JP2008084370A - メモリ試験装置およびメモリ試験方法 - Google Patents
メモリ試験装置およびメモリ試験方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008084370A JP2008084370A JP2006260006A JP2006260006A JP2008084370A JP 2008084370 A JP2008084370 A JP 2008084370A JP 2006260006 A JP2006260006 A JP 2006260006A JP 2006260006 A JP2006260006 A JP 2006260006A JP 2008084370 A JP2008084370 A JP 2008084370A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- memory
- test
- dut
- block
- bad block
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)
Abstract
【解決手段】メモリ試験装置のテストプロセッサ1は、複数の被試験デバイス(DUT)に対して同時に、メモリブロック単位で試験信号を書き込み、読み出し、あるいは消去が可能である。ここでは、各DUTのバッドブロックを特定する識別値が記録される第1メモリ4、各DUTのメモリブロック単位で識別値を参照し、論理積演算された論理積データが記録される第2メモリ5を備え、ブロック判定部2によってバッドブロックが存在すると判定されたメモリブロックでは、DUT番号識別部3によってバッドブロックが存在しないDUTだけを順次に選択して、試験信号を書き込み、読み出し、および消去するメモリ試験が実施できる。
【選択図】図1
Description
この2Gビット(256M×8ビット)のフラッシュメモリは、ウェーハ上の1つのチップにおいて、8本のデータ入出力用のビットラインを備えた8ビットI/Oで構成され、各ビットは2048のブロックで構成され、各ブロックは64ページで構成され、各ページが2048ビットのメモリセルで構成されている。
最初に、試験するフラッシュメモリ(以下、DUTという。)の全てのメモリセルのデータを外部メモリへ読み出し、出荷試験時にメーカが設定したバッドブロックを示す識別値を確認しながら、フラッシュメモリ組込システム側でアドレステーブルを作成して、バッドブロックファイル100に格納する(ステップS101)。このとき、バッドブロックは最大40ブロックまで存在してもよい。
このメモリ試験装置は、複数の被試験デバイス(DUT)が接続可能であって、それらに対してメモリブロック単位で同時に試験信号を書き込み、読み出し、あるいは消去が可能なテストプロセッサ1を備えている。テストプロセッサ1には、ブロック判定部2とDUT番号識別部3が接続され、DUT番号識別部3には各DUTのバッドブロックを特定する識別値が記録される第1メモリ4が接続されている。
図2は、実施の形態に係るメモリ試験方法を示すフローチャートである。ここでは、一例として2個のDUT1、DUT2の同時測定について説明する。
図3は、単位ブロックのメモリセル構成とセルデータの記録内容を示す図である。
2GビットのNAND型フラッシュメモリでは、上述した図9に示すように、単位ブロックが64ページに区分され、各ページは2048ビットのメモリセルから構成される。このようなフラッシュメモリでは、最大40ブロックまでバッドブロックが存在してもよいことになっているため、半導体装置メーカでは、出荷試験時に各メモリセルのビットデータとして”1”を書き込んだ状態とすることで、バッドブロックの設定が行われる。すなわち、1ページの0番地と、2ページの1番地のメモリセルが正常に動作しない場合、図3(a)に示すように、それぞれにビットデータ”0”を書き込んだ状態で出荷される。それにより、フラッシュメモリのユーザ側ではバッドブロックが特定できるようになっている。
2個のDUT1,DUT2から、各々対応するメモリブロックのセルデータを読み出して、ビットデータ”0”が含まれているかどうかをチェックすることによって、対応するブロックファイル41,42の識別値を決定している。ここでは、バッドブロックの場合に、識別値データとして論理値”0”を書き込み、グッドブロックの場合には、論理値”1”を書き込むようにしている。なお、図4ではブロック番号5まで示し、それ以降のブロック番号の識別値は省略した。
図5は、アンド値ファイルを用いた試験手順の一例を示す図である。
メモリ試験では、第2メモリ5のアンド値ファイル51から論理積データを読み出して、その論理値が”1”であればDUT1,DUT2の同時試験が行われる。また、ブロック2やブロック4の試験のように、その論理値が”0”である場合には、第1メモリ4から個別のDUT1,DUT2のブロックファイル41,42を各々参照して、その識別値が”1”であるDUTについてだけ、1個ずつ試験信号を書き込み、および読み出して、メモリ試験が行われる。
試験ヘッド部11には、n個のDUTが接続される。各DUTにはドライバ部12から同時に試験信号が供給され、各DUTの所定のメモリブロックに同一の試験パターンが書き込まれる。ドライバ部12には、各種の試験パターンを生成する試験パターン発生部13が接続されている。
図7は、NANDセル型のフラッシュメモリの書き込み動作および読み出し動作のタイミングを示す波形図である。
図8は、実施の形態に係るメモリ試験方法における標準動作モードの試験時間を示す図である。
次のステップS24では、各メモリセルのデータの消去動作が実行される。ここでは、試験サイクルはブロック単位で180(ns)で一括して消去されるので、2Gビット(2048ブロック)のフラッシュメモリでは16(秒)であるが、消去待ち時間が1ブロック毎に3(ms)を必要とするため、全体としては22(秒)となる。
2 ブロック判定部
3 DUT番号識別部
4 第1メモリ
5 第2メモリ
11 試験ヘッド部
12 ドライバ部
13 試験パターン発生部
14 コンパレータ部
15 試験項目設定ファイル
16 バッドブロックファイル生成部
17 メモリ
18 アンド値ファイル生成部
19 DUT選択部
20 ブロック番号管理部
41,42… ブロックファイル
Claims (8)
- 複数の被試験デバイス(DUT)に対して同時に、メモリブロック単位で試験信号を書き込み、読み出し、あるいは消去が可能なメモリ試験装置において、
前記各DUTのバッドブロックを特定する識別値が記録される第1の記憶手段と、
前記各DUTのメモリブロック単位で前記識別値を参照し、論理積演算された論理積データが記録される第2の記憶手段と、
前記第1の記憶手段から前記識別値を読み出して、前記DUTに前記バッドブロックが存在するか否かを識別するデバイス識別部と、
前記第2の記憶手段から前記論理積データを読み出して、前記各DUTのいずれかに前記バッドブロックが存在するか否かを判定するブロック判定部と、
を備え、
前記ブロック判定部によって前記バッドブロックが存在すると判定されたメモリブロックでは、前記デバイス識別部によって前記バッドブロックが存在しないDUTだけを順次に選択して、前記試験信号を書き込み、読み出し、および消去するメモリ試験を実施することを特徴とするメモリ試験装置。 - 前記DUTは、メモリブロック単位でセルデータが書き込まれ、読み出され、あるいは消去される半導体メモリ装置であることを特徴とする請求項1記載のメモリ試験装置。
- 前記DUTのうち、書き込まれたセルデータと読み出されたセルデータが一致しないメモリブロックがあれば、前記第1の記憶手段における識別値を更新するようにしたことを特徴とする請求項1記載のメモリ試験装置。
- 前記各DUTからメモリブロック単位で前記バッドブロックを検索し、前記第1の記憶手段に前記識別値として前記バッドブロックに対しては論理信号”0”を書き込む手段を備えたことを特徴とする請求項1記載のメモリ試験装置。
- 複数の被試験デバイス(DUT)に対してメモリブロック単位で同時に試験信号を書き込み、読み出し、あるいは消去が可能なメモリ試験方法において、
前記各DUTのバッドブロックを検索し、その識別値を記録する第1の工程と、
前記識別値を参照して前記各DUTのメモリブロック単位で論理積演算を行い、論理積データを記録する第2の工程と、
前記第2の工程で記録された前記論理積データに基づいて、前記各DUTの対応するメモリブロック毎に、前記バッドブロックが存在するか否かを判定する第3の工程と、
前記第3の工程でバッドブロックが存在すると判定されたメモリブロックについては、前記第1の工程で記録された前記識別値に基づいて、前記バッドブロックが存在しない前記DUTを順次に選択して、前記第3の工程でバッドブロックが存在しないと判定されたメモリブロックについては前記各DUTに対して同時に、前記試験信号の書き込み、読み出し、および消去する第4の工程と、
をそれぞれ実行することを特徴とするメモリ試験方法。 - 前記DUTは、メモリブロック単位でセルデータが書き込まれ、読み出され、あるいは消去される半導体メモリ装置であることを特徴とする請求項5記載のメモリ試験方法。
- 前記DUTのうち、書き込まれたセルデータと読み出されたセルデータが一致しないメモリブロックがあれば、前記識別値を更新するようにしたことを特徴とする請求項5記載のメモリ試験方法。
- 前記第1の工程で記録される識別値として論理信号”0”を書き込むようにしたことを特徴とする請求項5記載のメモリ試験方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006260006A JP4882633B2 (ja) | 2006-09-26 | 2006-09-26 | メモリ試験装置およびメモリ試験方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006260006A JP4882633B2 (ja) | 2006-09-26 | 2006-09-26 | メモリ試験装置およびメモリ試験方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008084370A true JP2008084370A (ja) | 2008-04-10 |
JP4882633B2 JP4882633B2 (ja) | 2012-02-22 |
Family
ID=39355092
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006260006A Expired - Fee Related JP4882633B2 (ja) | 2006-09-26 | 2006-09-26 | メモリ試験装置およびメモリ試験方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4882633B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103176120A (zh) * | 2011-12-22 | 2013-06-26 | 英业达股份有限公司 | 信号模拟装置、信号录制与模拟测试方法 |
CN117393032A (zh) * | 2023-12-13 | 2024-01-12 | 合肥康芯威存储技术有限公司 | 一种存储装置及其数据处理方法 |
-
2006
- 2006-09-26 JP JP2006260006A patent/JP4882633B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103176120A (zh) * | 2011-12-22 | 2013-06-26 | 英业达股份有限公司 | 信号模拟装置、信号录制与模拟测试方法 |
CN117393032A (zh) * | 2023-12-13 | 2024-01-12 | 合肥康芯威存储技术有限公司 | 一种存储装置及其数据处理方法 |
CN117393032B (zh) * | 2023-12-13 | 2024-03-22 | 合肥康芯威存储技术有限公司 | 一种存储装置及其数据处理方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4882633B2 (ja) | 2012-02-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6388919B2 (en) | Memory controller for flash memory system and method for writing data to flash memory device | |
JP4991811B2 (ja) | 不揮発性半導体記憶装置及びその試験方法 | |
US9201730B2 (en) | Multiple level cell memory device with single bit per cell, re-mappable memory block | |
EP0778584B1 (en) | Semiconductor integrated circuit device with large-scale memory and controller embedded on one semiconductor chip, and method of testing the device | |
JP3730423B2 (ja) | 半導体記憶装置 | |
US8201037B2 (en) | Semiconductor integrated circuit and method for controlling semiconductor integrated circuit | |
US20030198100A1 (en) | Method of controlling the operation of non-volatile semiconductor memory chips | |
KR100935889B1 (ko) | 플래시 메모리 장치에서의 e - fuse 데이터 저장 방법 | |
US7962682B2 (en) | Multi-module simultaneous program, erase test, and performance method for flash memory | |
JP2015156251A (ja) | ダイナミックマルチモード動作を有する不揮発性メモリ | |
TW201108235A (en) | Preloading data into a flash storage device | |
JPWO2008001543A1 (ja) | 半導体試験装置および半導体メモリの試験方法 | |
US10249376B2 (en) | Flash memory storage device and operating method thereof | |
US7755956B2 (en) | Non-volatile semiconductor memory and method for replacing defective blocks thereof | |
JP2001273798A (ja) | 不揮発性半導体メモリ | |
JP4939870B2 (ja) | 半導体記憶装置およびそのテスト方法 | |
JPH10112199A (ja) | メモリ試験装置 | |
WO2024098936A1 (zh) | 存储方法、装置、设备和存储介质 | |
JP4882633B2 (ja) | メモリ試験装置およびメモリ試験方法 | |
JP6473733B2 (ja) | 半導体記憶装置およびその動作設定方法 | |
US20060291308A1 (en) | Test method and test program for semiconductor storage device, and semiconductor storage device | |
KR20000029264A (ko) | 불휘발성 반도체 메모리 디바이스용 기록 장치 | |
CN115472206A (zh) | 存储器的坏块检测方法、测试设备及存储介质 | |
US7451368B2 (en) | Semiconductor device and method for testing semiconductor device | |
JP2004103162A (ja) | Nand型フラッシュメモリ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090611 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20111108 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20111121 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141216 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4882633 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |