と同様であり、ここでは各工程の説明を省略する。

（第５実施形態）
図２１は、第５実施形態に係るノズルプレートの一例を示す断面図である。図面中の矢印Ｅは液体の吐出方向を示す。図２１では、図示の便宜上、ノズル５１を２つのみ描いてあるが、ノズル５１の数は特に限定されない。なお、図２１において、図１５に示した第３実施形態のノズルプレート３０ｄと同じ構成要素には、同じ符号を付してあり、既に説明した内容については、ここではその説明を省略する。

図２１に示すように、本実施形態のノズルプレート３０ｆは、液体流入側（図中の上側である）の面に開口した複数のテーパ形状開口部５１ａが形成されているテーパ形状開口層３１と、複数のＲ形状開口部５１ｂが形成されているＲ形状開口層３２と、液体吐出側（図中の下側）の面に開口した複数の逆テーパ形状開口部５１ｃが形成されている逆テーパ形状開口層３５とを備える。

逆テーパ形状開口部５１ｃは、Ｒ形状開口部５１ｂに連続して形成されており、液体吐出側から液体流入側に向けて流路幅が略直線状（または緩やかな曲線状）に小さくなる逆テーパ形状（逆円錐台形状）を有している。

本実施形態のノズルプレート３０ｆは、テーパ形状（円錐台形状）のテーパ形状開口部５１ａと、逆テーパ形状（逆円錐台形状）の逆テーパ形状開口部５１ｃとが、Ｒ形状開口部５１ｂを挟んで、上下に組み合わされた、所謂「くびれ形状」（鼓形状）のノズル５１を有する。

なお、逆テーパ形状開口部５１ｃの液体吐出側の端部は、Ｒ形状開口部５１ｂのＲ形状よりも曲率が小さい緩やかな曲面形状となっている。

図２２（Ｊ）〜（Ｍ）および図２２（Ｎ）〜（Ｐ）は、本実施形態に係るノズルプレート製造処理の一例の各工程の説明に用いる工程図である。

本実施形態では、第３実施形態において製造されたノズルプレート３０ｄ（以下「ノズルプレート中間構造体」と称する）に対して更に加工を施して、「くびれ形状」のノズルを有するノズルプレート３０ｆを製造する。

まず、図２２（Ｊ）に示すように、ノズルプレート中間構造体３０ｄの液体流入側の面、すなわち、テーパ形状開口部５１ａが形成されている面に、ネガタイプのレジスト２４を付着させた透光性基板２２を密着させる。

そうすると、図２２（Ｋ）に示すように、透光性基板２２によって押し出されたレジスト２４で、テーパ形状開口部５１ａ内およびＲ形状の開口部５１ｂ内が埋まるとともに、Ｒ形状開口部５１ｂの液体吐出側（ザグリ部３４が形成されている側である）の端部からレジスト２４が突出する。

次に、図２２（Ｌ）に示すように、ノズルプレート中間構造体３０ｄの液体吐出側の面、すなわち、ザグリ部３４が形成されている面に、さらにネガタイプのレジスト２４を付着させる。

そうすると、テーパ形状開口部５１ａおよびＲ形状開口部５１ｂに埋められていたレジスト２４と、後からザグリ部３４側から埋められたレジスト２４とが結合する。

次に、図２２（Ｍ）に示すように、オーバーハン金属膜３２３（Ｒ形状開口層３２）をマスクとして用い、ノズルプレート中間構造体３０ｄの液体流入側の面（透光性基板２２のレジスト２４を付着させた面とは反対側の面である）に対して斜め方向から光を照射しつつ透光性基板を回転させ、レジスト２４を感光させる裏面傾斜回転露光を行うことにより、レジスト２４中に、テーパ形状感光部２９ａと逆テーパ形状感光部２９ｂとが組合された鼓形状の感光部２９が形成される。

次に、透光性基板２２をノズルプレート３０ｄから剥離して、露光後のレジスト２４について現像を行う。そうすると、図２３（Ｎ）に示すように、テーパ形状感光部２９ａおよび逆テーパ形状感光部２９ｂを残して、非感光部が除去される。

次に、図２３（Ｏ）に示すように、逆テーパ形状感光部２９ｂを型として用い、金属（例えばＮｉ）および撥液性材料（例えばＰＴＦＥ）を含有する電鋳液を用いて共析電鋳を行い、Ｒ形状開口層３２の液体吐出側の面に、逆テーパ形状（逆円錐台形状）の逆テーパ形状開口部５１ｃを有する逆テーパ形状開口層３５を形成する。

電鋳では、金属部分のみ析出が生じるので、逆テーパ形状開口部５１ｃの液体吐出側の端部は緩やかな曲面形状となる。

次に、有機溶媒により、感光部２９ａ、２９ｂを、除去すると、図２３（Ｐ）に示すように本実施形態のノズルプレート３０ｆが得られる。すなわち、液体流入側の端部がテーパ形状（円錐台形状）を有したテーパ形状開口部５１ａであり、これにＲ形状を有したＲ形状開口部５１ｂが連続し、これに逆テーパ形状（逆円錐台形状）を有した逆テーパ形状開口部５１ｂが連続し、且つ、液体吐出側の端部が緩やかな曲面形状となったノズル５１となる。

なお、図２２（Ｍ）の露光工程において、裏面傾斜回転露光を行う場合、すなわち、透光性基板２２の裏面に対して斜めから光を照射しつつ透光性基板２２を回転させて露光を行う場合を例に説明したが、本発明はこのような場合に限定されず、図２２（Ｍ）の露光工程において、透光性基板２２の裏面に対して垂直に光を照射する露光（裏面垂直露光）を行うようにしてもよい。このように裏面垂直露光を行うと、Ｒ形状開口部５１ｂに逆テーパ形状開口部５１ｃが連結する代わりに、ストレート形状の開口部が連結されることになり、更なる液体の飛翔安定化を図ることが可能となる。この場合、図１０と同様に、テーパ形状開口部５１ａに、Ｒ形状開口部５１ｂ、ストレート形状開口部が順に連結した「ストレート付き」のノズルが形成されることになる。

また、図２３（Ｏ）に示す逆テーパ形状開口層３５の形成工程では、共析電鋳により逆テーパ形状開口層３５を形成する場合を例に説明したが、特に共析電鋳には限定されず、塗布、蒸着などによりテーパ形状開口層３５を形成してもよい。例えば、フッ素系、シリコーン系、または、フリオロシリコーン系の撥水剤によるコーティングを行ってもよい。

また、図１５に示す第３実施形態のノズルプレート３０ｄを中間構造体として用いる場合を例に説明したが、図１９に示す第４実施形態のノズルプレート３０ｅを中間構造体として用いることにより、図２４に示す本実施形態の他の例のノズルプレート３０ｇを製造するようにしてもよい。

図２４に示す本実施形態の他の例のノズルプレート３０ｇは、くびれ形状のノズル５１（５１ａ、５１ｂ、５１ｃ）を有するとともに、液体流入側に第１の溝３３１を有し、且つ、液体吐出側に第２の溝３３２を有する。

このようなノズルプレート３０ｇは、図１９に示す第４実施形態のノズルプレート３０ｅを中間構造体として用い、図２２（Ｊ）〜（Ｍ）および図２３（Ｎ）〜（Ｐ）に示す各工程と同様の工程を行うことにより得られる。ただし、図２０（Ｅ）に示す露光の後、図２３（Ｎ）に示すレジスト除去において、第２の溝３３２内のレジスト２４は除去せず残しておき、図２３（Ｏ）に示す共析電鋳（逆テーパ形状開口層の形成）を行う。

そうすると、図２５に示すように、第２の溝３３２内に残されたレジスト２４は非導電性なので、第２の溝３３２のレジスト２４の露出部分には電鋳時に金属が析出しない。よって、第２の溝３３２の開口３５０が形成される。また、第２の溝３３２は、親液性のテーパ形状開口層３１の一部を有することになる。

その後、感光部２９ａ、２９ｂとともに、第２の溝３３２内のレジスト２４を除去すると、図２４に示す本実施形態のノズルプレート３０ｇが得られる。

また、本実施形態では、逆テーパ形状開口層３５が撥液性を有しているので、オーハング電鋳層３２３は、撥液性材料を含む電鋳液を用いた電鋳ではなく、撥液性材料を含まない電鋳液を用いた電鋳で形成することが、好ましい。

〔インクジェット記録装置の全体構成〕
次に、本発明の実施形態に係るノズルプレートの製造方法によって製造されたノズルプレートを用いたインクジェットヘッドを備えるインクジェット記録装置の例について説明する。

図２６は、本発明の実施形態に係る画像形成装置であるインクジェット記録装置の概略を示す全体構成図である。図２６に示すように、このインクジェット記録装置２１０は、インクの色毎に設けられた複数の液体吐出ヘッド（以下、単に「ヘッド」と称する場合あり）２１２Ｋ、２１２Ｃ、２１２Ｍ、２１２Ｙを有する印字部２１２と、各ヘッド２１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙに供給するインクを貯蔵しておくインク貯蔵／装填部２１４と、記録紙２１６を供給する給紙部２１８と、記録紙２１６のカールを除去するデカール処理部２２０と、ヘッド２１２Ｋ、２１２Ｃ、２１２Ｍ、２１２Ｙのノズル面（インク吐出面）に対向して配置され、記録紙２１６（記録媒体）の平面性を保持しながら記録紙２１６を搬送する吸着ベルト搬送部２２２と、印字部２１２による印字結果を読み取る印字検出部２２４と、印画済みの記録紙（プリント物）を外部に排紙する排紙部２２６を備えている。

インク貯蔵／装填部２１４は、各ヘッド２１２Ｋ，２１２Ｃ，２１２Ｍ，２１２Ｙに対応する色のインクを貯蔵するインクタンクを有し、各タンクは所要の管路を介してヘッド２１２Ｋ，２１２Ｃ，２１２Ｍ，２１２Ｙと連通されている。また、インク貯蔵／装填部２１４は、インク残量が少なくなるとその旨を報知する報知手段（表示手段、警告音発生手段）を備えるとともに、色間の誤装填を防止するための機構を有している。

図２６では、給紙部２１８の一例としてロール紙（連続用紙）のマガジンが示されているが、紙幅や紙質等が異なる複数のマガジンを併設してもよい。また、ロール紙のマガジンに代えて、又はこれと併用して、カット紙が積層装填されたカセットによって用紙を供給してもよい。

複数種類の記録紙を利用可能な構成にした場合、紙の種類情報を記録したバーコードあるいは無線タグ等の情報記録体をマガジンに取り付け、その情報記録体の情報を所定の読取装置によって読み取ることで、使用される用紙の種類を自動的に判別し、用紙の種類に応じて適切なインク吐出を実現するようにインク吐出制御を行うことが好ましい。

給紙部２１８から送り出される記録紙２１６はマガジンに装填されていたことによる巻き癖が残り、カールする。このカールを除去するために、デカール処理部２２０においてマガジンの巻き癖方向と逆方向に加熱ドラム２３０で記録紙２１６に熱を与える。このとき、多少印字面が外側に弱いカールとなるように加熱温度を制御するとより好ましい。

デカール処理後、カッター２２８によって、所定のサイズにカットされた記録紙２１６は、吸着ベルト搬送部２２２へと送られる。吸着ベルト搬送部２２２は、ローラ２３１、２３２間に無端状のベルト２３３が巻き掛けられた構造を有し、少なくともヘッド２１２Ｋ、２１２Ｃ、２１２Ｍ、２１２Ｙのノズル面及び印字検出部２２４のセンサ面に対向する部分が平面をなすように構成されている。

ベルト２３３は、記録紙２１６の幅よりも広い幅寸法を有しており、ベルト面には多数の吸引孔（不図示）が形成されている。図２６に示したとおり、ローラ２３１、２３２間に掛け渡されたベルト２３３の内側において印字部２１２のノズル面及び印字検出部２２４のセンサ面に対向する位置には吸着チャンバー２３４が設けられており、この吸着チャンバー２３４をファン２３５で吸引して負圧にすることによってベルト２３３上の記録紙２１６が吸着保持される。

ベルト２３３が巻かれているローラ２３１、２３２の少なくとも一方にモータ（不図示）の動力が伝達されることにより、ベルト２３３は図２６において、時計回り方向に駆動され、ベルト２３３上に保持された記録紙２１６は、図２６の左から右へと搬送される。なお、吸引吸着方式に代えて、静電吸着方式の搬送機構を用いる態様も可能である。

縁無しプリント等を印字するとベルト２３３上にもインクが付着するので、ベルト２３３の外側の所定位置（印字領域以外の適当な位置）にベルト清掃部２３６が設けられている。ベルト清掃部２３６の構成について詳細は図示しないが、例えば、ブラシ・ロール、吸水ロール等をニップする方式、清浄エアーを吹き掛けるエアーブロー方式、あるいはこれらの組み合わせなどがある。清掃用ロールをニップする方式の場合、ベルト線速度とローラ線速度を変えると清掃効果が大きい。

吸着ベルト搬送部２２２により形成される用紙搬送路上において印字部２１２の上流側には、加熱ファン２４０が設けられている。加熱ファン２４０は、印字前の記録紙２１６に加熱空気を吹きつけ、記録紙２１６を加熱する。印字直前に記録紙２１６を加熱しておくことにより、インクが着弾後乾き易くなる。

印字部２１２の各ヘッド２１２Ｋ，２１２Ｃ，２１２Ｍ，２１２Ｙは、当該インクジェット記録装置２１０が対象とする記録紙２１６の最大紙幅に対応する長さを有し、そのノズル面には最大サイズの記録媒体の少なくとも一辺を超える長さ（描画可能範囲の全幅）にわたりインク吐出用のノズルが複数配列されたフルライン型のヘッドとなっている（図２７参照）。

ヘッド２１２Ｋ，２１２Ｃ，２１２Ｍ，２１２Ｙは、記録紙２１６の送り方向に沿って上流側から黒（Ｋ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）の色順に配置され、それぞれのヘッド２１２Ｋ，２１２Ｃ，２１２Ｍ，２１２Ｙが記録紙２１６の搬送方向と略直交する方向に沿って延在するように固定設置される。

吸着ベルト搬送部２２２により記録紙２１６を搬送しつつ各ヘッド２１２Ｋ，２１２Ｃ，２１２Ｍ，２１２Ｙからそれぞれ異色のインクを吐出することにより記録紙２１６上にカラー画像を形成し得る。

このように、紙幅の全域をカバーするノズル列を有するフルライン型のヘッド２１２Ｋ，２１２Ｃ，２１２Ｍ，２１２Ｙを色別に設ける構成によれば、紙送り方向（副走査方向）について記録紙２１６と印字部２１２を相対的に移動させる動作を１回行うだけで（すなわち１回の副走査で）、記録紙２１６の全面に画像を記録することができる。これにより、記録ヘッドが紙搬送方向と直交する方向に往復動作するシリアルスキャン型（シャトル型）ヘッドに比べて高速印字が可能であり、生産性を向上させることができる。

本例では、ＫＣＭＹの標準色（４色）の構成を例示したが、インク色や色数の組合せについては本実施形態に限定されず、必要に応じて淡インク、濃インク、特別色インクを追加してもよい。例えば、ライトシアン、ライトマゼンタなどのライト系インクを吐出するインクジェットヘッドを追加する構成も可能である。また、各色ヘッドの配置順序も特に限定はない。

図２６に示した印字検出部２２４は、印字部２１２の打滴結果を撮像するためのイメージセンサ（ラインセンサ又はエリアセンサ）を含み、該イメージセンサによって読み取った打滴画像から、ノズルの目詰まりや着弾位置ずれなどの吐出不良をチェックする手段として機能する。各色のヘッド２１２Ｋ，２１２Ｃ，２１２Ｍ，２１２Ｙにより印字されたテストパターン又は実技画像が印字検出部２２４により読み取られ、各ヘッドの吐出判定が行われる。吐出判定は、吐出の有無、ドットサイズの測定、ドット着弾位置の測定などで構成される。

印字検出部２２４の後段には後乾燥部２４２が設けられている。後乾燥部２４２は、印字された画像面を乾燥させる手段であり、例えば、加熱ファンが用いられる。

後乾燥部２４２の後段には、加熱・加圧部２４４が設けられている。加熱・加圧部２４４は、画像表面の光沢度を制御するための手段であり、画像面を加熱しながら所定の表面凹凸形状を有する加圧ローラ２４５で加圧し、画像面に凹凸形状を転写する。

こうして生成されたプリント物は排紙部２２６から排出される。本来プリントすべき本画像（目的の画像を印刷したもの）とテスト印字とは分けて排出することが好ましい。このインクジェット記録装置２１０では、本画像のプリント物と、テスト印字のプリント物とを選別してそれぞれの排出部２２６Ａ、２２６Ｂへと送るために排紙経路を切り換える不図示の選別手段が設けられている。なお、大きめの用紙に本画像とテスト印字とを同時に並列に形成する場合は、カッター（第２のカッター）２４８によってテスト印字の部分を切り離す。また、図２６には示さないが、本画像の排出部２２６Ａには、オーダー別に画像を集積するソーターが設けられる。

〔ヘッドの構造〕
次に、ヘッドの構造について説明する。色別の各ヘッド２１２Ｋ，２１２Ｃ，２１２Ｍ，２１２Ｙの構造は共通しているので、以下、これらを代表して符号２５０によってヘッドを示すものとする。

図２８（ａ）はヘッド２５０の構造例を示す平面透視図である。図２８（ａ）に示すように、本例のヘッド２５０は、インク滴の吐出口であるノズル５１と、各ノズル５１に対応する圧力室２５２等からなるインク室ユニット（１ノズルに対応した記録素子単位となる液滴吐出素子）２５３を千鳥でマトリクス状に（２次元的に）配置させた構造を有し、これにより、ヘッド長手方向（紙送り方向と直交する方向）に沿って並ぶように投影される実質的なノズル間隔（投影ノズルピッチ）の高密度化を達成している。なお、ノズル５１は、図６（Ａ）、図１０、図１２、図１５、図１９、図２１、図２４等において符号５１で説明したノズルである。

なお、記録媒体２１６の送り方向（矢印Ｓ方向；副走査方向）と略直交する方向（矢印Ｍ方向；主走査方向）に、記録媒体２１６の全幅に対応する長さ以上のノズル列を構成する形態は本例に限定されない。例えば、図２８（ａ）の構成に代えて、図２８（ｂ）に示すように、複数のノズル５１が２次元に配列された短尺のヘッドユニット２５０’を千鳥状に配列して繋ぎ合わせることで長尺化し、記録媒体２１６の全幅に対応する長さのノズル列を有するラインヘッドを構成してもよい。

各ノズル５１に対応して設けられている圧力室２５２は、その平面形状が概略正方形となっており、対角線上の両隅部にノズル５１への流出口と供給インクの流入口（供給口）２５４が設けられている。なお、圧力室２５２の形状は、本例に限定されず、平面形状が四角形（菱形、長方形など）、五角形、六角形その他の多角形、円形、楕円形など、多様な形態があり得る。また、ノズル５１や供給口２５４の配置も図２８（ａ），（ｂ）に示す配置に限定されず、例えば、圧力室２５２の略中央部にノズル５１を配置してもよいし、圧力室２５２の側壁側に供給口２５４を配置してもよい。

図２９は１チャンネル分の液滴吐出素子（１つのノズル５１に対応したインク室ユニット２５３）の立体的構成を示す断面図である。同図では、図１２で説明した第２実施形態のノズルプレート３０ｃを備えたヘッド２５０の例を示したが、他の実施形態のノズルプレート（図６（Ａ）の３０ａ、図１０の３０ｂ、図１５の３０ｃ、図１９の３０ｅ、図２１の３０ｆ、および、図２４の３０ｇ）を採用する構成も可能である。

図２９に示すように、ヘッド２５０は、ノズルプレート３０、連通板１５６、共通流路形成プレート２６０、絞り板２６２、圧力室形成プレート２６４、振動板２６６及び圧電素子２６８を積層接合した構造から成る。

連通板１５６は、圧力室２５２からノズル５１へと繋がる連通路（ノズル流路）２７０の一部を形成するとともに、各圧力室２５２にインクを供給するための共通流路２７２の床面を形成する部材である。共通流路形成プレート２６０は、共通流路２７２の側壁部となる部分を形成するとともに、連通路２７０の一部を形成する流路形成部材である。

絞り板２６２は、共通流路２７２から圧力室２５２にインクを導く個別供給路の絞り部（最狭窄部）としてのインク供給口２５４を形成するとともに、連通路２７０の一部を形成する流路形成部材である。圧力室形成プレート２６４は、圧力室２５２の側壁部となる部分を形成する流路形成部材である。

振動板２６６は、圧力室２５２の一部の面（図２９おいて天面）を構成する部材であるとともに、ステンレス鋼（ＳＵＳ）などの導電性材料から成り、各圧力室２５２に対応して配置される複数の圧電素子２６８の共通電極を兼ねる。なお、樹脂などの非導電性材料によって振動板を形成する態様も可能であり、この場合は、振動板部材の表面に金属などの導電材料による共通電極層が形成される。

振動板２６６の圧力室２５２側と反対側（図２９において上側）の表面には、各圧力室２５２に対応する位置に、圧電体２７４が設けられており、該圧電体２７４の上面（共通電極を兼ねる振動板２６６に接する面と反対側の面）に個別電極２７５が形成されている。この個別電極２７５と、これに対向する共通電極（ここでは振動板２６６が兼ねる）と、これら電極間に挟まれるように介在する圧電体２７４とで圧電素子（「アクチュエータ」に相当）２６８が構成される。圧電体２７４には、チタン酸ジルコン酸鉛やチタン酸バリウムなどの圧電材料が好適に用いられる。

図２９の構成において、共通流路２７２はインク供給源たるインクタンク（図２９中不図示、図２６においてインク貯留／装填部２１４と等価なもの）と連通しており、インクタンクから供給されるインクは図２９の共通流路２７２を介して各圧力室２５２に供給される。

圧力室２５２にインクを充填した状態で、個別電極２７５と共通電極（振動板２６６で兼用）と間に駆動電圧を印加することによって圧電素子２６８が変形して圧力室２５２の容積が変化し、これに伴う圧力変化によりノズル５１からインクが吐出される。インク吐出後、圧電素子２６８の変位が元に戻る際に、共通流路２７２からインク供給口２５４を通って新しいインクが圧力室２５２に再充填される。

図３０は、インクジェット記録装置２１０におけるインク供給系及び吐出回復装置（メンテナンスユニット）の構成を示した概要図である。インクタンク２９０はヘッド２５０にインクを供給するための基タンクであり、図２６で説明したインク貯蔵／装填部２１４に設置される。インクタンク２９０の形態には、インク残量が少なくなった場合に、補充口（図示省略）からインクを補充する方式と、タンクごと交換するカートリッジ方式とがある。使用用途に応じてインク種類を替える場合には、カートリッジ方式が適している。この場合、インクの種類情報をバーコード等で識別して、インク種類に応じて吐出制御を行うことが好ましい。

図３０に示したように、インクタンク２９０とヘッド２５０を繋ぐ管路の中間には、異物や気泡を除去するためにフィルタ２９２が設けられている。フィルタ・メッシュサイズはヘッド２５０のノズル径と同等若しくはノズル径以下（一般的には、２０μｍ程度）とすることが好ましい。

なお、図３０には示さないが、ヘッド２５０の近傍又はヘッド２５０と一体にサブタンクを設ける構成も好ましい。サブタンクは、ヘッドの内圧変動を防止するダンパー効果及びリフィルを改善する機能を有する。

また、インクジェット記録装置２１０には、ノズルの乾燥防止又はノズル近傍のインク粘度上昇を防止するための手段としてのキャップ２９４と、ノズル面２５０Ａの清掃手段としてのクリーニングブレード２９６とが設けられている。

これらキャップ２９４及びクリーニングブレード２９６を含むメンテナンスユニットは、図示を省略した移動機構によってヘッド２５０に対して相対移動可能であり、必要に応じて所定の退避位置からヘッド２５０下方のメンテナンス位置に移動されるようになっている。

キャップ２９４は、図示しない昇降機構によってヘッド２５０に対して相対的に昇降変位される。昇降機構は、電源ＯＦＦ時や印刷待機時にキャップ２９４を所定の上昇位置まで上昇させ、ヘッド２５０に密着させることにより、ノズル面２５０Ａのノズル領域をキャップ２９４で覆うようになっている。また、このキャップ２９４は、ノズル吸引のための吸引手段として機能するとともに、予備吐出のインク受けとしても機能し得る。

クリーニングブレード２９６は、ゴムなどの弾性部材で構成されており、図示を省略したブレード移動機構によりヘッド２５０のインク吐出面（ノズル面２５０Ａ）に摺動可能である。ノズル面２５０Ａにインク液滴又は異物が付着した場合、クリーニングブレード２９６をノズル面２５０Ａに摺動させることでノズル面２５０Ａを拭き取り、ノズル面２５０Ａを清浄化するようになっている。

印字中又は待機中において、特定のノズル５１の使用頻度が低くなり、そのノズル５１近傍のインク粘度が上昇した場合、粘度が上昇して劣化したインクを排出すべく、キャップ２９４に向かって予備吐出が行われる。

すなわち、ヘッド２５０は、ある時間以上吐出しない状態が続くと、ノズル近傍のインク溶媒が蒸発してノズル近傍のインクの粘度が高くなってしまい、吐出駆動用のアクチュエータ（圧電素子２６８）が動作してもノズル５１からインクが吐出しなくなる。したがって、この様な状態になる手前で（圧電素子２６８の動作によってインク吐出が可能な粘度の範囲内で）、インク受けに向かって圧電素子２６８を動作させ、粘度が上昇したノズル近傍のインクを吐出させる「予備吐出」が行われる。また、ノズル面２５０Ａの清掃手段として設けられているクリーニングブレード２９６等のワイパーによってノズル面２５０Ａの汚れを清掃した後に、このワイパー摺擦動作によってノズル５１内に異物が混入するのを防止するためにも予備吐出が行われる。なお、予備吐出は、「空吐出」、「パージ」、「唾吐き」などと呼ばれる場合もある。

また、ヘッド２５０内のインク（圧力室２５２内のインク）に気泡が混入した場合、ヘッド２５０にキャップ２９４を当て、吸引ポンプ２９７で圧力室２５２内のインク（気泡が混入したインク）を吸引により除去し、吸引除去したインクを回収タンク２９８へ送液する。この吸引動作は、初期のインクのヘッドへの装填時、或いは長時間の停止後の使用開始時にも行われ、粘度が上昇して固化した劣化インクが吸い出され除去される。

具体的には、ノズル５１や圧力室２５２内に気泡が混入したり、ノズル５１内のインクの粘度上昇があるレベルを超えたりすると、圧電素子２６８を動作させる予備吐出ではノズル５１からインクを吐出できなくなる。このような場合、ヘッド２５０のノズル面２５０Ａに、キャップ２９４を当てて圧力室２５２内の気泡が混入したインク又は増粘インクをポンプ２９７で吸引する動作が行われる。

ただし、上記の吸引動作は、圧力室２５２内のインク全体に対して行われるためインク消費量が大きい。したがって、粘度上昇が少ない場合はなるべく予備吐出を行うことが好ましい。また、好ましくは、キャップ２９４の内側が仕切壁によってノズル列に対応した複数のエリアに分割されており、これら仕切られた各エリアをセレクタ等によって選択的に吸引できる構成とする。

なお、本実施形態ではフルラインヘッドを例示したが、本発明の適用範囲はこれに限定されず、記録媒体の幅よりも短い長さのノズル列を有する短尺のヘッドを記録媒体の幅方向に走査させながら、記録媒体の幅方向の印字を行うシリアル型（シャトルスキャン型）ヘッドにも適用可能である。

また、上述の実施形態においては、インクジェットヘッドのノズルプレートを製造する方法について説明したが、本発明に係るノズルプレートの製造方法により製造されるノズルプレートの適用範囲は上述したインクジェト記録装置に限らず、工業用の精密塗布装置、レジスト印刷装置、電子回路基板の配線描画装置、染色加工装置など、液体を吐出（噴射）する各種の液滴吐出装置に用いられる液滴吐出ヘッドに適用可能である。

本発明は、本明細書において説明した例や図面に図示された例には限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の設計変更や改良を行ってよいのはもちろんである。

本発明の実施形態に係るノズルプレートの製造方法に用いられる露光装置の一例を示す構成図 露光装置の露光部の拡大図 ステージに取り付けられた受光センサの配置例を示す平面図 露光装置に用いられる照明ユニットの構成図 露光装置における傾斜回転機構の例を示す構成図 第１実施形態のノズルプレートの一例を示す断面図 図６のノズルプレートの金属パターン膜の一例を示す平面図 第１実施形態のノズルプレートの一例の製造方法の説明に用いる工程図 第１実施形態のノズルプレートの一例の製造方法の説明に用いる工程図 第１実施形態のノズルプレートの他の例を示す断面図 第１実施形態のノズルプレートの他の例の製造方法の説明に用いる工程図 第２実施形態のノズルプレートの一例を示す断面図 第２実施形態のノズルプレートの一例の製造方法の説明に用いる工程図 第２実施形態のノズルプレートの一例の製造方法の説明に用いる工程図 第３実施形態のノズルプレートの一例を示す断面図 図１５のノズルプレートの液体吐出側の面を示す平面図 第３実施形態のノズルプレートの一例の製造方法の説明に用いる工程図 第３実施形態のノズルプレートの一例の製造方法の説明に用いる工程図 第４実施形態のノズルプレートの一例を示す断面図 第４実施形態のノズルプレートの一例の製造方法の説明に用いる工程図 第５実施形態のノズルプレートの一例を示す断面図 第４実施形態のノズルプレートの一例の製造方法の説明に用いる工程図 第４実施形態のノズルプレートの一例の製造方法の説明に用いる工程図 第５実施形態のノズルプレートの他の例を示す断面図 第５実施形態のノズルプレートの一例の製造方法の説明に用いる説明図 本発明に係る画像形成装置の一例としてのインクジェット記録装置の全体構成図 図２６のインクジェット記録装置の印字部周辺の要部平面図 本発明係る液体吐出ヘッドの一例の構造例を示す平面透視図 液体吐出ヘッドの内部構造の一例を示す断面図 インクジェット記録装置におけるインク供給系の概略構成図 従来技術の説明に用いる説明図

符号の説明

１０…露光装置、１２…光源、１４…照射光学系、１６…液浸容器、１８…透過補正板、１９…回転軸、２０…ステージ、２２…透光性基板、２３…光学シート、２３ｂ…半透過膜（光学フィルタ）、２４…レジスト、２５、２５ａ、２５ｂ…レジストの感光部、２６…透光性導電膜、２７…レジストパターン膜（透光性非導電膜）、３０（３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、３０ｄ、３０ｅ、３０ｆ、３０ｇ）…ノズルプレート、３１…テーパ形状開口層（Ｎｉ電鋳層）、３２…Ｒ形状開口層（曲面付き開口層）、３２１、３２１１、３２１２…金属パターン膜、３２２…オーバハング金属膜、３２３…オーバハング金属膜（曲面付き開口層）、３３、３３１、３３２…溝、３４…ザグリ部、５１…ノズル、５１ａ…テーパ形状開口部、５１ｂ…Ｒ形状開口部（曲面付きの開口部）、５１ｃ…逆テーパ形状開口部、４８…受光センサ、５２…受光モニタ部、６０…照明ユニット、７０…純水、１０６…気体層、１０８…液体層、１１５…ノズルプレート、１１８…くびれ付き広角テーパノズル、１２０…半透過領域、１２１…半透過領域、１２２…露光マスク、１５０…ノズルプレート、１４０…凹部、１７０…反射部材、１９４…不透過膜、２１０…インクジェット記録装置、２１２Ｋ，２１２Ｃ，２１２Ｍ，２１２Ｙ…ヘッド、２５０…ヘッド

Claims (13)

1. 露光用の光を透過する透光性基板の一方の面に、少なくとも一方の周縁が曲面状である曲面付きの開口部を有する非透光性の曲面付き開口層を形成する曲面付き開口層形成工程と、
   前記透光性基板の前記曲面付き開口層が形成されている面に、感光性材料を付着させる感光性材料付着工程と、
   前記曲面付き開口層をマスクとして用いて、前記透光性基板の前記感光性材料を付着させた面とは反対側の面に対して斜め方向から前記露光用の光を入射させつつ、前記透光性基板を回転させて、前記感光性材料を露光することにより、前記感光性材料中にテーパ形状の感光部を形成する露光工程と、
   前記感光性材料を現像して、前記感光性材料のうちで前記テーパ形状の感光部を残し非感光部を除去する現像工程と、
   前記テーパ形状の感光部を型として用いて、前記曲面付き開口層上に、前記曲面付きの開口部に連結したテーパ形状の開口部を有するテーパ形状開口層を形成するテーパ形状開口層形成工程と、
   前記テーパ形状の感光部および前記透光性基板を除去する工程と、
   を含むことを特徴とするノズルプレートの製造方法。
2. 前記曲面付き開口層形成工程は、
   非導電性の前記透光性基板の一方の面に、開口パターンを有する第１の導電膜を形成するパターニング工程と、
   前記第１の導電膜を電極として用いて電鋳を行い、前記第１の導電膜上を覆うとともに前記第１の導電膜の開口縁からオーバハングした非透光性の第２の導電膜を形成するオーバハング電鋳工程と、
   を含むことを特徴とする請求項１に記載のノズルプレートの製造方法。
3. 前記オーバハング電鋳工程は、導電材料とともに撥液性材料を含む電鋳液を用い、該電鋳液中の撥液性材料を導電材料とともに前記第２の導電膜として共析させることを特徴とする請求項２に記載のノズルプレートの製造方法。
4. 露光用の光を透過する透光性基板の一方の面に、透光性導電膜を形成する透光性導電膜形成工程と、
   前記透光性導電膜上に、透光性非導電材料からなり、形成しようとする曲面付きの開口部の液体吐出側端部の開口面積よりも大きな面積を有するランドパターンを形成するパターニング工程と、
   前記透光性導電膜を電極として用いて電鋳を行い、前記透光性導電膜の前記ランドパターンの形成領域以外の露出部分を覆うとともに前記ランドパターンの縁へオーバハングした、曲面付きの開口部を有する非透光性の曲面付き開口層を形成するオーバハング電鋳工程と、
   前記透光性基板の前記曲面付き開口層が形成されている面に、感光性材料を付着させる感光性材料付着工程と、
   前記曲面付き開口層をマスクとして用いて、前記透光性基板の前記感光性材料を付着させた面とは反対側の面に対して斜め方向から前記露光用の光を入射させつつ、前記透光性基板を回転させて、前記感光性材料を露光することにより、前記感光性材料中にテーパ形状の感光部を形成する露光工程と、
   前記感光性材料を現像して、前記感光性材料のうちで前記テーパ形状の感光部を残し非感光部を除去する現像工程と、
   前記テーパ形状の感光部を型として用いて、前記曲面付き開口層上に、前記曲面付きの開口部に連結したテーパ形状の開口部を有するテーパ形状開口層を形成するテーパ形状開口層形成工程と、
   前記テーパ形状の感光部、前記透光性基板、前記透光性導電膜および前記ランドパターンを除去する工程と、
   を含むことを特徴とするノズルプレートの製造方法。
5. 露光用の光を透過する透光性基板と、該透光性基板上に配置されている透光性導電膜と、該透光性導電膜上に配置され、透光性非導電材料からなり、形成しようとする曲面付きの開口部の液体吐出側端部の開口面積よりも大きな面積を有するランドパターンと、を備えた透光性構造体を用意し、
   前記透光性導電膜を電極として用いて電鋳を行い、前記透光性導電膜の露出部分を覆うとともに前記ランドパターンの縁へオーバハングした、曲面付きの開口部を有する非透光性の曲面付き開口層を形成するオーバハング電鋳工程と、
   前記透光性基板の前記曲面付き開口層が形成されている面に、感光性材料を付着させる感光性材料付着工程と、
   前記曲面付き開口層をマスクとして用いて、前記透光性基板の前記感光性材料を付着させた面とは反対側の面に対して斜め方向から前記露光用の光を入射させつつ、前記透光性基板を回転させて、前記感光性材料を露光することにより、前記感光性材料中にテーパ形状の感光部を形成する露光工程と、
   前記感光性材料を現像して、前記感光性材料のうちで前記テーパ形状の感光部を残し非感光部を除去する現像工程と、
   前記テーパ形状の感光部を型として用いて、前記曲面付き開口層上に、前記曲面付きの開口部に連結したテーパ形状の開口部を有するテーパ形状開口層を形成するテーパ形状開口層形成工程と、
   前記テーパ形状の感光部および前記透光性構造体を除去する工程と、
   を含むことを特徴とするノズルプレートの製造方法。
6. 前記オーバハング電鋳工程は、導電材料とともに撥液性材料を含む電鋳液を用い、該電鋳液中の撥液性材料を導電材料とともに前記曲面付き開口層として共析させることを特徴とする請求項４または５に記載のノズルプレートの製造方法。
7. 請求項４乃至６の何れか１項に記載のノズルプレートの製造方法によって製造されたノズルプレートを用意し、
   感光性材料を付着させた前記透光性基板を前記ノズルプレートの前記テーパ形状の開口部が形成されている液体流入側の面に密着させるとともに、前記ノズルプレートの液体吐出側の面に感光性材料を付着させて、前記ノズルプレートの両面の感光性材料を前記テーパ形状の開口部および前記曲面付きの開口部を介して結合させる感光性材料付着工程と、
   前記曲面付き開口層をマスクとして用いて、前記透光性基板の前記感光性材料を付着した面とは反対側の面に対して露光用の光を入射させて、前記感光性材料を露光する露光工程と、
   前記感光性材料を現像して、前記感光性材料の非感光部を除去する現像工程と、
   前記感光性材料の感光部を型として用いて前記曲面付きの開口部に連結した逆テーパ形状の開口部を有する逆テーパ形状開口層を形成する逆テーパ形状開口層形成工程と、
   を含むことを特徴とするノズルプレートの製造方法。
8. 前記逆テーパ形状開口層形成工程は、導電材料および撥液性材料を含む電鋳液を用い、該電鋳液中の撥液性材料を導電材料とともに前記逆テーパ形状開口層として共析させることを特徴とする請求項７に記載のノズルプレートの製造方法。
9. 液体流入側の面に、前記テーパ形状の開口部の液体流入側の開口幅よりも小さな幅を有する溝を形成することを特徴とする請求項１乃至８の何れか１項に記載のノズルプレートの製造方法。
10. 液体吐出側の面に、前記曲面付きの開口部の液体吐出側の開口幅よりも小さな幅を有する溝を形成することを特徴とする請求項１乃至９の何れか１項に記載のノズルプレートの製造方法。
11. 前記露光工程は、純水中で行われることを特徴とする請求項１乃至１０の何れか１項に記載のノズルプレートの製造方法。
12. 請求項１乃至１１の何れか１項に記載のノズルプレートの製造方法により製造されたノズルプレートを有することを特徴とする液体吐出ヘッド。
13. 請求項１２に記載の液体吐出ヘッドを有することを特徴とする画像形成装置。

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