JP4967393B2 - 弾性表面波装置 - Google Patents
弾性表面波装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4967393B2 JP4967393B2 JP2006073854A JP2006073854A JP4967393B2 JP 4967393 B2 JP4967393 B2 JP 4967393B2 JP 2006073854 A JP2006073854 A JP 2006073854A JP 2006073854 A JP2006073854 A JP 2006073854A JP 4967393 B2 JP4967393 B2 JP 4967393B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- silicon oxide
- idt electrode
- thickness
- oxide film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Description
2…LiNbO3基板
3…IDT電極
4,5…反射器
6…第1の酸化ケイ素膜
7…第2の酸化ケイ素膜
Claims (2)
- オイラー角(0°±5°,θ,ψ)のLiNbO3基板と、
前記LiNbO3基板上に形成されており、Cuを主体とする少なくとも1つのIDT電極を含む電極と、
前記電極が形成されている領域を除いた残りの領域において、前記電極と等しい厚みとなるように形成されている第1の酸化ケイ素膜と、
前記電極及び第1の酸化ケイ素膜を被覆するように形成された第2の酸化ケイ素膜とを備え、
前記電極の密度が、前記第1の絶縁膜の密度の1.5倍以上である、SH波を利用した弾性表面波装置であって、
前記第2の酸化ケイ素膜の膜厚が0.15λ〜0.40λの範囲にあり、前記オイラー角(0°±5°,θ,ψ)のψが10°〜30°の範囲にあり、かつθ及びψが、IDT電極の膜厚が0.05λの場合において添付の図5にハッチングを付して示す、レイリー波の電気機械結合係数K SAW 2 が0.01%以下となる領域の範囲内にあり、かつIDT電極の膜厚が0.05λ以外の場合には、IDT電極の膜厚を弾性波の波長で規格化した膜厚をxとしたときに、図5の斜線で付したハッチングの領域を、図5のθを下記の式(1)で表されるθxに変換して得られる、レイリー波の電気機械結合係数K SAW 2 が0.01%以下となる領域内にあることを特徴とする、弾性表面波装置。
- 前記オイラー角のψが10〜25°の範囲にある、請求項1に記載の弾性表面波装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006073854A JP4967393B2 (ja) | 2006-03-17 | 2006-03-17 | 弾性表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006073854A JP4967393B2 (ja) | 2006-03-17 | 2006-03-17 | 弾性表面波装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007251710A JP2007251710A (ja) | 2007-09-27 |
JP4967393B2 true JP4967393B2 (ja) | 2012-07-04 |
Family
ID=38595519
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006073854A Active JP4967393B2 (ja) | 2006-03-17 | 2006-03-17 | 弾性表面波装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4967393B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010193429A (ja) * | 2009-01-26 | 2010-09-02 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性波装置 |
JP4943462B2 (ja) * | 2009-02-27 | 2012-05-30 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波デバイス、デュープレクサ、通信モジュール、通信装置、弾性波デバイスの製造方法 |
JP2012169760A (ja) * | 2011-02-10 | 2012-09-06 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波装置 |
JP6042156B2 (ja) * | 2012-09-27 | 2016-12-14 | 学校法人慶應義塾 | 積層体とその製造方法 |
JP6385690B2 (ja) | 2014-03-05 | 2018-09-05 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波デバイス及びその製造方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3969311B2 (ja) * | 2003-01-20 | 2007-09-05 | 株式会社村田製作所 | 端面反射型弾性表面波装置 |
WO2005034347A1 (ja) * | 2003-10-03 | 2005-04-14 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 弾性表面波装置 |
JP2005176152A (ja) * | 2003-12-15 | 2005-06-30 | Alps Electric Co Ltd | 弾性表面波素子及びその製造方法 |
CN100563100C (zh) * | 2004-03-02 | 2009-11-25 | 株式会社村田制作所 | 表面声波装置 |
-
2006
- 2006-03-17 JP JP2006073854A patent/JP4967393B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007251710A (ja) | 2007-09-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7569972B2 (en) | Surface acoustic wave device | |
JP5747987B2 (ja) | 弾性波装置 | |
JP5137828B2 (ja) | 弾性表面波装置 | |
WO2011158445A1 (ja) | 弾性波素子 | |
US7315107B2 (en) | Surface acoustic wave device | |
US7705515B2 (en) | Surface acoustic wave device | |
US8680744B2 (en) | Surface acoustic wave device | |
US8304959B2 (en) | Surface acoustic wave device | |
JP5213708B2 (ja) | 弾性表面波装置の製造方法 | |
US20080303379A1 (en) | Surface acoustic wave device | |
JP4967393B2 (ja) | 弾性表面波装置 | |
JP4127170B2 (ja) | 表面波装置 | |
WO2009090714A1 (ja) | 弾性表面波装置 | |
JP2004040636A (ja) | 表面波装置 | |
WO2009090713A1 (ja) | 弾性表面波装置 | |
WO2010016246A1 (ja) | 弾性波素子とこれを用いた電子機器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081212 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110802 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20111115 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120209 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20120217 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120306 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120319 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150413 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4967393 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |