JP2007280905A - 背面電子衝撃加熱装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】背面電子衝撃加熱装置は、前記導電性を有する加熱容器1の周壁13の下端部をテーブル6の上に載せて気密に支持すると共に同加熱容器1の周壁13の下端部とテーブル6との間に、真空シール8に加え、導電性を有するスプリングを環状としたスプリングコンタクト5を介在させる。
【選択図】図1
Description
以下、本発明を実施するための最良の形態について、実施例をあげて詳細に説明する。
ステンレス鋼等の金属からなるテーブル6の上に真空チャンバ4が載せて固定されている。テーブル6の中には、冷却液通路7が形成され、この冷却液通路7に水等の冷却液を通すことにより、テーブル6が冷却される。
13 加熱容器の周壁
6 テーブル
8 真空シール
5 スプリングコンタクト
Claims (2)
- フィラメント(9)で発生した熱電子を加速してこれを加熱容器(1)の天板となる加熱プレート(2)にその背面から衝突させて加熱プレート(2)を発熱させる背面電子衝撃加熱装置であって、前記導電性を有する加熱容器(1)の周壁(13)の下端部をテーブル(6)の上に載せて気密に支持すると共に同加熱容器(1)の周壁(13)の下端部とテーブル(6)との間に、真空シール(8)に加え、導電性を有するスプリングを環状としたスプリングコンタクト(5)を介在させたことを特徴とする背面電子衝撃加熱装置。
- スプリングコンタクト(5)は、コイル状の金属線を全体として環状に形成したものであることを特徴とする請求項1に記載の背面電子衝撃加熱装置。
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