JPH10267006A - 液圧アクチュエータ制御装置 - Google Patents

液圧アクチュエータ制御装置

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JPH10267006A
JPH10267006A JP7382897A JP7382897A JPH10267006A JP H10267006 A JPH10267006 A JP H10267006A JP 7382897 A JP7382897 A JP 7382897A JP 7382897 A JP7382897 A JP 7382897A JP H10267006 A JPH10267006 A JP H10267006A
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Akio Osawa
昭夫 大沢
Shuichi Igarashi
秀一 五十嵐
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RIKEN SEIKI KK
RIKEN KIKI KK
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 昇圧過程で圧力に依存しない流量制御特性が
得られるポンプを減圧過程にも応用し、減圧過程で圧力
に依存しない流量制御特性を持つ精密な圧力制御若しく
は荷重制御を実現できる非常に実用性の高い液圧アクチ
ュエータ制御装置を提供することを目的とする。 【解決手段】 液圧アクチュエータ3の圧力の昇圧若し
くは減圧制御を給液管路4内の給液量若しくは戻液管路
5内の戻液量により制御する液圧アクチュエータ制御装
置であって、前記給液管路4には吐出量可変ポンプ1を
配設し、前記戻液管路5には吐出量可変ポンプ2を配設
して該吐出量可変ポンプ2の液体流出側に比例圧力制御
弁6や差圧弁7などの圧力制御弁を付設した液圧アクチ
ュエータ制御装置。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、液圧アクチュエー
タ制御装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】近年、
注目の分野である超高圧下の新物質の合成や物質特性の
測定を目的とした高圧プレスでは、最低でも2〜50M
N以上になるものもある。
【0003】この用途の一例として、70MPa以上の
油圧による圧力容器や油圧シリンダがあり、この圧力容
器や油圧シリンダの長時間の加減圧プログラム制御は、
最近の自動計測機器の発展と共に需要の伸びが大きくな
っている。
【0004】この種の制御では、圧力の上昇は定吐出型
油圧ポンプの駆動を誘導型モータからインバータ型モー
タにするだけで制御電圧に比例した高精度な圧力または
流量制御が可能となる。
【0005】一方、減圧は、通常、制御弁で行われ、前
記ポンプとは異なって駆動力が小さくても良い反面、流
入側の圧力が制御弁の通過流量に影響を与える。このた
め、精密な高圧制御を実現するため、従来の制御弁とは
異なり、圧力に依存しない流量特性を持つ機器が望まれ
ている。
【0006】本発明は、前記従来の課題を解決するため
になされたものであり、昇圧過程で圧力に依存しない流
量制御特性が得られるポンプを減圧過程にも応用し、減
圧過程で圧力に依存しない流量制御特性を持つ精密な圧
力制御若しくは荷重制御を実現できる非常に実用性の高
い液圧アクチュエータ制御装置を提供するものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】添付図面を参照して本発
明の要旨を説明する。
【0008】液圧アクチュエータ3の圧力の昇圧若しく
は減圧制御を給液管路4内の給液量若しくは戻液管路5
内の戻液量により制御する液圧アクチュエータ制御装置
であって、前記給液管路4には吐出量可変ポンプ1を配
設し、前記戻液管路5には吐出量可変ポンプ2を配設し
て該吐出量可変ポンプ2の液体流出側に比例圧力制御弁
6や差圧弁7などの圧力制御弁を付設したことに係るも
のである。
【0009】また、請求項1記載の液圧アクチュエータ
制御装置において、比例圧力制御弁6や差圧弁7などの
圧力制御弁を付設した吐出可変ポンプ2の流出側の圧力
を液圧アクチュエータ3からの制御圧力よりも高く設定
したことに係るものである。
【0010】また、液圧アクチュエータ23の圧力の昇圧
若しくは減圧制御を給液管路24内の給液量若しくは戻液
管路25内の戻液量により制御する液圧アクチュエータ制
御装置であって、前記給液管路24には昇圧用ポンプ21を
配設し、前記戻液管路25には減圧用ポンプ22を配設し、
該昇圧用ポンプ21及び減圧用ポンプ22には駆動用可変モ
ータ20を併設したことに係るものである。
【0011】また、請求項3記載の液圧アクチュエータ
制御装置において、給液管路24内に逆止弁28を設け、該
逆止弁28と昇圧用ポンプ21間にアンロード用電磁弁26を
付設し、減圧用ポンプ22の液体流出側には差圧弁30や比
例圧力制御弁などの圧力制御弁を配設すると共に、液圧
アクチュエータ23に連設するように減圧用ポンプ22の液
体流出側にバイパス用電磁弁27、液圧アクチュエータ23
側に逆止弁29を配設したことに係るものである。
【0012】
【発明の作用及び効果】給液管路4に吐出量可変ポンプ
1を配設して吐出量可変ポンプ1で液体を液圧アクチュ
エータ3に送り込むと、液圧アクチュエータ3の制御圧
力を上昇させることができ、戻液管路5に吐出量可変ポ
ンプ2を配設して該吐出量可変ポンプ2の液体流出側に
比例圧力制御弁6や差圧弁7などの圧力制御弁を付設
し、圧力制御弁を液圧アクチュエータ3の制御圧力以上
に設定し、吐出量可変ポンプ2で液体を圧力制御弁に送
り出すと、液圧アクチュエータ3の制御圧力を変動させ
ても、この制御圧力の変動により圧力制御弁を通過する
液体の通過流量が変動することなく、液圧アクチュエー
タ3の制御圧力を圧力に依存しない流量制御で減圧させ
ることができ、減圧過程で圧力に依存しない流量制御特
性を持つ精密な圧力制御若しくは荷重制御を実現できる
非常に実用性の高いものとすることができる。
【0013】尚、圧力制御弁を液圧アクチュエータ3の
制御圧力以下に設定すると、圧力制御弁に送り出された
液体が急激に流れるため、液圧アクチュエータ3の制御
圧力に影響を及ぼす可能性がある。
【0014】また、吐出量可変ポンプ2の流出側圧力を
検出して戻液管路5に配設した該吐出量可変ポンプ2の
吐出圧力を制御する比例圧力制御弁6や差圧弁7を圧力
制御弁として用いると、吐出量可変ポンプ2の流出側の
圧力を液圧アクチュエータ3の制御圧力より少しだけ高
い圧力に設定することができ、吐出量可変ポンプ2の流
出側の圧力を必要以上に高く設定しなくともよくなる。
【0015】また、比例圧力制御弁6や差圧弁7などの
圧力制御弁を付設した吐出量可変ポンプ2の流出側の圧
力を液圧アクチュエータ3からの制御圧力よりも高く設
定すると、吐出量可変ポンプ2から圧力制御弁へ送り出
す液体を必要以上に流出させずにすむ。
【0016】また、給液管路24に昇圧用ポンプ21を配設
して、昇圧用ポンプ21で液体を液圧アクチュエータ23に
送り込むと、液圧アクチュエータ23の制御圧力を上昇さ
せることができ、戻液管路25に減圧用ポンプ22を配設し
て、減圧用ポンプ22で液体を送り出すと、液圧アクチュ
エータ23の制御圧力を減圧させることができ、昇圧用ポ
ンプ21及び減圧用ポンプ22に駆動用可変モータ20を併設
することで、昇圧用ポンプ21及び減圧用ポンプ22を制御
することができ、非常に簡易な構成で液圧アクチュエー
タ23の制御圧力を高精度に昇圧及び減圧制御できる非常
に実用性の高いものとすることができる。
【0017】また、給液管路24内に逆止弁28を設け、逆
止弁28と昇圧用ポンプ21間にアンロード用電磁弁26を付
設し、減圧用ポンプ22の液体流出側には差圧弁30や比例
圧力制御弁などの圧力制御弁を配設すると共に、液圧ア
クチュエータ23に連設するように減圧用ポンプ22の液体
流出側にバイパス用電磁弁27、液圧アクチュエータ23側
