JP2008086242A - 吐出量制御方法、吐出圧制御方法、注入装置、微小体の製造方法、吐出量制御装置および吐出量制御プログラム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】バルブa4とバルブb7とが閉鎖された状態からバルブb7が開放される事で、インジェクション圧生成圧力と維持圧とが混合してインジェクション圧が生成され、当該インジェクション圧によってキャピラリ9から吐出対象の吐出が開始される。その後、レギュレータ3の出力圧力をインジェクション圧に設定した上でバルブa4を開放する事で、インジェクション圧をキャピラリ9に加え、バルブa4とバルブb7とが閉鎖された状態からバルブb7が開放され、維持圧生成圧力とインジェクション圧とが混合して維持圧が生成されて、当該維持圧によって吐出対象の吐出が終了される。その後、レギュレータ3の出力圧力を維持圧に設定した上でバルブa4を開放する事で、維持圧をキャピラリ9に加えて、吐出量を制御する方法。
【選択図】図2−2
Description
まず最初に、マイクロインジェクション装置の一例を説明する。本願の出願人の発明である「細胞内への液体吐出方法及びマイクロインジェクション装置」(特願2006−133512号)に開示したように、溶液を細胞内に吐出させるための圧力(以下、インジェクション圧と記述する)と、キャピラリへの溶液の逆流を防止するための圧力(以下、維持圧と記述する)との2つの圧力を順次切り替えて制御することで吐出量を調整する液体吐出量制御方法も考えられる。ここで、「溶液」とは、特許請求の範囲に記載の「吐出対象」に対応し、「細胞」とは、特許請求の範囲に記載の「微小体」に対応する。
続いて、図1および図2を用いて、実施例1における液体吐出量制御装置の主たる特徴を具体的に説明する。図1は実施例1におけるマイクロインジェクション装置の概略構成図を説明するための図であり、図2は、実施例1における液体吐出量制御方法の概要および特徴を説明するための図である。
次に、図3を用いて、実施例1における液体吐出量制御装置を説明する。図3は、実施例1における液体吐出量制御装置の構成を示すブロック図である。
次に、図4を用いて、実施例1における液体吐出量制御装置20による処理を説明する。図4は、実施例1における液体吐出量制御装置の処理の手順を示すフローチャートである。
上記したように、実施例1によれば、バルブa4とバルブb7とが閉鎖された状態からバルブb7が開放されることで、バルブa4とバルブb7との間に貯留されていたインジェクション圧生成圧力と、キャピラリ9に加えられていた維持圧とが混合してインジェクション圧が生成されて、当該インジェクション圧によってキャピラリ9から液体の吐出が開始された後に、レギュレータ3の出力圧力をインジェクション圧に設定したうえでバルブa4を開放することで、インジェクション圧をキャピラリ9に加え、バルブa4とバルブb7とが閉鎖された状態からバルブb7が開放されることで、バルブa4とバルブb7との間に貯留されていた維持圧生成圧力と、キャピラリ9に加えられていたインジェクション圧とが混合して維持圧が生成されて、当該維持圧によって液体の吐出が終了された後に、レギュレータ3の出力圧力を維持圧に設定したうえでバルブa4を開放することで、維持圧をキャピラリ9に加えるので、例えば、混合して生成されたインジェクション圧や維持圧に誤差が生じていた場合でも、インジェクション圧や維持圧を改めてキャピラリ9に加えることで誤差が吸収でき、液体の吐出量をより精度よく安定して制御することが可能になる。
まず最初に、図5を用いて、実施例2における液体吐出量制御装置の主たる特徴を具体的に説明する。図5は、実施例2における液体吐出量制御装置の概要および特徴を説明するための図である。
次に、図3を用いて、実施例2における液体吐出量制御装置を説明する。図3は、実施例1における液体吐出量制御装置の構成を示すブロック図である。
次に、図6を用いて、実施例2における液体吐出量制御装置20による処理を説明する。図6は、実施例2における液体吐出量制御装置の処理の手順を示すフローチャートである。
上記したように、実施例2によれば、インジェクション圧生成圧力としてレギュレータ3が出力した圧力の実測値を圧力センサa6により検知し、維持圧としてキャピラリ9に加えられている圧力の実測値をバルブb7が閉鎖される直前に圧力センサa6により検知し、バルブb7を開放して生成された混合圧力の値を圧力センサa6により検知して、インジェクション圧生成圧力を補正し、維持圧生成圧力としてレギュレータ3が出力した圧力の実測値を圧力センサa6により取得し、インジェクション圧としてキャピラリ9に加えられている圧力の実測値をバルブb7が閉鎖される直前に圧力センサa6により検知し、生成された混合圧力の値を圧力センサa6により検知して、維持圧生成圧力を補正する
ので、インジェクションの設定条件ごとに実測された圧力値から改めてインジェクション圧もしくは維持圧を生成するためにレギュレータ3が出力すべき圧力を再計算でき、いかなる設定条件においても液体の吐出量を安定させることが可能になる。
まず最初に、図7を用いて、実施例3における液体吐出量制御装置の主たる特徴を具体的に説明する。図7は、実施例3における液体吐出量制御装置の概要および特徴を説明するための図である。
次に、図8を用いて、実施例3における液体吐出量制御装置を説明する。図8は、実施例3における液体吐出量制御装置の構成を示すブロック図である。
次に、図9を用いて、実施例3における液体吐出量制御装置20による処理を説明する。図9は、実施例3における液体吐出量制御装置の処理の手順を示すフローチャートである。
上記したように、実施例3によれば、バルブa4とバルブb7とを開放してレギュレータ3が生成した維持圧をキャピラリ9に加えた状態で、バルブa4を閉鎖して圧力センサa6により所定時間における維持圧の変動を測定して圧力のリークを検知するので、インジェクションの操作前の準備段階でキャピラリ9の接続不良や管10の劣化による空気漏れを検知することができ、空気漏れによる液体吐出量が不安定な状態でのインジェクション操作を回避することが可能になる。
上記の実施例1〜3では、マイクロインジェクション装置100を構成する管10の体積が加えられる圧力によって変動する場合を説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、マイクロインジェクション装置100を構成する管10は体積変化がない素材で形成されている場合であってもよい。これにより、レギュレート室5、バルブa4、バルブb7およびキャピラリ9などを接続する管10の体積変動を抑止しすることができ、液体の吐出量を安定させることが可能になる。
上記の実施例1および実施例3では、予め算出されて格納されている体積比に基づいて、オペレータが入力したインジェクション圧Piからインジェクション圧生成圧力Phを算出し、オペレータが入力した維持圧Pcから維持圧生成圧力PLを算出する場合を説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば、様々なインジェクション圧Piに対応するインジェクション圧生成圧力Phを体積比に基づいて予め算出した結果と、様々な維持圧Pcに対応する維持圧生成圧力PLを体積比に基づいて予め算出した結果とを格納したテーブルを保持しておき、オペレータはテーブルにリスト化されているインジェクション圧と維持圧とをそれぞれ選択し、液体吐出量制御装置20は、テーブルを参照して、選択されたインジェクション圧と維持圧とから、それぞれインジェクション圧生成圧力と維持圧生成圧力とを対応付ける場合でもよい。
また、上記の実施例では、マイクロインジェクション装置を制御する場合を説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、一定量の液体を連続して分注する液体分注装置であれば本発明を同様に適用することができる。
また、上記の実施例において説明した各処理のうち、自動的におこなわれるものとして説明した処理の全部または一部を手動でおこなうこともでき(例えば、所定の一定時間後に空気漏れが生じているか否かを判定するのではなく、オペレータがインジェクション開始要求を入力した際に判定を行うなど)、あるいは、手動的におこなうものとして説明した処理の全部または一部を公知の方法で自動的におこなうこともできる。例えば、この他、上記文章中や図面中で示した処理手順、具体的名称、各種のデータやパラメータを含む情報については、特記する場合を除いて任意に変更することができる。例えば、図6に示す、補正インジェクション圧生成圧力の算出(ステップS608)は、補正維持圧生成圧力の算出(ステップS613)と同時に処理を開始してもよい。
ところで上記の実施例1〜3では、ハードウェアロジックによって各種の処理を実現する場合を説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、あらかじめ用意されたプログラムをコンピュータで実行するようにしてもよい。そこで以下では、図10を用いて、上記の実施例1に示した液体吐出量制御装置20と同様の機能を有する液体吐出量制御プログラムを実行するコンピュータの一例を説明する。図10は、実施例1における液体吐出量制御プログラムを実行するコンピュータを示す図である。
前記第一のバルブと前記第二のバルブとが閉鎖された状態から当該第二のバルブが開放されることで、前記キャピラリから前記溶液を微小体内に吐出させる圧力であるインジェクション圧を生成するために必要な圧力として前記第一のバルブと前記第二のバルブとの間に貯留されていたインジェクション圧生成圧力と、前記キャピラリへの前記吐出対象の逆流を防止する圧力として前記キャピラリに加えられていた維持圧とが混合して前記インジェクション圧が生成されて、当該インジェクション圧によって前記キャピラリから前記吐出対象の吐出が開始された後に、前記レギュレータの出力圧力を前記インジェクション圧に設定したうえで前記第一のバルブを開放することで、前記インジェクション圧を前記キャピラリに加えるインジェクション圧調整工程と、
前記第一のバルブと前記第二のバルブとが閉鎖された状態から当該第二のバルブが開放されることで、前記維持圧を生成するために必要な圧力として前記第一のバルブと前記第二のバルブとの間に貯留されていた維持圧生成圧力と、前記キャピラリに加えられていた前記インジェクション圧とが混合して前記維持圧が生成されて、当該維持圧によって前記吐出対象の吐出が終了された後に、前記レギュレータの出力圧力を前記維持圧に設定したうえで前記第一のバルブを開放することで、前記維持圧を前記キャピラリに加える維持圧調整工程と、
を含んだことを特徴とする吐出量制御方法。
前記インジェクション圧生成圧力として前記レギュレータが出力した実測値を前記第一の圧力センサにより検知し、前記維持圧として前記キャピラリに加えられている圧力の実測値を前記第二の圧力センサにより検知し、前記第二のバルブを開放して生成された混合圧力の値を前記第二の圧力センサにより検知して、これらの値から補正した体積比を用いて前記インジェクション圧生成圧力を補正する補正インジェクション圧生成圧力算出工程と、
前記維持圧生成圧力として前記レギュレータが出力した圧力の実測値を前記第一の圧力センサにより取得し、前記インジェクション圧として前記キャピラリに加えられている圧力の実測値を前記第二の圧力センサにより検知し、生成された混合圧力の値を前記第二の圧力センサにより検知して、これらの値から補正した体積比を用いて前記維持圧生成圧力を補正する補正維持圧算出工程とを含むことを特徴とする付記1に記載の吐出量制御方法。
前記補正維持圧生成圧力算出工程は、前記インジェクション圧として前記キャピラリに加えられている圧力の実測値として前記第二のバルブが閉鎖される直前に前記第一の圧力センサが検知した値を採用し、前記第二のバルブを開放して生成された混合圧力の値として前記第一の圧力センサが検知した値を採用して前記維持圧生成圧力を補正することを特徴とする付記2に記載の吐出量制御方法。
前記キャピラリ内の圧力を第一の圧力に維持した状態で、前記レギュレータと前記キャピラリとの間に設けられた第一のバルブを閉鎖する工程と、
前記レギュレータにより第二の圧力を生成する工程と、
前記第一のバルブに対して前記レギュレータ寄りに設けられた第二のバルブを閉鎖する工程と、
前記第一のバルブを開放し、前記第一の圧力と前記第二の圧力とを加えた第三の圧力により、前記吐出対象を前記キャピラリから吐出する工程と、
前記レギュレータにより前記第三の圧力を生成する工程と、
前記第二のバルブを開放する工程と、
前記第一のバルブを閉鎖する工程と、
前記レギュレータにより第四の圧力を生成する工程と、
前記第二のバルブを閉鎖する工程と、
前記第一のバルブを開放し、前記キャピラリ内圧力を前記第一の圧力に維持する工程と、
を備えることを特徴とする吐出圧制御方法。
前記キャピラリ内の圧力を第一の圧力に維持した状態で、前記レギュレータと前記キャピラリとの間に設けられた第一のバルブを閉鎖する工程と、
前記レギュレータにより第二の圧力を生成する工程と、
前記第一のバルブに対して前記レギュレータ寄りに設けられた第二のバルブを閉鎖する工程と、
前記第一のバルブを開放し、前記第一の圧力と前記第二の圧力とを加えた第三の圧力により、前記吐出対象を前記キャピラリから吐出する工程と、
前記キャピラリから前記吐出対象を吐出した状態で、前記レギュレータにより前記第三の圧力を生成する工程と、
を備えることを特徴とする吐出圧制御方法。
前記キャピラリ内の圧力を第一の圧力に維持した状態で、前記レギュレータにより第二の圧力を生成し、前記第一の圧力と前記第二の圧力とを加えた第三の圧力により前記吐出対象を前記キャピラリから吐出する工程と、
前記キャピラリから吐出対象を吐出している状態で、前記レギュレータにより前記第三の圧力を生成し、キャピラリ内圧力を前記第三の圧力に維持する工程と、
を備えたことを特徴とする吐出圧制御方法。
前記キャピラリ内の圧力を第一の圧力に維持した状態で、前記レギュレータと前記キャピラリとの間の流路に設けられた第一のバルブを閉鎖する工程と、
前記第一のバルブと前記キャピラリとの間に設けられた圧力計により、前記第一のバルブと前記キャピラリとの間の圧力を計測する工程と、
前記計測の結果、所定時間内に前記圧力が所定値を下回った場合、その旨を通報する工程と、
を備えたことを特徴とする吐出圧制御方法。
前記微小体に吐出対象を注入するキャピラリと、
前記吐出対象の圧力を調整するレギュレータと、
前記キャピラリと、前記レギュレータとの間の流路に設けられた第一のバルブと、
前記第一のバルブと前記レギュレータとの間に設けられた第二のバルブと、
前記レギュレータ、前記第一のバルブ及び前記第二のバルブの動作を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、
前記キャピラリ内の圧力を第一の圧力に維持した状態で前記第一のバルブを閉鎖し、
前記レギュレータにより第二の圧力を生成させ、
前記第二のバルブを閉鎖する工程と、
前記第一のバルブを開放し、前記第一の圧力と前記第二の圧力とを加えた第三の圧力により、前記吐出対象を前記キャピラリから吐出させ、
前記キャピラリから前記吐出対象を吐出している状態で、前記レギュレータにより前記第三の圧力を生成させる制御を実行することを特徴とする注入装置。
前記微小体に前記注入対象を注入するキャピラリ内の圧力を第一の圧力に維持した状態で、前記キャピラリを前記微小体に挿し入れる工程と、
レギュレータにより第二の圧力を生成し、前記第一の圧力と前記第二の圧力とを加えた第三の圧力により前記注入対象を前記キャピラリから前記微小体に注入する工程と、
前記注入対象を注入している状態で、前記レギュレータにより前記第三の圧力を生成し、キャピラリ内圧力を前記第三の圧力に維持する工程と、
前記レギュレータにより第四の圧力を生成し、前記第三の圧力と前記第四の圧力を加えることによって前記キャピラリ内圧力を前記第一の圧力に維持する工程と、
前記キャピラリを前記微笑体から取り外す工程と、
を備えたことを特徴とする微小体の製造方法。
前記第一のバルブと前記第二のバルブとが閉鎖された状態から当該第二のバルブが開放されることで、前記キャピラリから前記溶液を微小体内に吐出させる圧力であるインジェクション圧を生成するために必要な圧力として前記第一のバルブと前記第二のバルブとの間に貯留されていたインジェクション圧生成圧力と、前記キャピラリへの前記吐出対象の逆流を防止する圧力として前記キャピラリに加えられていた維持圧とが混合して前記インジェクション圧が生成されて、当該インジェクション圧によって前記キャピラリから前記吐出対象の吐出が開始された後に、前記レギュレータの出力圧力を前記インジェクション圧に設定したうえで前記第一のバルブを開放することで、前記インジェクション圧を前記キャピラリに加えるインジェクション圧調整手段と、
前記第一のバルブと前記第二のバルブとが閉鎖された状態から当該第二のバルブが開放されることで、前記維持圧を生成するために必要な圧力として前記第一のバルブと前記第二のバルブとの間に貯留されていた維持圧生成圧力と、前記キャピラリに加えられていた前記インジェクション圧とが混合して前記維持圧が生成されて、当該維持圧によって前記吐出対象の吐出が終了された後に、前記レギュレータの出力圧力を前記維持圧に設定したうえで前記第一のバルブを開放することで、前記維持圧を前記キャピラリに加える維持圧調整手段と、
を備えたことを特徴とする吐出量制御装置。
前記第一のバルブと前記第二のバルブとが閉鎖された状態から当該第二のバルブが開放されることで、前記キャピラリから前記溶液を微小体内に吐出させる圧力であるインジェクション圧を生成するために必要な圧力として前記第一のバルブと前記第二のバルブとの間に貯留されていたインジェクション圧生成圧力と、前記キャピラリへの前記吐出対象の逆流を防止する圧力として前記キャピラリに加えられていた維持圧とが混合して前記インジェクション圧が生成されて、当該インジェクション圧によって前記キャピラリから前記吐出対象の吐出が開始された後に、前記レギュレータの出力圧力を前記インジェクション圧に設定したうえで前記第一のバルブを開放することで、前記インジェクション圧を前記キャピラリに加えるインジェクション圧調整手順と、
前記第一のバルブと前記第二のバルブとが閉鎖された状態から当該第二のバルブが開放されることで、前記維持圧を生成するために必要な圧力として前記第一のバルブと前記第二のバルブとの間に貯留されていた維持圧生成圧力と、前記キャピラリに加えられていた前記インジェクション圧とが混合して前記維持圧が生成されて、当該維持圧によって前記吐出対象の吐出が終了された後に、前記レギュレータの出力圧力を前記維持圧に設定したうえで前記第一のバルブを開放することで、前記維持圧を前記キャピラリに加える維持圧調整手順と、
をコンピュータに実行させることを特徴とする吐出量制御プログラム。
1 正圧ポンプ
2 負圧ポンプ
3 レギュレータ
4 バルブa
5 レギュレート室
6 圧力センサa
7 バルブb
8 圧力センサb
9 キャピラリ
10 管
20 液体吐出量制御装置
21 入力部
22 出力部
23 入出力制御I/F部
24 算出部
241 体積比算出部
242 インジェクション圧生成圧力算出部
243 維持圧生成圧力算出部
25 記憶部
251 圧力センサa6出力記憶部
252 算出体積比記憶部
253 インジェクション圧生成圧力記憶部
254 維持圧生成圧力記憶部
26 制御部
261 圧力センサa6出力検知部
262 レギュレータ3出力圧力制御部
263 バルブa4開閉制御部
264 バルブb7開閉制御部
Claims (10)
- 圧力を調整して出力するレギュレータと内部に吐出対象を充填したキャピラリとが管によって接続され、前記管における前記レギュレータ側から前記キャピラリの方向に第一のバルブと第二のバルブとが設置されたマイクロインジェクション装置を制御して、前記キャピラリからの吐出量を制御する吐出量制御方法であって、
前記第一のバルブと前記第二のバルブとが閉鎖された状態から当該第二のバルブが開放されることで、前記キャピラリから前記溶液を微小体内に吐出させる圧力であるインジェクション圧を生成するために必要な圧力として前記第一のバルブと前記第二のバルブとの間に貯留されていたインジェクション圧生成圧力と、前記キャピラリへの前記吐出対象の逆流を防止する圧力として前記キャピラリに加えられていた維持圧とが混合して前記インジェクション圧が生成されて、当該インジェクション圧によって前記キャピラリから前記吐出対象の吐出が開始された後に、前記レギュレータの出力圧力を前記インジェクション圧に設定したうえで前記第一のバルブを開放することで、前記インジェクション圧を前記キャピラリに加えるインジェクション圧調整工程と、
前記第一のバルブと前記第二のバルブとが閉鎖された状態から当該第二のバルブが開放されることで、前記維持圧を生成するために必要な圧力として前記第一のバルブと前記第二のバルブとの間に貯留されていた維持圧生成圧力と、前記キャピラリに加えられていた前記インジェクション圧とが混合して前記維持圧が生成されて、当該維持圧によって前記吐出対象の吐出が終了された後に、前記レギュレータの出力圧力を前記維持圧に設定したうえで前記第一のバルブを開放することで、前記維持圧を前記キャピラリに加える維持圧調整工程と、
を含んだことを特徴とする吐出量制御方法。 - 前記マイクロインジェクション装置が、前記第一のバルブと前記第二のバルブとの間を接続する管の内部圧力を検知する第一の圧力センサと、前記第二のバルブと前記キャピラリとの間を接続する管の内部圧力を前記キャピラリに加えられるキャピラリ側圧力として検知する第二の圧力センサとをさらに備えるものであって、
前記インジェクション圧生成圧力として前記レギュレータが出力した実測値を前記第一の圧力センサにより検知し、前記維持圧として前記キャピラリに加えられている圧力の実測値を前記第二の圧力センサにより検知し、前記第二のバルブを開放して生成された混合圧力の値を前記第二の圧力センサにより検知して、これらの値から補正した体積比を用いて前記インジェクション圧生成圧力を補正する補正インジェクション圧生成圧力算出工程と、
前記維持圧生成圧力として前記レギュレータが出力した圧力の実測値を前記第一の圧力センサにより取得し、前記インジェクション圧として前記キャピラリに加えられている圧力の実測値を前記第二の圧力センサにより検知し、生成された混合圧力の値を前記第二の圧力センサにより検知して、これらの値から補正した体積比を用いて前記維持圧生成圧力を補正する補正維持圧算出工程とを含むことを特徴とする請求項1に記載の吐出量制御方法。 - 前記補正インジェクション圧生成圧力算出工程は、前記維持圧として前記キャピラリに加えられている圧力の実測値として前記第二のバルブが閉鎖される直前に前記第一の圧力センサが検知した値を採用し、前記第二のバルブを開放して生成された混合圧力の値として前記第一の圧力センサが検知した値を採用して前記インジェクション圧生成圧力を補正し、
前記補正維持圧生成圧力算出工程は、前記インジェクション圧として前記キャピラリに加えられている圧力の実測値として前記第二のバルブが閉鎖される直前に前記第一の圧力センサが検知した値を採用し、前記第二のバルブを開放して生成された混合圧力の値として前記第一の圧力センサが検知した値を採用して前記維持圧生成圧力を補正することを特徴とする請求項2に記載の吐出量制御方法。 - 前記第一のバルブと前記第二のバルブとを開放して前記レギュレータが生成した前記維持圧を前記キャピラリに加えた状態で、前記第一のバルブを閉鎖して前記第一の圧力センサにより所定時間における前記維持圧の変動を測定して圧力のリークを検知するリーク検知工程をさらに含むことを特徴とする請求項3に記載の吐出量制御方法。
- 前記マイクロインジェクション装置を構成する前記管は、体積変化がない素材で形成されていることを特徴とする請求項1から4に記載の吐出量制御方法。
- 圧力を調整するレギュレータに接続され、微小体に吐出対象を注入するキャピラリからの吐出対象吐出圧を制御する吐出圧制御方法において、
前記キャピラリ内の圧力を第一の圧力に維持した状態で、前記レギュレータと前記キャピラリとの間に設けられた第一のバルブを閉鎖する工程と、
前記レギュレータにより第二の圧力を生成する工程と、
前記第一のバルブに対して前記レギュレータ寄りに設けられた第二のバルブを閉鎖する工程と、
前記第一のバルブを開放し、前記第一の圧力と前記第二の圧力とを加えた第三の圧力により、前記吐出対象を前記キャピラリから吐出する工程と、
前記レギュレータにより前記第三の圧力を生成する工程と、
前記第二のバルブを開放する工程と、
前記第一のバルブを閉鎖する工程と、
前記レギュレータにより第四の圧力を生成する工程と、
前記第二のバルブを閉鎖する工程と、
前記第一のバルブを開放し、前記キャピラリ内圧力を前記第一の圧力に維持する工程と、
を備えることを特徴とする吐出圧制御方法。 - 圧力を調整するレギュレータに接続され、吐出対象を吐出注入するキャピラリからの吐出対象吐出圧を制御する吐出圧制御方法において、
前記キャピラリ内の圧力を第一の圧力に維持した状態で、前記レギュレータと前記キャピラリとの間に設けられた第一のバルブを閉鎖する工程と、
前記レギュレータにより第二の圧力を生成する工程と、
前記第一のバルブに対して前記レギュレータ寄りに設けられた第二のバルブを閉鎖する工程と、
前記第一のバルブを開放し、前記第一の圧力と前記第二の圧力とを加えた第三の圧力により、前記吐出対象を前記キャピラリから吐出する工程と、
前記キャピラリから前記吐出対象を吐出した状態で、前記レギュレータにより前記第三の圧力を生成する工程と、
を備えることを特徴とする吐出圧制御方法。 - 圧力を調整するレギュレータに接続され、吐出対象を吐出するキャピラリからの吐出対象吐出圧を制御する吐出圧制御方法において、
前記キャピラリ内の圧力を第一の圧力に維持した状態で、前記レギュレータにより第二の圧力を生成し、前記第一の圧力と前記第二の圧力とを加えた第三の圧力により前記吐出対象を前記キャピラリから吐出する工程と、
前記キャピラリから吐出対象を吐出している状態で、前記レギュレータにより前記第三の圧力を生成し、キャピラリ内圧力を前記第三の圧力に維持する工程と、
を備えたことを特徴とする吐出圧制御方法。 - 微小体に吐出対象を注入する注入装置において、
前記微小体に吐出対象を注入するキャピラリと、
前記吐出対象の圧力を調整するレギュレータと、
前記キャピラリと、前記レギュレータとの間の流路に設けられた第一のバルブと、
前記第一のバルブと前記レギュレータとの間に設けられた第二のバルブと、
前記レギュレータ、前記第一のバルブ及び前記第二のバルブの動作を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、
前記キャピラリ内の圧力を第一の圧力に維持した状態で前記第一のバルブを閉鎖し、
前記レギュレータにより第二の圧力を生成させ、
前記第二のバルブを閉鎖する工程と、
前記第一のバルブを開放し、前記第一の圧力と前記第二の圧力とを加えた第三の圧力により、前記吐出対象を前記キャピラリから吐出させ、
前記キャピラリから前記吐出対象を吐出している状態で、前記レギュレータにより前記第三の圧力を生成させる制御を実行することを特徴とする注入装置。 - 注入対象が注入された微小体を製造する方法において、
前記微小体に前記注入対象を注入するキャピラリ内の圧力を第一の圧力に維持した状態で、前記キャピラリを前記微小体に挿し入れる工程と、
レギュレータにより第二の圧力を生成し、前記第一の圧力と前記第二の圧力とを加えた第三の圧力により前記注入対象を前記キャピラリから前記微小体に注入する工程と、
前記注入対象を注入している状態で、前記レギュレータにより前記第三の圧力を生成し、キャピラリ内圧力を前記第三の圧力に維持する工程と、
前記レギュレータにより第四の圧力を生成し、前記第三の圧力と前記第四の圧力を加えることによって前記キャピラリ内圧力を前記第一の圧力に維持する工程と、
前記キャピラリを前記微笑体から取り外す工程と、
を備えたことを特徴とする微小体の製造方法。
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