JP2008084557A - 背面電子衝撃加熱装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】加熱容器1とテーブル6との熱膨張率の違いに起因する熱応力をより効果的に緩和する。
【解決手段】背面電子衝撃加熱装置は、加熱容器1の天板となっている加熱プレート2の背後に設けられたフィラメント9と、このフィラメント9を加熱する加熱電源12と、このフィラメント9に加速電圧を印加する加速電源7とを有する。そして加熱容器1を載せるテーブル6の上面と加熱容器1の側壁13の下端フランジ部18との間に真空シール14を挟み、さらにこの下端フランジ部18を軟質金属からなる緩衝部材17を介して止め金具4で押さえ、この止め金具4をねじ19でテーブル6に締め付けて固定した。
【選択図】図1
【解決手段】背面電子衝撃加熱装置は、加熱容器1の天板となっている加熱プレート2の背後に設けられたフィラメント9と、このフィラメント9を加熱する加熱電源12と、このフィラメント9に加速電圧を印加する加速電源7とを有する。そして加熱容器1を載せるテーブル6の上面と加熱容器1の側壁13の下端フランジ部18との間に真空シール14を挟み、さらにこの下端フランジ部18を軟質金属からなる緩衝部材17を介して止め金具4で押さえ、この止め金具4をねじ19でテーブル6に締め付けて固定した。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体ウエハ等の加熱物を加熱プレートの上に載せて高温に加熱する装置に関し、特に加熱プレートの背後に設けたフィラメントから加速された電子を加熱プレートに衝突させて電子衝撃により加熱する背面電子衝撃加熱装置に関する。
半導体ウェハ等の処理プロセスにおいて、その半導体ウェハ等の板状部材(以下「基板」と称する。)を加熱するための加熱手段として、加熱プレートに基板を載せて加熱する形式のヒータが使用されている。例えば、図3は加速された電子を加熱プレート32の背後から衝突させて同加熱プレート32を加熱し、その加熱プレート32に載せた基板等の加熱物40を加熱する方式の背面電子衝撃加熱装置である。
図3には示していないが、ステンレス鋼等の金属からなるテーブル36の上に真空チャンバが載せて固定されており、この真空チャンバの中に加熱容器31が設置されている。この加熱容器31は、黒鉛等からなる下面が開いた容器状のものであって、天板がシリコンウエハ等の薄形板状の加熱物40を載せるため平坦な加熱プレート32となっているものである。
テーブル36の加熱容器31の側壁34の下端フランジ部44を載せる部分には、環状の溝が設けられ、この溝にフッ素系樹脂等からなる環状の真空シール38が嵌め込まれている。この溝に嵌め込まれた真空シール38の上に、前記加熱容器31の周壁34の下端フランジ部44が載せられ、この下端フランジ部44がねじでテーブル36に固定されている。
さらに、この加熱容器31の内部に立設された支柱により、加熱プレート32の背後側にフィラメント39が取り付けられている。このフィラメント39には、フィラメント加熱電源43が接続されている。さらに、このフィラメント39と加熱プレート32との間には、加速電源37により加速電圧が印加される。なお加熱プレート32を有する加熱容器31は接地され、フィラメント39に対して正電位に保持される。
前記フィラメント39の下方に位置するようにリフレクタ33が取り付けられている。このリフレクタ33は、フィラメント39に導通しており、同フィラメント39と同電位のマイナス電位とされる。
前記フィラメント39の下方に位置するようにリフレクタ33が取り付けられている。このリフレクタ33は、フィラメント39に導通しており、同フィラメント39と同電位のマイナス電位とされる。
このような背面電子衝撃加熱装置では、加熱容器31の中のフィラメント39に通電して加熱することにより、熱電子を発生さると共に、加速電源37によりフィラメント39と加熱プレート32との間に高電圧を印加することで、熱電子を加速し、正電位に維持された加熱プレート32に衝突させる。この熱電子の衝突による衝撃によって加熱プレート32が加熱され、加熱物40を加熱することが出来る。
