JP2008071941A - 電子部品装着機の吸着部品干渉判定方法及び吸着部品干渉判定装置 - Google Patents

電子部品装着機の吸着部品干渉判定方法及び吸着部品干渉判定装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2008071941A
JP2008071941A JP2006249328A JP2006249328A JP2008071941A JP 2008071941 A JP2008071941 A JP 2008071941A JP 2006249328 A JP2006249328 A JP 2006249328A JP 2006249328 A JP2006249328 A JP 2006249328A JP 2008071941 A JP2008071941 A JP 2008071941A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
component
electronic component
margin
electronic
range
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2006249328A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4817446B2 (ja
Inventor
Kimio Isomura
公夫 磯村
Takeshi Kato
剛 加藤
Kazumi Hoshikawa
和美 星川
Akihiro Kawajiri
明宏 川尻
Masayuki Tashiro
雅幸 田代
Satoshi Sugiura
聡 杉浦
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fuji Corp
Original Assignee
Fuji Machine Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fuji Machine Manufacturing Co Ltd filed Critical Fuji Machine Manufacturing Co Ltd
Priority to JP2006249328A priority Critical patent/JP4817446B2/ja
Publication of JP2008071941A publication Critical patent/JP2008071941A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4817446B2 publication Critical patent/JP4817446B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)

Abstract

【課題】電子部品装着機において、2本以上の吸着ノズルに吸着する電子部品同士の干渉の有無を精度良く判定できるようにする。
【解決手段】予め電子部品の外形を基準にしてX方向のマージンとY方向のマージンを個別に設定して当該電子部品が存在する可能性のある範囲(以下「部品存在範囲」という)を決定しておき、2本以上の吸着ノズルに吸着する電子部品同士が干渉するか否かを前記部品存在範囲に基づいて判定する。この場合、電子部品装着機の構成や部品寸法精度、位置決め精度等によってX方向のマージンとY方向のマージンとが異なる値になるという事情を考慮して、X方向のマージンとY方向のマージンを個別に設定するため、X方向のマージンとY方向のマージンをそれぞれ必要最小限のマージンに設定することができ、実際には電子部品同士が干渉しないものを干渉すると誤判定することを未然に防止できる。
【選択図】図7

