JP2008085224A - 太陽電池モジュール - Google Patents

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Abstract

【課題】膜の剥離が発生することを抑制する薄膜系太陽電池モジュールを提供する。
【解決手段】太陽電池モジュールは、透明基板10上に、透明導電膜11と光電変換層12、13と裏面電極14とが順次積層されてなる光起電力素子が複数個直列接続されてなる光起電力層と、充填材15とが順に配置される。又、太陽電池モジュールは、光起電力層の直列接続方向に平行な、光起電力層の端部において、透明導電膜11上で、光電変換層12、13及び裏面電極14を分離する第1の溝部22を備える。
【選択図】図2

Description

本発明は、透明基板上に、第1電極と光電変換層と第2電極とが順次積層されてなる光起電力素子が複数個直列接続されてなる光起電力層と、充填材とが順に配置される太陽電池モジュールに関する。
近年、太陽電池の低コスト化、高効率化を両立するために原材料の使用量が少ない薄膜系太陽電池モジュールの開発が精力的に行われている。このような薄膜系太陽電池モジュールの断面図の一例を、図8及び図9に示す。
一般的に、薄膜系太陽電池モジュールの光起電力素子は、ガラス等の遮水性の透明基板110上に第1電極111/光電変換層112、113/第2電極113を順次基板側からのレーザー照射によりパターニングしながら積層して形成される。又、薄膜系太陽電池モジュールは、当該光起電力素子上にPET(Poly Ethylene Terephtalate)等の保護材116をEVA(Ethylene Vinyl Acetate)等の充填材115によって接着して形成される(例えば、特許文献1参照)。
尚、充填材115は、保護材116と光起電力素子との接着剤及び緩衝剤としての機能を有し、保護材116は外部からの水分の浸入を防止する機能を有している。
特開昭63−261883号公報
しかしながら、太陽電池モジュールは屋外で長期間に渡って用いられるため、太陽電池モジュールの端部等から水分が侵入する他、光電変換層112、113の内部応力によって、透明基板110表面と光電変換層112との界面が剥離することによって、膜の剥離が頻繁に発生していた。
特に、光電変換層112、113に微結晶シリコン(μc−Si:H)を用いた薄膜シリコン系太陽電池モジュールでは、μc−Si:Hの内部応力が他の電極膜やアモルファスシリコン(a−Si:H)などに比べると非常に大きい。このため、図8及び図9に示すように、光起電力層の直列接続方向に平行な端部において、最も密着力の弱い透明基板110と光電変換層112との界面が存在すると、その界面での剥離が著しいという問題があった。
そこで、本発明は、上記の問題に鑑み、膜の剥離が発生することを抑制する薄膜系太陽電池モジュールを提供することを目的とする。
本発明の特徴は、透明基板上に、第1電極と光電変換層と第2電極とが順次積層されてなる光起電力素子が複数個直列接続されてなる光起電力層と、充填材とが順に配置される太陽電池モジュールであって、光起電力層の直列接続方向に平行な、光起電力層の端部において、第1電極上で、光電変換層及び第2電極を分離する溝部を備える太陽電池モジュールであることを要旨とする。
本発明の特徴に係る太陽電池モジュールによると、透明基板と光電変換層との界面が存在しないため、膜の剥離が発生することを抑制することができる。
又、本発明の特徴に係る太陽電池モジュールにおいて、光起電力層の直列接続方向に平行な、充填材の端部において、透明基板上に、光起電力層とは電気的に分離して配置された、第1電極と光電変換層とが順次積層されてなる積層体を更に備えてもよい。
この太陽電池モジュールによると、充填材の端部に積層体を配置することにより、充填材と透明基板との接着面を介して、端部から水分が侵入することを防止することができる。
又、上述の太陽電池モジュールにおいて、光起電力層と積層体とを分離する溝の幅は、0.1mm以上であることが好ましい。
この太陽電池モジュールによると、光起電力層と積層体とを確実に電気的に分離することができる。
又、上述の太陽電池モジュールにおいて、光起電力層と積層体とを分離する溝は、絶縁膜で埋設されていてもよい。
この太陽電池モジュールによると、絶縁膜を設けることにより、絶縁性や破壊に対する強度を向上させることができる。
又、上述の太陽電池モジュールにおいて、絶縁膜は、酸化シリコン、窒化シリコン、酸化アルミニウム、酸化チタニウム、フッ化マグネシウムの単体、あるいは、これらの内の少なくとも一つからなる粒子を含有した樹脂材料であることが好ましい。
本発明によると、膜の剥離が発生することを抑制する薄膜系太陽電池モジュールを提供することができる。
次に、図面を用いて、本発明の実施の形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には、同一又は類似の符号を付している。ただし、図面は模式的なものであり、各寸法の比率等は現実のものとは異なることに留意すべきである。従って、具体的な寸法等は以下の説明を参酌して判断すべきものである。又、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることは勿論である。
(太陽電池モジュール)
本実施形態に係る薄膜系太陽電池モジュールにおける、太陽電池サブモジュール(太陽電池素子)の上面図を図1に示す。薄膜系太陽電池サブモジュールは、中央の枠内(白抜きの領域)が発電領域となる。図2は、図1のA−A断面図であり、図1の上端面(図1の丸で囲んだ部分)を拡大したものである。
本実施形態に係る薄膜系太陽電池サブモジュールは、図2に示すように、透明基板10上に、光起電力素子が複数個直列接続されている光起電力層と充填材15と保護材16とが順に配置される。複光起電力素子は、透明導電膜(第1電極)11と光電変換層12及び13と裏面電極(第2電極)15とを順次積層して形成される。又、図2では、透明基板10の光入射側と反対の裏面側に、複数の光起電力素子と充填材15と保護材16とが順に配置されている。
透明基板10は、太陽電池サブモジュールの単一基板であり、透明基板10の光入射側と反対の裏面側には、複数の光起電力素子が形成される。透明基板10は、ガラス等の光透過性の部材により構成される。
透明導電膜11(第1電極)は、透明基板10上を平面視したときに短冊状に形成される。透明導電膜11は、ZnO,In23,SnO2,CdO,TiO2,CdIn24,Cd2SnO4,Zn2SnO4にSn,Sb,F,Alをドープした金属酸化物の一群より選択された一種類あるいは複数種類の積層体により構成される。なお、ZnOは、高い光透過性、低抵抗性、可塑性を有し、低価格であるため透明導電膜材料として好適である。
光電変換層12及び13は、透明導電膜11上に短冊状に形成される。光電変換層12及び13は、非結晶シリコン半導体により構成される。本実施形態に係る光電変換層12及び13は、それぞれ非晶質シリコン半導体及び微結晶シリコン半導体により構成される。尚、本明細書において、「微結晶」の用語は、多数の微小な結晶粒を含むものを意味し、部分的に非晶質状態を含む状態をも意味するものとする。
ここで、本実施形態に係る光電変換層12は、p-i-n型の非晶質シリコン半導体を順次積層して形成され、光電変換層13は、p-i-n型の微結晶シリコン半導体を順次積層して形成される。このような非晶質シリコンと微結晶シリコンを用いたタンデム型太陽電池モジュールは、光吸収波長が異なる二種類の半導体を積層した構造を有し、太陽光スペクトルを有効に利用することができる。
裏面電極14(第2電極)は、光電変換層12及び13上に短冊状に形成される。裏面電極14は、Ag等の導電性部材により構成される。
保護材16は、充填材15上に配置される。保護材16は、PET、PEN、ETFE、PVDF、PCTFE、PVF、PC等の樹脂フィルムにより構成される。その他、保護材16は、ガラスなどが金属箔を挟んだ構造及び単体やSUS、ガルバリウムなどの金属(鋼板)でもよい。
保護材16は、充填材15によって、光起電力素子上に接着される。充填材15は、EVA、EEA、PVB、シリコン、ウレタン、アクリル、エポキシ等の樹脂により構成される。充填材15は、保護材16と光起電力素子との接着剤及び緩衝剤としての機能を有する。
又、本実施形態に係る太陽電池モジュールは、光起電力層の直列接続方向に平行な、光起電力層の端部において、透明導電膜11上で、光電変換層及び裏面電極14を分離する第1の溝部22を備える。
又、光起電力層の直列接続方向に平行な、充填材15の端部において、透明基板10上に、光起電力層とは電気的に分離して配置された、透明導電膜10と光電変換層と裏面電極14が順次積層されてなる積層体20を更に備える。即ち、積層体20は、図1に示す太陽電池サブモジュールの上端部と下端部に、配置されている。ここで、積層体20は、発電に供しない無効領域であり、少なくとも透明導電膜11と光電変換層とが積層されて形成されていればよい。
又、光起電力層と積層体とを分離する第2の溝部21の幅は、0.1mm以上であることが好ましい。又、第2の溝部21は、図3に示すように、絶縁膜17で埋設されていてもよい。絶縁膜17としては、酸化シリコン、窒化シリコン、酸化アルミニウム、酸化チタニウム、フッ化マグネシウムの単体、あるいは、これらの内の少なくとも一つからなる粒子を含有した樹脂材料が用いられる。
尚、第2の溝部21は、光起電力層形成時に透明基板10の側面に回り込んで形成される半導体層を介した光起電力素子間のリークを防止するためのものである。
尚、光起電力層の集積方向に平行な端部、即ち、図1に示す太陽電池サブモジュールの左端部と右端部における、B-B断面図を図4に示す。このように、集積方向に平行な端部には、一辺の長さほぼ全体に渡って、電流を取り出すためのリード線28に接続されたハンダ27が配置されている。この電流の取り出しは、透明導電膜11(第1電極)へハンダ27が短絡することにより形成されている。又、集積方向に平行な端部に沿って、ブチルゴム等の樹脂30によりアルミニウム等の金属フレーム31が取り付けられる。
(太陽電池モジュールの製造方法)
本実施形態に係る薄膜系太陽電池モジュールの製造方法について、図5及び図6を用いて説明する。
図5(a)に示すように、透明基板10上に、スパッタにより透明導電膜11を形成する。そして、図5(b)に示すように、透明導電膜11は、YAGレーザーの照射により短冊状にパターニングされ、各光起電力素子間で電気的に分離される。
次に、図5(c)に示すように、プラズマCVD法により、光電変換層12及び13を形成する。具体的には、透明導電膜11上にp-i-n型の非晶質シリコン半導体を順次積層して光電変換層12を形成し、当該光電変換層12上にp-i-n型の微結晶シリコン半導体を順次積層して光電変換層13を形成する。光電変換層12及び13は、図5(d)に示すように、透明導電膜11のパターニング位置から所定間隔の位置にYAGレーザーを照射することにより短冊状にパターニングされる。
次に、図5(e)に示すように、裏面電極14が、光電変換層13上にスパッタ等により形成される。次に、図5(f)に示すように、裏面電極14は、光電変換層12及び13のパターニング位置から所定間隔の位置に裏面側からYAGレーザーを照射することにより短冊状にパターニングされた後、所望の深度までドライエッチングされる。
次に、本実施形態では、図6(a)に示すように、太陽電池モジュールの端部において、図5におけるレーザーパターニング方向と直行する方向で、YAGレーザーを照射する。そして、光電変換層12、13、裏面電極14を同時に除去して第1の溝部22を形成する。
次に、図6(b)に示すように、基板を上下裏返し、太陽電池素子形成面側より第1の溝部22のやや外側に、図5におけるレーザーパターニング方向と直行する方向で、YAGレーザーを照射する。そして、透明導電膜10、光電変換層12、13、裏面電極14を同時に除去して第2の溝部21を形成する。
尚、第1の溝部22を形成する工程(図6(a))と第2の溝部21を形成する工程(図6(b))とは、その順序が逆になっても構わない。即ち、第2の溝部21を形成した後に、第1の溝部22を形成しても構わない。
次に、図示していないが、取出し電極を超音波半田と銅箔リードにより取付ける。そして、光起電力素子上に充填材15と保護材16とを順次配置して、ラミネート装置を用いて真空加熱圧着する。これにより、光起電力素子の裏面側が保護される。
このようにして、図2に示すような、本実施形態に係る薄膜系太陽電池サブモジュールが形成される。尚、当該太陽電池サブモジュールに、端子ボックス及び取出し電極を接続し、ブチルゴム等の樹脂によりアルミニウム等の金属フレームを取付けることにより、太陽電池モジュールを形成することができる。
(作用及び効果)
本実施形態に係る太陽電池モジュールは、図2に示すように、光起電力層の直列接続方向に平行な、光起電力層の端部において、透明導電膜11上で、光電変換層及び裏面電極14を分離する第1の溝部22を備える。このように、透明基板10と光電変換層12、13との界面が存在しないため、光電変換層112、113の内部応力によって膜の剥離が発生することを抑制することができる。特に、光電変換層112、113に微結晶シリコン(μc−Si:H)を用いた薄膜シリコン系太陽電池モジュールでは、μc−Si:Hの内部応力が他の電極膜やアモルファスシリコン(a−Si:H)などに比べると非常に大きいが、最も密着力の弱い透明基板10と光電変換層12、13との界面が存在しないため、膜の剥離が発生することを抑制することができる。
又、光起電力層の直列接続方向に平行な、充填材15の端部において、積層体20を配置することにより、充填材15と透明基板10との接着面が存在せず、充填材15と透明基板10との接着面を介して、端部から水分が侵入することを防止することができる。
又、光起電力層と積層体20とを分離する第2の溝部21は、圧力が加わった場合に、裏面電極14から透明導電膜11へ電流がリークすることを防ぐことができる。このため、第2の溝部21の幅は、0.1mm以上であることが好ましい。
又、本実施形態において、第2の溝部21は、図3に示すように、絶縁膜17で埋設されていてもよい。この太陽電池モジュールによると、絶縁膜17を設けることにより、絶縁性や破壊に対する強度を向上させることができる。
更に、本実施形態に係る太陽電池モジュールでは、図4に示すように、光起電力層の集積方向に平行な端部には、一辺の長さほぼ全体に渡って、ハンダ27が配置されている。ハンダ27は、発電領域(有効領域)への水分の浸入を防ぎ、電流の取り出しは、透明導電膜11へハンダ27が短絡することによりなされている。このため、集積方向に平行な端部から水分が浸入し、短絡が発生することは、なんら問題とならない。従って、本実施形態では、光起電力層の直接接続方向に平行な端部について、様々な工夫を行っている。
(その他の実施形態)
本発明は上記の実施形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
例えば、上記の実施形態では、非晶質シリコン半導体と微結晶シリコン半導体とが順次積層された光電変換層12及び13を用いたが、微結晶又は非晶質シリコン半導体の単層又は3層以上の積層体を用いても同様の効果を得ることができる。
このように、本発明はここでは記載していない様々な実施形態等を含むことは勿論である。従って、本発明の技術的範囲は上記の説明から妥当な特許請求の範囲に係る発明特定事項によってのみ定められるものである。
以下、本発明に係る薄膜系太陽電池モジュールについて、実施例を挙げて具体的に説明するが、本発明は、下記の実施例に示したものに限定されるものではなく、その要旨を変更しない範囲において、適宜変更して実施することができるものである。
(実施例1)
本発明の実施例1に係る薄膜系太陽電池モジュールとして、図2に示す太陽電池モジュールを以下のように製造した。
図5(a)に示すように、4mm厚のガラス基板10上に、スパッタにより600nm厚のZnO電極11を形成した。この後、図5(b)に示すように、ガラス基板10の光入射側からYAGレーザーを照射して、ZnO電極11を短冊状にパターニングした。当該レーザー分離加工には、波長約1.06μm、エネルギー密度13J/cm3、パルス周波数3kHzのNd:YAGレーザーを使用した。
次に、プラズマCVD法により、図5(c)に示すように、非晶質シリコン半導体層12及び微結晶シリコン半導体層13を形成した。具体的に、非晶質シリコン半導体層12は、プラズマCVD法により、SiH4とCH4とH2とB26との混合ガスから膜厚10nmのp型非晶質シリコン半導体層を、SiH4とH2との混合ガスから膜厚300nmのi型非晶質シリコン半導体層を、SiH4とH2とPH4との混合ガスから膜厚20nmのn型非晶質シリコン半導体層を形成し順次積層した。又、微結晶シリコン半導体層13は、プラズマCVD法により、SiH4とH2とB26との混合ガスから膜厚10nmのp型微結晶シリコン半導体層を、SiH4とH2との混合ガスから膜厚2000nmのi型微結晶シリコン半導体層を、SiH4とH2とPH4との混合ガスから膜厚20nmのn型微結晶シリコン半導体層を形成し順次積層した。プラズマCVD法の諸条件の詳細を表1に示す。
Figure 2008085224
又、図5(d)に示すように、非晶質シリコン半導体層12及び微結晶シリコン半導体層13を、ZnO電極11のパターニング位置から50μm横の位置に光入射側からYAGレーザーを照射することにより短冊状にパターニングした。当該レーザー分離加工には、エネルギー密度0.7J/cm3、パルス周波数3kHzのNd:YAGレーザーを使用した。
次に、図5(e)に示すように、200nm厚のAg電極14を、微結晶シリコン半導体層13上にスパッタにより形成した。又、非晶質シリコン半導体層12、微結晶シリコン半導体層13、Ag電極14を、裏面側からYAGレーザーを照射することにより短冊状にパターニングした。当該レーザー分離加工には、エネルギー密度0.7J/cm3、パルス周波数4kHzのNd:YAGレーザーを使用した。更に、CF4によるドライエッチングを数十秒行った。
次に、図6(a)に示すように、太陽電池モジュールの端部において、図4におけるレーザーパターニング方向と直行する方向で、Nd:YAGレーザーの第2高周波(波長:532nm)を照射した。そして、非晶質シリコン半導体層12、微結晶シリコン半導体層13、Ag電極14を同時に除去して第1の溝部22を形成した。第1の溝部22の幅は、100μmであった。
次に、図6(b)に示すように、基板を上下裏返し、太陽電池素子形成面側より第1の溝部22のやや外側に、図5におけるレーザーパターニング方向と直行する方向で、Nd:YAGレーザーの基本波(波長:1064nm)を照射した。そして、ZnO電極10、非晶質シリコン半導体層12、微結晶シリコン半導体層13、Ag電極14を同時に除去して第2の溝部21を形成した。第2の溝部21の幅は、1.0mmであった。
ここで、第2の溝部21を形成するNd:YAGレーザーの基本波による実用的な加工幅は、最小で約0.01mmである。このため、太陽電池モジュールに求められる製品企画であるIEC61646の絶縁試験条件(DC1000V+(2×太陽光発電システムの開放電圧)を1分間印加)を満足するための開溝幅として求められた幅1.0mmを得るために、100回の走査を行った。
次に、取出し電極を、超音波半田と銅箔リードにより取付けた。
次に、光起電力素子上にEVA15とPETフィルム16とを順次配置して、ラミネート装置を用いて、150℃で30分加熱処理することで、EVA16を架橋、安定化して真空圧着した。
最後に、端子ボックスを取付けて取出し電極を接続して本発明の一実施例に係る薄膜系太陽電池モジュールを完成した。
(実施例2)
本発明の実施例2として、図3に示す太陽電池モジュールを作製した。実施例2では、第2の溝部21に絶縁膜17を埋設したこと以外は、実施例1と同様の工程を行った。
又、絶縁膜17は、酸化アルミニウム(Al23)微粒子を含有したエポキシ樹脂を塗布することにより形成した。
(従来例1)
従来例1として、図8に示す太陽電池モジュールを作製した。従来例1では、YAGレーザーのパターニングを実施例1と比べ変化させたこと以外は、実施例1と同様の工程を行った。但し、図8に示すように、太陽電池モジュールの端部に、光電変換素子は存在しない。即ち、端部には、ガラス基板110とEVA115の界面が存在する。又、ガラス基板110と非晶質シリコン半導体層12との界面が存在する。
(従来例2)
従来例2として、図9に示す太陽電池モジュールを作製した。従来例2では、YAGレーザーのパターニングを実施例1と比べ変化させたこと以外は、実施例1と同様の工程を行った。但し、図9に示すように、太陽電池モジュールの端部に、光電変換素子は存在しない。即ち、端部には、ガラス基板110とEVA115の界面が存在する。又、ガラス基板110と非晶質シリコン半導体層12との界面が存在する。
(信頼性評価)
実施例に係る薄膜系太陽電池モジュールと従来例に係る薄膜系太陽電池モジュールとの信頼性を比較するための耐候信頼性評価を行った。具体的には、IEC61646に従い、温度85℃、湿度85%の環境における各モジュールを1000時間暴露することを行った。
(結果)
従来例1及び従来例2はともに、100時間以内に、ガラス基板110と非晶質シリコン半導体層12との界面において、図7に示すように、剥離が発生した。図7では、透明導電膜111(第1電極)が除去された領域において、ガラス基板110と非晶質シリコン半導体層112との界面が剥離していることを示している。
一方、実施例1及び実施例2では、1000時間経過した場合でも、剥離の発生は生じなかった。このため、第1の溝部22を有する構造によって、ガラス基板10と非晶質シリコン半導体層12との界面が存在しないため、膜の剥離が発生することを抑制できることが分かった。又、光起電力層の直接接続方向端部に積層体20を配置することにより、EVA15とガラス基板10との接着面を介して、端部から水分が侵入することを防止することが分かった。
特に、実施例2では、第2の溝部21に充填材である熱硬化性樹脂を埋設することに比べて、高い絶縁破壊強度を有する材料で埋設することができ、第2の溝部21の開口幅を0.1mmとしても、十分な強度を保持することが分かった。
本実施形態に係る薄膜系太陽電池サブモジュールの上面図である。 図1のA−A断面の端部を示す図である。 図1のA−A断面の端部を示す他の図である。 図1のB−B断面の端部を示す図である。 本実施形態に係る薄膜系太陽電池サブモジュールの製造方法を示す模式図である(その1)。 本実施形態に係る薄膜系太陽電池サブモジュールの製造方法を示す模式図である(その2)。 従来例に係る薄膜系太陽電池モジュールの信頼性試験における界面の剥離を示す図である。 従来例1に係る薄膜系太陽電池サブモジュールの構成を示す断面図である。 従来例2に係る薄膜系太陽電池サブモジュールの構成を示す断面図である。
符号の説明
10、110…透明基板
11、111…透明導電膜
12、13、112、113…光電変換層
14、114…裏面電極
15、115…充填材
16、116…保護材
17…絶縁膜
20…積層体
21…第2の溝部
22…第1の溝部
27…ハンダ
28…リード線
30…樹脂
31…金属フレーム

Claims (5)

  1. 透明基板上に、第1電極と光電変換層と第2電極とが順次積層されてなる光起電力素子が複数個直列接続されてなる光起電力層と、充填材とが順に配置される太陽電池モジュールであって、
    前記光起電力層の直列接続方向に平行な、前記光起電力層の端部において、前記第1電極上で、前記光電変換層及び前記第2電極を分離する溝部
    を備えることを特徴とする太陽電池モジュール。
  2. 前記光起電力層の直列接続方向に平行な、前記充填材の端部において、前記透明基板上に、前記光起電力層とは電気的に分離して配置された、第1電極と光電変換層とが順次積層されてなる積層体
    を更に備えることを特徴とする請求項1に記載の太陽電池モジュール。
  3. 前記光起電力層と前記積層体とを分離する溝の幅は、0.1mm以上であることを特徴とする請求項2に記載の太陽電池モジュール。
  4. 前記光起電力層と前記積層体とを分離する溝は、絶縁膜で埋設されていることを特徴とする請求項2又は3に記載の太陽電池モジュール。
  5. 前記絶縁膜は、酸化シリコン、窒化シリコン、酸化アルミニウム、酸化チタニウム、フッ化マグネシウムの単体、あるいは、これらの内の少なくとも一つからなる粒子を含有した樹脂材料であることを特徴とする請求項4に記載の太陽電池モジュール。
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