JP2008078305A - ワーク処理装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】ワークの位置ずれを短時間で補正することができるワーク処理装置を提供すること。
【解決手段】共通する基準位置2を有する複数のステージ3,4,5に順に搬送されたワーク6に対して、各ステージ3,4,5にてワーク6をそれぞれ加工又は検査するワーク処理部を備えた装置であって、搬送されたワーク6の位置を各ステージ3,4,5にて検出する検出部9と、検出したワーク6の位置に対して、ワーク処理部を処理して基準位置2からの位置ずれを補正する補正部と、を備えている。
【選択図】図2
【解決手段】共通する基準位置2を有する複数のステージ3,4,5に順に搬送されたワーク6に対して、各ステージ3,4,5にてワーク6をそれぞれ加工又は検査するワーク処理部を備えた装置であって、搬送されたワーク6の位置を各ステージ3,4,5にて検出する検出部9と、検出したワーク6の位置に対して、ワーク処理部を処理して基準位置2からの位置ずれを補正する補正部と、を備えている。
【選択図】図2
Description
本発明は、フラットパネルディスプレイ用ガラス基板或いは半導体ウエハ等の表面に微細なパターンが形成されるワークに対して、様々な処理を行うプロセスを備えたワーク処理装置、又は装置群に関する。
ワークのロボット搬入部からプロセス実施部へ、ワークを浮上搬送して移動する場合、プロセス実施部においてワークの位置ずれを解消させるために、測定されたワーク位置ずれ量に基づき、浮上ステージ上にてワークを把持したままの状態でワーク把持部を移動させて位置ずれを補正するものがある。例えば、特許文献1に開示されている。一方、ワークの位置ずれを浮上搬送前に解消するために、コンベア搬入部において整列機構を設け、これによってワークの整列を行って位置ずれを矯正した上で浮上搬送させるものがある。例えば、特許文献2に開示されている。
国際公開第03/086917号公報
特開2000−9661号公報
しかしながら、上記従来のワーク処理装置では、ワーク把持部又は整列機構が複雑になる上、整列させるまでの時間がかかり、処理時間が大幅に増加してしまう。また、位置ずれが大きい場合には、ワーク位置を修正させることができない。
本発明は上記事情に鑑みて成されたものであり、ワークの位置ずれを短時間で補正することができるワーク処理装置を提供することを目的とする。
本発明は、上記課題を解決するため、以下の手段を採用する。
本発明に係るワーク処理装置は、共通する基準位置を有する複数のステージに順に搬送されたワークに対して、前記各ステージにて前記ワークをそれぞれ処理するワーク処理部を備えた装置であって、搬送された前記ワークの位置を前記各ステージにて検出する検出部と、検出した前記ワークの位置に対して、前記ワーク処理部で処理する位置を前記基準位置からの位置ずれ分だけ補正する補正部と、を備えていることを特徴とする。
本発明に係るワーク処理装置は、共通する基準位置を有する複数のステージに順に搬送されたワークに対して、前記各ステージにて前記ワークをそれぞれ処理するワーク処理部を備えた装置であって、搬送された前記ワークの位置を前記各ステージにて検出する検出部と、検出した前記ワークの位置に対して、前記ワーク処理部で処理する位置を前記基準位置からの位置ずれ分だけ補正する補正部と、を備えていることを特徴とする。
この発明は、ワーク処理部は、ワークが投入されるステージよりも軽量で小さい場合、ステージを移動させる場合よりも、素早く移動させることができる。
また、本発明に係るワーク処理装置は、前記ワーク処理装置であって、前記各ステージにて前記ワークの位置を検出できない場合に、異常であることを通知する異常検知部を備えていることを特徴とする。
この発明は、異常の際に人を介在させることができ、処理を短時間に復帰させ、さらに進めることができる。
本発明によれば、ワークの位置ずれを短時間で補正することができる。
本発明に係る第1の実施形態について、図1及び図2を参照して説明する。
本実施形態に係るワーク処理装置1は、共通する基準位置2を有する複数のステージ3,4,5に順に搬送された矩形状のワーク6に対して、各ステージ3,4,5にてワーク6をそれぞれ加工又は検査するワーク処理部7を備えた装置であって、ワーク6を浮上搬送するワーク把持部8と、ワーク把持部8によってステージ3,4,5にそれぞれ搬送されたワーク6の位置を各ステージ3,4,5にて検出する検出部9と、検出したワーク6の位置に対して、ワーク処理部7を処理して基準位置2からの位置ずれを補正する補正部10とを備えている。
本実施形態に係るワーク処理装置1は、共通する基準位置2を有する複数のステージ3,4,5に順に搬送された矩形状のワーク6に対して、各ステージ3,4,5にてワーク6をそれぞれ加工又は検査するワーク処理部7を備えた装置であって、ワーク6を浮上搬送するワーク把持部8と、ワーク把持部8によってステージ3,4,5にそれぞれ搬送されたワーク6の位置を各ステージ3,4,5にて検出する検出部9と、検出したワーク6の位置に対して、ワーク処理部7を処理して基準位置2からの位置ずれを補正する補正部10とを備えている。
ワーク処理部7は、例えば、ステッパのようにワーク6に微細加工を施すものや、ワーク6表面の欠陥を検査するための顕微鏡を備えている。ワーク処理部7は、ワーク6の搬送方向に対して略垂直方向に設けられてワーク6の搬送方向に移動自在な門型アーム11に沿って、移動自在に設けられている。ワーク処理部7は、ワーク6の搬送方向、門型アーム11に平行な方向、及び図1に示すθ方向に移動又は回動可能となっている。ここで、ワーク搬送方向をX方向、門型アーム11に平行な方向をY方向とする。
検出部9は、各ステージ3,4,5のワーク6の基準位置2近傍に配されて、ワーク6の端部位置を精密に測定する複数のエッジセンサ12と、エッジセンサ12が検出した値に基づいて、ワーク6の現在の絶対位置と、そのステージにおける基準位置2、又は直前のステージにおけるワーク6の絶対位置との差分を検出する差分検出部13とを備えている。エッジセンサ12は、例えば、ワーク6の直交する二辺のそれぞれに交差するようにして設けられている。
補正部10は、上述のようにして得られた差分に対して、ワーク処理部7の位置をX,Y、及びθ方向に移動して、位置ずれを補正する信号をワーク処理部7に出力する。このような差分検出部13及び補正部10は、例えば図示しないパソコン、又はプログラマブルロジックコントローラ(PLC)に設けられている。ワーク処理部7で処理する位置の移動では、ワーク搬送と組み合わせてもよい。
次に、本実施形態に係るワーク処理装置1の作用について説明する。
ステージ3,4,5に搬入されたワーク6の位置が、基準位置2に対してずれていることをエッジセンサ12が検出した場合、差分検出部13にてそのステージにおける基準位置2、又は直前のステージにおけるワーク6の絶対位置との差分を算出する。
ステージ3,4,5に搬入されたワーク6の位置が、基準位置2に対してずれていることをエッジセンサ12が検出した場合、差分検出部13にてそのステージにおける基準位置2、又は直前のステージにおけるワーク6の絶対位置との差分を算出する。
補正部10は、この差分に基づいて、ワーク処理部7を本来の位置から差分量分だけ移動させる。なお、ワーク処理部7を実際に移動させるのではなく、例えば、ステッパであれば、その露光方向を変更してもよい。
こうして、上流側ステージで処理されたワーク6に対して、下流側ステージでもワーク6が位置ずれのない状態で処理がなされていく。
このワーク処理装置1によれば、ワーク処理部7は、ワーク6そのものやワーク6を搭載する各ステージ3,4,5よりも軽量で小さい場合、ワーク6そのものやステージ3,4,5を移動させる場合よりも、素早く移動させることができる。従って、ワーク6の位置ずれを短時間で補正することができる。
次に、第2の実施形態について図3を参照しながら説明する。
なお、上述した第1の実施形態と同様の構成要素には同一符号を付すとともに説明を省略する。
第2の実施形態と第1の実施形態との異なる点は、本実施形態に係るワーク処理装置20の検出部21が、エッジセンサ12の代わりに、ワーク6の端部6Aを撮像するカメラ22と、カメラ22が撮像した画像に対して画像処理を行ってワーク6の端部位置を特定する画像処理部23とを備えているとした点である。
なお、上述した第1の実施形態と同様の構成要素には同一符号を付すとともに説明を省略する。
第2の実施形態と第1の実施形態との異なる点は、本実施形態に係るワーク処理装置20の検出部21が、エッジセンサ12の代わりに、ワーク6の端部6Aを撮像するカメラ22と、カメラ22が撮像した画像に対して画像処理を行ってワーク6の端部位置を特定する画像処理部23とを備えているとした点である。
カメラ22は、ワーク6の端部6Aの上方に配されている。このカメラ22は、ワーク6の端部6Aを専用に撮像するために設けられていてもよく、ワーク処理部7が有する、ワーク6を検査するための図示しないカメラを併用しても構わない。また、一つのカメラ22を移動させて複数の端部6Aを撮像してもよく、又は複数のカメラ22でワーク6の端部6Aをそれぞれ撮像させても構わない。
次に、本実施形態に係るワーク処理装置20の作用について説明する。
ステージに搬入されたワーク6の端部6Aをカメラ22にて撮像し、その撮像データを画像処理部23にて画像処理して、得られた画像Pからワーク6の絶対位置を検出する。その後、差分検出部13にてそのステージにおける基準位置2、又は直前のステージにおけるワーク6の絶対位置との差分を算出する。
ステージに搬入されたワーク6の端部6Aをカメラ22にて撮像し、その撮像データを画像処理部23にて画像処理して、得られた画像Pからワーク6の絶対位置を検出する。その後、差分検出部13にてそのステージにおける基準位置2、又は直前のステージにおけるワーク6の絶対位置との差分を算出する。
その後、補正部が、第1の実施形態と同様に、ワーク処理部7を本来の位置から差分量移動させて、所望の加工・検査が実施される。
このワーク処理装置20によれば、第1の実施形態に係るワーク処理装置1と同様の効果を奏することができる。
このワーク処理装置20によれば、第1の実施形態に係るワーク処理装置1と同様の効果を奏することができる。
次に、第3の実施形態について図4を参照しながら説明する。
なお、上述した他の実施形態と同様の構成要素には同一符号を付すとともに説明を省略する。
第3の実施形態と第2の実施形態との異なる点は、本実施形態に係るワーク処理装置30の検出部21のカメラ22が、ワーク6の端部の代わりに、ワーク6上に設けられたアライメントマーク31を撮像するとした点である。
なお、上述した他の実施形態と同様の構成要素には同一符号を付すとともに説明を省略する。
第3の実施形態と第2の実施形態との異なる点は、本実施形態に係るワーク処理装置30の検出部21のカメラ22が、ワーク6の端部の代わりに、ワーク6上に設けられたアライメントマーク31を撮像するとした点である。
アライメントマーク31は、ワーク6上の所定の位置を特定するために設けられている。そして、ワーク6が基準位置にあるときには、アライメントマーク31がカメラ22の視野の略中央に配されるようになっている。一方、ワーク6が基準位置からずれて視野の端部側に移動した状態で撮像された場合、画像Pのずれ量から差分が算出される。
このワーク処理装置30によれば、第2の実施形態と同様の作用・効果を奏することができる。特にワーク6の端部ではなくアライメントマーク31を撮像するので、ワーク6の現状の位置をより高精度に検出することができる。
次に、第4の実施形態について説明する。
なお、上述した他の実施形態と同様の構成要素には同一符号を付すとともに説明を省略する。
第4の実施形態と第1の実施形態との異なる点は、本実施形態に係るワーク処理装置の補正部が、ワーク処理部7を移動させる代わりに、ワークの検出位置或いは検出座標を差分検出部13のソフトウエアの処理上で移動するとした点である。
なお、上述した他の実施形態と同様の構成要素には同一符号を付すとともに説明を省略する。
第4の実施形態と第1の実施形態との異なる点は、本実施形態に係るワーク処理装置の補正部が、ワーク処理部7を移動させる代わりに、ワークの検出位置或いは検出座標を差分検出部13のソフトウエアの処理上で移動するとした点である。
このワーク処理装置によれば、ワーク処理部7を物理的に移動させるための機構等を不要にすることができ、より好適に位置ずれを補正することができる。
次に、第5の実施形態について図5及び図6を参照しながら説明する。
なお、上述した他の実施形態と同様の構成要素には同一符号を付すとともに説明を省略する。
第5の実施形態と上記他の実施形態との異なる点は、本実施形態に係るワーク処理装置50A,50Bが、各ステージにてワーク6の位置を検出できない場合に、異常であることを通知する異常検知部51を備えているとした点である。
なお、上述した他の実施形態と同様の構成要素には同一符号を付すとともに説明を省略する。
第5の実施形態と上記他の実施形態との異なる点は、本実施形態に係るワーク処理装置50A,50Bが、各ステージにてワーク6の位置を検出できない場合に、異常であることを通知する異常検知部51を備えているとした点である。
異常検知部51は、図5又は図6に示すように、エッジセンサ12又はカメラ22によってワーク6の端部が検出されなかった場合、差分算出に必要なデータが取得できなかったとして外部に異常を報告する。この際、検出できなかった位置を特定して報告してもよい。なお、オペレータの判断によって、処理を続行させることもできる。
このワーク処理装置50A,50Bによれば、異常を素早く検知してその後の処理を迅速に行うことができる。
次に、第6の実施形態について図7及び図8を参照しながら説明する。
なお、上述した他の実施形態と同様の構成要素には同一符号を付すとともに説明を省略する。
第6の実施形態と第5の実施形態との異なる点は、本実施形態に係るワーク処理装置60A,60Bのエッジセンサ12又はカメラ22が移動可能となっている点である。
なお、上述した他の実施形態と同様の構成要素には同一符号を付すとともに説明を省略する。
第6の実施形態と第5の実施形態との異なる点は、本実施形態に係るワーク処理装置60A,60Bのエッジセンサ12又はカメラ22が移動可能となっている点である。
ワーク処理装置60Aが、検出部9にエッジセンサ12を備えている場合、図7に示すように、ステージSにてエッジセンサ12のうちの一つがワーク6の端部に触れていないときに、異常検知部51が異常を報告するようになっている。
このワーク処理装置60Aは、ワーク6の端部を検出可能な位置までエッジセンサ12を移動する検出部駆動部61を備えている。この検出部駆動部61は、図7に示すように、すべてのエッジセンサ12を移動してもよく、又は、当初、ワーク6に触れなかったエッジセンサ12のみを移動しても構わない。
このワーク処理装置60Aは、ワーク6の端部を検出可能な位置までエッジセンサ12を移動する検出部駆動部61を備えている。この検出部駆動部61は、図7に示すように、すべてのエッジセンサ12を移動してもよく、又は、当初、ワーク6に触れなかったエッジセンサ12のみを移動しても構わない。
また、ワーク処理装置60Bが、検出部21にカメラ22を備えている場合、図8に示すように、カメラ22のうちの一つがワーク6のアライメントマーク31を撮像していないときに、異常検知部51が異常を報告する。このとき、検出部駆動部61が、ワーク6のアライメントマーク31を検出可能な位置まで当該カメラ22を移動する。この場合、すべてのカメラ22を移動しても構わない。
移動時には、センサ信号又はカメラ画像をモニタリングしていることによって、位置測定ができる状態になったときに、エッジセンサ12又はカメラ22の移動を終了して、すぐにワーク6の位置測定に移行するようにしてもよい。このようなモニタリングができない場合には、例えば、移動をステップ送りとして毎回位置測定の可否を確認し、位置測定ができる状態となったときに、すぐにワーク6の位置測定に移行するようにしてもよい。
このワーク処理装置60A,60Bによれば、異常を素早く検知しても、異常を報告するだけでなく、異常状態から自動的に復帰してその後の処理をより迅速に行うことができる。
なお、本発明の技術範囲は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
1,20,30,40,50A,50B,60A,60B ワーク処理装置
2 基準位置
3,4,5,S ステージ
6 ワーク
7 ワーク処理部
9,21 検出部
10 補正部
51 異常検知部
2 基準位置
3,4,5,S ステージ
6 ワーク
7 ワーク処理部
9,21 検出部
10 補正部
51 異常検知部
Claims (5)
- 共通する基準位置を有する複数のステージに順に搬送されたワークに対して、前記各ステージにて前記ワークをそれぞれ処理するワーク処理部を備えた装置であって、
搬送された前記ワークの位置を前記各ステージにて検出する検出部と、
検出した前記ワークの位置に対して、前記ワーク処理部で処理する位置を前記基準位置からの位置ずれ分だけ補正する補正部と、
を備えていることを特徴とするワーク処理装置。 - 前記処理が、加工又は検査であることを特徴とする請求項1に記載のワーク処理装置。
- 前記検出部が、前記ワークの位置と、前記基準位置、又は上流側の前記ステージにおける前記ワークの位置との差分を検出することを特徴とする請求項1又は2に記載のワーク処理装置。
- 前記補正部が、前記ワーク処理部の位置、又は前記ワークの検出位置或いは検出座標を前記差分だけ移動して、前記位置ずれを補正することを特徴とする請求項3に記載のワーク処理装置。
- 前記各ステージにて前記ワークの位置を検出できない場合に、異常であることを通知する異常検知部を備えていることを特徴とする請求項1から4の何れか一つに記載のワーク処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006254457A JP2008078305A (ja) | 2006-09-20 | 2006-09-20 | ワーク処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006254457A JP2008078305A (ja) | 2006-09-20 | 2006-09-20 | ワーク処理装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008078305A true JP2008078305A (ja) | 2008-04-03 |
Family
ID=39350084
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006254457A Withdrawn JP2008078305A (ja) | 2006-09-20 | 2006-09-20 | ワーク処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008078305A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110153993A (zh) * | 2018-02-16 | 2019-08-23 | 日本电产三协株式会社 | 工业用机器人的修正值计算方法 |
-
2006
- 2006-09-20 JP JP2006254457A patent/JP2008078305A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN110153993A (zh) * | 2018-02-16 | 2019-08-23 | 日本电产三协株式会社 | 工业用机器人的修正值计算方法 |
JP2019141921A (ja) * | 2018-02-16 | 2019-08-29 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボットの補正値算出方法 |
JP7094115B2 (ja) | 2018-02-16 | 2022-07-01 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボットの補正値算出方法 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20091201 |