この背面電子衝撃加熱装置では、加熱プレート32の温度を測定しながら、加熱物40の加熱温度を適正に制御する必要がある。このような加熱プレート32の温度測定手段として、一般的には図3に示すように、熱電対35が使用されている。テーブル36に設けたフィードスルーから加熱容器31の中にシース形熱電対24を引き込み、その先端の測温接点を加熱プレート22の背面に埋め込む。補償接点端子41側は加熱容器31の外で測定器42と補償導線により接続し、前記加熱プレート32の温度を測定する。
このような背面電子衝撃加熱装置を使用して加速電源37によりフィラメント39と加熱プレート32との間に高電圧を印加しながら加熱物40を加熱する場合、温度を次第に上げていく過程で、加熱容器1やテーブル36は熱膨張する。ところが、加熱容器31は一般に黒鉛からなり、テーブル36はステンレス等の金属からなるため、熱膨張率に違いがある。この熱膨張率の違いにより発生する熱応力については、加熱容器31の周壁34の下端フランジ部44とテーブル36との間に真空シール38を挟んで僅かな隙間を設けて吸収している。
しかしながら、従来の加熱容器31の取付構造では、その周壁34の下端フランジ部44のねじの締め付け具合により、下端フランジ部44とテーブル36との間の隙間が安定して保持できない。また、下端フランジ部44の径方向への熱歪みが吸収されにくい構造であるため、熱応力の緩和には限界があった。
特開2005−56964号公報
特開2005−56963号公報
特開2005−56628号公報
特開2005−56582号公報
特開2004−355877号公報
本発明では、前記従来の背面電子衝撃加熱装置の課題に鑑み、加熱容器とテーブルとの熱膨張率の違いに起因する熱応力をより効果的に緩和することが出来る背面電子衝撃加熱装置を提供するすることを目的とする。
本発明では、前記の目的を達成するため、加熱容器1の側壁13の下端フランジ部18とテーブル6との間に真空シール14を挟むだけでなく、下端フランジ部18を軟質金属からなる緩衝部材17を介して止め金具4で上から押さえ、この止め金具4をねじ19で下端フランジ部18に締め付け、固定した。
すなわち、本発明による背面電子衝撃加熱装置は、加熱容器1の天板となっている加熱プレート2の背後に設けられたフィラメント9と、このフィラメント9を加熱する加熱電源12と、このフィラメント9に加速電圧を印加する加速電源7とを有する。そして加熱容器1を載せるテーブル6の上面と加熱容器1の側壁13の下端フランジ部18との間に真空シール14を挟み、さらにこの下端フランジ部18を軟質金属からなる緩衝部材17を介して止め金具4で押さえ、この止め金具4をねじ19でテーブル6に締め付けて固定したものである。
このような本発明による背面電子衝撃加熱装置では、止め金具4のねじ19の締め付けにより、加熱容器1の側壁13の下端フランジ部18とテーブル6との間隔gを調整ことが出来る。この調整に当たっては、真空シール14の弾力だけでなく、軟質金属からなる緩衝部材17の弾力も利用出来るため、下端フランジ部18とテーブル6との間の隙間gが安定して保持することが出来る。さらに、加熱容器1の側壁13の下端フランジ部18が直接テーブル6にねじ止めされず、軟質金属からなる緩衝部材17を介して下端フランジ部18に取り付けた止め金具4がテーブル6にねじ止めされることにより、加熱容器1とテーブル6との熱膨張率の違いによる熱応力を真空シール14だけでなく、緩衝部材17及び止め金具4が吸収する。これにより、熱応力の緩和が効果的に行われる。
以上説明した通り、本発明による背面電子衝撃加熱装置では、加熱容器1の側壁13の下端フランジ部18とテーブル6との間隔gの調整が容易であり、その間隔gを安定して保持出来ると共に、加熱容器1とテーブル6との熱膨張率の違いによる熱応力を安定して緩和することが可能となる。
本発明では、加熱容器1の側壁13の下端フランジ部18とテーブル6との間に挟んだ真空シール14と、下端フランジ部18と止め金具4との間に挟んだ緩衝部材17を利用して加熱容器1とテーブル6との熱膨張率の違いによる熱応力の緩和を図るものである。
以下、本発明を実施するための最良の形態について、実施例をあげて詳細に説明する。
以下、本発明を実施するための最良の形態について、実施例をあげて詳細に説明する。
図1は、背面電子衝撃加熱装置の一例を示す図であり、図2は、加熱容器1の下端フランジ部18の部分を示す拡大図である。
