JP2008083601A5

JP2008083601A5 -

Info

Publication number: JP2008083601A5
Application number: JP2006266112A
Authority: JP
Filing date: 2006-09-28
Publication date: 2009-11-12
Anticipated expiration: 2026-09-28

Claims

共焦点光学系を介して測定対象物からの光を受光素子で受光し、その受光情報に基づいて前記測定対象物の表面の高さ情報及び光量情報を取得し、前記測定対象物の表面の画像を共焦点画像として表示可能な共焦点顕微鏡であって、
各測定点において、光学系もしくは測定対象物を高さ方向に変化させながら合焦点位置を明るさに基づいて取得し、測定点を走査して共焦点画像を合成する共焦点光学系と、
前記共焦点光学系と光軸の少なくとも一部を共通にする共焦点光学系と別個の、測定対象物の光学画像を撮像するための非共焦点光学系と、
測定対象物を載置するステージと、
前記ステージに載置された測定対象物と、前記共焦点光学系及び非共焦点光学系との相対位置及び相対距離を調整可能なステージ移動部と、
前記非共焦点光学系で撮像された光学画像、及び／又は前記共焦点光学系で撮像された共焦点画像を表示するための表示手段と、
前記表示手段上に光学画像を表示させた状態で、相対距離である高さ方向の上限及び下限を設定するための高さ範囲設定部と、
前記表示手段上に共焦点画像を表示させた状態で、前記高さ範囲設定部で設定された高さ範囲内で得られる共焦点画像の明るさを調整するための明るさ調整手段と、
を備えることを特徴とする共焦点顕微鏡。
請求項１に記載の共焦点顕微鏡であって、
測定対象物表面の各点における合焦点位置の受光量の情報を合成して焦点深度の深い超深度画像を測定するために、前記ステージの相対位置の調整、前記高さ範囲設定部による高さ方向の上限及び下限の設定、前記明るさ調整手段による共焦点画像の明るさの調整、超深度画像の測定及び測定結果の確認作業を、各作業毎に必要な項目を指示して設定を促すビギナーモードを備えることを特徴とする共焦点顕微鏡。
請求項１又は２に記載の共焦点顕微鏡であって、超深度画像を測定するために必要な項目の設定に際して、
ビギナーモードと、
超深度画像を測定するために必要なパラメータを直接指定可能なエキスパートモードとを、切り替え可能に構成してなることを特徴とする共焦点顕微鏡。
請求項２又は３に記載の共焦点顕微鏡であって、
前記ビギナーモードが、超深度画像を測定するために必要な設定項目をステップ毎に纏め、ユーザにフロー形式で設定項目をステップ毎に順次提示するよう構成してなることを特徴とする共焦点顕微鏡。
請求項２又は３に記載の共焦点顕微鏡であって、
前記ビギナーモードが、超深度画像を測定するために必要な設定項目をステップ毎に纏め、ユーザに対話形式で設定項目をステップ毎に順次提示するよう構成してなることを特徴とする共焦点顕微鏡。
請求項１から５のいずれか一に記載の共焦点顕微鏡であって、さらに、
所望の共焦点画像を観察可能な位置で共焦点光学系の相対位置を基準位置として設定するための基準位置設定手段と、
前記基準位置設定手段で設定された基準位置に共焦点光学系を移動させるための復帰手段と、
を備えることを特徴とする共焦点顕微鏡。
請求項１から６のいずれか一に記載の共焦点顕微鏡であって、
前記高さ範囲設定部で設定された範囲とその近傍を含む相対高さを拡大してバー状に表示し、前記バー上で上限高さ及び下限高さ、現在位置、基準位置の少なくともいずれかを表示可能に構成してなることを特徴とする共焦点顕微鏡。
共焦点光学系を介して測定対象物からの光を受光素子で受光し、その受光情報に基づいて前記測定対象物の表面の高さ情報及び光量情報を取得し、前記測定対象物の表面の画像を共焦点画像として表示可能な共焦点顕微鏡であって、
各測定点において、光学系もしくは測定対象物を高さ方向に変化させながら合焦点位置を明るさに基づいて取得し、測定点を走査して共焦点画像を合成する共焦点光学系と、
前記共焦点光学系と光軸の少なくとも一部を共通にする共焦点光学系と別個の、測定対象物の光学画像を撮像するための非共焦点光学系と、
測定対象物を載置するステージと、
前記ステージに載置された測定対象物と、前記共焦点光学系及び非共焦点光学系との相対位置及び相対距離を調整可能なステージ移動部と、
前記非共焦点光学系で撮像された光学画像、及び／又は前記共焦点光学系で撮像された共焦点画像を表示するための表示手段と、
前記表示手段上に光学画像を表示させた状態で、相対距離である高さ方向の上限及び下限を設定するための高さ範囲設定部と、
前記高さ範囲設定部で設定された高さ範囲内で得られる共焦点画像の明るさが飽和しない最大の光量となるように、明るさを自動調整する明るさ自動調整手段と、
を備えることを特徴とする共焦点顕微鏡。
共焦点光学系を介して測定対象物からの光を受光素子で受光し、その受光情報に基づいて前記測定対象物の表面の高さ情報及び光量情報を取得し、前記測定対象物の表面の画像を共焦点画像として表示手段に表示する共焦点顕微鏡を用いて、測定対象物表面の各点における合焦点位置の受光量の情報を合成して焦点深度の深い超深度画像を測定可能な共焦点顕微鏡操作方法であって、
前記表示手段上に、共焦点光学系と光軸の少なくとも一部を共通にする非共焦点光学系で撮像した測定対象物の光学画像を表示させた状態で、測定対象物と、共焦点光学系及び非共焦点光学系との相対距離である高さ方向の上限及び下限を設定するよう促す工程と、
前記表示手段上に共焦点画像を表示させた状態で、設定された高さ範囲内で得られる共焦点画像の明るさを調整するよう促す工程と、
を含むことを特徴とする共焦点顕微鏡操作方法。
共焦点光学系を介して測定対象物からの光を受光素子で受光し、その受光情報に基づいて前記測定対象物の表面の高さ情報及び光量情報を取得し、前記測定対象物の表面の画像を共焦点画像として表示手段に表示する共焦点顕微鏡を用いて、測定対象物表面の各点における合焦点位置の受光量の情報を合成して焦点深度の深い超深度画像を測定可能な共焦点顕微鏡操作プログラムであって、
前記表示手段上に、共焦点光学系と光軸の少なくとも一部を共通にする非共焦点光学系で撮像した測定対象物の光学画像を表示させた状態で、測定対象物と、共焦点光学系及び非共焦点光学系との相対距離である高さ方向の上限及び下限を設定するよう促す機能と、
前記表示手段上に共焦点画像を表示させた状態で、設定された高さ範囲内で得られる共焦点画像の明るさを調整するよう促す機能と、
をコンピュータに実現させることを特徴とする共焦点顕微鏡操作方法。
請求項１０に記載されるプログラムを格納したコンピュータで読み取り可能な記録媒体又は記録した機器。