Description

本発明は、複数の吸着ノズルにそれぞれ電子部品を吸着して回路基板に装着する電子部品装着機の吸着部品干渉判定方法及び吸着部品干渉判定装置に関する発明である。
複数の吸着ノズルにそれぞれ電子部品を吸着する電子部品装着機においては、特許文献1(特開2004−304120号公報)に示すように、2本以上の吸着ノズルに吸着する電子部品同士が干渉しないようにする必要がある。この電子部品同士の干渉の有無を判定する際に、図5に示すように、電子部品が内接する四角形を部品外形と見なして、この部品外形の周囲に、部品寸法ばらつきや電子部品装着機の精度ばらつき等を考慮するためのマージンを加算して電子部品が存在する可能性のある範囲(以下「部品存在範囲」という)を設定しておき、2つの電子部品の部品存在範囲が部分的に重なり合うか否かで電子部品同士の干渉の有無を判定するようにしている。
特開2004−304120号公報
従来の部品存在範囲は、電子部品が内接する四角形を基準にしてX方向(水平方向)とY方向(垂直方向)に同一のマージンを設定するようにしている。
本来、電子部品装着機の構成や部品寸法精度、位置決め精度等によってX方向のマージンとY方向のマージンは異なる値になるはずであるが、従来は、X方向のマージンとY方向のマージンを同じ値に設定しているため、大きい方のマージンを取らざるを得なかった。その結果、部品存在範囲を設定する際に、本来、マージンが小さい方向であるにも拘らず、必要以上に大きなマージンを取ることになってしまい、実際には電子部品同士が干渉しない場合でも、2つの部品存在範囲のマージン部分が重なり合って電子部品同士が干渉すると誤判定される可能性があった。
また、従来の部品存在範囲の形状は、電子部品が内接する四角形よりもマージン分だけ大きい四角形となるため、電子部品の形状が四角形でない場合は、実際の電子部品が存在する範囲よりも部品存在範囲が大きく設定されてしまう。このため、図6に示すように、実際には電子部品同士が干渉しない場合でも、2つの部品存在範囲が部分的に重なり合って電子部品同士が干渉すると誤判定される可能性があった。
本発明はこれらの事情を考慮してなされたものであり、従ってその目的は、2本以上の吸着ノズルに吸着する電子部品同士の干渉の有無を精度良く判定することができる電子部品装着機の吸着部品干渉判定方法及び吸着部品干渉判定装置を提供することにある。
上記目的を達成するために、本発明は、予め、電子部品の外形を基準にしてX方向のマージンとY方向のマージンを個別に設定して当該電子部品が存在する可能性のある範囲(以下「部品存在範囲」という)を決定しておき、2本以上の吸着ノズルに吸着する電子部品同士が干渉するか否かを前記部品存在範囲に基づいて判定するようにしたものである。本発明では、電子部品装着機の構成や部品寸法精度、位置決め精度等によってX方向のマージンとY方向のマージンとが異なる値になるという事情を考慮して、X方向のマージンとY方向のマージンを個別に異なる値に設定するため、X方向のマージンとY方向のマージンをそれぞれ必要最小限のマージンに設定することができ、実際には電子部品同士が干渉しないものを干渉すると誤判定することを未然に防止できる。しかも、電子部品の外形を基準にしてX方向のマージンとY方向のマージンを加算して部品存在範囲を設定するため、図7、図8に示すように、部品存在範囲の形状を電子部品の外形とほぼ相似形とすることができ、実際には電子部品同士が干渉しない非四角形の部品形状のものを干渉すると誤判定することを未然に防止できる。
更に、本発明は、予め、1つの電子部品を複数のエレメントに分割して、各エレメント毎に各エレメントの外形を基準にしてX方向のマージンとY方向のマージンを個別に設定して当該エレメントが存在する可能性のある範囲(以下「エレメント存在範囲」という)を決定して、1つの部品存在範囲を複数のエレメント存在範囲の組み合わせで構成し、2本以上の吸着ノズルに吸着する電子部品同士が干渉するか否かを前記エレメント存在範囲に基づいて判定するようにしても良い。このように、1つの電子部品を複数のエレメントに分割して、各エレメント毎に干渉の有無を判定するようにすれば、電子部品の外形が比較的複雑な形状であっても、干渉の有無を精度良く判定することができる。
この場合、エレメント存在範囲を決定する際に、電子部品の各辺毎に長さと幅が同じリード列を1つのエレメントとして取り扱うようにすると良い。このようにすれば、1つの電子部品を複数のエレメントに分割する処理が容易である。
以下、本発明を実施するための最良の形態を具体化した一実施例を説明する。
本実施例では、例えば特開2000−294990号公報に記載された部品実装機を使用する。この部品実装機の機械的構成は、上記公報に記載された構成と同じもので良いので、説明を省略し、主要な部分についてのみ説明する。
図1に示すように、レボルバー型のノズルヘッド13(回転体)に対して円周方向(回転方向)に所定間隔で配列した複数の吸着ノズル1〜12を下向きに組み付け、各吸着ノズル1〜12に電子部品を吸着して回路基板(図示せず)に実装するようにしている。
本実施例では、吸着ノズル1〜12の本数を12本としているため、最大12個の部品を同時に吸着できるようになっている(図2参照)。吸着ノズル1〜12の径は全て同一でも良いが、吸着する部品のサイズに合わせて複数種類のノズル径の吸着ノズルを用いても良い。本実施例では、例えば、大径、中径、小径の3種類のノズル径の吸着ノズル1〜12を用い、1番目の吸着ノズル1と、その180°反対側に位置する7番目の吸着ノズル7は、中型部品(例えば10mm×10mmまでの部品)を吸着できるように中間的なノズル径の吸着ノズルを使用し、更に、1番目の吸着ノズル1から90°離れた4番目の吸着ノズル4と、その180°反対側に位置する10番目の吸着ノズル10は、大型部品(例えば20mm×20mmまでの部品)を吸着できるように大径の吸着ノズルを使用し、残りの8本の吸着ノズル2,3,5,6,8,9,11,12は、小型部品(例えば5mm×4mmまでの部品)を吸着できるように小径の吸着ノズルを使用している。
図2に示すように、12本の吸着ノズル1〜12に吸着する部品が全て比較的小さい部品であれば、全ての吸着ノズル1〜12に最大12個の部品を吸着することが可能であるが、図3、図4に示すように、大径の吸着ノズル4,10に大型部品(B,D,E,F)を吸着する場合は、その大型部品が邪魔になって、隣接する小径の吸着ノズル2,3,5,6,8,9,11,12に部品を吸着できないことがある。
尚、各吸着ノズル1〜12で部品を吸着する毎に、ノズルヘッド13が回転して次の吸着ノズルを図1に示す1番目の吸着ノズル1の位置(吸着ステーション)まで旋回移動させ、常に同じ位置で部品を吸着するようにしている。このような部品吸着動作を一巡した後に、各吸着ノズル1〜12に吸着された全ての部品をカメラ(図示せず)の視野内に収めて撮像し、画像処理技術によって各部品の吸着姿勢を判定したり、各部品の欠損等を検出するようにしている。
ところで、図2に示すように、各吸着ノズル1〜12に部品を吸着したときに、隣接する部品同士が干渉することがなければ問題ないが、吸着部品の大きさや吸着角度によっては、図3及び図4の事例に示すように、隣接する吸着部品(A〜F)が干渉することがある。このような吸着部品同士の干渉が発生すると、部品(A〜F)の吸着位置が当初の吸着位置からずれて回路基板への実装位置がずれてしまい(当初の吸着位置からのずれ量が不明であるため)、実装不良になりやすい等の問題が発生する。
そこで、本実施例では、2以上の吸着ノズルに順番に電子部品を吸着する際に、吸着しようとする電子部品が他の電子部品と干渉するか否かを判定し、電子部品同士が干渉すると判定されたときには、吸着しようとする電子部品の吸着位置を部品干渉を避ける方向(本実施例ではノズルヘッド13の外径方向)にオフセット補正するようにしている。
従来は、電子部品同士の干渉の有無を判定する際に、図5に示すように、電子部品が内接する四角形を部品外形と見なして、この部品外形の周囲に、部品寸法ばらつきや電子部品装着機の精度ばらつき等を考慮するためのマージンをX方向(水平方向)とY方向(垂直方向)に同じ値に設定して、電子部品が存在する可能性のある範囲(以下「部品存在範囲」という)を設定しておき、2つの電子部品の部品存在範囲が部分的に重なり合うか否かで電子部品同士の干渉の有無を判定するようにしていた。
本来、電子部品装着機の構成や部品寸法精度、位置決め精度等によってX方向のマージンとY方向のマージンは異なる値になるはずであるが、従来は、X方向のマージンとY方向のマージンを同じ値に設定しているため、大きい方のマージンを取らざるを得なかった。その結果、部品存在範囲を設定する際に、本来、マージンが小さい方向であるにも拘らず、必要以上に大きなマージンを取ることになってしまい、実際には電子部品同士が干渉しない場合でも、2つの部品存在範囲のマージン部分が重なり合って電子部品同士が干渉すると誤判定される可能性があった。
また、従来の部品存在範囲の形状は、電子部品が内接する四角形よりもマージン分だけ大きい四角形となるため、電子部品の形状が四角形でない場合は、実際の電子部品が存在する範囲よりも部品存在範囲が大きく設定されてしまう。このため、図6に示すように、実際には電子部品同士が干渉しない場合でも、2つの部品存在範囲が部分的に重なり合って電子部品同士が干渉すると誤判定される可能性があった。
そこで、本実施例では、図7及び図8に示すように、電子部品の外形を基準にしてX方向のマージンとY方向のマージンを個別に設定して当該電子部品が存在する可能性のある範囲(部品存在範囲)を決定することで、部品存在範囲の形状を電子部品の外形とほぼ相似形とすると共に、X方向のマージンとY方向のマージンを個別に異なる値に設定している。この場合、部品存在範囲の形状が電子部品の外形とほぼ相似形となるため、電子部品の形状が非四角形であれば、部品存在範囲の形状も非四角形となる。
更に、本実施例では、1つの電子部品を複数のエレメントに分割して、各エレメント毎に各エレメントの外形を基準にしてX方向のマージンとY方向のマージンを個別に設定して当該エレメントが存在する可能性のある範囲(以下「エレメント存在範囲」という)を決定して、1つの部品存在範囲を複数のエレメント存在範囲の組み合わせで構成し、電子部品装着機の稼働中に2本以上の吸着ノズルに吸着する電子部品同士が干渉するか否かを前記エレメント存在範囲に基づいて判定する。
この場合、エレメント存在範囲を決定する際に、電子部品の各辺毎に長さと幅が同じリード列を1つのエレメントとして取り扱うようにする。図8の例では、7つのエレメントa〜gに分割される。各エレメントa〜gの位置(XY座標)は、電子部品の中心を基準位置(XY座標の原点)として設定される。尚、電子部品は、4辺にそれぞれリード列が設けられたものに限定されず、対向する2辺のみにリード列が設けられたもの(SOP等)や、1辺のみにリード列が設けられたもの(コネクタ等)について、部品存在範囲(エレメント存在範囲)を設定するようにしても良い。
例えば、図9、図10に示すように、2つの電子部品A,Bの干渉の有無を判定する場合は、一方の電子部品Aの各エレメント存在範囲1a〜3aと他方の電子部品Bの各エレメント存在範囲1b〜3bとが重なり合うか否かを判定し、図9に示すように、重なり合うエレメント存在範囲が1つも無ければ、2つの電子部品A,Bが干渉しないと判定し、図10に示すように、重なり合うエレメント存在範囲が1つでも存在すれば、2つの電子部品A,Bが干渉すると判定する。
以上説明した本実施例によれば、電子部品の外形の周囲にマージンを設定して電子部品が存在する可能性のある範囲(部品存在範囲)を決定する際に、電子部品装着機の構成や部品寸法精度、位置決め精度等によってX方向のマージンとY方向のマージンとが異なる値になるという事情を考慮して、X方向のマージンとY方向のマージンを個別に異なる値に設定するようにしたので、X方向のマージンとY方向のマージンをそれぞれ必要最小限のマージンに設定することができ、実際には電子部品同士が干渉しないものを干渉すると誤判定することを未然に防止できる。しかも、電子部品の外形を基準にしてX方向のマージンとY方向のマージンを加算して部品存在範囲を設定するため、図7、図8に示すように、部品存在範囲の形状を電子部品の外形とほぼ相似形とすることができ、実際には電子部品同士が干渉しない非四角形の部品形状のものを干渉すると誤判定することを未然に防止できる。
この結果、従来技術では電子部品同士の干渉有りと誤判定されて生産できなかったレシピでも生産できるようになり、生産可能なレシピの範囲を拡大できる。しかも、レボルバー型のノズルヘッド13を搭載した電子部品装着機においては、吸着ノズル1〜12への電子部品の配置を最適化することができ、電子部品の吸着を能率良く行うことができて、生産時間を短縮できる。更に、従来技術では干渉すると誤判定されて吸着位置のオフセット補正を余儀なくされていた電子部品でもオフセット補正無しで正常に吸着できるようになり、オフセット補正による吸着率の悪化を回避できる。
尚、本発明は、1つの電子部品を複数のエレメントに分割することなく、図7、図8に示すように、電子部品の外形とほぼ相似形の部品存在範囲を設定して、2つの電子部品の部品存在範囲が部分的に重なり合うか否かで電子部品同士の干渉の有無を判定するようにしても良い。
その他、本発明は、レボルバー型のノズルヘッド13を搭載した電子部品装着機に限定されず、複数の吸着ノズルにそれぞれ電子部品を吸着して回路基板に装着する電子部品装着機に広く適用して実施できる。
本発明の一実施例を示すノズルヘッドの下面図である。 吸着ノズルに電子部品を吸着した状態を示すノズルヘッドの下面図である。 吸着ノズルに吸着した電子部品が干渉する様子を示すノズルヘッドの下面図である(事例1)。 吸着ノズルに吸着した電子部品が干渉する様子を示すノズルヘッドの下面図である(事例2)。 従来のマージンと部品存在範囲の設定方法を説明する図である。 実際には電子部品同士の干渉の可能性がない場合でも、従来技術では電子部品同士が干渉すると誤判定される事例を説明する図である。 本発明の一実施例におけるマージンと部品存在範囲の設定方法を説明する図である(その1)。 本発明の一実施例におけるマージンと部品存在範囲の設定方法を説明する図である(その1)。 2つの電子部品A,Bの干渉無しと判定する事例を説明する図である。 2つの電子部品A,Bの干渉有りと判定する事例を説明する図である。
符号の説明
1〜12…吸着ノズル、13…ノズルヘッド、A〜G…電子部品

Claims (6)

  1. 複数の吸着ノズルにそれぞれ電子部品を吸着して回路基板に装着する電子部品装着機の吸着部品干渉判定方法において、
    予め、前記電子部品の外形を基準にしてX方向のマージンとY方向のマージンを個別に設定して当該電子部品が存在する可能性のある範囲(以下「部品存在範囲」という)を決定しておき、2本以上の吸着ノズルに吸着する電子部品同士が干渉するか否かを前記部品存在範囲に基づいて判定することを特徴とする電子部品装着機の吸着部品干渉判定方法。
  2. 予め、1つの電子部品を複数のエレメントに分割して、各エレメント毎に各エレメントの外形を基準にしてX方向のマージンとY方向のマージンを個別に設定して当該エレメントが存在する可能性のある範囲(以下「エレメント存在範囲」という)を決定して、1つの部品存在範囲を複数のエレメント存在範囲の組み合わせで構成し、2本以上の吸着ノズルに吸着する電子部品同士が干渉するか否かを前記エレメント存在範囲に基づいて判定することを特徴とする請求項1に記載の電子部品装着機の吸着部品干渉判定方法。
  3. 前記エレメント存在範囲を決定する際に、前記電子部品の各辺毎に長さと幅が同じリード列を1つのエレメントとして取り扱うことを特徴とする請求項2に記載の電子部品装着機の吸着部品干渉判定方法。
  4. 複数の吸着ノズルにそれぞれ電子部品を吸着して回路基板に装着する電子部品装着機の吸着部品干渉判定装置において、
    予め前記電子部品の外形を基準にしてX方向のマージンとY方向のマージンを個別に設定して得られた当該電子部品が存在する可能性のある範囲(以下「部品存在範囲」という)を記憶する記憶手段と、
    2本以上の吸着ノズルに吸着する電子部品同士が干渉するか否かを前記部品存在範囲に基づいて判定する干渉判定手段と
    を備えていることを特徴とする電子部品装着機の吸着部品干渉判定装置。
  5. 前記部品存在範囲は、複数のエレメント存在範囲の組み合わせで構成され、
    各エレメント存在範囲は、1つの電子部品を複数のエレメントに分割して、各エレメント毎に各エレメントの外形を基準にしてX方向のマージンとY方向のマージンを個別に設定したものであり、
    前記干渉判定手段は、2本以上の吸着ノズルに吸着する電子部品同士が干渉するか否かを前記エレメント存在範囲に基づいて判定することを特徴とする請求項4に記載の電子部品装着機の吸着部品干渉判定装置。
  6. 前記電子部品の各辺毎に長さと幅が同じリード列を1つのエレメントとして取り扱うことを特徴とする請求項5に記載の電子部品装着機の吸着部品干渉判定装置。
JP2006249328A 2006-09-14 2006-09-14 電子部品装着機の吸着部品干渉判定方法及び吸着部品干渉判定装置 Active JP4817446B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006249328A JP4817446B2 (ja) 2006-09-14 2006-09-14 電子部品装着機の吸着部品干渉判定方法及び吸着部品干渉判定装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006249328A JP4817446B2 (ja) 2006-09-14 2006-09-14 電子部品装着機の吸着部品干渉判定方法及び吸着部品干渉判定装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2008071941A true JP2008071941A (ja) 2008-03-27
JP4817446B2 JP4817446B2 (ja) 2011-11-16

Family

ID=39293280

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006249328A Active JP4817446B2 (ja) 2006-09-14 2006-09-14 電子部品装着機の吸着部品干渉判定方法及び吸着部品干渉判定装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4817446B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015004735A1 (ja) 2013-07-09 2015-01-15 富士機械製造株式会社 電子部品の割り当て方法および電子部品実装システム

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000183597A (ja) * 1998-12-15 2000-06-30 Matsushita Electric Ind Co Ltd 電子部品装着装置及び方法
JP2004304120A (ja) * 2003-04-01 2004-10-28 Fuji Mach Mfg Co Ltd 部品実装機における部品吸着位置補正装置
JP2005174014A (ja) * 2003-12-11 2005-06-30 Sharp Corp 部品クリアランスチェック装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000183597A (ja) * 1998-12-15 2000-06-30 Matsushita Electric Ind Co Ltd 電子部品装着装置及び方法
JP2004304120A (ja) * 2003-04-01 2004-10-28 Fuji Mach Mfg Co Ltd 部品実装機における部品吸着位置補正装置
JP2005174014A (ja) * 2003-12-11 2005-06-30 Sharp Corp 部品クリアランスチェック装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015004735A1 (ja) 2013-07-09 2015-01-15 富士機械製造株式会社 電子部品の割り当て方法および電子部品実装システム
EP3021652A4 (en) * 2013-07-09 2016-07-20 Fuji Machine Mfg METHOD FOR ALLOCATING ELECTRONIC COMPONENTS AND SYSTEM FOR MOUNTING ELECTRONIC COMPONENTS
US10334769B2 (en) 2013-07-09 2019-06-25 Fuji Corporation Method for allocating electronic component and electronic component mounting system

Also Published As

Publication number Publication date
JP4817446B2 (ja) 2011-11-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4767995B2 (ja) 部品実装方法、部品実装機、実装条件決定方法、実装条件決定装置およびプログラム
JP4348343B2 (ja) 部品実装機
JP2008270696A (ja) 部品搭載位置補正方法及び部品実装装置
JP2013115229A (ja) 部品実装方法及び部品実装システム
JP2007214212A (ja) 実装状態判定方法、実装状態判定プログラム、実装状態判定装置、実装方法
JP4342199B2 (ja) 部品実装機における部品吸着位置補正装置
JP4843752B1 (ja) 部品実装方法、および、部品実装機
JP2016058605A (ja) 部品実装方法
JP6663430B2 (ja) 部品実装機
WO2017126025A1 (ja) 実装装置および撮像処理方法
JP4817446B2 (ja) 電子部品装着機の吸着部品干渉判定方法及び吸着部品干渉判定装置
JP2009123984A (ja) 処理機、および該処理機を管理する基板生産管理装置
JP2019036015A (ja) 表面実装機
JP2008066472A (ja) ワーク複合処理装置
JP2008117869A (ja) 表面実装装置
JP2019140384A (ja) 押さえ機能を備える部品実装機
JP5850794B2 (ja) 部品搬送装置および部品実装機
WO2015166543A1 (ja) 位置出し穴付き基板の製造方法および製造装置ならびに複数の位置出し穴付き基板
JP2008258382A (ja) プリント回路板組立方法および装着プログラム作成プログラム
JP2009004640A (ja) ウエハチップチャック装置およびウエハチップチャック装置におけるチャック不良判定方法
JP2007283445A (ja) 吸着ノズル
JP2017003411A (ja) 処理装置、処理方法及び配線基板の製造方法
JP2013026385A (ja) 電子部品実装装置及び電子部品実装方法
JP2007227487A (ja) 部品搭載装置及びそのティーチング操作方法
JP2010010532A (ja) 基板検査方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20090901

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20110530

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20110624

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110809

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20110829

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20110829

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140909

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4817446

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250