図示していないが、ステンレス鋼等の金属からなるテーブル6の上に真空チャンバが載せて固定されており、この真空チャンバの中に加熱容器1が設置されている。この加熱容器1は、下面が開いた容器状のものであって、その平坦な天板がシリコンウエハ等の薄形板状の加熱物7、例えば基板を載せる加熱プレート2となっている。より具体的には、加熱容器1は、加熱プレート2が天板となってその上面側が閉じられ、加熱プレート2の周囲の下方には、下面側が開口した円筒形状の周壁が設けられている。加熱容器1の周壁の下端部はフランジ状になっている。
図示していないが、ステンレス鋼等の金属からなるテーブル6の上に真空チャンバが載せて固定されており、この真空チャンバの中に加熱容器1が設置されている。この加熱容器1は、下面が開いた容器状のものであって、その平坦な天板がシリコンウエハ等の薄形板状の加熱物7、例えば基板を載せる加熱プレート2となっている。より具体的には、加熱容器1は、加熱プレート2が天板となってその上面側が閉じられ、加熱プレート2の周囲の下方には、下面側が開口した円筒形状の周壁が設けられている。加熱容器1の周壁の下端部はフランジ状になっている。
テーブル6の加熱容器1の下端フランジ部18を載せる位置には、環状の溝が設けられ、この溝にフッ素樹脂等のOリングからなる真空シール14が嵌め込まれている。この溝に嵌め込まれた真空シール14の上に、前記加熱容器1の周壁13の下端フランジ部18が載せられている。さらに、加熱容器1の下端フランジ部18の上には、アルミニウム、銀、金等の比較的弾性係数が小さい軟質金属製からなる板状の緩衝部材17を介して止め金具4が取り付けられている。この止め金具4は、側面形状が片卍形アングル状の金具であり、その上片が加熱容器1の下端フランジ部18の上に緩衝部材17を介して載せられている。また、止め金具の下片は、テーブル6上に設置され、ねじ19により同テーブル6に締め付け、固定される。
ねじ19の締め付けにより、緩衝部材17を介して止め金具4で加熱容器1の下端フランジ部18を締め付けると、真空シール14が圧縮され、その断面が平平に潰れると共に、若干ではあるが緩衝部材17も圧縮変形する。この真空シール14の圧縮変形と緩衝部材17の圧縮変形による反力の均衡によって加熱容器1の下端フランジ部18とテーブル6との間の隙間gが設定される。
加熱容器1の内部には、テーブル6から支柱10が立設され、この支柱10の上端側に平板状のホルダ15が支持されている。さらにこのホルダ15の上にリフレクタ3が支持されている。
真空チャンバのテーブル6に設けたフィードスルーを通してフィラメントサポートを兼ねる柱状の電極16、16が挿入、立設されており、この電極16、16にフィラメント9が取り付けられている。このフィラメント9は、加熱容器1の中でその加熱プレート2の背後に設けられている。またこのフィラメント9には、電極16、16を介してフィラメント加熱電源12が接続されている。さらに、このフィラメント9と加熱容器1との間には、高電圧の加速電源7が接続され、この加速電源7によりフィラメント9に加速電圧が印加される。
真空チャンバのテーブル6に設けたフィードスルーを通してフィラメントサポートを兼ねる柱状の電極16、16が挿入、立設されており、この電極16、16にフィラメント9が取り付けられている。このフィラメント9は、加熱容器1の中でその加熱プレート2の背後に設けられている。またこのフィラメント9には、電極16、16を介してフィラメント加熱電源12が接続されている。さらに、このフィラメント9と加熱容器1との間には、高電圧の加速電源7が接続され、この加速電源7によりフィラメント9に加速電圧が印加される。
加熱プレート2を有する加熱容器1は接地され、加熱容器1はフィラメント9に対して正電位に保持される。また、前記のリフレクタ3は、フィラメント9に導通しており、同フィラメント9と同電位のマイナス電位とされる。
真空チャンバのテーブル6に設けたフィードスルーを通してシース型熱電対5が加熱容器1の中に挿入されており、その測温接点がある上端部が加熱プレート2の下面からその中に埋め込まれている。真空チャンバの外側のシース型熱電対5の補償導線の接点8は、補償導線を介して測定器11に接続され、加熱プレート2の温度測定がなされる。
