JP2008079275A - 弾性表面波素子及び弾性表面波装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】弾性表面波素子1は、圧電基板10上に電極指11aを有するIDT電極11を備えている。電極指11aは、中間層12と、中間層12に比べて大きな熱膨張係数を有する電極層13が積層されてなる。電極指11aは、圧電基板10に近づく方向に広がる台形形状となる断面形状を有している。中間層12の側面1の成す角度α1は、電極層13の側面との成す角度β1よりも大きく形成されている。
【選択図】図4
Description
向上することができる。
図3、図4に示される弾性表面波素子1を製造した。圧電基板10には、圧電性を有する材料として、LiTaO3単結晶で形成された基板を用いた。
図5、図6に示される弾性表面波素子2を製作した。圧電基板20には、圧電性を有する材料として、LiTaO3単結晶で形成された基板を用いた。
図7、図8に示される弾性表面波素子3を製造した。圧電基板30には、圧電性を有する材料として、LiTaO3単結晶で形成された基板を用いた。
図9、図10に示される弾性表面波素子4を製造した。圧電基板40には、圧電性を有する材料として、LiTaO3単結晶で形成された基板を用いた。
10,20,30,40 圧電基板
10a,20a,30a,40a 圧電基板の主面
11,21,31,41 IDT電極
11a,21a,31a,41a 電極指
12,22,32,42 中間層
13,23,33,43 電極層
14,24,34,44 保護膜
14b 絶縁保護膜
Claims (11)
- 圧電基板と、
前記圧電基板の主面上に形成され、電極指を有するIDT電極とを有し、
前記電極指は、第1の導体層と、この第1の導体層の材料と異なる材料の第2の導体層とを含む複数の導体層が積層されて形成されており、
前記第1の導体層は、前記電極指の長手方向に直交する面での断面形状が、圧電基板に近づく方向に広がる台形形状を有しており、
前記第2の導体層は、前記電極指の長手方向に直交する面での断面形状が、圧電基板に近づく方向に広がる台形形状を有しており、
前記第1の導体層の側面と前記圧電基板の主面との成す角度が、前記第2の導体層の側面と前記圧電基板の主面との成す角度と異なっている、弾性表面波素子。 - 前記電極指の前記第1の導体層の材料の熱膨張係数は、前記第2の導体層の材料の熱膨張係数と異なっている、請求項1に記載の弾性表面波素子。
- 前記第2の導体層は、前記第1の導体層に比べて大きな熱膨張係数を有する材料で形成されており、
前記第1の導体層の側面と前記圧電基板の主面との成す角度が、前記第2の導体層の側面と前記圧電基板の主面との成す角度よりも大きく形成されている、請求項2に記載の弾性表面波素子。 - 前記第2の導体層は、前記第1の導体層に比べて小さな熱膨張係数を有する材料で形成されており、
前記第1の導体層の側面と前記圧電基板の主面との成す角度が、前記第2の導体層の側面と前記圧電基板の主面との成す角度よりも小さく形成されている、請求項2に記載の弾性表面波素子。 - 前記第1の導体層は、前記圧電基板の主面上に接して形成され、
前記第2の導体層は前記第1の導体層上に形成され、
前記第1の導体層の前記第2の導体層に対向している断面の幅が、前記第2の導体層の前記第1の導体層に対向している断面の幅に比べて、大きく形成されている、請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載の弾性表面波素子。 - 前記第1の導体層は、前記圧電基板の主面上に接して形成され、
前記第2の導体層は前記第1の導体層上に形成され、
前記第1の導体層と同じ材料で形成された第3の導体層が前記第2の導体層上に形成され、
前記第2の導体層と同じ材料で形成された第4の導体層が前記第3の導体層上に形成され、
前記第3の導体層の側面と前記圧電基板の主面との成す角度が、前記第1の導体層の側面と前記圧電基板の主面との成す角度と同じに形成され、
前記第4の導体層の側面と前記圧電基板の主面との成す角度が、前記第2の導体層の側面と前記圧電基板の主面との成す角度と同じに形成されている、請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載の弾性表面波素子。 - 前記第1の導体層の断面形状と、前記第2の導体層の断面形状は、ドライエッチング法によって作られる請求項1乃至請求項6のいずれか一項に記載の弾性表面波素子。
- 前記IDT電極の電極指は、保護膜で覆われている、請求項1乃至請求項7のいずれか一項に記載の弾性表面波素子。
- 前記保護膜は、前記電極指を形成する導体層のうちの最も大きな熱膨張係数を有するものに比べて、小さな熱膨張係数を有する材料で形成されている、請求項8に記載の弾性表面波素子。
- 前記保護膜は、前記IDT電極上に形成されており、
Ti,Cr,Nb,Pd,Cu及びNiのうち、少なくとも1種を材料として含んでいる、請求項8または請求項9に記載の弾性表面波素子。 - 請求項1乃至請求項10のいずれか一項に記載の弾性表面波素子を実装基板に実装している、弾性表面波装置。
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