に逆止弁29を配設すると、液圧アクチュエータ23を昇圧
する場合には、アンロード用電磁弁26をOFF状態、バ
イパス用電磁弁27をON状態とし、駆動用可変モータ20
を駆動すると、昇圧用ポンプ21から吐出する液体は逆止
弁28を通り液圧アクチュエータ23に流れて液圧アクチュ
エータ23の圧力を昇圧することができる。
【0018】液圧アクチュエータ23を減圧する場合に
は、アンロード用電磁弁26をON状態、バイパス用電磁
弁27をOFF状態とし、駆動用可変モータ20を駆動する
と、昇圧用ポンプ21から吐出する液体はアンロード用電
磁弁26を通りタンク31に戻り、同時に液圧アクチュエー
タ23から液体が戻液管路25を経由して減圧用ポンプ22を
通り、差圧弁30や比例圧力制御弁などの圧力制御弁を経
由してタンク31に戻り、液圧アクチュエータ23の圧力を
減圧することができる。
【0019】
【発明の実施の形態】本発明の一実施例に係る液圧アク
チュエータ制御装置に関して以下図面に基づき説明す
る。
【0020】液圧アクチュエータ3としての圧力容器3
の内圧制御に用いられる圧力容器3の圧力制御装置につ
いて図1に基づき以下説明する。
【0021】図1に図示したように、本実施例の圧力容
器3の圧力制御装置は、圧力容器3の圧力の昇圧若しく
は減圧制御を給液管路4内の給液量若しくは戻液管路5
内の戻液量により制御できるように構成する。
【0022】圧力容器3には、給液管路4及び戻液管路
5を配設し、給液管路4には吐出量可変ポンプ1を配設
して吐出量可変ポンプ1にタンク11から油12を供給でき
るように構成する。
【0023】圧力容器3と吐出量可変ポンプ1との間の
給液管路4には安全弁13を配設して、給液管路4内で圧
力異常などが起こり、圧力調整が必要な場合などには安
全弁13からタンク11に油12を戻すことができるように構
成する。
【0024】圧力容器3に配設した戻液管路5には、吐
出量可変ポンプ2を配設して吐出量可変ポンプ2の油12
流出側に圧力制御弁として比例圧力制御弁6を配設す
る。
【0025】この比例圧力制御弁6は吐出量可変ポンプ
2の油12流出側圧力を検出して戻液管路5に配設した吐
出量可変ポンプ2の吐出圧力を制御するために配設した
ものである。
【0026】給液管路4の圧力容器3と吐出量可変ポン
プ1との間には、圧力センサー9を連設し、圧力センサ
ー9の出力側を制御弁アンプ8に連設する。
【0027】吐出量可変ポンプ2と比例圧力制御弁6と
の間の連接部には、圧力センサー10を連設し、圧力セン
サー10の出力側を制御弁アンプ8に連設する。
【0028】制御弁アンプ8の出力側は比例圧力制御弁
6に連設する。
【0029】次に、圧力制御弁として比例圧力制御弁6
に代えて差圧弁7を用いた場合について図2に基づき説
明する。
【0030】圧力制御弁として差圧弁7を用いた場合に
は、圧力制御弁として比例圧力制御弁6を用いた図1の
場合と基本構成は同じであり、吐出量可変ポンプ2の油
12流出側に差圧弁7を配設する。
【0031】差圧弁7は、図3に図示したように、吐出
量可変ポンプ2の油12流出側と連設する吐出量可変ポン
プ吐出側通路14とこの吐出量可変ポンプ吐出側通路14の
断面積よりも少し大きい断面積を有する吐出量可変ポン
プ2の油12流入側と連設する吐出量可変ポンプ流入側通
路15とを有し、吐出量可変ポンプ吐出側通路14への入力
圧力と吐出量可変ポンプ流入側通路15への入力圧力の差
圧により、吐出量可変ポンプ2から流出する油12を吐出
量可変ポンプ吐出側通路14を経由してタンク11に流出さ
せるタンク側通路16を有する。
【0032】液圧アクチュエータ3としての圧力容器3
の内圧制御に用いられる圧力容器3の圧力制御装置の別
実施例について、図4に基づき以下説明する。
【0033】図4に図示したように、別実施例の液圧ア
クチュエータ23としての圧力容器23の圧力制御装置は、
圧力容器23の圧力の昇圧若しくは減圧制御を給液管路24
内の給液量若しくは戻液管路25内の戻液量により制御で
きるように構成する。
【0034】圧力容器23には、給液管路24及び戻液管路
25を配設し、給液管路24には吐出量可変ポンプなどの昇
圧用ポンプ21を配設して昇圧用ポンプ21にタンク31から
油32を供給できるように構成する。
【0035】給液管路24内には逆止弁28を設け、逆止弁
28と昇圧用ポンプ21間には、アンロード用電磁弁26を付
設してアンロード用電磁弁26からタンク31に油32を戻す
ことができるように構成すると共に、安全弁33を付設し
て安全弁33からタンク31に給液管路24の油32を戻すこと
ができるように構成する。
【0036】圧力容器23に配設した戻液管路25には、吐
出量可変ポンプなどの減圧用ポンプ22を配設して減圧用
ポンプ22の油32流出側に圧力制御弁として差圧弁30を配
設して差圧弁30からタンク31に油32を戻すことができる
ように構成する。
【0037】減圧用ポンプ22と差圧弁30との連接部に
は、圧力容器23に連設するように減圧用ポンプ22の油32
流出側にバイパス用電磁弁27、圧力容器23側に逆止弁29
を配設する。
【0038】尚、昇圧用ポンプ21及び減圧用ポンプ22に
は駆動用可変モータ20を併設する。
【0039】前述の実施例の説明では、圧力容器3の圧
力制御装置について説明したが、本実施例の圧力制御装
置は、圧力制御に用いるだけでなく液圧アクチュエータ
3,23としての油圧シリンダなどの荷重制御にも同様に
適用できる。
【0040】本実施例は、以上のように、給液管路4に
吐出量可変ポンプ1を配設して、吐出量可変ポンプ1で
油12を液圧アクチュエータ3に送り込むと、液圧アクチ
ュエータ3の制御圧力を上昇させることができ、戻液管
路5に吐出量可変ポンプ2を配設して該吐出量可変ポン
プ2の液体流出側に比例圧力制御弁6や差圧弁7などの
圧力制御弁を付設し、圧力制御弁を液圧アクチュエータ
3の制御圧力以上に設定し、吐出量可変ポンプ2で油12
を圧力制御弁に送り出すと、液圧アクチュエータ3の制
御圧力を変動させても、この制御圧力の変動により圧力
制御弁を通過する液体の通過流量が変動することなく、
液圧アクチュエータ3の制御圧力を圧力に依存しない流
量制御で減圧させることができ、減圧過程で圧力に依存
しない流量制御特性を持つ精密な圧力制御若しくは荷重
制御を実現できる非常に実用性の高いものとすることが
できる。
【0041】尚、圧力制御弁を液圧アクチュエータ3の
制御圧力以下に設定すると、圧力制御弁に送り出された
液体が急激に流れるため、液圧アクチュエータ3の制御
圧力に影響を及ぼす可能性がある。
【0042】また、吐出量可変ポンプ2の流出側圧力を
検出して戻液管路5に配設した該吐出量可変ポンプ2の
吐出圧力を制御する比例圧力制御弁6や差圧弁7を圧力
制御弁として用いると、吐出量可変ポンプ2の流出側の
圧力を液圧アクチュエータ3の制御圧力より少しだけ高
い圧力に設定することができ、吐出量可変ポンプ2の流
出側の圧力を必要以上に高く設定しなくともよくなる。
【0043】また、比例圧力制御弁6や差圧弁7などの
圧力制御弁を付設した吐出量可変ポンプ2の流出側の圧
力を液圧アクチュエータ3からの制御圧力よりも高く設
定すると、吐出量可変ポンプ2から圧力制御弁へ送り出
す油12を必要以上に流出させずにすむ。
【0044】また、給液管路24に昇圧用ポンプ21を配設
して、昇圧用ポンプ21で油32を液圧アクチュエータ23に
送り込むと、液圧アクチュエータ23の制御圧力を上昇さ
せることができ、戻液管路25に減圧用ポンプ22を配設し
て、減圧用ポンプ22で油32を送り出すと、液圧アクチュ
エータ23の制御圧力を減圧させることができ、昇圧用ポ
ンプ21及び減圧用ポンプ22に駆動用可変モータ20を併設
することで、昇圧用ポンプ21及び減圧用ポンプ22を制御
することができ、非常に簡易な構成で液圧アクチュエー
タ23の制御圧力を高精度に昇圧及び減圧制御できる非常
に実用性の高いものとすることができる。
【0045】また、給液管路24内に逆止弁28を設け、逆
止弁28と昇圧用ポンプ21間にアンロード用電磁弁26を付
設し、減圧用ポンプ22の液体流出側には圧力制御弁とし
て差圧弁30を配設すると共に、液圧アクチュエータ23に
連設するように減圧用ポンプ22の油32流出側にバイパス
用電磁弁27、液圧アクチュエータ23側に逆止弁29を配設
すると、液圧アクチュエータ23を昇圧する場合には、ア
ンロード用電磁弁26をOFF状態、バイパス用電磁弁27
をON状態とし、駆動用可変モータ20を駆動すると、昇
圧用ポンプ21から吐出する油32は逆止弁28を通り液圧ア
クチュエータ23に流れて液圧アクチュエータ23の圧力を
昇圧することができる。
【0046】液圧アクチュエータ23を減圧する場合に
は、アンロード用電磁弁26をON状態、バイパス用電磁
弁27をOFF状態とし、駆動用可変モータ20を駆動する
と、昇圧用ポンプ21から吐出する油32はアンロード用電
磁弁26を通りタンク31に戻り、同時に液圧アクチュエー
タ23から油32が戻液管路25を経由して減圧用ポンプ22を
通り、差圧弁30を経由してタンク31に戻り、液圧アクチ
ュエータ23の圧力を減圧することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例に係る液圧アクチュエータ制
御装置を示す説明図である。
【図2】本発明の一実施例に係る液圧アクチュエータ制
御装置を示す説明図である。
【図3】本発明の実施例に係る液圧アクチュエータ制御
装置に用いる差圧弁を示す説明図である。
【図4】本発明の別実施例に係る液圧アクチュエータ制
御装置を示す説明図である。
【符号の説明】
1 吐出量可変ポンプ 2 吐出量可変ポンプ 3 液圧アクチュエータ 4 給液管路 5 戻液管路 6 比例圧力制御弁 7 差圧弁 20 駆動用可変モータ 21 昇圧用ポンプ 22 減圧用ポンプ 23 液圧アクチュエータ 24 給液管路 25 戻液管路 26 アンロード用電磁弁 27 バイパス用電磁弁 28 逆止弁 29 逆止弁 30 差圧弁

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 液圧アクチュエータの圧力の昇圧若しく
    は減圧制御を給液管路内の給液量若しくは戻液管路内の
    戻液量により制御する液圧アクチュエータ制御装置であ
    って、前記給液管路には吐出量可変ポンプを配設し、前
    記戻液管路には吐出量可変ポンプを配設して該吐出量可
    変ポンプの液体流出側に比例圧力制御弁や差圧弁などの
    圧力制御弁を付設したことを特徴とする液圧アクチュエ
    ータ制御装置。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の液圧アクチュエータ制御
    装置において、比例圧力制御弁や差圧弁などの圧力制御
    弁を付設した吐出可変ポンプの流出側の圧力を液圧アク
    チュエータからの制御圧力よりも高く設定したことを特
    徴とする液圧アクチュエータ制御装置。
  3. 【請求項3】 液圧アクチュエータの圧力の昇圧若しく
    は減圧制御を給液管路内の給液量若しくは戻液管路内の
    戻液量により制御する液圧アクチュエータ制御装置であ
    って、前記給液管路には昇圧用ポンプを配設し、前記戻
    液管路には減圧用ポンプを配設し、該昇圧用ポンプ及び
    減圧用ポンプには駆動用可変モータを併設したことを特
    徴とする液圧アクチュエータ制御装置。
  4. 【請求項4】 請求項3記載の液圧アクチュエータ制御
    装置において、給液管路内に逆止弁を設け、該逆止弁と
    昇圧用ポンプ間にアンロード用電磁弁を付設し、減圧用
    ポンプの液体流出側には差圧弁や比例圧力制御弁などの
    圧力制御弁を配設すると共に、液圧アクチュエータに連
    設するように減圧用ポンプの液体流出側にバイパス用電
    磁弁、液圧アクチュエータ側に逆止弁を配設したことを
    特徴とする液圧アクチュエータ制御装置。
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