真空チャンバのテーブル6に設けたフィードスルーを通してシース型熱電対5が加熱容器1の中に挿入されており、その測温接点がある上端部が加熱プレート2の下面からその中に埋め込まれている。真空チャンバの外側のシース型熱電対5の補償導線の接点8は、補償導線を介して測定器11に接続され、加熱プレート2の温度測定がなされる。
この背面電子衝撃加熱装置では、加熱容器1の中のフィラメント9に通電して加熱することにより、熱電子を発生さると共に、加速電源7によりフィラメント9と加熱プレート2との間に高電圧を印加することで、熱電子を加速し、正電位に維持された加熱プレート2に衝突させる。この熱電子の衝突による衝撃によって加熱プレート2が加熱され、加熱物7を加熱することが出来る。
このとき、前記の熱電対5により測定される加熱プレート2上の加熱物7の温度が把握出来る。また、この熱電対5による温度測定値により、フィラメント9の加熱電流、加速電圧が制御され、加熱物7の加熱温度が調整されることになる。
1 加熱容器
2 加熱プレート
4 止め金具
6 テーブル
7 加速電源
9 フィラメント
12 加熱電源
13 側壁
14 真空シール
17 緩衝部材
18 側壁の下端フランジ部
19 ねじ
2 加熱プレート
4 止め金具
6 テーブル
7 加速電源
9 フィラメント
12 加熱電源
13 側壁
14 真空シール
17 緩衝部材
18 側壁の下端フランジ部
19 ねじ
Claims (2)
- 加熱容器(1)の天板となっている加熱プレート(2)の背後に設けられたフィラメント(9)と、このフィラメント(9)を加熱する加熱電源(12)と、このフィラメント(9)に加速電圧を印加する加速電源(7)とを有する背面電子衝撃加熱装置において、加熱容器(1)を載せるテーブル(6)の上面と加熱容器(1)の側壁(13)の下端フランジ部(18)との間に真空シール(14)を挟み、この下端フランジ部(18)を軟質金属からなるリング状の緩衝部材(17)を介して止め金具(4)で押さえ、この止め金具(4)をねじ(19)でテーブル(6)に締め付けて固定したことを特徴とする背面電子衝撃加熱装置。
- 止め金具(4)のねじ(19)の締め付けにより、加熱容器(1)の側壁(13)の下端フランジ部(18)とテーブル(6)との間隔(g)を調整したことを特徴とする請求項1に記載の背面電子衝撃加熱装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006259937A JP2008084557A (ja) | 2006-09-26 | 2006-09-26 | 背面電子衝撃加熱装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006259937A JP2008084557A (ja) | 2006-09-26 | 2006-09-26 | 背面電子衝撃加熱装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2008084557A true JP2008084557A (ja) | 2008-04-10 |
Family
ID=39355211
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006259937A Pending JP2008084557A (ja) | 2006-09-26 | 2006-09-26 | 背面電子衝撃加熱装置 |
Country Status (1)
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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2006
- 2006-09-26 JP JP2006259937A patent/JP2008084557A/ja active Pending
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A521 | Written amendment |
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A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20120709 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |